JP2599750Y2 - ファン付フィルタ装置 - Google Patents
ファン付フィルタ装置Info
- Publication number
- JP2599750Y2 JP2599750Y2 JP1993047786U JP4778693U JP2599750Y2 JP 2599750 Y2 JP2599750 Y2 JP 2599750Y2 JP 1993047786 U JP1993047786 U JP 1993047786U JP 4778693 U JP4778693 U JP 4778693U JP 2599750 Y2 JP2599750 Y2 JP 2599750Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fan
- terminal block
- mounting base
- block mounting
- filter device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、半導体やバイオ関連な
どの製造ラインのように環境のクリーン化が必要な場所
に用いられるファン付フィルタ装置に関する。
どの製造ラインのように環境のクリーン化が必要な場所
に用いられるファン付フィルタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のファン付フィルタ装置を図３に示
す。図３はファン付フィルタ装置のフィルタ（図示せ
ず）の上流側に有するチャンバ室内を示す断面図であ
る。同図に示すように、チャンバ室１内には、対称な位
置にファン２ａとファン２ｂが設けられている。このフ
ァン２ａとファン２ｂとの間には、ファン２ａを有する
空間とファン２ｂを有する空間とが同形状となるように
整流プレート３が設けられている。そして整流プレート
３の両端部には、チャンバ室１の側壁との間に通風路４
ａ，４ｂが設けられている。またチャンバ室１内部に
は、ファン２ａ，２ｂの接続端子を接続するための端子
台を有する端子台取付ベース５が設けられている。この
端子台取付ベース５は、一方のファン２ａの吹き出し空
気と、他方のファン２ｂから吹き出され通風路４ｂを経
由してファン２ａ側に流入する空気とが衝突する位置に
設けられている。
す。図３はファン付フィルタ装置のフィルタ（図示せ
ず）の上流側に有するチャンバ室内を示す断面図であ
る。同図に示すように、チャンバ室１内には、対称な位
置にファン２ａとファン２ｂが設けられている。このフ
ァン２ａとファン２ｂとの間には、ファン２ａを有する
空間とファン２ｂを有する空間とが同形状となるように
整流プレート３が設けられている。そして整流プレート
３の両端部には、チャンバ室１の側壁との間に通風路４
ａ，４ｂが設けられている。またチャンバ室１内部に
は、ファン２ａ，２ｂの接続端子を接続するための端子
台を有する端子台取付ベース５が設けられている。この
端子台取付ベース５は、一方のファン２ａの吹き出し空
気と、他方のファン２ｂから吹き出され通風路４ｂを経
由してファン２ａ側に流入する空気とが衝突する位置に
設けられている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のファン付フィルタ装置では、端子台取付ベース５を有
しているために、この端子台取付ベース５を設けた側
と、設けていない側で空気の流れが異なることになる。
この点について図面を用いてさらに詳細に説明すると、
ファン２ａから吹き出された空気の一部は矢印Ａに示す
ように通風路４ａを通ってファン２ｂ側へ流れ込むが、
この時、ファン２ｂ側へ流れ込んだ空気は矢印Ｂ、Ｃの
ような流れとなる。これに対し、ファン２ｂから吹き出
された空気のうち通風路４ｂを通ってファン２ａ側へ流
れ込んだ矢印Ｄの空気は、端子台取付ベース５に当た
り、矢印Ｅのような流れになる。そして、このように空
気の流れが異なることにより、結果としてフィルタから
吹き出される風速分布に大きな差異を生じ、風速分布の
均一化が図れないという課題を有していた。そこで、本
考案は、チャンバ室内の空気の流れを対称とすることに
より、フィルタから吹き出される風速分布の均一化を図
ることのできるファン付フィルタ装置を提供することを
目的とする。
のファン付フィルタ装置では、端子台取付ベース５を有
しているために、この端子台取付ベース５を設けた側
と、設けていない側で空気の流れが異なることになる。
この点について図面を用いてさらに詳細に説明すると、
ファン２ａから吹き出された空気の一部は矢印Ａに示す
ように通風路４ａを通ってファン２ｂ側へ流れ込むが、
この時、ファン２ｂ側へ流れ込んだ空気は矢印Ｂ、Ｃの
ような流れとなる。これに対し、ファン２ｂから吹き出
された空気のうち通風路４ｂを通ってファン２ａ側へ流
れ込んだ矢印Ｄの空気は、端子台取付ベース５に当た
り、矢印Ｅのような流れになる。そして、このように空
気の流れが異なることにより、結果としてフィルタから
吹き出される風速分布に大きな差異を生じ、風速分布の
均一化が図れないという課題を有していた。そこで、本
考案は、チャンバ室内の空気の流れを対称とすることに
