JPH039782Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案はフイルタに関し、特に例えば半導体
装置等を製造するダウンフロー式クリーンルーム
内のレイアウト変更時に有用なものである。

従来の技術 半導体装置、特に高集積度の集積回路装置等を
製造する場合、非常に高い清浄度が要求される。
このため、一般に天井面から高清浄度の空気を流
下せしめるダウンフロー式クリーンルームが使用
されている。

このダウンフロー式クリーンルームについて、
第４図を参照して説明すると、１は天井面、２は
床面で、床面２上にグレーテイング３が設けられ
ている。４はエツチング装置等の生産設備で、グ
レーテイング３上に設置されている。５は天井面
１と生産設備４との間に設置された間仕切壁であ
る。６は間仕切壁５を含む壁面に固定されたチヤ
ンネル、７はチヤンネル６に設置されたHEPA
フイルタである。

上記の構成において、天井面１とフイルタ７と
の間に清浄空気８が送り込まれると、フイルタ７
を通つた清浄空気８はクリーンルーム９内を層流
となつて下方に流れ、グレーテイング３と床面２
との間を通つて、送風機およびプレフイルタ（図
示せず）を通つて再び天井面１とフイルタ７との
間に送り込まれる。このようにして、クリーンル
ーム９内を絶えず清浄空気８がダウンフローする
ので、仮に作業者の移動等によつて塵埃が発生し
ても、この塵埃は清浄空気８とともに下方に流
れ、グレーテイング２を通つて室外に排出される
ため、クリーンルーム９内が高清浄度に維持され
る。

考案が解決しようとする問題点 ところで、最近の半導体製造業界における技術
の進歩は目覚ましいものであり、生産設備４の改
良が急速であり、したがつてクリーンルーム９内
のレイアウト変更も著しい。このため、例えば、
第４図において、生産設備４が改良に伴つて図示
２点鎖線４′に示すように大型化した場合、間仕
切壁を２点鎖線５′の位置に移設し、これに伴つ
てチヤンネル６も２点鎖線６′のように移設また
は新設し、フイルタ７も切断したりして小型化す
る必要があり、空調を数日間停止しなければなら
ないため、生産設備の稼動率が低下するという問
題点があつた。

問題点を解決するための手段 この考案は、枠体間の任意の箇所に間仕切セパ
レータを、その下端を間仕切壁と接続可能にフイ
ルタ部材よりも突出させて設けたことを特徴とす
るものである。

作 用 上記の手段によれば、クリーンルーム内のレイ
アウト変更が必要な場合、既存の間仕切壁やチヤ
ンネルはそのまゝにして、フイルタの間仕切セパ
レータの下端突出部と生産設備との間に新間仕切
壁を設置することにより、短時間でクリーンルー
ムの変更が行なえる。

実施例 以下、この考案の実施例について図面を参照し
て説明する。

第１図Ａはフイルタ１０の平面図を示し、第１
図Ｂは第１図ＡのＢ−Ｂ線に沿う断面図を示す。
図において、１１はアルミニウム、木材等よりな
る枠体で、２本の長い枠桟１１ａ，１１ｂと２本
の短い枠桟１１ｃ，１１ｄとを矩形状に固着した
もので、前記長い枠桟１１ａ，１１ｂの長さ寸法
ｌの中間（ｌ／２）位置に間仕切セパレータ１２
がその下端をフイルタ部材１３よりも突出するよ
うに固着されている。１３はHEPAフイルタ部
材である。

次に、上記フイルタ１０の使用方法について、
第２図を参照して説明する。第２図において、以
下の点を除いては第４図と同様であるため、同一
部分には同一参照符号を付して、その説明を省略
する。第４図と相違する点は、間仕切壁５に最も
近いフイルタ７に代えて、上記第１図に示すフイ
ルタ１０を用い、間仕切セパレータ１２の下端突
出部と生産設備４′との間に、新しい間仕切壁１
４を設置し、フイルタ１０の不要部分の上にビニ
ール等のフイルム１５を配置していることであ
る。すなわち、従来の間仕切壁５およびチヤンネ
ル６はそのまゝにしておいて、間仕切セパレータ
１２を利用して、新しい間仕切を行なうのであ
る。このようにすれば、従来の間仕切壁５やチヤ
ンネル６の撤去と、新しい間仕切壁やチヤンネル
の設置、さらにはフイルタ７の切断等が一切不要
になり、短時間でクリーンルーム９の変更が実施
でき、生産設備４′の稼動率が高くなる。

なお、上記実施例においては、間仕切セパレー
タ１２をフイルタ０の長さｌの中間（ｌ／２）位
置に設ける場合について説明したが、例えば第３
図に示すように、フイルタ１０′の長さｌのｌ／
４の位置に設けてもよい。このようにすると、フ
イルタ１０′の向きを変更することによつて、間
仕切セパレータ１２の位置を、ｌ／４または3l／
４の位置に変更することができる。同様に、間仕
切セパレータ１２を非対称位置に設けることによ
つて、種種の間仕切寸法に対応できる。

考案の効果 この考案によれば、以上のように、クリーンル
ーム内のレイアウト変更時に、間仕切セパレータ
の下端突出部に新しい間仕切壁を取り付けること
によつて、短時間でクリーンルームの仕切変更が
行なえ、生産設備の稼動率を高めることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例のフイルタを示
し、第１図Ａは平面図、第１図Ｂは第１図ＡのＢ
−Ｂ線に沿う断面図である。第２図はこの考案の
フイルタの使用方法について説明するためのクリ
ーンルームの断面図である。第３図はこの考案の
他の実施例のフイルタの平面図である。第４図は
この考案の背景となるクリーンルームの断面図で
ある。 １０，１０′……フイルタ、１１……枠体、１
２……間仕切セパレータ、１３……フイルタ部
材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 枠体内にフイルタ部材を固着してなるフイルタ
   において、 前記枠体内の任意の箇所に間仕切セパレータ
   を、その下端を間仕切壁と接続可能にフイルタ部
   材よりも突出させて設けたことを特徴とするフイ
   ルタ。