JP2009016584A - カーボン製吸着体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸着パッドAは、ポーラスカーボン板1と支持体2とを有し、底部21においてポーラスカーボン板1の吸引面11と接触し、縁部20においてポーラスカーボン板1の側周面に密着してポーラスカーボン板1を支持する。ポーラスカーボン板1は通気性を有し、支持体2は不通気又はポーラスカーボン板1の気孔率の約1/3以下、好ましくは1/4以下とする。接着底部5と接着側部6に焼成接着部3が形成され、これら焼成接着部3によりポーラスカーボン板1と支持体2が接着結合している。焼成接着部3は、炭素化率の高い熱硬化性樹脂を接着剤として用い、接着底部5と接着側部6に塗布し、硬化後に窒素ガスなどの不活性雰囲気下で600℃以上の温度で焼成し、炭素化することにより形成してある。なお、この接着剤はポーラスカーポンに染み込まないように粘度調整する必要がある。
【選択図】 図1
Description
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。
また請求項2の発明は、吸引手段に接続され、対象物を吸引保持するためのカーボン製吸着体であって、通気性を有するポーラスカーボンから成り、対象物を吸引保持する吸着面と、前記吸引手段により吸引される吸引面と、非通気性の側面と、を有する吸着板と、該吸着板の底面を支持するカーボンから成る支持体と、 該吸着板の底面に設けられ、前記支持と接触しない通気溝と、該通気溝に連通し吸引手段に接続される接続口と、前記吸着板の底面の前記支持体接触する部分に形成された焼成接着部と、を備えたことを特徴とする。
上記構成によれば、吸着板と支持体は共にカーボンから成り、更に焼成接着部により接着されているため、熱膨張差による吸着面の変形などを防止できる。また焼成接着部は耐熱性、耐食性、耐水性に優れているため、使用できる範囲が大きくなる等の効果がある。
図1において、本発明の吸着体である吸着パッドAは、ポーラスカーボン板1と支持体2とを有する。ポーラスカーボン板1は円形の板状をなしており、支持体2に装着されている。該ポーラスカーボン板1の表面は対象物を吸着する吸着面10になっており、裏面は吸引面11になっている。
後述するようにポーラスカーボン板1は通気性を有し、支持体2は不通気又はポーラスカーボン板1より通気性が小さくなっており、ポーラスカーボン板1の吸着面10を露出し、ポーラスカーボン板1の側周面と吸引面11の一部とを密着して塞ぐように構成されている。
該通気溝4に対応する吸引面11の部分が接続口9に接続するポンプなどにより吸引され、吸着面10において対象物を吸引するように構成されている。
この実施形態では、支持体2は板状であり容器になっておらず、ポーラスカーボン板1を載置した構成になっている。ポーラスカーボン板1の側面は非通気側面15になっており、非通気側面15からの通気が行われないように構成されている。非通気側面15はコーティングなどにより形成されている。
この実施形態によれば、支持体2を容器形状に加工する必要がなく、製造が容易になる。
支持体2は、樹脂を含まない不浸透カーボンを用いる方が吸引容量が少なくて済むため望ましいが、不浸透ではなくてもポーラスカーボン板1の通気量と比較して極めて小さい通気量のカーボンならば、ポーラスカーボン板1の通気性を阻害せず、実用上十分な吸引力を確保できる。例えば、支持体2の気孔率がポーラスカーボン板1の気孔率の1/3の時、支持体2の通気量はポーラスカーボンの通気量に対して約1/200となる。また1/4の時は通気量は約1/600となり、支持体2からの漏れ量は実用上問題のない少ないレベルとなる。従って、支持体2のカーボンの気孔率はポーラスカーボン板1のカーボンの気孔率の約1/3以下、好ましくは1/4以下とする。
また、ポーラスカーボン板1の吸着面10にDLCコーティングを行ない、吸着、開放時の表面の粒子の脱落を防止するように構成することも可能である。
