JP3337529B2 - ファン付フィルタ装置 - Google Patents
ファン付フィルタ装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームやクリ
ーンストッカー等を構成するために用いるファン付フィ
ルタ装置に関する。
ーンストッカー等を構成するために用いるファン付フィ
ルタ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のファン付フィルタ装置と
しては、例えば特開平１−２００１３７号公報に記載さ
れるように、チャンバの上流側に複数個の軸流ファンを
配置するとともに、前記チャンバの下流側にフィルタを
配置したものが知られている。しかしながら、上記従来
のファン付フィルタ装置にあっては、複数個の軸流ファ
ンをチャンバ内の全面に設けているため、各軸流ファン
の隣接部に気流が集中する領域が生じ、その領域におい
ては他の領域よりもかなり大きな風速の気流が衝突する
ことになる。従って、チャンバ内での部分的な気流の乱
れが生じることになり、フィルタの下流での風速分布が
不均一になるだけでなくフィルタの寿命も短くなるとい
う不都合を有していた。
しては、例えば特開平１−２００１３７号公報に記載さ
れるように、チャンバの上流側に複数個の軸流ファンを
配置するとともに、前記チャンバの下流側にフィルタを
配置したものが知られている。しかしながら、上記従来
のファン付フィルタ装置にあっては、複数個の軸流ファ
ンをチャンバ内の全面に設けているため、各軸流ファン
の隣接部に気流が集中する領域が生じ、その領域におい
ては他の領域よりもかなり大きな風速の気流が衝突する
ことになる。従って、チャンバ内での部分的な気流の乱
れが生じることになり、フィルタの下流での風速分布が
不均一になるだけでなくフィルタの寿命も短くなるとい
う不都合を有していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記不都合を解消する
ために、チャンバの上流側に間隔を存して複数個の軸流
ファンを配置することが考えられる。しかしながら、例
えばチャンバの中心点を中心にして周囲に４分割される
領域の２領域に軸流ファンを配置した場合には、軸流フ
ァンのチャンバ内壁面から離れた場所ではチャンバ内壁
面による反射風の影響が少ない等の理由により、風速の
小さな領域が生じてしまうという不都合を有していた。
また、さらにはチャンバの中心部においては、両軸流フ
ァンから離れているために、風速が小さな領域が生じて
しまうという不都合も有していた。このために、チャン
バ内に配置される軸流ファンを間隔を存して配置して
も、風速分布が均一となるファン付フィルタ装置の提案
が望まれていた。
ために、チャンバの上流側に間隔を存して複数個の軸流
ファンを配置することが考えられる。しかしながら、例
えばチャンバの中心点を中心にして周囲に４分割される
領域の２領域に軸流ファンを配置した場合には、軸流フ
ァンのチャンバ内壁面から離れた場所ではチャンバ内壁
面による反射風の影響が少ない等の理由により、風速の
小さな領域が生じてしまうという不都合を有していた。
また、さらにはチャンバの中心部においては、両軸流フ
ァンから離れているために、風速が小さな領域が生じて
しまうという不都合も有していた。このために、チャン
バ内に配置される軸流ファンを間隔を存して配置して
も、風速分布が均一となるファン付フィルタ装置の提案
が望まれていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明はかかる目的を達
成するべく、チャンバの上流側に間隔を存して複数個の
軸流ファンを配置するとともに、前記チャンバの下流側
にフィルタを配置したファン付フィルタ装置において、
少なくとも前記各軸流ファン間の投影面上における平均
吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない領域に整流板
を設けたことを特徴とする。また、前記チャンバの前記
軸流ファンの軸方向に対する断面を正方形状に形成し、
その一方の対角線上に２つの軸流ファンを配置し、前記
フィルタの下流側であって、前記各軸流ファン間の投影
面上の平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない側
を通る位置に整流板を設け、前記２つの整流体は前記フ
ィルタ面を３等分するように平行に設けることが好まし
い。尚、前記チャンバの前記軸流ファンの軸方向に対す
る断面を正方形状に形成し、その一方の対角線上に２つ
