KR200181171Y1 - 압력 스위치를 이용한 웨이퍼 위치검출장치 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 압력스위치를 이용한 무접촉방식의 웨이퍼 위치검출장치에 관한 것으로, 다수의 웨이퍼를 장착하여 운반시키기 위한 디스크(21), 상기 디스크(21)의 일측에 위치되며 플르브-인튜브(2)와 플르브-아웃튜브(3)가 구비된 에어실린더(1), 상기 에어실린더(1)에 장착되며, 상기 웨이퍼의 위치검출을 하는 위치검출수단(4), 상기 플르브-인튜브(2)의 소정위치에 장착되며, 공기의 압력에 의해 온-오프 동작되어 상기 위치검출수단(4)의 인-아웃검출을 외부의 중앙제어부로 출력하는 압력스위칭수단(5)을 구비하여 디스크의 회전불량에 따른 플르브의 접촉불량을 방지하므로써 플르브의 고장시 작업자 정비로 인한 불순물 발생요인 및 장비불량을 감소시키는 효과가 있다.

Description

압력 스위치를 이용한 웨이퍼 위치검출장치
제1도는 종래에 의한 웨이퍼 운반장치의 전체적인 구성을 나타낸 개략도,
제2도는 종래에 의한 디스크상에 웨이퍼를 로딩시키기 위한 구성단면도,
제3도는 종래에 의한 마이크로 스위치를 이용한 웨이퍼 위치 검출 장치의 구성도,
제4도는 본 고안에 의한 압력 스위치를 이용한 웨이퍼 위치검출장치의 일실시예 구성도.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉
1 : 에어실린더 2 : 플르브-인 튜브
3 : 플르브-아웃 튜브 4 : 플르브헤드
5 : 압력스위치 6 : 시그널 단자
본 고안은 웨이퍼 운반장치에 포함된 디스크에 웨이퍼를 정확히 로딩시키기 위한 웨이퍼 위치검출장치에 관한 것으로, 특히 압력스위치를 이용한 무접촉방식의 웨이퍼 위치검출장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정중 웨이퍼에 이온을 주입하는 이온주입장치는 제 1 도에 도시한 바와 같이, 디스크(21)상에 다수의 웨이퍼(22)를 로딩시킨후, 운반을 하여 이온을 주입하게 된다.
여기서, 상기 웨이퍼(22)를 디스크(21)상에 구비된 클램프홀더(23)로 로딩시킬때, 상기 웨이퍼(22)에 강한 흡착력을 주기 위해 상기 디스크(21)의 양측에 설치되어 있는 플르브헤드(Probe head)(24)를 인-아웃(In-Out)시켜 웨이퍼(22)를 클램프홀더(23)에 흡착되도록 진공시키므로서 상기 디스크(21)의 회전중에도 웨이퍼(22)가 이탈되지 않도록 한다.
따라서, 상기 웨이퍼(22)를 흡착시키기 위해서는 상기 플르브헤드(24)의 인-아웃(In-Out)에 의한 웨이퍼(22)의 정확한 위치검출이 요구된다.
그러면, 제 2 도 및 제 3 도의 도면을 참조하여 종래의 플르브 헤드의 인-아웃에 따른 웨이퍼가 위치검출되는 구성을 간략히 설명하면 다음과 같다.
제 2 도는 종래에 의한 디스크상에 위이퍼를 로딩시키기 위한 구성단면도이고, 제 3 도는 종래에 의한 마이크로 스위치를 이용한 웨이퍼의 위치검출 장치의 구성도를 나타낸다.
도면에서 21은 디스크, 22는 웨이퍼, 23은 클램프홀더, 24는 플르브헤드, 25는 진공라인, 26은 에어실린더, 27은 플르브-인튜브, 28은 플르브-아웃튜브, 29는 마이크로 스위치, 30은 마이크로 스위치접점, 31은 시그널단자를 각각 나타낸 것이다.
