JPS62241693A - 産業用ロボツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体製造装置など高い清浄度が要求され
る環境内で使用される産業用ロボットのダスト処理製置
に関するものである。

〔従来の技術〕

産業用ロボットのダスト処理は、例えば半導体産業にお
いて超微細化、高集積化が急速な進歩音道げ、これ罠と
もなう高い清浄度の環境内でロボット操作による無人化
工場の出現によって、ますますその高い除塵能力が必要
とされている。

第３図は清浄室内で操業する通常の産業用ロボットのダ
スト処理装置の一例を示す構成図であシ、（１）はロボ
ット、（２）はロボット（１）の本体内壁に固定された
仕切板、（３）はこの仕切板（２）の穴に設けられた排
気ファン、（４）は格子状の板で形成されたグレーチン
グである。

第４図は通常の産業用ロボットのダスト処理装置の他の
例を示す構成図であり、（１）はロボット、（３］は排
気ファン、（４）は排気ダクト、（５）は清浄室の壁、
（６）は同じく床である。

上記のような構成の産業用ロボットにおいて、第３図に
示したグレーチング（４）に設置したロボット（１）で
は、例えば昇降軸（１ａ）、アーム（１ｂ）。

（１ｃ）の摺動あるいは旋回時に発塵する微細な金属ダ
クト、モータなどの回転機よりの油の飛政体等カ、排気
ファン（３）の吸引によってロボット（１）の内部を移
動し、グレーチング（４）の格子内を通り外部へ排出さ
れる。

また、ロボット（１）の内部は排気ファン（３）によっ
て、常に清浄室内に対して負圧状態に保持されているの
で、ロボット（１）の外部に浮遊しているダストはロボ
ット（１）の隙間より進入して、上記の金属ダストおよ
び油の飛散体とともに外部へ排出される。

第４図のように壁（５）、床（６）によって密閉された
清浄室においては、ロボット（１）の本体と壁（５）に
設けられた開口部（５＆）との間をダクト（４）で接続
し、前述の第６図の場合と同様にロボット（１）内で発
塵するダスト等やロボット（１）周辺に浮遊するダスト
’ｌ、排気ファン（３）の吸引によってダクト（４）　
を経て外気へ排出する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の産業ロボットのダスト処理装置では
、例えば第６歯のように床がグレーチング（４）の場合
、ロボット（１）の本体の底部がグレーチング（４）面
に密着していないとダスト等の外気への排出効果が低下
するので、清浄室内を走行して作業を行うようなロボッ
トに適用するには不向である。また、第４図のようにロ
ボット（１）と壁（５）の開口部（５ａ）とに固定され
たダクト（４）によって排出する場合、走行型のロボッ
トには使用できないとともにダクト（４）の配設距離が
長くなると、清浄室内における障害体となるために作業
スペースの効率を低下させてしまうなどの問題があった
。

この発明はかかる問題点全解消するためになされたもの
で、清浄室の床をグレーチングで構成するとか、壁の開
口部にダクトを設けることなくロボット内外のダクトを
処理できる装置を備えた産業用ロボットを得ることを目
的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る産業ロボットのダスト処理装置は、ロボ
ット本体の側壁部に開口部を設け、この開口部内の外側
に交換可能なフィルタを取付け、このフィルタに隣接す
る内側にロボットの運転と同期して回転する排気ファン
を固定するようにしたものである。

〔作用〕

この発明におけるダスト処理は、排気ファンの吸収動作
によってロボット内外部のダストをフィルタ内に集塵し
、フィルタよシ常に清浄な空気を排出するので、清浄室
内はクリーン度の高い環境に保持される。

〔発明の実施例〕

第１図はこの発明の一実施例による産業用ロボットの構
成を示す図であり、（１）はロボット、（１ａ）は昇降
軸、（ｌｂ）、（１ｃ）はアーム、（３）はロボット（
１）の本体に設けられた開口部内に取付けられた排気フ
ァン　（６）はロボット（１）　ｋ設置している清浄室
の床、（７）は排気ファン（３）に隣接し着脱自在に取
付けられたフィルタである。

上記のように構成されたこの発明による産業用ロボット
において、昇降軸（１＆）、アーム（１ｂ）。

（１ｃ）の摺動あるいは旋回時に発塵する微細な金属ダ
スト、モータなどの回転機よりの油の飛散体等およびロ
ボット（１）外部に浮遊してロボット（１）の構造体の
隙間から進入すふダストカー、排気ファン（３）の吸引
作用によってフィルタ（７）内に集塵され、清浄な空気
だけが清浄室内に排出される。また、フィルタ（７）は
清浄室内で保持する清浄度、集塵するダストの最小粒径
等に応じたメツシュ数のものを使用し、ロボットの稼働
時間や定期的に行う清浄室内の浮遊ダストの測定値等に
応じて、新しいフィルタ（７）と交換する〇 なお、上記実施例では床（６）に固定して設置されたロ
ボット（１）の場合について説明したが、第２図に示す
ように床（６）上に敷設したレール（８）上を走行する
ロボット（１）の場合、排気ファン（３）によって吸引
したダス）ｋ排出しないこの発明のダスト処理装置が一
層有効に実施される。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したように、ロボットの内部および
ロボット周辺部に浮遊しているダストヲ排気ファンによ
って吸引し、これらのダストをフィルタ内に集塵するよ
うに構成したので、清浄室外へのダストの排出手段を必
要とせず、特に清浄室内を移動する走行形ロボットのダ
スト処理装置として有効に使用できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による産業用ロボットのダ
スト処理装置の構成図、第２図はこの発明の他の実施例
である走行形ロボットにダスト処理装置を備えた構成図
、第３図および第４図は清浄室内で使用する従来の産業
用ロボットのダスト処理装置を例示した構成図である。 図において、（１）はロボット、（３）は排気ファン、
（７）はフィルタ。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示すＯ 代用１人　弁理士　佐　藤　正　年 １：　０ホ゛ツド ３：　捗気ファノ ７：　フィルタ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体製造装置などの清浄室内で作業を行う産業用ロボ
   ットにおいて、ロボット本体の側壁部に設けられた開口
   部と、この開口部内の外側に設けられた交換可能なフィ
   ルタと、このフィルタに隣接して上記開口部内の内側に
   設けられた上記ロボットの運転と同期して作動する排気
   ファンとを備え、この排気ファンの吸引によつて上記ロ
   ボットの内外部のダストを上記フィルタに集塵すること
   を特徴とする産業用ロボット。