の軸流ファンを配置した場合は、前記フィルタの上流側
であって前記チャンバの他方の対角線上に仕切板を配置
することが好ましい。また、前記チャンバの前記軸流フ
ァンの軸方向に対する断面を長方形状に形成し、その長
手方向の中心線に沿って間隔を存し且つチャンバ内壁面
との間にも間隔を存して複数個の軸流ファンを配置した
場合は、前記フィルタの下流側であって、前記軸流ファ
ンの中心点を結んだ線に対して対称な位置に２つの整流
板を設けることが好ましい。
成するべく、チャンバの上流側に間隔を存して複数個の
軸流ファンを配置するとともに、前記チャンバの下流側
にフィルタを配置したファン付フィルタ装置において、
少なくとも前記各軸流ファン間の投影面上における平均
吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない領域に整流板
を設けたことを特徴とする。また、前記チャンバの前記
軸流ファンの軸方向に対する断面を正方形状に形成し、
その一方の対角線上に２つの軸流ファンを配置し、前記
フィルタの下流側であって、前記各軸流ファン間の投影
面上の平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない側
を通る位置に整流板を設け、前記２つの整流体は前記フ
ィルタ面を３等分するように平行に設けることが好まし
い。尚、前記チャンバの前記軸流ファンの軸方向に対す
る断面を正方形状に形成し、その一方の対角線上に２つ
の軸流ファンを配置した場合は、前記フィルタの上流側
であって前記チャンバの他方の対角線上に仕切板を配置
することが好ましい。また、前記チャンバの前記軸流フ
ァンの軸方向に対する断面を長方形状に形成し、その長
手方向の中心線に沿って間隔を存し且つチャンバ内壁面
との間にも間隔を存して複数個の軸流ファンを配置した
場合は、前記フィルタの下流側であって、前記軸流ファ
ンの中心点を結んだ線に対して対称な位置に２つの整流
板を設けることが好ましい。
【０００５】
【作用】本発明によれば、フィルタの下流側であって軸
流ファン間の投影面上の平均吹き出し風量に比べて、吹
出風量の少ない領域に整流板を設けたことにより、軸流
ファンから整流板に吹き付けられる気流が、整流板に衝
突するとともに、この衝突により整流体の両端縁を通過
する気流が整流板の下方に巻き込まれて風速が合成さ
れ、その結果整流板の下方に沿って、風速を大きくする
ことができる。この整流板は、各軸流ファン間の投影面
上の平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない領域
に設けられるので、その結果フィルタ下流での風速分布
を均一にすることができる。また、前記チャンバを正方
形状に形成し、その一方の対角線上に２つの軸流ファン
を配置した場合は、仕切板の配置により、チャンバ内は
２分割され、チャンバの中心部における両軸流ファンの
影響を受けない場所が存在しなくなり、そのため、フィ
ルタ下流での風速分布をさらに均一にすることができ
る。
流ファン間の投影面上の平均吹き出し風量に比べて、吹
出風量の少ない領域に整流板を設けたことにより、軸流
ファンから整流板に吹き付けられる気流が、整流板に衝
突するとともに、この衝突により整流体の両端縁を通過
する気流が整流板の下方に巻き込まれて風速が合成さ
れ、その結果整流板の下方に沿って、風速を大きくする
ことができる。この整流板は、各軸流ファン間の投影面
上の平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない領域
に設けられるので、その結果フィルタ下流での風速分布
を均一にすることができる。また、前記チャンバを正方
形状に形成し、その一方の対角線上に２つの軸流ファン
を配置した場合は、仕切板の配置により、チャンバ内は
２分割され、チャンバの中心部における両軸流ファンの
影響を受けない場所が存在しなくなり、そのため、フィ
ルタ下流での風速分布をさらに均一にすることができ
る。
【０００６】
【実施例】以下、本発明ファン付フィルタ装置の実施例
について図面を用いて説明する。図１は、本発明ファン
付フィルタ装置の一実施例を示す平面図、図２はそのII
−II線拡大断面図である。図において、１はチャンバで
あり、チャンバ１内の上流側には軸流ファン２ａ，２ｂ
が、下流側にはフィルタ３が設けられている。ここで軸
流ファン２ａ，２ｂについてさらに詳細に説明すると、
図示はしないが中心位置にモータ部を有し、このモータ
部の周囲にこのモータによって駆動される羽根が配設さ
