KR20110017305A

KR20110017305A - 스토커

Info

Publication number: KR20110017305A
Application number: KR1020090074900A
Authority: KR
Inventors: 정기채
Original assignee: 삼성모바일디스플레이주식회사
Priority date: 2009-08-13
Filing date: 2009-08-13
Publication date: 2011-02-21
Also published as: EP2284877A2; TW201111246A; EP2284877B1; EP2284877A3; JP2011040707A; CN101992924B; KR101073546B1; JP5002027B2; US20110035897A1; CN101992924A; TWI494259B; US8683643B2

Abstract

본 발명은 스토커에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 스토커는 복수의 수납 선반들을 갖는 본체부와, 수납물을 이송시키는 이송부와, 상기 이송부에 의해 이송된 상기 수납물을 상기 본체부의 수납 선반에 적재하는 로봇암, 그리고 상기 로봇암과 함께 움직이면서 상기 본체부 내부의 파티클을 제거하는 집진 유닛를 포함한다.

파티클, 집진 유닛, 집진 덕트, 진공 펌프, 클리닝 패드, 스토커

Description

스토커 {STOCKER}

본 발명은 스토커(stocker)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각종 기판을 수납하는 스토커에 관한 것이다.

스토커는 표시 패널 제조 공정에 사용되는 각종 기판들을 임시로 보관하거나 저장한다. 표시 패널 제조 공정은 높은 정밀도를 필요로하며, 미세한 파티클에 의해서도 쉽게 불량이 발생된다. 따라서, 스토커의 내부 공간은 청결한 환경으로 유지되는 것이 요구된다. 특히, 스토커의 선반은 직접 기판과 맞닿으므로, 스토커의 선반에 묻어 있는 파티클은 기판으로 옮겨붙기 쉽다.

스토커 내부를 청결하게 유지하기 위한 일반적인 방법으로, 사람이 직접 스토커 내부로 들어가 청소하는 방법이 사용되었다. 그러나 사람이 직접 스토커 내부로 들어갈 경우 사람과 함께 또다른 파티클이 유입되기 쉬우며, 청소하는 시간 동안 스토커를 본래의 용도로 사용하지 못하고 작업을 중단해야하는 문제점이 있다.

본 발명은 전술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 효과적으로 내부 환경을 청결하게 유지할 수 있는 스토커를 제공하고자 한다.

본 발명의 실시예에 따른 스토커(stocker)는 복수의 수납 선반들을 갖는 본체부와, 수납물을 이송시키는 이송부와, 상기 이송부에 의해 이송된 상기 수납물을 상기 본체부의 수납 선반에 적재하는 로봇암, 그리고 상기 로봇암과 함께 움직이면서 상기 본체부 내부의 파티클을 제거하는 집진 유닛를 포함한다.

상기 집진 유닛은 상기 로봇암과 함께 움직이는 집진 덕트와, 상기 이송부 상에 배치되어 상기 집진 덕트를 통해 상기 본체부 내부의 공기를 흡입하는 진공 펌프를 포함할 수 있다.

상기 로봇암은 일측 단부를 통해 수납물을 이동시키며, 상기 집진 덕트는 상기 로봇암의 일측 단부 쪽에 형성된 제1 개구부와, 상기 진공 펌프와 연결되는 제2 개구부를 가질 수 있다.

상기 집진 유닛은 상기 집진 덕트와 상기 진공 펌프 사이에 배치된 정화 필터를 더 포함할 수 있다.

상기한 스토커는 베이스 기판과, 상기 베이스 기판의 가장자리에 형성된 흡착부를 포함하는 리닝 패드를 더 포함하며, 상기 클리닝 패드는 상기 본체부의 수납 선반에 상기 흡착부가 접촉되도록 상기 본체부에 적재될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 스토커는 효과적으로 파티클을 제거하여 내부 환경을 청결하게 유지할 수 있다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1 실시예에서 설명하고, 그 외의 제2 실시예에서는 제1 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.

또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.

이하, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스토 커(stocker)(101)를 설명한다.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 스토커(101)는 본체부(20), 이송부(30), 로봇암(40), 그리고 집진 유닛(50, 55, 60)을 포함한다.

