JP2003231080A - 板状材のチャックおよび吸引盤 - Google Patents
板状材のチャックおよび吸引盤Info
- Publication number
- JP2003231080A JP2003231080A JP2002071018A JP2002071018A JP2003231080A JP 2003231080 A JP2003231080 A JP 2003231080A JP 2002071018 A JP2002071018 A JP 2002071018A JP 2002071018 A JP2002071018 A JP 2002071018A JP 2003231080 A JP2003231080 A JP 2003231080A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- suction
- shaped material
- chuck
- annular portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空を利用して板状材を把持するとき、板状
材にゴミの付着が少ないチャックを得る。 【解決手段】 板状材Ｗを数個の支持ピン２で支え、支
持ピン２より僅かに低く、板状材Ｗに接触しない吸引面
Ｓを持つ吸引盤３が、板状材Ｗを真空吸引し支持ピン２
上に把持する。
材にゴミの付着が少ないチャックを得る。 【解決手段】 板状材Ｗを数個の支持ピン２で支え、支
持ピン２より僅かに低く、板状材Ｗに接触しない吸引面
Ｓを持つ吸引盤３が、板状材Ｗを真空吸引し支持ピン２
上に把持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体等の製造に用
いられる、ウエハーなどの板状材の把持、並びに、移載
に用いるチャックに関する。
いられる、ウエハーなどの板状材の把持、並びに、移載
に用いるチャックに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来用いられている板状材の把持、並び
に、移載に用いるチャックは、板状材の落下を防ぐた
め、真空を利用して、板状材に直接接触して、板状材を
吸着把持する。例えば、特公昭６２−７０１４１、特公
昭６１−１５６７４９などのごとくチャックは板状材に
直接接触して吸着し、板状材を移載している。
に、移載に用いるチャックは、板状材の落下を防ぐた
め、真空を利用して、板状材に直接接触して、板状材を
吸着把持する。例えば、特公昭６２−７０１４１、特公
昭６１−１５６７４９などのごとくチャックは板状材に
直接接触して吸着し、板状材を移載している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来板状材に使用され
ている真空を用いたチャックは板状材に直接接触して吸
着するため、板状材とチャックの間にゴミが発生し、多
数のゴミが板状材の吸着跡に付着する。例えば半導体の
製造においては、薄い円盤状のウエハーは、しばしばチ
ャックに把持されて移し変えが行われ、その都度多数の
ゴミがウエハーの吸着跡に付着する。これらのゴミは後
続工程の障害となり、製品歩留まりを著しく低下させる
原因になった。
ている真空を用いたチャックは板状材に直接接触して吸
着するため、板状材とチャックの間にゴミが発生し、多
数のゴミが板状材の吸着跡に付着する。例えば半導体の
製造においては、薄い円盤状のウエハーは、しばしばチ
ャックに把持されて移し変えが行われ、その都度多数の
ゴミがウエハーの吸着跡に付着する。これらのゴミは後
続工程の障害となり、製品歩留まりを著しく低下させる
原因になった。
【０００４】本発明は真空を使用して板状材を把持、並
びに、把持移載するチャックにおいて、板状材にゴミの
付着が少ないチャックを提供することを目的としてい
る。
びに、把持移載するチャックにおいて、板状材にゴミの
付着が少ないチャックを提供することを目的としてい
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のチャックの把持腕には、板状材に接触しな
いで板状材を吸引する単数又は複数の吸引盤が取り付け
られ、また、板状材を支持する複数の支持ピンが直接、
又は、吸引盤を介して取付けられている。
め、本発明のチャックの把持腕には、板状材に接触しな
いで板状材を吸引する単数又は複数の吸引盤が取り付け
られ、また、板状材を支持する複数の支持ピンが直接、
又は、吸引盤を介して取付けられている。
【０００６】上記吸引盤には環状部があり、環状部は内
部を囲った連続した摩擦平面で、板状材と薄い隙間を保
持して対向している。吸引盤の中心部は真空源に連なる
連結孔に結ばれている。中心部は環状部の摩擦平面の流
