CN101992924B - 储料器 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种储料器和一种具有机械臂的储料器的集尘单元。该储料器包括：具有多个接纳搁板的主体单元；将待移动的接纳材料传递到所述主体单元的传递单元；将通过所述传递单元传递的接纳材料堆叠在所述主体单元的所述多个接纳搁板中的其中一个上的机械臂；以及和所述机械臂一起移动从而将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元。

Description

储料器
技术领域
本发明的各方面涉及一种储料器(stocker)。更具体而言，本发明涉及一种接纳各种基板的储料器。
背景技术
储料器临时容纳或存储用在显示器面板制造过程中的各种基板。该显示器面板制造过程需要高精度，并且在显示器面板中由于微粒而容易发生缺陷。因此，储料器的内部空间应该被保持清洁。特别地，储料器的搁板直接接触基板，因此，搁板上的微粒能够容易地移动到基板上。
作为一种用于保持储料器的内部清洁的一般方法，人直接进入到储料器中进行清洁。然而，微粒随着进入储料器中的人一起被携带到储料器内，并且，储料器的操作在储料器进行清洁时必须被中止。
在该背景技术部分中公开的上述信息只是用来增进对本发明的背景的理解，因此，上述信息可能包含不构成在该国家中本领域技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本发明的各方面已致力于提供一种储料器，该储料器具有有效地保持该储料器的内部环境清洁的优点。
本发明的各方面提供一种储料器，该储料器包括：具有多个接纳搁板的主体单元；将待移动的接纳材料传递到所述主体单元的传递单元；将通过所述传递单元传递的接纳材料堆叠在所述主体单元的所述多个接纳搁板中的其中一个上的机械臂；以及和所述机械臂一起移动从而将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元。
根据本发明的一方面，所述集尘单元可包括：和所述机械臂一起移动的集尘管；以及布置在所述传递单元上从而通过所述集尘管抽吸所述主体单元的内部空气的真空泵。
根据本发明的一方面，所述机械臂可通过所述机械臂的一个端部移动所述接纳材料，并且，所述集尘管可以具有形成在所述机械臂的所述一个端部处的第一开口以及连接到所述真空泵的第二开口。
根据本发明的一方面，所述集尘单元可以进一步包括布置在所述集尘管与所述真空泵之间的净化过滤器。
根据本发明的一方面，所述储料器可以包括清洁垫，该清洁垫具有底基板和形成在该底基板的边缘处的吸收单元，其中所述清洁垫被堆叠在所述主体单元上，使得所述吸收单元接触所述主体单元的所述多个接纳搁板中的另一个。
根据本发明的另一方面，提供一种具有主体单元的储料器，该储料器包括将接纳材料堆叠到所述主体单元中的机械臂以及将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元，其中所述集尘单元和所述机械臂一起移动。
根据本发明的又一方面，提供一种具有机械臂的储料器的集尘单元，该集尘单元具有：布置在所述机械臂上的集尘管；布置在所述机械臂的第一端处的真空泵；以及布置在所述集尘管与所述真空泵之间的净化过滤器。
本发明的另外的方面和/或优点部分地将陈述在下述描述中，部分地根据该描述变得明显，或通过实施本发明而获悉。
附图说明
本发明的这些和/或其它方面和优点将根据结合附图的各实施例的以下描述变得明显并更易于理解，其中：
图1为根据本发明第一示例性实施例的储料器的示意图。
图2为图1的主体部分的内部结构的放大示意图。
图3为根据本发明第二示例性实施例的储料器的示意图。
具体实施方式
现在将详细参照本发明的当前实施例，其实例图示在附图中，其中相似的附图标记自始至终表示相似的元件。各实施例在下文中进行描述，以通过参照附图解释本发明。
