JPH04124853A - ウエハ搬送ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェハ搬送ロボットに関し、特に、縦型低圧
ＣＶ　Ｄ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓ
ｉｔｉｏｎ）装置などの半導体製造装置において、ウニ
／％を吸着搬送する構造に適用して有効な技術に関する
。

〔従来の技術〕

従来、この種のウェハ搬送ロボットとしては、たとえば
以下に示すようなものが知られている。

すなわち、このウェハ搬送ロボットは、ロボット本体に
ウェハ吸着搬送アームを上下動および旋回可能に装着し
、このウェハ吸着搬送アームにスライドアームを摺動自
在に装着し、このスライドアームの先端部にウェハ吸着
プレートを装着した構造としたものである。

そして、ウェハ収納カセット内のウェハを吸着搬送する
場合、ウェハ吸着搬送アームに沿ってスライドアームが
ウェハ収納カセット方向に伸び、ウェハ吸着プレートが
ウェハの下側に入り込む。

次に、ウェハ吸着搬送アームが上昇し、ウエノ１吸着プ
レートの吸引口で吸引が行われる。ウェハ吸着プレート
の吸着面がウェハ裏面に接触すると同時にウェハがウェ
ハ吸着プレートに吸着保持される。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、前記したウェハ搬送ロボットの構造では、以下
のような問題があった。

（１）、ウェハ収納カセット自体の変形、あるいはウェ
ハ収納カセット内の石英ボード溝の変形により、吸着プ
レートの吸着面とが平行状態でない場合が多く、このた
め、吸着性能が著しく低下し、吸着ミスが発生しやすい
。

（２）、前記吸着ミスの発生を防止するため、ウェハ吸
着プレートの吸着面の面積を大きくすると、ウェハの裏
面あるいは吸着プレートの吸着面に異物が付着してしま
う。

（３）、ウニ八周辺部を吸着して搬送する場合、吸着ミ
スの可能性が高まる。

〔４〕、ウェハを吸着するために、ウェハ裏面にウェハ
吸着プレートが接触する前に吸引を開始すると、大量の
大気を吸い込んでしまい、このためウエノ＼裏面から発
生が発生する。

（５）、ウェハ搬送ロボットに吸引オフなどのトラブル
を起こすと、ウェハが落下し、割れなどの品質不良が発
生する。

本発明の第１の目的は、吸着性能を向上させて吸着ミス
の発生を防止することのできるウェハ搬送ロボットを提
供することにある。

本発明の第２の目的は、異物の付着や発生を防止するこ
とのできるウェハ搬送ロボットを提供することにある。

本発明の第３の目的は、ウェハの品質を向上させること
のできるウェハ搬送ロボットを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

本発明のウェハ搬送ロボットの構造は、ウェハ吸着搬送
アームに、吸着前にウェハをウェハ吸着プレートの吸着
面と平行に位置出しするウェハ位置出し機構を設けた構
造としたものである。

前記ウェハ位置出し機構は、少なくとも３本の位置出し
ピンがウェハ吸着プレートの吸着面と平行な面上に配置
されてなる構造となっている。

前記ウェハ吸着搬送アームに、前記位置出しピンをウェ
ハ吸着プレートの吸着面と平行に保持しつつ昇降させる
昇降機構を設けたものである。

〔作用〕

ウェハ収納カセット内のウェハを吸着保持する場合、ウ
ェハ吸着搬送アームの上昇とともに、位置出しピンをウ
ェハ吸着プレートの吸着面と平行に保持しつつウェハを
押し上げる。よって、位置出しピンに支えられたウェハ
の裏面とウェハ吸着プレートの吸着面は互いに平行な位
置関係になる。

次いで、ウェハ吸着搬送アームの上昇と同時に、ウェハ
を持ち上げながら位置出しピンを下降させる。

このとき、ウェハ吸着プレートでは、真空吸着を行い、
ウェハの裏面とウェハ吸着プレートの吸着面との面接触
により、ウェハを確実に吸着保持することができる。

したがって、吸着性能を向上させてウェハ吸着ミスの発
生を防止し、前記問題点を除去することができる。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
閂細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔実施例１〕 第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例１であるウェハ
搬送ロボットを示す正面図および側面図である。

実施例１は縦型低圧ＣＶＤ装置のウェハ搬送ロボットに
適用したものである。

すなわち、ロボット本体から水平に延びるウェハ吸着搬
送アーム３の先端部表面側には、円板状のウェハ吸着プ
レート４が配置され、裏面側には、エアシリンダ５がブ
ラケット６を介して配置されている。