体摩擦によるシール効果で真空になり、吸引盤は板状材
を吸引して、支持ピン上に固定する。吸引盤の上面は支
持ピン上面より僅かに低いので、吸引盤と板状材との間
に隙間ができ両者は接触しない。支持ピンは把持腕、吸
引盤の環状部の内部、吸引盤の環状部の外部、吸引盤の
環状部上のいずれか、又はそれらを組合せた場所に配置
する。吸引盤と板状材は接触せず、従って吸引盤の吸引
によるゴミが発生せず、ゴミが板状材の吸引跡に付着す
ることがない。
部を囲った連続した摩擦平面で、板状材と薄い隙間を保
持して対向している。吸引盤の中心部は真空源に連なる
連結孔に結ばれている。中心部は環状部の摩擦平面の流
体摩擦によるシール効果で真空になり、吸引盤は板状材
を吸引して、支持ピン上に固定する。吸引盤の上面は支
持ピン上面より僅かに低いので、吸引盤と板状材との間
に隙間ができ両者は接触しない。支持ピンは把持腕、吸
引盤の環状部の内部、吸引盤の環状部の外部、吸引盤の
環状部上のいずれか、又はそれらを組合せた場所に配置
する。吸引盤と板状材は接触せず、従って吸引盤の吸引
によるゴミが発生せず、ゴミが板状材の吸引跡に付着す
ることがない。
【０００７】吸引盤と板状材の間の隙間から、常に大気
が吸引盤内に進入する。しかし、吸引盤内部は真空源に
連結して真空引きされいるので、環状部の摩擦平面の流
体摩擦抵抗で吸引盤内部は真空状態が保たれ、吸引盤の
吸引力は維持される。板状材は支持ピンで支持され、そ
の部分には板状材にゴミが付着する事がある。しかし、
支持ピン以外でゴミの付着することはほとんどない。
が吸引盤内に進入する。しかし、吸引盤内部は真空源に
連結して真空引きされいるので、環状部の摩擦平面の流
体摩擦抵抗で吸引盤内部は真空状態が保たれ、吸引盤の
吸引力は維持される。板状材は支持ピンで支持され、そ
の部分には板状材にゴミが付着する事がある。しかし、
支持ピン以外でゴミの付着することはほとんどない。
【０００８】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を実施例にもと
ずき図面を参照して説明する。図１〜図３に第１実施例
を示す。図１〜図３において、チャックは板状材を移載
する把持腕１、把持腕１に取り付けられた吸引盤３、お
よび、複数の支持ピン２を備えている。把持腕１には真
空源Ｖにつながる連結孔５があり、吸引盤３の内部につ
ながって真空引きする。吸引盤３には環状部４があり、
環状部４には内部を囲った連続した摩擦平面がある。吸
引盤３の中心部はこの摩擦平面のシール効果で真空にな
り、吸引盤３は板状材を吸引して、支持ピン２上に固定
する。支持ピン２は把持腕、吸引盤３の環状部４の内
部、環状部４の外部、環状部４上のいずれか、又は、そ
れらを組合せた場所に配置する。さらに、この連結孔５
は吸引盤３の連通孔７を経て吸引盤３の上部の、吸引盤
３と板状材の間隙に通じている。
ずき図面を参照して説明する。図１〜図３に第１実施例
を示す。図１〜図３において、チャックは板状材を移載
する把持腕１、把持腕１に取り付けられた吸引盤３、お
よび、複数の支持ピン２を備えている。把持腕１には真
空源Ｖにつながる連結孔５があり、吸引盤３の内部につ
ながって真空引きする。吸引盤３には環状部４があり、
環状部４には内部を囲った連続した摩擦平面がある。吸
引盤３の中心部はこの摩擦平面のシール効果で真空にな
り、吸引盤３は板状材を吸引して、支持ピン２上に固定
する。支持ピン２は把持腕、吸引盤３の環状部４の内
部、環状部４の外部、環状部４上のいずれか、又は、そ
れらを組合せた場所に配置する。さらに、この連結孔５
は吸引盤３の連通孔７を経て吸引盤３の上部の、吸引盤
３と板状材の間隙に通じている。
【０００９】チャックが、板状材の下面に挿入され、吸
引盤３が真空引きされていて上方に移動し、板状材が支
持ピン２に接触すると、板状材は吸引盤３に吸引され支
持ピン２に把持される。また板状材がチャックの上に置
かれても、同様に、板状材は吸引盤３に吸引され支持ピ
ン２に把持される。吸引盤３の上面は支持ピン２の上面
より僅かに低いので、吸引盤３と板状材の間には微少な
隙間を生ずる。従って、吸引盤３と板状材は不接触で、
板状材には吸引盤３の吸引跡にゴミの発生や付着がな
い。板状材は吸引盤３の吸引力で発生した、板状材と支
持ピン２の間の摩擦力で移動することができる。
引盤３が真空引きされていて上方に移動し、板状材が支
持ピン２に接触すると、板状材は吸引盤３に吸引され支
持ピン２に把持される。また板状材がチャックの上に置
かれても、同様に、板状材は吸引盤３に吸引され支持ピ
ン２に把持される。吸引盤３の上面は支持ピン２の上面
より僅かに低いので、吸引盤３と板状材の間には微少な
隙間を生ずる。従って、吸引盤３と板状材は不接触で、
板状材には吸引盤３の吸引跡にゴミの発生や付着がな