并且，对于本发明的示例性实施例，通过对相同的构成元件使用相同的附图标记，结合相关附图，对于第一示例性实施例中的构成元件给出详细描述，而在其它示例性实施例中只描述与第一示例性实施例相关的构成元件不同的构成元件。
为了清楚地描述本发明，与描述无关的部分被省去，并且相似的附图标记在整个申请文件中指代相似的元件。
而且，由于附图中所示的各个结构部件的尺寸和厚度为了解释方便而被随意示出，因此本发明并非必须限于所提供的图示。
在附图中，层、膜、面板、区域等的厚度为了清楚和解释方便被夸大。应理解，当诸如层、膜、区域或基板等元件被提及为在另一元件“上”或“形成于”另一元件“上”时，其能够直接位于另一元件上，或者也可存在中间元件。相反，当元件被提及为“直接位于”或“直接形成于”另一元件“上”时，不存在中间元件。
本发明的各方面提供一种储料器，该储料器具有主体单元以将基板存储到多个接纳搁板上。邻近所述主体单元布置的传递单元通过机械臂从所述传递单元带走基板并将该基板堆叠到所述主体单元的所述接纳搁板上，从而将基板传递到所述主体单元。另外，所述储料器具有和所述机械臂一起移动从而将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元。该集尘单元具有：将灰尘从所述主体单元内传递到所述主体单元外的集尘管、经由所述集尘管将空气抽吸到所述主体单元外的真空泵以及对从所述主体单元抽吸的空气进行过滤的净化过滤器。
在下文中，将结合图1和图2描述根据本发明的第一示例性实施例的储料器101。
参见图1和图2，储料器101包括主体单元20、传递单元30、机械臂40以及具有集尘管50、净化过滤器55和真空泵60的集尘单元。
主体单元20包括多个接纳搁板，每个接纳搁板均用于接纳材料MS。在此，接纳材料MS可以是用在显示器面板制造过程中的各种基板。
传递单元30将接纳材料MS从外部移动到主体单元20的前部用于运输。更详细地，传递单元30能够通过使用形成在其下部的滚筒移动接纳材料MS，并能够通过与滚筒形成在一起的升降机上下移动接纳材料MS。然而，传递单元30的结构并不限于上述结构。也就是，用于传递接纳材料MS的传递单元30的结构可以在能够由本领域技术人员容易实现的范围内进行各种改进。
机械臂40将传递单元30传递到主体单元20前面的接纳材料MS堆叠在主体单元20的接纳搁板22上。机械臂40可以将堆叠在接纳搁板22上的接纳材料MS移回到传递单元30。在此情况下，机械臂40使用其一个端部来移动接纳材料MS。
集尘单元包括集尘管50、真空泵60和净化过滤器55。集尘管50随着机械臂40移动。也就是，集尘管50与机械臂40整体形成，或紧密附接到机械臂40并随着机械臂40一起移动。在此，集尘管50具有布置在使接纳材料MS移动的机械臂40的一个端部处的第一开口51，以及连接到真空泵60的第二开口52。
真空泵60与集尘管50的第二开口52连接在一起，用于通过集尘管50的第一开口51抽吸主体单元20的内部空气。如所述，当真空泵60抽吸空气时，主体单元20内的微粒也被抽吸然后被除去。
净化过滤器55被布置在集尘管50与真空泵60之间，用于过滤通过集尘管50抽出的微粒。
现更详细描述根据本发明的第一示例性实施例的储料器101的操作效果。
集尘管50随着机械臂40移动。因此，在临时中止接纳材料MS的堆叠之后，通过使机械臂40四处移动，主体单元20内的微粒能够被集尘管50被有效地除去。
因此，集中在主体单元20的一部分中的微粒能够被有效地除去。特别地，接纳搁板22是直接接触接纳材料MS的部分，因此，接纳搁板22上的微粒能够被容易地移动到放置在接纳搁板22上的接纳材料MS上。然而，抽吸微粒和空气的集尘管50的第一开口51位于机械臂40的一个端部，该机械臂40将接纳材料MS堆叠在主体单元20的接纳搁板22上，因而，接纳搁板22周围的微粒能够被有效地除去。