この二アンリンダ５のピストンロッド７には、４本の位
置出しピン１が設けられている。これらの位置出しピン
１は前記ウェハ吸着プレート４を中心とする矩形の角部
に配置され、ウェハ吸着搬送アーム３を貫通し、前記エ
アシリンダ５により昇降自在な構造となっている。

位置出しピン１の先端部１ａは先鋭な形状に形成されて
前記ウェハ吸着プレート４の吸着面と平行な面上に位置
するように配置されている。

前記ウェハ吸着プレート４の吸引口８にエア吸引配管９
が接続され、前記エアシリンダ５に２本のエア給排配管
１０が接続されている。

次に、実施例１の作用を説明する。

第２図はウェハ搬送ロボットの動作を示す側面図である
。

ウェハ収納カセット１１内のウェハ１２を吸着搬送する
場合、ウェハ収納カセット１１内のウェハ１２下側にウ
ェハ吸着搬送アーム３が入り込むと、ウェハ吸着搬送ア
ーム３が上昇し、ストローク上昇端に位置する位置出し
ピン１でウェハ１２を持ち上げる。

その結果、ウェハ１２の裏面とウェハ吸着プレート４の
吸着面とは平行状態となる。

次に、位置出しピン１のみが下降しミ吸引口８からエア
が吸引され、真空吸着が行われる。位置出しピン１の先
端部１ａがウェハ吸着プレート４の吸着面と同じか、そ
れ以下になったとき、ウェハ１２の吸着保持が完了する
。

このように、位置出しピン１により、吸着前にウェハ１
２をウェハ吸着プレート４の吸着面と平行に位置出しで
きるので、吸着性能を向上させることができる。

したがって、ウェハ１２を容易かつ確実に吸着保持でき
、ウェハ吸着ミスの発生を防止することができる。

また、ウェハ吸着プレート４の吸着面の面積を減少させ
ることができるので、ウェハ１２の裏面の汚染や介層を
防止することができる。

さらに、ウェハ１２の裏面にウェハ吸着プレート４が接
触したと同時に吸引を開始させることができるので、エ
ア吸い込みによるウェハ１２の裏面からの発塵を防止す
ることができる。

またさらに、ウェハ１２の吸着保持を完了した後にウェ
ハ１２を所定の場所に搬送する際、ウェハ搬送ロボット
に吸引オフ等のトラブルが起きても、位置出しピン１が
ウェハ吸着プレート４の吸着面と同一か、あるいは僅か
だけ下側に配置されているので、ウェハ１２が落下する
ようなことがない。したがって、割れなどの品質不良を
なくし、品質を向上させることができる。

〔実施例２〕 第３図（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例２であるウェハ
搬送ロボットを示す正面図および側面図である。

実施例２のウェハ搬送ロボットは、前記実施例１のもの
とほぼ同様の構造を有するが、実施例１の位置出しピン
に代えて、昇降可能な位置出しリング１３を設けた点で
異なる。

すなわち、位置出しリング１３は、ウェハ吸着プレート
４を中心とする矩形の形状をなし、ウェハ吸着プレート
４の吸着面と平行な面上に位置するように配置されてい
る。

この実施例２の作用については、前記実施例１とほぼ同
様であるので、その説明を省略する。

〔実施例３〕 第４図は本発明の実施例３であるウェハ搬送ロボットを
示す側面図である。

実施例３のウェハ搬送ロボットは、前記実施例１のもの
とほぼ同様の構造を有するが、右側の位置出しピン１寄
りにウェハ吸着プレート４を偏位させて配置した構造と
した点で異なる。

この実施例３の作用は、前記実施例１とほぼ同様である
が、右側の位置出しピン１寄りにウェハ吸着プレート４
を偏位させて配置した構造としたので、ウェハ１２０周
辺部を容易かつ確実に吸着保持でき、ウェハ吸着ミスの
発生を防止することができる。

なお、ウェハ吸着プレート４または位置出しピン１をウ
ェハ吸着搬送アーム３上をスライドできる構造とすれば
、ウェハ吸着個所を自在に変更することができる。

〔実施例４〕 第５図は本発明の実施例４であるウェハ搬送口ポットを
示す側面図である。

実施例４のウェハ搬送ロボットは、裏面に反り等のない
平らなウェハの吸着搬送に適用したもので、前記実施例
１のものとほぼ同様の構造を有するが、位置出しピン１
を固定し、その先端部１ａをウェハ吸着プレート４の吸
着面と同一面上に配置した点で異なる。