い。板状材は吸引盤３の吸引力で発生した、板状材と支
持ピン２の間の摩擦力で移動することができる。
【００１０】図４〜図６に第２実施例を示す。図４〜図
６においては、チャックは板状材を移載する把持腕１
１、把持腕１１に取り付けられ２個の吸引盤３、およ
び、吸引盤３に取付けられた、複数の支持ピン２を備え
ている。その他構造機能は第１実施例に準ずる。
６においては、チャックは板状材を移載する把持腕１
１、把持腕１１に取り付けられ２個の吸引盤３、およ
び、吸引盤３に取付けられた、複数の支持ピン２を備え
ている。その他構造機能は第１実施例に準ずる。
【００１１】図７〜図８に第３実施例を示す。図７〜図
８においては、チャックは板状材を回転する把持腕６、
把持腕６に取り付けられ２個の吸引盤３、および、吸引
盤３に取り付けられた複数の支持ピン２を備えている。
把持腕６は中空軸８に取り付けられ、動力が伝えられる
と共に、把持腕６の連結孔５から、中空軸８の中心の連
結孔２５を経て、真空源Ｖに連結され真空引きされる。
板状材は支持ピン２上に把持され、回転したり加工され
たりする。その他構造機能は第１実施例に準ずる。
８においては、チャックは板状材を回転する把持腕６、
把持腕６に取り付けられ２個の吸引盤３、および、吸引
盤３に取り付けられた複数の支持ピン２を備えている。
把持腕６は中空軸８に取り付けられ、動力が伝えられる
と共に、把持腕６の連結孔５から、中空軸８の中心の連
結孔２５を経て、真空源Ｖに連結され真空引きされる。
板状材は支持ピン２上に把持され、回転したり加工され
たりする。その他構造機能は第１実施例に準ずる。
【００１２】図１０は板状材Ｗと吸引盤３の吸着面Ｓ
が、ある隙間ｈを挟んで置かれている状態を示す。図９
はその平面図である。吸引盤３は真空源Ｖに連結してい
る管１５により中心の連結孔７を経て、板状材Ｗと吸引
盤３の吸着面Ｓの隙間の空気を吸い出し、吸引盤３の外
周からの大気の侵入にもかかわらず、隙間ｈは真空を保
ち、板状材Ｗは吸引盤３に吸引される。吸引盤３の環状
部４は吸引面Ｓの内部を囲った摩擦平面をなしている。
吸引盤３の吸着面Ｓは板状材Ｗと微少な隙間ｈを隔てて
対向している。吸着状態で大気は吸引盤３の中心部に侵
入するが、摩擦平面が空気の通過方向に長いほど、侵入
空気量を減少することができる。すなわち、侵入外気
は、吸引盤の環状部４に入り摩擦平面と板状材Ｗとの摩
擦により、空気の運動エネルギーは熱となり、中心部に
進むに従って、急速に圧力を減じ、隙間を通過する空気
量を減少することができる。
が、ある隙間ｈを挟んで置かれている状態を示す。図９
はその平面図である。吸引盤３は真空源Ｖに連結してい
る管１５により中心の連結孔７を経て、板状材Ｗと吸引
盤３の吸着面Ｓの隙間の空気を吸い出し、吸引盤３の外
周からの大気の侵入にもかかわらず、隙間ｈは真空を保
ち、板状材Ｗは吸引盤３に吸引される。吸引盤３の環状
部４は吸引面Ｓの内部を囲った摩擦平面をなしている。
吸引盤３の吸着面Ｓは板状材Ｗと微少な隙間ｈを隔てて
対向している。吸着状態で大気は吸引盤３の中心部に侵
入するが、摩擦平面が空気の通過方向に長いほど、侵入
空気量を減少することができる。すなわち、侵入外気
は、吸引盤の環状部４に入り摩擦平面と板状材Ｗとの摩
擦により、空気の運動エネルギーは熱となり、中心部に
進むに従って、急速に圧力を減じ、隙間を通過する空気
量を減少することができる。
【００１３】図１１〜図１２は一体成形された吸引盤３
を示す。吸引盤３は中心の連結孔１７を経て真空源Ｖに
連結している。吸引盤３は吸引面Ｓに内部を囲った、摩
擦平面を持った環状部４を配している。複数の支持ピン
１２は、環状部４の内部、環状部４の外部、環状部４上
のいずれか、又は、それらを組合せた場所に配置する。
この例ではピン１２は環状部４の外側に配置して一体成
形されている。
を示す。吸引盤３は中心の連結孔１７を経て真空源Ｖに
連結している。吸引盤３は吸引面Ｓに内部を囲った、摩
擦平面を持った環状部４を配している。複数の支持ピン
１２は、環状部４の内部、環状部４の外部、環状部４上
のいずれか、又は、それらを組合せた場所に配置する。
この例ではピン１２は環状部４の外側に配置して一体成
形されている。
【００１４】以上実施例について説明したが、本発明は
これらに制限されるものではない。たとえば、種々の変
更、改良、組合わせ等が可能なことは当業者に自明であ
ろう。
これらに制限されるものではない。たとえば、種々の変
更、改良、組合わせ等が可能なことは当業者に自明であ
ろう。
【００１５】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載されるような効果を奏する。
