JP5002027B2 - ストッカー - Google Patents

Description

本発明はストッカー（ｓｔｏｃｋｅｒ）に関し、より詳しくは、各種基板を収納するストッカーに関するものである。

ストッカーは、表示パネルの製造工程に使用される各種基板を臨時に保管したり保存する。表示パネルの製造工程は高い精密度を必要とするため、微細なパーティクルによっても簡単に不良が発生してしまう。そのため、ストッカーの内部空間を清潔な環境に維持することが要求される。特に、ストッカーの台は直接基板と接触するので、ストッカーの台についているパーティクルは基板に移りやすい。

ストッカーの内部を清潔に維持するための一般的な方法として、人が直接ストッカーの内部に入って清掃する方法が使用された。しかし、人が直接ストッカーの内部に入る場合、人と共にまた他のパーティクルが流入しやすく、清掃する間はストッカーを本来の用途で使用することができずに作業を中断しなければならないという問題点がある。

本発明は、上記問題点を解決するためのものであって、その目的は、効果的に内部環境を清潔に維持することができるストッカーを提供することである。

本発明の実施形態によるストッカー（ｓｔｏｃｋｅｒ）は、複数の収納台を有する本体部と、収納物を移送させる移送部と、前記移送部によって移送された前記収納物を前記本体部の前記収納台に積載するロボットアームと、前記ロボットアームと共に動きながら、前記本体部の内部のパーティクルを除去する集塵ユニットと、を含み、前記集塵ユニットは、前記ロボットアームと共に動く集塵ダクトと、前記移送部上に配置されて、前記集塵ダクトを通して前記本体部の内部の空気を吸入する真空ポンプと、を含み、前記ロボットアームは、一側端部において前記収納物を移動させ、前記集塵ダクトは、前記ロボットアームの前記一側端部側かつ当該集塵ダクトの延伸方向と交差する方向に位置する両側部側に形成された第１開口部と、前記真空ポンプと連結される第２開口部と、を有する。

前記集塵ユニットは、前記集塵ダクトと前記真空ポンプとの間に配置された浄化フィルターをさらに含むのが好ましい。

前記ストッカーは、ベース基板と前記ベース基板の周縁に形成された吸着部とを含むクリーニングパッドをさらに含み、前記クリーニングパッドは、前記本体部の前記収納台に前記吸着部が接触するように前記本体部に積載されるのが好ましい。

本発明の実施形態によれば、ストッカーは、効果的にパーティクルを除去して、内部環境を清潔に維持することができる。

本発明の第１実施形態によるストッカーの構成図である。 図１の本体部の内部状態を拡大して示した構成図である。 本発明の第２実施形態によるストッカーの構成図である。

以下、添付した図面を参考にして、本発明の多様な実施形態について、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。しかし、本発明は、多様な異なる形態に具現され、ここで説明する実施形態に限られない。

また、多様な実施形態において、同一な構成を有する構成要素については同一な符号を付けて代表的に第１実施形態で説明し、その他の第２実施形態においては、第１実施形態と異なる構成についてのみ説明する。

本発明を明確に説明するために、説明上不必要な部分は省略した。明細書全体にわたって同一または類似した構成要素については、同一な図面符号を付けた。

また、図面に示した各構成の大きさ及び厚さは、説明の便宜上任意に示したものであるため、本発明が必ずしも示されたものに限られるのではない。

図面では、多くの層及び領域を明確に表示するために、厚さを拡大して示した。そして、図面においては、説明の便宜のために、一部の層及び領域の厚さを誇張して示した。層、膜、領域、板などの部分が、ある部分の「上に」または「上部に」あるという場合、これはある部分の「直ぐ上に」ある場合だけでなく、その間にまた他の部分がある場合も含む。

