JPH031738Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体製造業、食品、薬品製造業等で
使用される、高性能フイルタと送風機を箱体に収
納し、送風機によつて送風される空気を高性能フ
イルタによつて濾過することによつて清浄にする
装置に関する。

この種の空気清浄装置を使用する半導体製造業
等では技術の進歩が目覚ましく、生産設備機器の
改良変更及び生産物の変更等により、空気清浄装
置の設置箇所でのレイアウト変更が頻繁に行なわ
れるため、レイアウト変更に容易でしかも低コス
トで対処でき、しかも清浄な作業環境の形成維持
に対しての設備コストの低減を図ることが要求さ
れる。

〔従来の技術〕

従来から空気清浄装置の構造としては第３図及
び第４図に示す構成のものが知られている。第３
図は従来の垂直気流式空気清浄装置の側面断面図
である。

第３図において、天板４と側板３を枠組みし、
天板４と側板３のそれぞれの結合部を溶接して一
体化し、箱体を形成する。更にこの箱体内に送風
機取付板５、箱体の下端にフイルタ取付板６ｃを
取り付け、吸気室８と通風室９に仕切り、箱体と
の結合部を溶接する。そしてこの箱体の送風機取
付板５の開口部１０に空気を送風する送風機２
を、フイルタ取付板６ｃの開口部１１ａに送風機
から送風される空気を濾過する高性能フイルタ１
をそれぞれ取り付けて空気清浄装置を構成する。
空気清浄装置は支柱を兼ねる背面板１６ａに取り
付けられ床部１７に設置される。点線矢印で示す
ようにフイルタ７を介して吸気室８に吸い込まれ
た空気は送風機２により通風室９へ送風される。
通風室９は送風機取付板５とフイルタ取付板６ｃ
によつて仕切られているため陽圧となる。通風室
９によつて陽圧とされた空気は高性能フイルタ１
に与えられ、高性能フイルタ１を介して浄化さ
れ、開口部１１ａから下方へ吹き出される。ギヤ
ラリ２０は背面板１６ａに沿つて生じる乱流によ
つて、室内で発生した塵埃または隣接汚染域の塵
埃が拡散してしまうのを防ぎ、発塵を速やかに作
業部外へ排出するためのものである。

次に第４図は従来の水平気流式空気清浄装置の
側面断面図である。

第４図において、天板４と側板３と送風機取付
板５ａを枠組みして第１の箱体とし、吸気室８を
形成する。そしてこの第１の箱体の送風機取付板
５ａの開口部１０ａに空気を送風する送風機２を
吸気室８内側となるように取り付ける。送風機取
付板５ａの下側には支柱を兼ねる背面板１６ｂと
フイルタ取付板６ｂと図示しない側板が開口部１
０ａを囲むように取り付けられ、第２の箱体とし
て、通風室９ｂを形成する。そしてこの第２の箱
体のフイルタ取付板６ｂの開口部１８ａに送風機
から送風される空気を濾過する高性能フイルタ１
ｃ，１ｄを通風室９ｂ内側となるように取り付け
て空気清浄装置を構成する。点線矢印で示すよう
にフイルタ７を介して吸気室８に吸い込まれた空
気は送風機２により通風室９ｂへ送風される。通
風室９ｂは送風機取付板５ａとフイルタ取付板６
ｂによつて仕切られているため陽圧となる。通風
室９ｂによつて陽圧とされた空気は高性能フイル
タ１ｃ，１ｄに与えられ、高性能フイルタ１ｃ，
１ｄを介して浄化され、開口部１８ａから横方向
へ吹き出される。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、これらのような空気清浄装置に
あつては、それぞれ用途に合せて垂直気流式ある
いは水平気流式が使い分けられており、しかも垂
直気流式は高性能フイルタを水平方向に設けて下
方へ清浄空気を送風する方式であり、水平気流式
は高性能フイルタを垂直方向に設けて横方向へ清
浄空気を送風する方式で装置の構成が異なつてお
り、設備レイアウトの変更により、水平気流式か
ら垂直気流式へ、あるいは反対に垂直気流式から
水平気流式に変えようとする場合に装置をユニツ
トごと交換しなければならない。このため、空気
清浄装置の交換に際しては新しい装置の製作さら
に天井部取付型だと天井部の加工、床部据付型だ
と床部の加工等大幅な改造をしなければならず、
改造費、改造期間がかかる等の問題点があつた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は空気清浄装置のフイルタ取付板におい
て、第１の高性能フイルタの吹出口であり第１の
塞板を取り付けるための取付部を有する第１の開
口部と、第２の高性能フイルタを内蔵するフイル
タボツクスまたは第２の塞板を取り付けるための
取付部を有する第２の開口部を設けることによ
り、気流方式の変更に際して、ユニツト全ての交
換を不要にすると共に、天井部、床部の加工を不
要とし、改造費、改造期間を低減させるのであ
る。

