JP2010067783A - 半導体ウェーハ吸着保持具及び半導体ウェーハ裏面研削装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、吸気孔から容易に除去することができない脱落粒子や不要物が吸気孔から出てこないようにして、ウェーハ割れなどを防止することができる半導体ウェーハ吸着保持具及び半導体ウェーハ裏面研削装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを吸着する吸着体を備え、該吸着体は多孔質のセラミックス焼結体であり、前記吸着体80の吸気孔90内面が粒子の脱落を防止する脱落防止剤95で被覆されている。
【選択図】図4
【解決手段】半導体ウェーハを吸着する吸着体を備え、該吸着体は多孔質のセラミックス焼結体であり、前記吸着体80の吸気孔90内面が粒子の脱落を防止する脱落防止剤95で被覆されている。
【選択図】図4
Description
本発明は、半導体ウェーハを吸着保持する半導体ウェーハ吸着保持具及び半導体ウェーハ裏面研削装置に関する。
半導体ウェーハは、薄片化が急激に進み、紙のように薄いウェーハも存在している。ウェーハの薄片化に伴なう加工精度や測定精度を高める要請から、半導体ウェーハの吸着保持も部分吸着方式から全面吸着方式へと移行してきている。部分吸着方式は、テーブルの吸着面に多数の小孔や環状の溝を設け、小孔又は溝から吸引して半導体ウェーハを吸着する方式である。他方、全面吸着方式は、テーブルを多孔質セラミックス等の通気性部材から形成して、数μm〜数10μmの非常に小さい吸引孔から吸引して半導体ウェーハを密着性良く吸着する方式である。
全面吸着方式を採る吸着保持具として、いわゆるチャックテーブルと吸着パッドがある。チャックテーブルの従来の一例として、特許文献1で開示されているものが知られている。特許文献1の段落番号[0025]には、「真空吸着テーブルは、円板状に形成したベース21の上面に円形凹部22を設け、この円形凹部22内を同心円状の薄い環状壁23、24で区画し、円形凹部22と環状壁23、24の内側でオリフラ部25、26、27、28の位置を薄い仕切り壁29、30、31、32で区画し、上記円形凹部22内の環状壁23、24及び仕切り壁29、30、31、32で区画されたそれぞれの部屋33、34、35、36、37、38、39に、区画された部屋33〜39の形状に適合する通気性部材40〜46が、それぞれの上面とベース21の上面が同一平面になるよう組み込まれている。この通気性部材40〜46としては、多孔質セラミックス等を使用する」と記載されている。
また、吸着パッドの従来の一例として、特許文献2で開示されているものが知られている。特許文献2の段落番号[0016]には、「・・・吸着パッド1は、板状物を吸引保持する吸引部7と、吸引部7を囲繞して支持する枠体8とから構成される。吸引部7は、通気性のある多孔質の部材、例えばアルミナポーラスセラミックスにより形成される。また、枠体8も同様の部材、例えばアルミナポーラスセラミックスにより形成される」と記載されている。
全面吸着方式のチャックテーブルや吸着パッドは、テーブル本体やパッド本体が多孔質のセラミックスであるため、内部粒子間の結合力が緻密体のセラミックスに比べて相対的に弱く、脱落している粒子が内部に存在することがある。そして、ウェーハ吸着時にエアブロー(空吹き)などを行った際に、脱落粒子が吸着面上に現れることがあった。脱落粒子は大きいもので数10μmのサイズのものがあり、薄い半導体ウェーハを吸着する際や、半導体ウェーハを薄く裏面研削する際にウェーハ割れを生じたり、加工精度を低下させたりする心配があった。
また、テーブルや吸着パッドは、その製造工程において、セラミックス圧粉体の焼結後に吸着面が研削加工及び研磨加工されるため、多孔質の吸気孔内に研削屑などが入ることがある。そして、研削屑は脱落粒子と同様に、吸着面上に出てくることがあった。