れ、この羽根を円筒状のベンチュリーケースによって囲
繞するようにしてある。前記２つの軸流ファン２ａ，２
ｂはチャンバ１の対角線上に配置され、これら軸流ファ
ン２ａ，２ｂは同一性能のものを用いている。
について図面を用いて説明する。図１は、本発明ファン
付フィルタ装置の一実施例を示す平面図、図２はそのII
−II線拡大断面図である。図において、１はチャンバで
あり、チャンバ１内の上流側には軸流ファン２ａ，２ｂ
が、下流側にはフィルタ３が設けられている。ここで軸
流ファン２ａ，２ｂについてさらに詳細に説明すると、
図示はしないが中心位置にモータ部を有し、このモータ
部の周囲にこのモータによって駆動される羽根が配設さ
れ、この羽根を円筒状のベンチュリーケースによって囲
繞するようにしてある。前記２つの軸流ファン２ａ，２
ｂはチャンバ１の対角線上に配置され、これら軸流ファ
ン２ａ，２ｂは同一性能のものを用いている。
【０００７】フィルタ３の下流側には、フィルタ３を覆
うように通風板４がチャンバ１に取り付けられている。
この通風板４はフィルタ３の損傷を防止するためのもの
で、金網やパンチング板等が用いられる。通風板４のフ
ィルタ３側の面には２つの整流板５ａ，５ｂが設けられ
ている。一方の整流板５ａは軸流ファン２ａの投影面上
の平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない側を通
る位置に、また、他方の整流板５ｂは軸流ファン２ｂの
投影面上の平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少な
い側を通る位置にそれぞれ設けられている。これらの整
流板５ａ，５ｂは互いに平行に設けられており、フィル
タ３の面をおおよそ３等分するように設けられている。
また、これらの整流板５ａ，５ｂは、整流板５ａ，５ｂ
の各両端縁を通過した気流が整流板５ａ，５ｂの下方に
巻き込まれ合成されるような幅及び形状のものとする。
また、チャンバ１内には、軸流ファン２ａ，２ｂを分け
るようにチャンバ１の他の対角線上に仕切板６が設けら
れている。
うように通風板４がチャンバ１に取り付けられている。
この通風板４はフィルタ３の損傷を防止するためのもの
で、金網やパンチング板等が用いられる。通風板４のフ
ィルタ３側の面には２つの整流板５ａ，５ｂが設けられ
ている。一方の整流板５ａは軸流ファン２ａの投影面上
の平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない側を通
る位置に、また、他方の整流板５ｂは軸流ファン２ｂの
投影面上の平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少な
い側を通る位置にそれぞれ設けられている。これらの整
流板５ａ，５ｂは互いに平行に設けられており、フィル
タ３の面をおおよそ３等分するように設けられている。
また、これらの整流板５ａ，５ｂは、整流板５ａ，５ｂ
の各両端縁を通過した気流が整流板５ａ，５ｂの下方に
巻き込まれ合成されるような幅及び形状のものとする。
また、チャンバ１内には、軸流ファン２ａ，２ｂを分け
るようにチャンバ１の他の対角線上に仕切板６が設けら
れている。
【０００８】次に、上記実施例のファン付フィルタ装置
の風速分布について測定した。この時の風速測定結果を
表１に示す。各測定点は図３に示すとおりである。尚、
本風速分布の測定は、軸流ファンとして標準パーキーフ
ァン、フィルタとして低圧損フィルタ、通風板としてパ
ンチングメタル（φ３×５Ｐ，ＳＵＳ）を用いた。ま
た、チャンバの高さは１４０ｍｍ、フィルタ高さは７５
ｍｍ、フィルタの縦横幅は各６１０ｍｍである。また、
各測定点間は１００ｍｍとした。尚、整流板は５〜１０
ｍｍ幅のものを用いた。
の風速分布について測定した。この時の風速測定結果を
表１に示す。各測定点は図３に示すとおりである。尚、
本風速分布の測定は、軸流ファンとして標準パーキーフ
ァン、フィルタとして低圧損フィルタ、通風板としてパ
ンチングメタル（φ３×５Ｐ，ＳＵＳ）を用いた。ま
た、チャンバの高さは１４０ｍｍ、フィルタ高さは７５
ｍｍ、フィルタの縦横幅は各６１０ｍｍである。また、
各測定点間は１００ｍｍとした。尚、整流板は５〜１０
ｍｍ幅のものを用いた。
【０００９】
【表１】
【００１０】また、仕切板６を外し、整流板５ａ，５ｂ
だけの実施例の風速測定結果を表２に、仕切板６及び整
流板５ａ，５ｂをともに外した比較例の風速測定結果を
表３に示す。測定条件はすべて同じとした。
だけの実施例の風速測定結果を表２に、仕切板６及び整