进一步，在通过移动机械臂40将接纳材料MS堆叠到主体单元20的接纳搁板22上的同时，主体单元20内的微粒能够通过集尘管50被除去，而不用临时中止接纳材料MS的堆叠。
采用这种构造，通过有效地除去储料器101中的微粒，储料器101能够保持用于接纳接纳材料MS的主体单元20的内部环境。
在下文中，将参见图1和图3描述本发明的第二示例性实施例。
如图1和图3所示，根据本发明的第二示例性实施例的储料器102进一步包括清洁垫80。该清洁垫80包括底基板81和形成在该底基板81的边缘处的吸收单元82。
类似于接纳材料MS，清洁垫80由机械臂40移动。清洁垫80被堆叠在主体单元20中，使得吸收单元82接触主体单元20的接纳搁板22。因而，清洁垫80的吸收单元82通过吸收能够除去通过具有集尘管50、净化过滤器55和真空泵60的集尘单元而未被除去并因而该停留在接纳搁板22上的微粒。也就是，清洁垫80除去被牢固地附着在接纳搁板22上并且不能通过集尘管50、净化过滤器55和真空泵60除去的微粒，从而防止微粒移动到接纳材料MS并将其污染。
另外，机械臂40将清洁垫80放置到接纳搁板22上的同时，空气通过集尘管50被抽吸，使得主体单元20内的微粒能够被除去。
更详细地，根据本发明的第二示例性实施例的储料器102相继将清洁垫80放下到相应接纳搁板22上并将其提升。同时，主体单元20内的微粒通过集尘管50被抽吸并然后被除去。通过以上过程，不能被集尘管50、净化过滤器55和真空泵60除去的微粒能够被除去。
一旦附着到接纳搁板22的微粒通过清洁垫80被充分地除去，则机械臂40将清洁垫80从主体单元20向外移出，并将接纳材料MS堆叠在接纳搁板22上。在接纳材料MS的堆叠期间，主体单元20内的微粒能够被持续地除去。
采用上述构造，储料器102进一步有效地除去接纳接纳材料MS的主体单元20内的微粒，从而保持主体单元20的清洁内部环境。
尽管已显示和描述了本发明的一些实施例，本领域技术人员应理解的是，在不脱离本发明的原理和精神的情况下，可以在该实施例中进行改变，其中本发明的范围由权利要求及其等同设置所限定。

Claims (7)

1.一种储料器，包括：
具有多个接纳搁板的主体单元；
将待移动的接纳材料传递到所述主体单元的传递单元；
机械臂，将通过所述传递单元传递的所述接纳材料堆叠在所述主体单元的所述多个接纳搁板中的其中一个上；以及
和所述机械臂一起移动从而将微粒从所述主体单元内除去的集尘单元；
其特征在于，所述集尘单元包括：
和所述机械臂一起移动的集尘管；以及
布置在所述传递单元上从而通过所述集尘管抽吸所述主体单元的内部空气的真空泵；
其中所述集尘管具有形成在所述机械臂的一个端部处的第一开口以及连接到所述真空泵的第二开口。
2.根据权利要求1所述的储料器，其中所述机械臂通过所述机械臂的所述一个端部移动所述接纳材料。
3.根据权利要求1所述的储料器，其中所述集尘单元进一步包括布置在所述集尘管与所述真空泵之间的净化过滤器。
4.根据权利要求1所述的储料器，进一步包括清洁垫，该清洁垫具有底基板和形成在该底基板的边缘处的吸收单元，
其中所述清洁垫被堆叠在所述主体单元上，使得所述吸收单元接触所述主体单元的所述多个接纳搁板中的另一个。
5.根据权利要求1所述的储料器，其中：
所述集尘管提供将微粒从所述主体单元内移动到所述主体单元外的路径。
6.一种具有机械臂的储料器的集尘单元，该集尘单元包括：
布置在所述机械臂的第一端处的真空泵；
其中所述机械臂的所述第一端是与所述机械臂的第二端相对的端部；以及
和所述机械臂一起移动的集尘管；
其特征在于，所述集尘管具有形成在所述机械臂的所述端部处的第一开口以及连接到所述真空泵的第二开口。
7.如权利要求6所述的具有机械臂的储料器的集尘单元，进一步包括布置在所述集尘管与所述真空泵之间的净化过滤器。
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