脱落粒子や研削屑以外にも、サイズの小さいゴミなどの不要物が多孔質の吸気孔内に侵入して、脱落粒子や研削屑と同様の問題を生じるおそれがあった。テーブルや吸着パッドは、予めエアブローなどにより吸気孔内の不要物を除去しているが、完全には不要物が除去されず、吸気孔に残留している不要物があるためである。
本発明は、吸気孔から容易に除去することができない脱落粒子や不要物が吸気孔から出てこないようにして、ウェーハ割れや加工精度の低下を防止することができる半導体ウェーハ吸着保持具及び半導体ウェーハ裏面研削装置を提供する。
本発明の一態様は、半導体ウェーハを吸着する吸着体を備え、該吸着体は多孔質のセラミックス焼結体であり、前記吸着体の吸気孔内面が粒子の脱落を防止する脱落防止剤で被覆されている半導体ウェーハ吸着保持具を提供する。
また、本発明は、請求項1に記載の半導体ウェーハ吸着保持具において、前記脱落防止剤がポリマーである。
また、本発明の他の態様は、半導体ウェーハの表面側を吸着する半導体ウェーハ吸着保持具を備え、該半導体ウェーハ吸着保持具により前記半導体ウェーハが保持された状態で、該半導体ウェーハの裏面側を研削する半導体ウェーハ裏面研削装置において、前記半導体ウェーハ吸着保持具が、前記半導体ウェーハを吸着する吸着体であって、該吸着体は多孔質の内部構造を有するセラミックス焼結体であり、前記吸着体の吸気孔内面が粒子の脱落を防止する脱落防止剤で被覆されている、半導体ウェーハ裏面研削装置を提供する。
以上の如く、本発明によれば、吸着体の吸気孔内面が粒子の脱落を防止する脱落防止剤で被覆されているから、吸気孔から容易に除去することができない脱落粒子や不要物が吸気孔から外に出てこないようにすることができる。これにより、特に、薄く、強度が低い半導体ウェーハの割れなどの損傷や、加工精度の低下を防止することができる。したがって、半導体ウェーハ生産ラインの歩留りを減らして、ラインの稼働率を高めることができると共に、半導体ウェーハの製造品質の信頼性を高めることができる。
以下、添付図面に従って本発明に係る半導体ウェーハ吸着保持具及び半導体ウェーハ裏面研削装置(以下「裏面研削装置」という)の好ましい実施形態について説明する。本実施形態の裏面研削装置は、半導体ウェーハ吸着保持具の適用例として説明されている。なお、本発明に係る半導体ウェーハ吸着保持具は、裏面研削装置に限られず、フレームマウント装置、保護フィルム剥離装置などの吸着パッドやチャックテーブルとして適用することもできる。
図1には、半導体ウェーハ吸着保持具としての吸着パッドを備えた裏面研削装置の代表的形態が示されている。図示する裏面研削装置10は、カセット収納ステージ14、アライメントステージ16、粗研削ステージ18、仕上げ研削ステージ20及び洗浄ステージ22を備えている。
カセット収納ステージ14は、加工前のウェーハ26が多数枚収納されているカセット24と、加工後のウェーハ27が収納されるカセット25を有している。ウェーハ26,27は、カセット24,25内で棚により仕切られた個々の室に一枚ずつ収納されている。カセット24に収納されているウェーハ26は、ロボットアーム30の先端部に備わる吸着パッド32によって1枚ずつカセット24から取り出され、アライメントステージ16に搬送されるようになっている。他方、カセット25に収納されるウェーハ27は、ロボットアーム66の先端部に備わる吸着パッド68によって1枚ずつカセット25に回収されるようになっている。
図2には、吸着パッド68を拡大した斜視図が示されている。吸着パッド68についての詳細は後述するが、吸着パッド68は、吸着面でウェーハ27を吸着するパッド本体(吸着体)と、パッド本体を保持する枠体と、を備えている。枠体の上面の略中央部にロボットアーム66の先端部が回動自在に連結されている。吸着パッド68は、パイプ70を介して真空ポンプ(図示しない)に接続し、ウェーハ27を吸引して吸着保持する。