流板５ａ，５ｂをともに外した比較例の風速測定結果を
表３に示す。測定条件はすべて同じとした。
【００１１】
【表２】
【００１２】
【表３】
【００１３】上記の風速分布の測定結果からも明らかな
ように、整流板５ａ，５ｂを設けた領域の風速が速くな
っており、比較例に比べて本実施例は風速分布の均一化
が図れていることがわかる。また、整流板に加え仕切板
を用いた場合には、整流板のみを用いる場合よりも、さ
らに風速分布の均一化が図れていることがわかる。
ように、整流板５ａ，５ｂを設けた領域の風速が速くな
っており、比較例に比べて本実施例は風速分布の均一化
が図れていることがわかる。また、整流板に加え仕切板
を用いた場合には、整流板のみを用いる場合よりも、さ
らに風速分布の均一化が図れていることがわかる。
【００１４】次に本発明ファン付フィルタ装置の他の実
施例について説明する。図４は、本発明ファン付フィル
タ装置の他実施例を示す平面図、図５はそのＶ−Ｖ線拡
大断面図である。尚、前記実施例と同一機能を有する部
材は前記実施例のものと同一符号を付してその詳細な説
明を省略する。本実施例においては、チャンバ１を長方
形状に形成し、その長手方向の中心線に沿って間隔を存
し且つチャンバ１の内壁面との間にも間隔を存して３個
の軸流ファン２ａ，２ｂ，２ｃを配置するようにした。
そして、本実施例の場合は、前記軸流ファン２ａ，２
ｂ，２ｃの中心点を結んだ線に対して対称な位置に２本
の整流板を設けるようにした。次に、上記実施例のファ
ン付フィルタ装置の風速分布について前記実施例と同様
にして測定した。この時の風速測定結果を表４に示す。
各測定点は図６に示すとおりである。尚、本実施例にお
けるフィルタの縦横幅はそれぞれ７００ｍｍ，４２０ｍ
ｍである。
施例について説明する。図４は、本発明ファン付フィル
タ装置の他実施例を示す平面図、図５はそのＶ−Ｖ線拡
大断面図である。尚、前記実施例と同一機能を有する部
材は前記実施例のものと同一符号を付してその詳細な説
明を省略する。本実施例においては、チャンバ１を長方
形状に形成し、その長手方向の中心線に沿って間隔を存
し且つチャンバ１の内壁面との間にも間隔を存して３個
の軸流ファン２ａ，２ｂ，２ｃを配置するようにした。
そして、本実施例の場合は、前記軸流ファン２ａ，２
ｂ，２ｃの中心点を結んだ線に対して対称な位置に２本
の整流板を設けるようにした。次に、上記実施例のファ
ン付フィルタ装置の風速分布について前記実施例と同様
にして測定した。この時の風速測定結果を表４に示す。
各測定点は図６に示すとおりである。尚、本実施例にお
けるフィルタの縦横幅はそれぞれ７００ｍｍ，４２０ｍ
ｍである。
【００１５】
【表４】
【００１６】また、整流板５ａ，５ｂを外した比較例の
風速測定結果を表５に示す。測定条件はすべて前記実施
例と同じとした。
風速測定結果を表５に示す。測定条件はすべて前記実施
例と同じとした。
【００１７】
【表５】
【００１８】上記の風速分布の測定結果からも明らかな
ように、整流板５ａ，５ｂを設けた領域の風速が速くな
っており、比較例に比べて本実施例は風速分布の均一化
が図れていることがわかる。
ように、整流板５ａ，５ｂを設けた領域の風速が速くな
っており、比較例に比べて本実施例は風速分布の均一化
が図れていることがわかる。
【００１９】尚、前記実施例では整流板を通風板と別体
に構成したが、通風体と一体に構成してもよい。特に通
風体がパンチングメタルで構成される場合は、パンチン
グメタルの孔を塞ぐことにより、その埋め込み領域を整
流板としてもよい。
に構成したが、通風体と一体に構成してもよい。特に通
風体がパンチングメタルで構成される場合は、パンチン
グメタルの孔を塞ぐことにより、その埋め込み領域を整
流板としてもよい。
【００２０】
【発明の効果】本発明のファン付フィルタ装置は、上記
実施例からも明らかなように、チャンバの上流側に間隔
を存して複数個の軸流ファンを配置する場合でも、フィ
ルタの下流での風速分布を均一にすることができる。
実施例からも明らかなように、チャンバの上流側に間隔
を存して複数個の軸流ファンを配置する場合でも、フィ
ルタの下流での風速分布を均一にすることができる。
【図１】本発明の一実施例におけるファン付フィルタ装
置の平面図
置の平面図
【図２】図１のII−II線拡大断面図
【図３】同装置における風速測定点を示す平面図
【図４】本発明の他実施例におけるファン付フィルタ装
置の平面図
置の平面図
【図５】図４のＶ−Ｖ線拡大断面図
【図６】同装置における風速測定点を示す平面図