以下、図１及び図２を参照して、本発明の第１実施形態によるストッカー（ｓｔｏｃｋｅｒ）１０１を説明する。

図１及び図２に示したように、ストッカー１０１は、本体部２０、移送部３０、ロボットアーム４０、そして集塵ユニット５０、５５、６０を含む。

本体部２０は、複数の収納台２２を有して、収納物（ＭＳ）を収納する。ここで、収納物（ＭＳ）は、表示パネルの製造工程に使用される各種基板である。

移送部３０は、収納物（ＭＳ）を外部から本体部２０前に移送させて運搬する。具体的に、移送部３０は、下部に形成されたローラを用いて移動することができ、ローラ上に形成された昇降部によって収納物（ＭＳ）を上下に移動させることができる。しかし、移送部３０が前述した構造に限定されるのではない。従って、移送部３０は、当該技術分野に携わる者が変更実施できる範囲内で収納物（ＭＳ）を移送させることができる多様な構造に形成される。

ロボットアーム４０は、移送部３０によって本体部２０前に移送された収納物（ＭＳ）を本体部２０の収納台２２上に積載する。そして、ロボットアーム４０は、収納台２２に積載された収納物（ＭＳ）を再び移送部３０に移動させることもできる。この時、ロボットアーム４０は、一側端部を使用して収納物（ＭＳ）を移動させる。

集塵ユニットは、集塵ダクト５０、真空ポンプ６０、及び浄化フィルター５５を含む。集塵ダクト５０は、ロボットアーム４０と共に動く。つまり、集塵ダクト５０は、ロボットアーム４０と一体に形成されるか、ロボットアーム４０に密着してロボットアーム４０に沿って動く。ここで、集塵ダクト５０は、収納物（ＭＳ）を移動させるロボットアーム４０の一側端部側に位置する第１開口部５１と、真空ポンプ６０と連結された第２開口部５２とを有する。

真空ポンプ６０は、集塵ダクト５０の第２開口部５２と連結されて、集塵ダクト５０の第１開口部５１を通して本体部２０の内部の空気を吸入する。このように、真空ポンプ６０が空気を吸入しながら、本体部２０の内部のパーティクル（ｐａｒｔｉｃｌｅ）も共に吸入して除去する。

浄化フィルター５５は、集塵ダクト５０と真空ポンプ６０との間に配置されて、集塵ダクト５０を通して吸入されたパーティクルを濾過する。

本発明の第１実施形態によるストッカー１０１の作動効果を具体的に見てみると、以下の通りである。

集塵ダクト５０は、ロボットアーム４０と共に動く。従って、収納物（ＭＳ）の積載を一時中断して、本体部２０の内部でロボットアーム４０を隅々まで動かして、集塵ダクト５０を通して本体部２０の内部のパーティクルを効果的に除去することができる。

その結果、局所的な部分に集中したパーティクルも効果的に除去することができる。特に、収納台２２は、収納物（ＭＳ）と直接接触する部分であって、収納台２２にパーティクルがついていると、収納台２２上に積載される収納物（ＭＳ）にパーティクルが移りやすい。しかし、空気と共にパーティクルを吸入する集塵ダクト５０の第１開口部５１が収納物（ＭＳ）を本体部２０の収納台２２上に積載するロボットアーム４０の一側端部側に位置するため、収納台２２周辺のパーティクルを効果的に除去することができる。

また、収納物（ＭＳ）の積載作業を一時中断することなく、ロボットアーム４０を通して収納物（ＭＳ）を本体部２０の収納台２２上に積載すると同時に、集塵ダクト５０を通して本体部２０の内部のパーティクルを除去することもできる。

このような構成により、ストッカー１０１は、収納物（ＭＳ）を収納する本体部２０の内部のパーティクルを効果的に除去して、本体部２０の内部環境を清潔に維持することができる。

以下では、図１及び図３を参照して、本発明の第２実施形態を説明する。

図１及び図３に示したように、本発明の第２実施形態によるストッカー１０２は、クリーニングパッド８０をさらに含む。クリーニングパッド８０は、ベース基板８１と、ベース基板８１の周縁に形成された吸着部８２とを含む。