ロボットアーム30,66の形態は任意であり、本実施形態に限られるものではないが、ロボットアーム30のように多数の関節部を有する多関節アームの形態とすることができる。ロボットアーム30は、3本のアーム30A、30B、30Cから構成されており、第1アーム30Aの先端部には、ウェーハ26を吸着保持する吸着パッド32が備えられている。この第1アーム30Aは、第2アーム30Bの先端部に設けられており、鉛直軸34を中心に旋回できるようになっている。また、第2アーム30Bは、第3アーム30Cの先端部に設けられており、鉛直軸36を中心に旋回できるようになっている。さらに、第3アーム30Cは、昇降装置38の昇降ロッドに設けられており、その昇降ロッドを中心に旋回できるとともに、昇降ロッドの伸縮により上下動できるようになっている。昇降装置38は、門型構造の梁42に水平移動可能に設けられている。
アライメントステージ16は、カセット24から搬送されたウェーハ26を所定の位置に位置合わせするステージである。このアライメントステージ16で位置合わせされたウェーハ26は、吸着パッド32に再度吸着保持された後、ターンテーブル50のチャックテーブル48に搬送されて吸着保持される。
ここで、チャックテーブル48は、本発明の半導体ウェーハ吸着保持具に含まれ、吸着面でウェーハ27を吸着するテーブル本体(吸着体)と、テーブル本体を支持する支持体と、を備えている。チャックテーブル48も吸着パッド32,68と同様に、テーブル本体は多孔質のセラミックス焼結体である。
ターンテーブル50には、複数の同機能を備えたチャックテーブル52、54が所定の間隔をもって設置されている。チャックテーブル52は、粗研削ステージ18に位置しており、ウェーハ26はこの位置で吸着固定され、ウェーハ裏面が粗研削される。また、チャックテーブル54は、仕上げ研削ステージ20に位置しており、同様にしてウェーハ26はこの位置で吸着固定され、粗研削されたウェーハ裏面が仕上げ研削される。
なお、図示していないが、チャックテーブル48、52、54は、その下面にモータのスピンドルが連結されており、このモータに駆動されて回転する。カップ型砥石56をチャックテーブル48、52、54と同一方向に回転させながら、砥石56の砥石面をウェーハ26の研削面に所定の力で接触させることにより、ウェーハ裏面のインフィード研削が行われるようになっている。
カップ型砥石56は、モータ58に連結されており、また、モータ58は、サポート用ケーシング60を介して砥石送り装置62に取り付けられている。この砥石送り装置62は、カップ型砥石56をモータ58と共に昇降移動させるもので、この砥石送り装置62による下降移動によってカップ型砥石56がウェーハ26の裏面に押し付けられ、ウェーハ26の裏面が研削されるようになっている。
粗研削ステージ18で裏面が粗研削されたウェーハ26は、ターンテーブル50を矢印C方向に回転することによって、チャックテーブル52と共に仕上げ研削ステージ20のチャックテーブル54の位置に移動する。そして、仕上げ研削ステージ20のカップ型砥石によって精密研削が行われる。仕上げ研削ステージ20の構造は、粗研削ステージ18の構造とほぼ同一なので、ここではその説明を省略することとする。
仕上げ研削ステージ20で仕上げ研削されたウェーハ26は、ターンテーブル50の回転によってチャックテーブル48の位置に移動する。そして、ウェーハ26は、ロボットアーム66によって洗浄ステージ22に搬送される。
ロボットアーム66は、昇降装置72の昇降ロッド(図示しない)に設けられており、この昇降ロッドを中心に旋回すると共に、昇降ロッドの伸縮により上下動する。ロボットアーム66の旋回動作と伸縮動作とにより、チャックテーブル48から洗浄ステージ22のテーブル68にウェーハ26を搬送することができる。
以上が裏面研削装置10の概略構成である。次に、裏面研削装置10に備わる本発明の吸着パッドの一実施形態について詳細に説明する。本実施形態の吸着パッド68(32)には、ロボットアーム66(30)の先端部が回動自在に連結されており、吸着面80aでウェーハ27(26)を吸着する円盤状のパッド本体80を備えている。パッド本体80は、枠体81の凹部82に装着されて保持されるようになっている。本実施形態では、半導体ウェーハ吸着保持具としての吸着パッド68について説明するが、半導体ウェーハ吸着保持具としてのチャックテーブル48,52,54も、吸着パッド同様の構成となる。