１ チャンバ ２ａ 軸流ファン ２ｂ 軸流ファン ３ｃ 軸流ファン ３ フィルタ ４ 通風体 ５ａ 整流板 ５ｂ 整流板 ６ 仕切板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−200137（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−237232（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−176226（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−106034（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 46/42 F24F 7/06
Claims (4)
- 【請求項１】 チャンバの上流側に間隔を存して複数個
の軸流ファンを配置するとともに、前記チャンバの下流
側にフィルタを配置したファン付フィルタ装置におい
て、少なくとも前記各軸流ファン間の投影面上における
平均吹き出し風量に比べて、吹出風量の少ない領域に整
流板を設けたことを特徴とするファン付フィルタ装置。 - 【請求項２】 前記チャンバの前記軸流ファンの軸方向
に対する断面を正方形状に形成し、その一方の対角線上
に２つの軸流ファンを配置し、前記フィルタの下流側で
あって、前記各軸流ファン間の投影面上の平均吹き出し
風量に比べて、吹出風量の少ない側を通る位置に整流板
を設け、前記２つの整流体は前記フィルタ面を３等分す
るように平行に設けたことを特徴とする請求項１記載の
ファン付フィルタ装置。 - 【請求項３】 前記フィルタの上流側であって前記チャ
ンバの他方の対角線上に仕切板を配置したことを特徴と
する請求項２記載のファン付フィルタ装置。 - 【請求項４】 前記チャンバの前記軸流ファンの軸方向
に対する断面を長方形状に形成し、その長手方向の中心
線に沿って間隔を存し且つチャンバ内壁面との間にも間
隔を存して複数個の軸流ファンを配置し、前記フィルタ
の下流側であって、前記各軸流ファンの中心点を結んだ
線に対して対称な位置に２つの整流板を設けたことを特
徴とする請求項１記載のファン付フィルタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21804593A JP3337529B2 (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | ファン付フィルタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21804593A JP3337529B2 (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | ファン付フィルタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0747217A JPH0747217A (ja) | 1995-02-21 |
| JP3337529B2 true JP3337529B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=16713790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21804593A Expired - Fee Related JP3337529B2 (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | ファン付フィルタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3337529B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4645244B2 (ja) * | 2005-03-15 | 2011-03-09 | パナソニック株式会社 | ファンフィルターユニット |
-
1993
- 1993-08-09 JP JP21804593A patent/JP3337529B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0747217A (ja) | 1995-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020711 |
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