クリーニングパッド８０は、収納物（ＭＳ）と同様に、ロボットアーム４０によって移動する。そして、クリーニングパッド８０は、本体部２０の収納台２２に吸着部８２が接触するように積載される。従って、クリーニングパッド８０の吸着部８２は、集塵ユニット５０、５５、６０によって除去されずに本体部２０の収納台２２についているパーティクルを吸着して除去することができる。つまり、クリーニングパッド８０は、集塵ユニット５０、５５、６０では除去されないほど収納台２２の直ぐ上に強くついているパーティクルを除去して、このようなパーティクルが収納物（ＭＳ）に移って収納物（ＭＳ）を汚染させるのを防止することができる。

また、ロボットアーム４０がクリーニングパッド８０を収納台２２の直ぐ上に載せて置くと同時に、集塵ダクト５０を通して空気を吸入して、本体部２０の内部のパーティクルを除去することができる。

具体的に、本発明の第２実施形態によるストッカー１０２の作動過程を見てみると、ロボットアーム４０は、クリーニングパッド８０を各収納台２２の直ぐ上に順次に載せて持ち上げる作業を行う。同時に、集塵ダクト５０を通して本体部２０の内部のパーティクルを吸入して除去する。このような作業によって、集塵ユニット５０、５５、６０だけでは除去されないパーティクルまで完璧に除去することができる。

クリーニングパッド８０を通して収納台２２の直ぐ上についていたパーティクルが十分に除去されれば、ロボットアーム４０は、クリーニングパッド８０を本体部２０の外部に排出して、収納物（ＭＳ）を収納台２２上に積載する。収納物（ＭＳ）を積載する間にも、集塵ダクト５０を通して持続的に本体部２０の内部のパーティクルを除去することができる。

このような構成により、ストッカー１０２は、収納物（ＭＳ）を収納する本体部２０の内部のパーティクルをより効果的に除去して、本体部２０の内部環境を清潔に維持することができる。

以上で、本発明を実施形態を通して説明したが、本発明はこれに限定されず、特許請求の範囲の概念及び範囲を逸脱しない限り、多様な修正及び変形が可能であることが、本発明が属する技術分野に携わる者には簡単に理解される。

２０ 本体部、
２２ 収納台、
３０ 移送部、
４０ ロボットアーム、
５０ 集塵ダクト、
５１ 第１開口部、
５２ 第２開口部、
５５ 浄化フィルター、
６０ 真空ポンプ、
１０１ ストッカー。

Claims (3)

1. 複数の収納台を有する本体部と、
   収納物を移送させる移送部と、
   前記移送部によって移送された前記収納物を前記本体部の前記収納台に積載するロボットアームと、
   前記ロボットアームと共に動きながら、前記本体部の内部のパーティクルを除去する集塵ユニットと、を含み、
   前記集塵ユニットは、前記ロボットアームと共に動く集塵ダクトと、前記移送部上に配置されて、前記集塵ダクトを通して前記本体部の内部の空気を吸入する真空ポンプと、を含み、
   前記ロボットアームは、一側端部において前記収納物を移動させ、
   前記集塵ダクトは、前記ロボットアームの前記一側端部側かつ当該集塵ダクトの延伸方向と交差する方向に位置する両側部側に形成された第１開口部と、前記真空ポンプと連結される第２開口部と、を有するストッカー。
2. 前記集塵ユニットは、前記集塵ダクトと前記真空ポンプとの間に配置された浄化フィルターをさらに含む、請求項１に記載のストッカー。
3. ベース基板と前記ベース基板の周縁に形成された吸着部とを含むクリーニングパッドをさらに含み、
   前記クリーニングパッドは、前記本体部の前記収納台に前記吸着部が接触するように前記本体部に積載される、請求項１または請求項２に記載のストッカー。

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