図3に示すように、パッド本体80は、全面吸着される半導体ウェーハ27のサイズに対応する大きさであり、ウェーハ27の外周部分がパッド本体80からはみ出さない寸法に形成されている。パッド本体80がこのような寸法に形成されること、すなわちウェーハ27が全面吸着されることは、厚みが100μmに満たない紙のように薄いウェーハを吸着する点で特に重要であり、搬送時のウェーハ割れなどを未然に防止することができる。また、研削ステージ20,22(図1参照)では、半導体ウェーハ吸着保持具としてチャックテーブル48,52,54にウェーハ27(26)が全面吸着されることで、ウェーハ割れを生ずることなく、ウェーハ裏面を高精度に仕上げることができる。
パッド本体80は、プレス成形されたセラミックス圧粉体を焼結することにより得られた多孔質のセラミックス焼結体である。粉体であるセラミックス材料は、特に限定されるものではないが、アルミナ系(Al2O3)、ジルコニア系(ZrO2)、窒化珪素系(Si3O4)のセラミックスを適用することができる。パッド本体80の平均吸気孔径や吸気孔率は、粉体の粒子サイズや、結合剤の量、プレス条件、焼結条件などを変更することにより任意に調整可能であり、例えば平均吸気孔径が60μmで吸気孔率33%、平均吸気孔径40μmで吸気孔率35%に成形することができる。
枠体81は、平坦な壁部83と、この壁部83の縁部に続く周壁84とを有し、パッド本体80の吸着面80aだけを露出させてパッド本体80を保持する外枠であり、ステンレスなどの金属材料や緻密なセラミックス材料で製作することができる。パッド本体80と枠体81は別体としてそれぞれ製作され、後に接着剤などで接着されることにより一体化されるものであるが、金属材料で枠体81を製作した場合、パッド本体80を焼結する際の基台として枠体81を機能させることができる。この場合、パッド本体80と枠体81は、パッド本体80の焼結の際に一体化されたものとして製作される。枠体81をセラミックス材料で構成する場合も同様に、緻密なセラミックス材料で構成された枠体を基台として、パッド本体と共に一体的に焼結することができる。
枠体81の平坦な壁部83には、パイプ70を介して真空源に連通する貫通孔85が形成されている。貫通孔85にパイプ70が接続する接続部は壁部83の外面で中央に設けられている。パイプ接続部に続く貫通孔85は、中央から放射状に分岐し、半径方向に所定の間隔でバランス良く配置された多数の吸気口86が開口している。多数の吸気口86の開口端には、パッド本体80が接着している。図示しない真空源が起動すると、パイプ70、枠体81の壁部83に形成された貫通孔85、パッド本体80の多数の吸気孔を介して吸気が行われ、パッド本体80の露出面である吸着面80aにウェーハ27が吸着されるようになっている。
次に、パッド本体80の内部構造について説明する。図4には、図3のA部に相当する部分を誇張して表した断面図が示されている。隣接するセラミックス粒子89間の隙間が、吸気孔90である。パッド本体80は、プレス成形後、所定のガス圧で真空焼結(HIP焼結)することにより成形されるものであるが、セラミックス粒子89の大きさは一様な大きさではないため、吸気孔90の大きさも場所によって異なり、孔の大きい部分もあれば、小さい部分もある。多数のセラミックス粒子89は、隣接する粒子89と結合しているが、結合力の弱い粒子89や隣接する粒子89と結合していない粒子(脱落粒子)も少数であるが存在することもある。吸気孔90内には、パッド本体80の吸着面80aを研削砥石でツルーイング(truing、形直し)などした際に発生する研削屑91や、ゴミ92などの不要物が存在していることもある。
図示するように、本実施形態のパッド本体80は、内部のセラミックス粒子89や研削屑91などが脱落防止剤95で被覆されている点が、従来のパッド本体100(図5参照)と相違している。すなわち、パッド本体80内部のセラミックス粒子89や研削屑91などは、吸気孔90を塞がない薄い膜厚を形成する脱落防止剤95で被覆されている。脱落防止剤95には、セラミックス粒子89や研削屑91などに対して密着性が良く、液体状態のときに低粘度なものが好ましく、例えば、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂や、塩化ビニル共重合体、ポリエステル樹脂、ポリカーネート樹脂などの熱可塑性樹脂を適用することができる。