いるので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００１６】チャックの吸引盤は板状材に接触すること
なく、板状材を吸引して把持、又は把持移載するので、
板状材に付着するゴミを著しく減少できる。測定の結
果、チャックがウエハーを把持した跡に、吸引盤１個当
たり、ウエハーに付着するゴミの数は０．２ミクロン以
上で平均約４個であった。この値は従来の真空チャック
が５００個から数千個のゴミを残しているのに比較して
激減しており、本発明のチャックが著しい効果があるこ
とがわかった。
なく、板状材を吸引して把持、又は把持移載するので、
板状材に付着するゴミを著しく減少できる。測定の結
果、チャックがウエハーを把持した跡に、吸引盤１個当
たり、ウエハーに付着するゴミの数は０．２ミクロン以
上で平均約４個であった。この値は従来の真空チャック
が５００個から数千個のゴミを残しているのに比較して
激減しており、本発明のチャックが著しい効果があるこ
とがわかった。
【００１７】また、吸引盤は内部を囲む摩擦平面がある
ので、吸引盤内部の真空を維持するための真空源の容量
を小さくして、板状材を吸引把持することができる。
ので、吸引盤内部の真空を維持するための真空源の容量
を小さくして、板状材を吸引把持することができる。
【００１８】さらに、チャックと板状材との相対位置は
多様に選ぶことができる。例えば、チャックを上下反転
して使用すれば、板状材を下側からばかりでなく、上面
から支持ピンで支持して、吸引把持して移動することが
できる。また、チャックは板状材を把持するピンセット
にも使用することができる。しかも、板状材の吸引盤の
吸引跡にゴミが付着しないチャックを作ることができ
る。
多様に選ぶことができる。例えば、チャックを上下反転
して使用すれば、板状材を下側からばかりでなく、上面
から支持ピンで支持して、吸引把持して移動することが
できる。また、チャックは板状材を把持するピンセット
にも使用することができる。しかも、板状材の吸引盤の
吸引跡にゴミが付着しないチャックを作ることができ
る。
【図１】本発明にかかる第１実施例のチャックの平面図
である。
である。
【図２】図１のＡ−Ａ線立面断面図である。
【図３】図２の吸引盤付近の詳細断面図である。
【図４】第２実施例のチャックの平面図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線立面断面図である。
【図６】図５の吸引盤３付近の詳細断面図である。
【図７】第３実施例のチャックの平面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ線立面断面図である。
【図９】吸引盤の平面図である。
【図１０】図９のＤ−Ｄ線立面断面図である
【図１１】吸引盤の平面図である。
【図１２】図１１のＥ−Ｅ線立面断面図である。
１、６、１１ 把持腕
２、１２ 支持ピン
３、１３ 吸引盤
４ 吸引盤の環状部
５、７、１７、２５ 連結孔
８ 中空軸
１５ 管
Ｗ 板状材
Ｓ 吸引盤の吸着面
ｈ 隙間の寸法
Ｖ 真空源
Claims (5)
- 【請求項１】 把持腕（１、６、１１）に取り付けた、
板状材（Ｗ）に不接触な単数または複数の吸引盤（３、
１３）に真空源（Ｖ）を連結し、把持腕（１、６、１
１）に直接、又は、吸引盤（３、１３）を介して取り付
けた複数のピン（２、１２）上に、板状材（Ｗ）を吸引
把持することを特徴とする板状材のチャック。 - 【請求項２】 板状材（Ｗ）を複数の支持ピン（２、１
２）で支持し、板状材（Ｗ）に不接触な単数または複数
の吸引盤（３、１３）を真空源（Ｖ）に連結して、板状
材（Ｗ）と吸引盤（３、１３）の間に発生した真空によ
って板状材（Ｗ）を吸引把持して移載することを特徴と
する請求項１記載の板状材のチャック。 - 【請求項３】 吸引面（Ｓ）に内部を囲った摩擦平面を
持った環状部（４）を配し、環状部（４）の内側に真空
源（Ｖ）に通ずる連結孔（７）を設け、板状材（Ｗ）と
吸引面（Ｓ）の間に隙間を設けて使用する吸引盤。 - 【請求項４】 吸引面（Ｓ）に内部を囲った摩擦平面を
持った環状部（４）を配し、支持ピン（２）を組み付
け、環状部（４）の内側に真空源（Ｖ）に通ずる連結孔
（７）を設け、板状材（Ｗ）と吸引面（Ｓ）の間に隙間
を設けて使用する請求項３記載の吸引盤。 - 【請求項５】 吸引面（Ｓ）に内部を囲った摩擦平面を
持った環状部（４）を配し、支持ピン（１２）と一体に
成形し、環状部（４）の内側に真空源（Ｖ）に通ずる連
結孔（１７）を設け、板状材（Ｗ）と吸引面（Ｓ）の間