尚、この接着剤はポーラスカーボンに染み込まないように粘度調整する必要がある。粘度調整は前記熱硬化性樹脂にカーボンブラック粉、コークス粉、黒鉛粉のいずれかまたは混合したものを添加して行い、35PaS〜200PaSに調整する。35PaS以下では毛管現象でポーラスカーボンの中に染み込み、200PaS以上では接着剤が硬すぎ塗布面になじみ難いため、塗り易さから判断すると100〜150PaSが好ましい。
合成樹脂接着剤の一般的な耐熱性は100℃前後のため、それ以上の温度での使用はできないが、焼成接着部3の耐熱性はポーラスカーボン板1及び支持体2の耐熱性と同等である。
また吸着対象物に腐食性の液体が付着している場合、従来の合成樹脂接着剤では腐食される危険があり、使用環境が制限されるが、焼成接着部3はポーラスカーボン板1及び支持体2と同等の耐食性を有しており、焼成接着部3に起因する使用制限を防止できる。
更に一般的な合成樹脂接着剤は耐水性に劣り、水に濡れている吸着対象物が吸着すると、時間と共に吸着面が変形し、精密な吸着ができなくなるが、焼成接着部3の場合、耐水性に優れており、水に濡れた吸着対象物であっても、高精度な吸着が可能である。
Claims (7)
- 吸引手段に接続され、対象物を吸引保持するためのカーボン製吸着体であって、
通気性を有するポーラスカーボンから成り、対象物を吸引保持する吸着面と、前記吸引手段により吸引される吸引面とを有する吸着板と、
該吸着板の底面と側面を支持するカーボンから成る支持体と、
該支持体の底面に設けられ、前記吸着板と接触しない通気溝と、
該通気溝に連通し吸引手段に接続される接続口と、
前記吸着板の底面と側面の前記支持体接触する部分に形成された焼成接着部と、
を備えたことを特徴とするカーボン製吸着体。 - 吸引手段に接続され、対象物を吸引保持するためのカーボン製吸着体であって、
通気性を有するポーラスカーボンから成り、対象物を吸引保持する吸着面と、前記吸引手段により吸引される吸引面と、非通気性の側面と、を有する吸着板と、
該吸着板の底面を支持するカーボンから成る支持体と、
該吸着板の底面に設けられ、前記支持と接触しない通気溝と、
該通気溝に連通し吸引手段に接続される接続口と、
前記吸着板の底面の前記支持体接触する部分に形成された焼成接着部と、
を備えたことを特徴とするカーボン製吸着体。 - 前記吸着板の気孔率が10%以上50%以下である、
請求項1又は2のカーボン製吸着体。 - 前記支持体の気孔率が前記吸着板の気孔率の1/3以下、好ましくは1/4以下である、
請求項1又は2又は3のカーボン製吸着体。 - 前記焼成接着部が、フェノール樹脂又はフラン樹脂の中の1の熱硬化性樹脂に、カーボンブラック粉又はコークス粉又は黒鉛粉の中のいずれか1又は1以上の炭素材料を添加し、更に粘度35PaS〜200PaSに調整した接着剤を600゜C以上の温度で炭素化したものである、
請求項1又は2又は3又は4のカーボン製吸着体。 - 吸引手段に接続され、対象物を吸引保持するためのカーボン製吸着体の製造方法であって、
通気性を有するポーラスカーボンから成り、対象物を吸引保持する吸着面と、前記吸引手段により吸引される吸引面とを有する吸着板を、カーボンから成る支持体に支持させ、
前記吸着板と前記支持体が接触する部分にフェノール樹脂又はフラン樹脂の中の1の熱硬化性樹脂に、カーボンブラック粉又はコークス粉又は黒鉛粉の中のいずれか1又は1以上の炭素材料を添加し、更に粘度35PaS〜200PaSに調整した接着剤を塗布し、該接着剤を塗布した部分を不活性雰囲気下または還元雰囲気下で600°C以上の温度で焼成する、
ことを特徴とするカーボン製吸着体の製造方法。 - 前記支持体が、
該支持体の底面に設けられ、前記吸着板と接触しない通気溝と、
該通気溝に連通し吸引手段に接続される接続口と、
を備える請求項6のカーボン製吸着体の製造方法。
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