脱落防止剤95としてポリマーを使用してセラミックス粒子89や研削屑91などを被覆する際は、液体状態の脱落防止剤95が入っている容器にパッド本体80を所定時間浸すことにより、脱落防止剤95を吸気孔90内に浸透させて、セラミックス粒子89や研削屑91などを脱落防止剤95で被覆することができる。
図5には、比較のために、パッド本体内部のセラミックス粒子89や研削屑91などが脱落防止剤で被覆されていないパッド本体100の内部構造が示されている。吸気孔90の脱落粒子や研削屑91などは、吸気孔90内に保持されていないため、内部から外部に現れる可能性がある。ウェーハが厚い場合には、内部から現れて吸着面上に存在する脱落粒子などによってウェーハ割れが生ずる確率は相対的に低いものの、ウェーハ厚みが100μmより薄くなると、ウェーハ強度の低下が著しくなり、ウェーハ割れが生ずる確率が相対的に高くなる。
以上のように本実施形態によれば、パッド本体80内部のセラミックス粒子89や研削屑91などがポリマーなどの脱落防止剤95で被覆されているから、吸気孔90から容易に除去することができない脱落粒子や研削屑91などを吸気孔90内に閉じこめておくことができる。これにより、吸気孔90から出てきて吸着面80aに付着したセラミックス粒子89や研削屑91などによって、ウェーハ割れが生ずることを防止することができる。
以上、本発明をその好適な実施形態に関連して説明したが、後述する請求の範囲の開示から逸脱することなく様々な修正及び変更を為し得ることは、当業者に理解されるであろう。例えば、本実施形態では、半導体ウェーハ吸着保持具として、吸着パッドについて説明しているが、半導体ウェーハ吸着保持具には、半導体ウェーハ製造工程使用されるチャックテーブル48,52,54も含まれるものとする。このようなチャックテーブルでウェーハを吸着保持した場合は、ウェーハ製造工程においてウェーハ割れを防止できると共に、加工精度などを向上することができ、製造品質の信頼性を高めることができる。また、脱落防止剤95としてポリマーが例示されているが、製法上問題がなければ、ガラス質やセラミック系の材料や、ニッケルなどの金属材料を脱落防止剤とすることも可能である。
10 半導体ウェーハ裏面研削装置
26,27 半導体ウェーハ
32,68 吸着パッド
80 パッド本体(吸着体)
81 枠体
90 吸気孔
95 脱落防止剤
26,27 半導体ウェーハ
32,68 吸着パッド
80 パッド本体(吸着体)
81 枠体
90 吸気孔
95 脱落防止剤
Claims (3)
- 半導体ウェーハを吸着する吸着体を備え、該吸着体は多孔質のセラミックス焼結体であり、前記吸着体の吸気孔内面が粒子の脱落を防止する脱落防止剤で被覆されている、半導体ウェーハ吸着保持具。
- 前記脱落防止剤がポリマーである、請求項1に記載の半導体ウェーハ吸着保持具。
- 半導体ウェーハの表面側を吸着する半導体ウェーハ吸着保持具を備え、該半導体ウェーハ吸着保持具により前記半導体ウェーハが保持された状態で、該半導体ウェーハの裏面側を研削する半導体ウェーハ裏面研削装置において、
前記半導体ウェーハ吸着保持具が、
前記半導体ウェーハを吸着する吸着体であって、該吸着体は多孔質のセラミックス焼結体であり、前記吸着体の吸気孔内面が粒子の脱落を防止する脱落防止剤で被覆されている、半導体ウェーハ裏面研削装置。
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2008
- 2008-09-10 JP JP2008232524A patent/JP2010067783A/ja active Pending
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