도면에 도시한 바와 같이, 이온주입공정을 수행하도록 상하이동되는 원형판의 디스크(21)상에는 소정간격마다 웨이퍼(22)를 지지하는 클램프홀더(23)가 구비된다.
상기 디스크(21)와 클램프홀더(23)사이에는 웨이퍼(22)가 흡착되도록 진공시키는 진공라인(25)이 설치되며, 그의 일단부가 외부에 설치된 진공펌프(도면에 도시하지 않음)에 연결되어 진공펌프의 작동에 의해 공기를 빨아들여 진공시킨다.
또한, 상기 디스크(21)의 양측면 소정위치에는 소정의 에어실린더(26)가 설치되는데, 상기 에어실린더(26)는 일측하단에 플르브-인튜브(Probe-In Tube)(27)가 구비되고, 타측 상단에는 플르브-아웃튜브(Probe-Out Tube)(28)가 구비된다.
그리고, 상기 에어실린더(26) 선단측에는 소정크기의 플르브헤드(24)가 연결되어 상기 에어실린더(26)의 작동에 의해 직선왕복운동하면서 디스크(21)상의 클램프홀더(23)에 놓여진 웨이퍼(22)의 위치를 검출한다.
상기 플르브헤드(24) 일측면에는 시그널단자(31)를 구비한 소정크기의 마이크로 스위치(29)가 장착되어 상기 에어실린더(26)의 구동에 의해 플르브헤드(24)가 인-아웃(In Out)됨에 따라 상기 디스크(21)의 측면에 마이크로 스위치의 접점(30)이 탈착되도록 하여 외부의 중앙 제어장치에 신호를 출력하므로서 상기 진공펌프의 작동을 제어한다.
따라서, 상기 플르브-인튜브(24)로 부터 인입되는 공기에 의해 에어실린더(26)가 전진구동을 하면, 마이크로 스위치(29)의 접점(30)이 디스크(21) 측면에 접촉되었을때, 플르브헤드(24)가 인(in) 되어 웨이퍼(22)의 위치검출이 이루어지며, 상기 플르브헤드(24)의 인(in) 검출에 따라 시그널단자(31)에 의해 중앙제어부로 신호가 입력되어 진공펌프를 구동시켜 클램프홀더(23)에 얹혀져 있는 웨이퍼(22)를 진공상태로 흡착하게 된다.
그리고, 상기 플르브-아웃튜브(28)로 부터 인입되는 공기에 의해 에어실린더(26)가 후진구동을 하면, 상기 디스크(21) 측면에 접촉되어 있던 마이크로 스위치(30)가 탈점되어 플르브헤드(24)의 아웃검출이 이루어져 웨이퍼의 진공이 멈춰진다.
이때, 상기 디스크의 회전상태가 불량할때에는 계속 인-아웃되는 플르브헤드가 미처 빠져나오지 못하여 그에 장착된 마이크로 스위치의 접점이 파손되는 경우가 자주 발생되므로서 웨이퍼의 위치검출에 따른 진공이 이루어지지 않게되는 문제점을 내포하고 있다.
따라서, 본 고안은 상기의 제반문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 플르브-인튜브로 부터 인입되는 공기의 압력에 의해 압력 스위치가 동작되도록 하므로써 플르브-인을 검출하여 무접점 방식으로 웨이퍼를 진공하도록 하는 압력 스위치를 이용한 웨이퍼 위치검출 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 이온주입공정을 수행하기 위하여 다수의 웨이퍼를 장착하여 운반시키기 위한 운반수단, 상기 운반수단의 일측 소정위치에 위치되며, 그 일측 하단에 플르브-인튜브가 구비되고, 그 타측 상단에는 플르브-인튜브가 구비되어 공기가 인입됨에 따라 구동되는 에어실린더, 상기 에어실린더의 선단측에 장착되며 그의 구동에 따라 상기 운반수단의 측면에 연속적으로 탈착되면서 상기 웨이퍼의 위치검출을 하는 위치검출수단을 구비하여 웨이퍼를 정확히 로딩되도록 하는 웨이퍼 위치검출장치에 있어서, 상기 플르브-인튜브의 소정위치에 장착되며, 그로부터 인입되는 공기의 압력에 의해 온-오프 동작되어 상기 위치검출수단의 인-아웃검출을 외부의 중앙제어부로 출력하는 압력스위칭수단을 제공한다.