に隙間を設けて使用する請求項３記載の吸引盤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002071018A JP2003231080A (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 板状材のチャックおよび吸引盤 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002071018A JP2003231080A (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 板状材のチャックおよび吸引盤 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003231080A true JP2003231080A (ja) | 2003-08-19 |
Family
ID=27785041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002071018A Pending JP2003231080A (ja) | 2002-02-08 | 2002-02-08 | 板状材のチャックおよび吸引盤 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003231080A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010240806A (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-28 | Ihi Corp | ロボットハンド及び移送ロボット |
-
2002
- 2002-02-08 JP JP2002071018A patent/JP2003231080A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010240806A (ja) * | 2009-04-09 | 2010-10-28 | Ihi Corp | ロボットハンド及び移送ロボット |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4040254B2 (ja) | 吸引装置 | |
| KR20180056788A (ko) | 기판의 능동적/수동적 본딩 및 디-본딩을 위한 기판 캐리어 | |
| US20040179932A1 (en) | Robotic hand with multi-wafer end effector | |
| JP2004140227A (ja) | 半導体ウエーハ保護ユニット及び半導体ウエーハ処理方法 | |
| JP2003231080A (ja) | 板状材のチャックおよび吸引盤 | |
| JP5157460B2 (ja) | エンドエフェクタ及びそれを備えた搬送装置 | |
| JP5329916B2 (ja) | 半導体ウエハの支持具 | |
| CN114975208B (zh) | 一种晶圆取放方法及减薄机 | |
| JP2001054888A (ja) | 板状材のチヤックおよび吸引盤 | |
| JPH0766092A (ja) | 半導体ウエーハの接着方法および接着治具 | |
| CN214643745U (zh) | 真空吸附式环形末端夹持器 | |
| JP5202028B2 (ja) | 真空ピンセットおよびこれを用いた基板搬送装置ならびに基板処理装置 | |
| JPH11163102A (ja) | 半導体製造装置用サセプタ | |
| JP2005050855A (ja) | 吸着搬送装置 | |
| CN112606031A (zh) | 真空吸附式环形末端夹持器 | |
| CN210925978U (zh) | 托盘、用于传送基片的机器人以及半导体工艺机台 | |
| CN211662068U (zh) | 用于大气机械手的机械手指 | |
| CN218602378U (zh) | 用于晶圆转运的机械手臂 | |
| JP2002043353A (ja) | Ｂｇａ素子用吸着器具及び吸着方法 | |
| JP2010067783A (ja) | 半導体ウェーハ吸着保持具及び半導体ウェーハ裏面研削装置 | |
| US20040145199A1 (en) | Apparatus, system, and method for gripping and holding disk-shaped objects | |
| KR20190001227A (ko) | 반도체 웨이퍼의 정밀이송을 위한 경량 진공척 | |
| JP5105971B2 (ja) | 真空ピンセットおよびこれを用いた基板搬送装置ならびに基板処理装置 | |
| KR20070033798A (ko) | 웨이퍼 이송 로봇의 암 블레이드 | |
| CN114300397A (zh) | 用于传送晶圆的机械手臂和传送装置 |