この実施例４のウェハ搬送ロボットによれば、前記実施
例１の作用効果に加えて、構造の簡易化を図ることがで
きる。

以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき
具体的に！！すしたが、本発明は前記実施例に限定され
るものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。

たとえば、前記実施例１，２．３では、矩形形状を有す
る位置出しリングあるいは矩形状に配置した位置出しピ
ンで説明したが、これに限らず、位置出しリングを円形
の形状に形成し、あるいは位置出しピンを円形状に配置
することができる。

また、前記実施例４では、位置出しピンを固定した場合
について説明したが、これに限らず、位置出しピンに代
えて、位置出しリングを固定することができる。

また、位置出しピンの数も４本に限らず、３本、あるい
は５本以上とすることもできる。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である縦型低圧ＣＶＤ装置
のウェハ搬送ロボットに適用したが、これに限らず、縦
型拡散炉のウェハ搬送ロボットについても広く適用でき
る。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりで
ある。

（１〕、ウェハ吸着搬送アームに、吸着前にウェハをウ
ェハ吸着プレートの吸着面と平行に位置出しするウェハ
位置出し機構を設けた構造としたので、吸着性能を向上
させることができる。したがって、ウェハを容易かつ確
実に吸着保持でき、ウェハ吸着ミスの発生を防止するこ
とができる。

（２）、前記（１）により、ウェハを確実に吸着保持で
きるので、ウェハ周辺部に対応した位置にウェハ吸着プ
レートを配置すれば、ウェハの周辺部を容易かつ確実に
吸着保持でき、ウェハ吸着ミスの発生を防止することが
できる。

（３）、前記（１）により、ウェハ吸着プレートの吸着
面の面積を減少させることができるので、ウェハ裏面の
汚染や発塵を防止することができる。

（４）６前記（１）により、ウェハの裏面にウェハ吸着
プレートが接触したと同時に吸引を開始させることがで
きるので、エア吸い込みによるウェハ裏面からの発塵を
防止することができる。

（５）、ウェハ吸着保持を完了した後にウェハを所定の
場所に搬送する際、ウェハ搬送ロボットに吸弓オフ等の
トラブルが起きても、位置出しピンがウェハ吸着プレー
トの吸着面と同一か、あるいは僅かだけ下側に配置され
ているので、ウェハが落下するようなことがない。した
がって、割れなどの品質不良をなくし、品質を向上させ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、　（ｂ）は本発明の実施例１であるウェ
ハ搬送ロボットを示す正面図および側面図、第２図はウ
ェハ搬送ロボットの動作を示す側面図、 第３図（ａ）、（ｂ）は本発明の実施例２であるウェハ
搬送ロボットを示す正面図および側面図、第４図は本発
明の実施例３であるウェハ搬送ロボットを示す側面図、 第５図は本発明の実施例４であるウェハ搬送ロボットを
示す側面図ある。 １・・・位置出しピン、１ａ・・・先端部、３・・・ウ
ェハ吸着搬送アーム、４・・・ウェハ吸着プレート、５
・・・エアシリンダ、６・・・ブラケット、７・・・ピ
ストンロッド、８・・・吸引口、９・・・エア吸引配管
、１０・・・エア給排配管、１１・・・ウェハ収納カセ
ット、１２・第 図 （ａ） （ｂ） ５：エアシリンダ 第 図 第 図 （ａ） （ｂ） 第４ 図 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェハ吸着搬送アームに、吸着前にウェハをウェハ
   吸着プレートの吸着面と平行に位置出しするウェハ位置
   出し機構を設けたことを特徴とするウェハ搬送ロボット
   。 ２、前記ウェハ位置出し機構は、少なくとも３本の位置
   出しピンが吸着プレートの吸着面と平行な面上に配置さ
   れてなることを特徴とする請求項１記載のウェハ搬送ロ
   ボット。 ３、前記ウェハ位置出し機構は、吸着プレートの吸着面
   と平行な位置出しリングからなることを特徴とする請求
   項１記載のウェハ搬送ロボット。 ４、前記ウェハ吸着搬送アームに、前記位置出しピンま
   たは位置出しリングを吸着プレートの吸着面と平行に保
   持しつつ昇降させる昇降機構を設けたことを特徴とする
   請求項１〜３記載のウェハ搬送ロボット。