より、フィルタから吹き出される風速分布の均一化を図
ることのできるファン付フィルタ装置を提供することを
目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案は、上記目的を達
成するために、フィルタの上流側にチャンバ室を有し、
前記チャンバ室内にファンと端子台取付ベースを設けて
なるファン付フィルタ装置において、前記端子台取付ベ
ースと同一形状、大きさのバランスプレートを前記端子
台取付ベースと対称な位置に設けたことを特徴とする。
成するために、フィルタの上流側にチャンバ室を有し、
前記チャンバ室内にファンと端子台取付ベースを設けて
なるファン付フィルタ装置において、前記端子台取付ベ
ースと同一形状、大きさのバランスプレートを前記端子
台取付ベースと対称な位置に設けたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】本考案は上記のように、端子台取付ベースと同
一形状、大きさのバランスプレートを端子台取付ベース
と対称な位置に設けることによって、２つのファンから
吹き出された空気の流れは対称となり、フィルタから吹
き出される風速分布の均一化を図ることができる。
一形状、大きさのバランスプレートを端子台取付ベース
と対称な位置に設けることによって、２つのファンから
吹き出された空気の流れは対称となり、フィルタから吹
き出される風速分布の均一化を図ることができる。
【０００６】
【実施例】以下本考案の一実施例によるファン付フィル
タ装置を図面を用いて説明する。図１は同ファン付きフ
ィルタ装置の断面図、図２は図１のII−II線断面図であ
る。なお、従来のファン付フィルタ装置と同一の部材に
は同一の番号を付している。
タ装置を図面を用いて説明する。図１は同ファン付きフ
ィルタ装置の断面図、図２は図１のII−II線断面図であ
る。なお、従来のファン付フィルタ装置と同一の部材に
は同一の番号を付している。
【０００７】図に示すように、チャンバ室１内には、チ
ャンバ室１の上面から吊り下げるようにして、２つのフ
ァン２ａ，２ｂ、整流プレート３、内部に端子台５ａを
有する端子台取付ベース５及びバランスプレート６が設
けられている。この時ファン２ａ，２ｂ、整流プレート
３、及び端子台取付ベース５の配置は図２に示すように
従来のファン付フィルタ装置と同じであるので説明を省
略する。ここでバランスプレート６は、端子台取付ベー
ス５と同じ形状、大きさのものとし、端子台取付ベース
５と対称な位置に設けられている。すなわち、端子台取
付ベース５は、一方のファン２ａの吹き出し空気と、他
方のファン２ｂから吹き出され通風路４ｂを経由してフ
ァン２ａ側に流入する空気とが衝突する位置に設けられ
ており、バランスプレート６は、一方のファン２ｂの吹
き出し空気と、他方のファン２ａから吹き出され通風路
４ａを経由してファン２ｂ側に流入する空気とが衝突す
る位置に設けられている。なお同図において７はフィル
タであり、清浄化した空気を図１の矢印方向に吹き出
す。
ャンバ室１の上面から吊り下げるようにして、２つのフ
ァン２ａ，２ｂ、整流プレート３、内部に端子台５ａを
有する端子台取付ベース５及びバランスプレート６が設
けられている。この時ファン２ａ，２ｂ、整流プレート
３、及び端子台取付ベース５の配置は図２に示すように
従来のファン付フィルタ装置と同じであるので説明を省
略する。ここでバランスプレート６は、端子台取付ベー
ス５と同じ形状、大きさのものとし、端子台取付ベース
５と対称な位置に設けられている。すなわち、端子台取
付ベース５は、一方のファン２ａの吹き出し空気と、他
方のファン２ｂから吹き出され通風路４ｂを経由してフ
ァン２ａ側に流入する空気とが衝突する位置に設けられ
ており、バランスプレート６は、一方のファン２ｂの吹
き出し空気と、他方のファン２ａから吹き出され通風路
４ａを経由してファン２ｂ側に流入する空気とが衝突す
る位置に設けられている。なお同図において７はフィル
タであり、清浄化した空気を図１の矢印方向に吹き出
す。
【０００８】次に本実施例による空気の流れについて簡
単に説明する。ファン２ｂから吹き出された空気のうち
通風路４ｂを通ってファン２ａ側へ流れ込んだ矢印Ｄの
空気は、従来例で説明したのと同様に、端子台取付ベー
ス５に当たり、矢印Ｅのような流れになる。一方ファン
２ａから吹き出された空気の一部は、図２の矢印Ａに示
すように通風路４ａを通ってファン２ｂ側へ流れ込む
が、この時ファン２ｂ側へ流れ込んだ空気は、バランス
プレート６に当たり矢印Ｂ’のような流れとなり、ファ
ン２ｂから吹き出された空気のうち通風路４ｂを通って
ファン２ａ側へ流れ込んだ空気の流れと同じになる。従
って、本実施例によれば、ファン２ａから吹き出された
空気と、ファン２ｂから吹き出された空気の流れとを同
じにすることができ、フィルタ７から吹き出される風速
分布の均一化を図ることができる。
単に説明する。ファン２ｂから吹き出された空気のうち
通風路４ｂを通ってファン２ａ側へ流れ込んだ矢印Ｄの
空気は、従来例で説明したのと同様に、端子台取付ベー