〔作用〕

本考案によれば、送風機を取り付けた送風機取
付板と天板と側板と第１、第２の開口部を有する
フイルタ取付板によつて箱体を構成して天井部あ
るいは床部に取付け、垂直気流式として動作させ
る際は第２の開口部を塞板で塞ぎ、第１の開口部
を開口させて下方に浄化された空気を送風し、水
平気流式として動作させる際は第２の開口部の塞
板を外し第２の高性能フイルタを内蔵するフイル
タボツクスを第２の開口部に取付け、第１の開口
部を塞板で塞ぎ、フイルタボツクスの第２の高性
能フイルタを通して浄化された空気が横方向に送
風されるのである。

〔実施例〕

第１図及び第２図は本考案の実施例を示す構成
図であり、第３図及び第４図に対応する同一部材
には同じ符号が付してある。

第１図Ａ，Ｂは本考案の実施例である空気清浄
装置の側面断面図であり、Ａは垂直気流式、Ｂは
水平気流式とした時の構成を示したものである。

第１図において、まずＡに示すように天板４と
側板３を枠組みして一体化し、箱体を形成する。
更にこの箱体内に送風機取付板５、箱体の下端に
第１、第２の開口部を有するフイルタ取付板６を
取り付け、吸気室８と通風室９に仕切る。そして
この箱体の送風機取付板５の開口部１０に空気を
送風する送風機２を、フイルタ取付板６の第２の
開口部１２に塞板１３を、フイルタ取付板６の第
１の開口部１１に送風機から送風される空気を濾
過する高性能フイルタ１をそれぞれ取り付けて空
気清浄装置を構成する。フイルタ取付板６の開口
部１，１２の周縁部には塞板１３あるいは塞板１
３ａ、フイルタボツクス１４をネジまたはボル
ト、ナツトによつて取付けるための取付部が設け
られている。塞板１３はこの取付部を介して開口
部１２に取付けられる。塞板１３と開口部１２の
接触部にはパツキン等周知の密封処理が施され
る。点線矢印で示すようにフイルタ７を介して吸
気室８に吸い込まれた空気は送風機２により通風
室９へ送風される。通風室９は塞板１３によつて
開口部１２を塞がれたフイルタ取付板６と送風機
取付板５によつて仕切られているため陽圧とな
る。通風室９によつて陽圧とされた空気は高性能
フイルタ１に与えられ、高性能フイルタ１を介し
て浄化され、開口部１１から下方へ吹き出され
る。この構成により、垂直気流式の空気清浄装置
が形成される。

次にＢに示すように垂直気流式から水平気流式
に変える際はまず開口部１２の塞板１３を取り外
す。そして側板３ａとフイルタ取付板６ａと底板
２３を枠組みして一体化し、高性能フイルタ１
ａ，１ｂを内蔵したフイルタボツクス１４を開口
部１２に取り付ける。開口部１１は塞板１３ａに
より取付部を介して取付けられる。塞板１３ａと
開口部１１の接触部及び開口部１２とフイルタボ
ツクス１４の接触部にはパツキン等周知の密封処
理が施される。点線矢印で示すようにフイルタ７
を介して吸気室８に吸い込まれた空気は送風機２
により通風室９へ送風される。フイルタ取付板６
は開口部１１が塞板１３ａによつて塞がれてお
り、もう一方の開口部１２はフイルタボツクス１
４と連結されている。このため通風室９とこれに
連結する通風室９ａは１つの通風室を形成し、送
風機２からの送風で陽圧となる。通風室９，９ａ
によつて陽圧とされた空気は高性能フイルタ１
ａ，１ｂに与えられ、高性能フイルタ１ａ，１ｂ
を介して浄化され、開口部１８から横方向へ吹き
出される。この構成により、水平気流式の空気清
浄装置が形成される。なお、高性能フイルタ１を
高性能フイルタ１ａ，１ｂと同一寸法とし、高性
能フイルタ１を取り外してフイルタボツクス１４
内の高性能フイルタに流用してもよい。