본체부(20)는 복수의 수납 선반들(22)을 가지고 수납물(MS)을 수납한다. 여기서, 수납물(MS)은 표시 패널 제조 공정에 사용되는 각종 기판들일 수 있다.

이송부(30)는 수납물(MS)을 외부에서 본체부(20) 앞으로 이송시켜 운반한다. 구체적으로, 이송부(30)는 하부에 형성된 롤러를 사용하여 이동할 수 있으며, 롤러 상에 형성된 승강부를 통해 수납물(MS)을 상하 이동시킬 수 있다. 하지만, 이송부(30)가 전술한 구조에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 이송부(30)는 해당 기술 분야의 종사자가 변경 실시할 수 있는 범위 내에서 수납물(MS)을 이송시킬 수 있는 다양한 구조로 만들어질 수 있다.

로봇암(40)은 이송부(30)에 의해 본체부(20) 앞으로 운반된 수납물(MS)을 본체부(20)의 수납 선반(22)에 위에 적재한다. 그리고 로봇암(40)은 수납 선반(22)에 적재된 수납물(MS)을 다시 이송부(30)로 이동시킬 수도 있다. 이때, 로봇암(40)은 일측 단부를 사용하여 수납물(MS)을 이동시킨다.

집진 유닛은 집진 덕트(50), 진공 펌프(60), 및 정화 필터(55)를 포함한다. 집진 덕트(50)는 로봇암(40)과 함께 움직인다. 즉, 집진 덕트(50)는 로봇암(40)과 일체로 형성되거나, 로봇암(40)에 밀착되어 로봇암(40)을 따라 움직인다. 여기서, 집진 덕트(50)는 수납물(MS)을 이동시키는 로봇암(40)의 일측 단부 쪽에 위치하는 제1 개구부(51)와, 진공 펌프(60)와 연결된 제2 개구부(52)를 갖는다.

진공 펌프(60)는 집진 덕트(50)의 제2 개구부(52)와 연결되어 집진 덕트(50)의 제1 개구부(51)를 통해 본체부(20) 내부의 공기를 흡입한다. 이와 같이, 진공 펌프(60)가 공기를 흡입하면서, 본체부(20) 내부의 파티클(particle)도 함께 흡입되어 제거된다.

정화 필터(55)는 집진 덕트(50)와 진공 펌프(60) 사이에 배치되어 집진 덕트(50)를 통해 빨아드린 파티클을 걸러낸다.

본 발명의 제1 실시예에 따른, 스토커(101)의 작동 효과를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

집진 덕트(50)는 로봇암(40)과 함께 움직인다. 따라서, 수납물(MS)의 적재를 일시 중단하고 본체부(20) 내부에서 로봇암(40)을 구석구석 움직여 집진 덕트(50)를 통해 본체부(20) 내부의 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.

따라서, 국소적인 부분에 집중된 파티클도 효과적으로 제거할 수 있다. 특히, 수납 선반(22)은 수납물(MS)과 직접 접촉하는 부분으로 수납 선반(22)에 파티클이 묻어있으면 수납 선반(22) 위에 올려지는 수납물(MS)에 파티클이 옮겨붙기 쉽다. 하지만, 공기와 함께 파티클을 흡입하는 집진 덕트(50)의 제1 개구부(51)가 수납물(MS)을 본체부(20)의 수납 선반(22) 위에 적재하는 로봇암(40)의 일측 단부 쪽에 위치하므로, 수납 선반(22) 주변의 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.

또한, 수납물(MS)의 적재 작업을 일시 중단하지 않고, 로봇암(40)을 통해 수납물(MS)을 본체부(20)의 수납 선반(22) 위에 적재하면서 동시에 집진 덕트(50)를 통해 본체부(20) 내부의 파티클을 제거할 수도 있다.

이와 같은 구성에 의하여, 스토커(101)는 수납물(MS)을 수납하는 본체부(20) 내부의 파티클을 효과적으로 제거하여 본체부(20)의 내부 환경을 청결하게 유지할 수 있다.

이하, 도 1 및 도 3을 참조하여 본 발명의 제2 실시예를 설명한다.