ス５に当たり、矢印Ｅのような流れになる。一方ファン
２ａから吹き出された空気の一部は、図２の矢印Ａに示
すように通風路４ａを通ってファン２ｂ側へ流れ込む
が、この時ファン２ｂ側へ流れ込んだ空気は、バランス
プレート６に当たり矢印Ｂ’のような流れとなり、ファ
ン２ｂから吹き出された空気のうち通風路４ｂを通って
ファン２ａ側へ流れ込んだ空気の流れと同じになる。従
って、本実施例によれば、ファン２ａから吹き出された
空気と、ファン２ｂから吹き出された空気の流れとを同
じにすることができ、フィルタ７から吹き出される風速
分布の均一化を図ることができる。
【０００９】なお、本実施例では、バランスプレート６
を端子台取付ベース５と同一形状、大きさであるとして
説明したが、必ずしも細部まで同じである必要はなく、
特に空気の流れに影響の少ない部分の多少の違いがあっ
ても実質的に同一効果を生じる形状であれば構わない。
また、ファンはチャンバ室内において均一な流れを生じ
させるものであればよく、その個数は２個に限定される
ものではない。
を端子台取付ベース５と同一形状、大きさであるとして
説明したが、必ずしも細部まで同じである必要はなく、
特に空気の流れに影響の少ない部分の多少の違いがあっ
ても実質的に同一効果を生じる形状であれば構わない。
また、ファンはチャンバ室内において均一な流れを生じ
させるものであればよく、その個数は２個に限定される
ものではない。
【００１０】
【考案の効果】本考案のフィルタ装置によれば、フィル
タから吹き出される風速分布の均一化を図ることができ
る。
タから吹き出される風速分布の均一化を図ることができ
る。
【図１】本考案の一実施例によるファン付フィルタ装置
の断面図
の断面図
【図２】図１のII−II線断面図
【図３】従来のファン付フィルタ装置の断面図
１ チャンバ室 ２ａ ファン ２ｂ ファン ３ 整流プレート ４ａ 通風路 ４ｂ 通風路 ５ 端子台取付ベース ６ バランスプレート ７ フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B01D 46/00 - 46/52 F24F 7/06
Claims (1)
- 【請求項１】 フィルタの上流側にチャンバ室を有し、
前記チャンバ室内にファンと端子台取付ベースを設けて
なるファン付フィルタ装置において、前記端子台取付ベ
ースと同一形状、大きさのバランスプレートを、前記端
子台取付ベースと対称な位置に設けたことを特徴とする
ファン付フィルタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993047786U JP2599750Y2 (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | ファン付フィルタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993047786U JP2599750Y2 (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | ファン付フィルタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0713417U JPH0713417U (ja) | 1995-03-07 |
| JP2599750Y2 true JP2599750Y2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=12785064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993047786U Expired - Fee Related JP2599750Y2 (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | ファン付フィルタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2599750Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4645244B2 (ja) * | 2005-03-15 | 2011-03-09 | パナソニック株式会社 | ファンフィルターユニット |
| JP5049506B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2012-10-17 | 日本無機株式会社 | ファン付フィルタユニットの作製方法 |
-
1993
- 1993-08-09 JP JP1993047786U patent/JP2599750Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0713417U (ja) | 1995-03-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990622 |
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