이하, 첨부된 제 4 도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.
제 4 도는 본 고안에 의한 압력 스위치를 이용한 웨이퍼 위치검출 장치의 일실시예 구성도를 나타낸다.
도면에서 1은 에어실린더, 2는 플르브-인 튜브, 3은 플르브-아웃 튜브, 4는 플르브헤드, 5는 압력스위치, 6은 시그널 단자를 각각 나타낸 것이다.
도면에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 웨이퍼 위치검출장치는 종래의 마이크로 스위치에 의한 접점방식을 무접점방식으로 한 것으로, 에어실린더(1)에 구비된 플르브-인튜브(2)의 소정위치에 압력스위치(5)를 장착시켜 상기 플르브-인튜브(2)로부터 인입되는 공기의 압력에 의해 온-오프(ON-OFF)되도록 한다.
그리고, 상기 압력스위치(5)에 구비된 각각의 시그널단자(6)는 종래의 마이크로 스위치에 사용되었던 시그널라인에 연결시켜 상기 압력스위치(5)의 온-오프동작에 따라 플르브헤드(4)가 인-아웃되어 웨이퍼의 위치검출되는 신호를 중앙제어부로 전달하도록 한다.
상기와 같이 구성되는 본 고안의 작동상태를 살펴보면, 상기 플르브-인튜브(2)로 공기가 인입되면, 공기의 압력에 의해 압력스위치(5)가 온(ON)됨과 동시에 플르브헤드(4)가 디스크의 측면에 접촉되어 웨이퍼의 위치검출이 이루어지게 된다. 그리고, 상기 플르브헤드(4)에 의해 웨이퍼의 위치검출되면 그 신호가 시그널단자(6)에 의해 중앙제어부로 전달되어 진공펌프를 작동시킨다.
또한, 플르브-아웃튜브(3)로 인입되는 공기에 의해 상기 플르브헤드(4)는 디스크의 측면으로 부터 이탈됨과 동시에 압력스위치(5)가 오프(OFF)되고, 그 신호가 중앙제어부로 전달되어 진공펌프의 작동이 멈춰지게 된다.
상기와 같이 구성되어 작동되는 본 고안은, 마이크로 스위치의 접점에 따른 접촉방식에서 공기의 압력을 이용한 무접촉 위치검출방식으로 디스크의 회전불량에 따른 플르브의 접촉불량을 방지하므로써 플르브의 고장시 작업자 정비로 인한 불순물 발생요인 및 장비불량을 감소시키는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 이온주입공정을 수행하기 위하여 다수의 웨이퍼를 장착하여 운반시키기 위한 운반수단(21), 상기 운반수단(21)의 일측 소정위치에 위치되며 그 일측 하단에 플르브-인튜브(2)가 구비되고, 그 타측 상단에는 플르브-아웃튜브(3)가 구비되어 공기가 인입됨에 따라 구동되는 에어실린더(1), 상기 에어실린더(1)의 선단측에 장착되며 그의 구동에 따라 상기 운반수단(21)의 측면에 연속적으로 탈착되면서 상기 웨이퍼의 위치검출을 하는 위치검출수단(4)을 구비하여 웨이퍼를 정확히 로딩되도록 하는 웨이퍼 위치검출장치에 있어서, 상기 플르브-인튜브(2)의 소정위치에 장착되며, 그로부터 인입되는 공기의 압력에 의해 온-오프 동작되어 상기 위치검출수단(4)의 인-아웃검출을 외부의 중앙제어부로 출력하는 압력스위칭수단(5)을 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 스위치를 이용한 웨이퍼 위치검출장치.
KR2019940005583U 1994-03-18 1994-03-18 압력 스위치를 이용한 웨이퍼 위치검출장치 KR200181171Y1 (ko)

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