第２図Ａ，Ｂは本考案の実施例である空気清浄
装置の据え付けた際の側面断面図であり、Ａは天
井部据え付け、Ｂは床部据え付けとした際の構成
を示したものである。

第２図において、まずＡに示すように天井部１
５に据え付ける際は空気清浄装置の天板４を図示
しないネジあるいはボルト、ナツトによつて天井
部１５に取り付ける。そして必要に応じて開口部
１２側の側板３の下端に背面板１６が取り付けら
れる。この背面板１６の下端と床部１７との間は
空気が排出できるよう所定幅開口させる。点線で
示すように開口部１１に塞板を取り付け、フイル
タボツクスを取り付けることで垂直気流式から水
平気流式に変えることができる。

次にＢに示すように床部１７に据え付ける際は
Ｌ形の支柱１９に空気清浄装置を取り付けて床部
１７に設置する。そして必要に応じて天板４と天
井部１５との間を接合板２１で塞ぐ。支柱１９の
ギヤラリ２０は空気を排出させるためのものであ
る。点線で示すように開口部１１に塞板を取り付
け、フイルタボツクスを取り付けることで垂直気
流式から水平気流式に変えることができる。

〔考案の効果〕

本考案は空気清浄装置のフイルタ取付板に第１
の高性能フイルタの吹出口であり第１の塞板を取
り付けるための取付部を有する第１の開口部と、
第２の高性能フイルタを内蔵するフイルタボツク
スまたは第２の塞板を取り付けるための取付部を
有する第２の開口部を設けることにより、第１、
第２の塞板とフイルタボツクスの取り付け、取り
外しで垂直気流式と水平気流式の切り替えが容易
に行なえ、レイアウト変更等によつて空気清浄装
置の気流方式を変更する際に低コスト、短期間で
改造が行なえる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例である空気清浄装置の
側面断面図、第２図は本考案の実施例である空気
清浄装置の据え付けた際の側面断面図、第３図は
従来の垂直気流式空気清浄装置の側面断面図、第
４図は従来の水平気流式空気清浄装置の側面断面
図を示す。 １，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ……高性能フイル
タ、２……送風機、３，３ａ……側板、４……天
板、５，５ａ……送風機取付板、６，６ａ，６
ｂ，６ｃ……フイルタ取付板、７……フイルタ、
８……吸気室、９，９ａ，９ｂ……通風室、１
０，１０ａ，１１，１１ａ，１２，１８，１８ａ
……開口部、１３，１３ａ……塞板、１４……フ
イルタボツクス、２２……箱体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 第１ないし第４の側板と天板を接合し、送風
   機を取り付けた送風機取付板を前記側板の所定
   位置に接合して吸気室と通風室に仕切り、吸気
   室側の前記側板の少なくとも１面にフイルタを
   取り付け、通風室側の前記側板に第１の高性能
   フイルタを取り付けたフイルタ取付板を接合し
   て箱体とし、送風機によつて送出される空気を
   フイルタを介して清浄化する空気清浄装置にお
   いて、前記第１の高性能フイルタの吹出口であ
   り第１の塞板を取り付けるための取付部を有す
   る第１の開口部と、第２の高性能フイルタを内
   蔵するフイルタボツクスまたは第２の塞板を取
   り付けるための取付部を有する第２の開口部を
   前記フイルタ取付板に設けたことを特徴とする
   空気清浄装置。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置に
   おいて、フイルタ取付板の第２の開口部に第２
   の塞板を取り付けたことを特徴とする空気清浄
   装置。 ３ 実用新案登録請求の範囲第１項記載の装置に
   おいて、フイルタ取付板の第１の開口部に第１
   の塞板を取り付け、第２の開口部に第２の高性
   能フイルタを内蔵するフイルタボツクスを取り
   付けたことを特徴とする空気清浄装置。