도 1 및 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스토커(102)는 클리닝 패드(80)를 더 포함한다. 클리닝 패드(80)는 베이스 기판(81)과, 베이스 기판(81)의 가장자리에 형성된 흡착부(82)를 포함한다.

클리닝 패드(80)는 수납물(MS)과 마찬가지로 로봇암(40)에 의해 이동된다. 그리고 클리닝 패드(80)는 본체부(20)의 수납 선반(22)에 흡착부(82)가 접촉되도록 적재된다. 따라서, 클리닝 패드(80)의 흡착부(82)는 집진 유닛(50, 55, 60)에 의해 제거되지 않고 본체부(20)의 수납 선반(22)에 붙어있는 파티클을 흡착하여 제거할 수 있다. 즉, 클리닝 패드(80)는 집진 유닛(50, 55, 60)으로는 제거되지 않을정도로 수납 선반(22) 바로 위에 강하게 붙어있는 파티클을 제거하여, 이러한 파티클이 수납물(MS)에는 옮겨붙어 수납물(MS)을 오염시키는 것을 방지할 수 있다.

또한, 로봇암(40)이 클리닝 패드(80)를 수납 선반(22) 바로 위에 올려 놓으면서 동시에 집진 덕트(50)를 통해 공기를 흡입하여 본체부(20) 내의 파티클을 제거할 수 있다.

구체적으로, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스토커(102)의 작동 과정을 살펴보면, 로봇암(40)은 클리닝 패드(80)를 각 수납 선반들(22) 바로 위에 차례로 올려놓았다가 들어올리는 작업을 수행한다. 동시에, 집진 덕트(50)를 통해서도 본체 부(20) 내부의 파티클을 흡입하여 제거한다. 이러한 작업을 통해서, 집진 유닛(50, 55, 60)만으로는 제거되지 않는 파티클 까지도 완벽하게 제거할 수 있다.

클리닝 패드(80)를 통해 수납 선반들(22) 바로 위에 붙어 있던 파티클이 충분히 제거되면, 로봇암(40)은 클리닝 패드(80)를 본체부(20) 밖으로 배출하고 수납물(MS)을 수납 선반(22) 위에 적재한다. 수납물(MS)을 적재하는 중에도 집진 덕트(50)를 통해 지속적으로 본체부(20) 내부의 파티클을 제거할 수 있다.

이와 같은 구성에 의하여, 스토커(102)는 수납물(MS)을 수납하는 본체부(20) 내부의 파티클을 더욱 효과적으로 제거하여 본체부(20)의 내부 환경을 청결하게 유지할 수 있다.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스토커의 구성도이다.

도 2는 도 1의 본체부의 내부 상태를 확대 도시한 구성도이다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 다른 스토거의 구성도이다.

Claims

복수의 수납 선반들을 갖는 본체부;

수납물을 이송시키는 이송부;

상기 이송부에 의해 이송된 상기 수납물을 상기 본체부의 수납 선반에 적재하는 로봇암; 그리고

상기 로봇암과 함께 움직이면서 상기 본체부 내부의 파티클을 제거하는 집진 유닛

를 포함하는 스토커(stocker).
제1항에서,

상기 집진 유닛은 상기 로봇암과 함께 움직이는 집진 덕트와, 상기 이송부 상에 배치되어 상기 집진 덕트를 통해 상기 본체부 내부의 공기를 흡입하는 진공 펌프를 포함하는 스토커.
제2항에서,

상기 로봇암은 일측 단부를 통해 수납물을 이동시키며,

상기 집진 덕트는 상기 로봇암의 일측 단부 쪽에 형성된 제1 개구부와, 상기 진공 펌프와 연결되는 제2 개구부를 갖는 스토커.
제2항에서,

상기 집진 유닛은 상기 집진 덕트와 상기 진공 펌프 사이에 배치된 정화 필터를 더 포함하는 스토커.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에서,

베이스 기판과, 상기 베이스 기판의 가장자리에 형성된 흡착부를 포함하는 클리닝 패드를 더 포함하며,

상기 클리닝 패드는 상기 본체부의 수납 선반에 상기 흡착부가 접촉되도록 상기 본체부에 적재되는 스토커.