JP2010240806A - ロボットハンド及び移送ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハンド本体7に基板Wの裏面当接可能な複数の当接ピン13が設けられ、ハンド本体7における各当接ピン13の周縁部に基板Wの裏面側の空気を吸い込み可能な吸込孔21が形成され、各吸込孔21が空気を吸い込む送風器19に接続されていること。
【選択図】 図1
Description
1 ロボットハンド
3 移送ロボット
5 ロボットアーム
7 ハンド本体
9 リスト部
11 フォーク
13 当接ピン
15 チャンバー
17 取付口
19 送風器
21 吸込孔
Claims (4)
- 基板の裏面又は表面を保持するロボットハンドにおいて、
ハンド本体と、
前記ハンド本体に設けられ、基板の裏面又は表面に当接可能な複数の当接ピンと、を備え、
前記ハンド本体における各当接ピンの周縁部に基板の裏面側又は表面側の空気を吸い込み可能な吸込孔が形成され、各吸込孔が空気を吸い込む吸込器に接続されていることを特徴とするロボットハンド。 - 前記ハンド本体の内部に空気を収容するチャンバーが形成され、各吸込孔が前記チャンバーに連通され、各吸込孔が前記チャンバーを介して前記吸込器に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のロボットハンド。
- 前記吸込器が送風器であって、前記送風器の個数が前記当接ピンと同数であって、前記送風器が前記ハンド本体における各当接ピンに対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のロボットハンド。
- 基板を移送する際に用いられる移送ロボットにおいて、
請求項1から請求項3のうちのいずれかの請求項に記載のロボットハンドを備えたことを特徴とする移送ロボット。
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- 2009-04-09 JP JP2009094879A patent/JP5347667B2/ja active Active
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