JPH0747217A - ファン付フィルタ装置 - Google Patents
ファン付フィルタ装置Info
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- JPH0747217A JPH0747217A JP21804593A JP21804593A JPH0747217A JP H0747217 A JPH0747217 A JP H0747217A JP 21804593 A JP21804593 A JP 21804593A JP 21804593 A JP21804593 A JP 21804593A JP H0747217 A JPH0747217 A JP H0747217A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 チャンバ1の上流側に間隔を存して複数個の
軸流ファン2a,2bを配置するとともに、前記チャン
バ1の下流側にフィルタ3を配置したファン付フィルタ
装置において、少なくとも前記各軸流ファン2a,2b
の投影面上の吹き出し風量の少ない領域に整流体5a,
5bを設けたことを特徴とする。 【効果】 チャンバの上流側に間隔を存して複数個の軸
流ファンを配置する場合でも、フィルタの下流での風速
分布を均一にすることができる。
軸流ファン2a,2bを配置するとともに、前記チャン
バ1の下流側にフィルタ3を配置したファン付フィルタ
装置において、少なくとも前記各軸流ファン2a,2b
の投影面上の吹き出し風量の少ない領域に整流体5a,
5bを設けたことを特徴とする。 【効果】 チャンバの上流側に間隔を存して複数個の軸
流ファンを配置する場合でも、フィルタの下流での風速
分布を均一にすることができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームやクリ
ーンストッカー等を構成するために用いるファン付フィ
ルタ装置に関する。
ーンストッカー等を構成するために用いるファン付フィ
ルタ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のファン付フィルタ装置と
しては、例えば特開平1−200137号公報に記載さ
れるように、チャンバの上流側に複数個の軸流ファンを
配置するとともに、前記チャンバの下流側にフィルタを
配置したものが知られている。しかしながら、上記従来
のファン付フィルタ装置にあっては、複数個の軸流ファ
ンをチャンバ内の全面に設けているため、各軸流ファン
の隣接部に気流が集中する領域が生じ、その領域におい
ては他の領域よりもかなり大きな風速の気流が衝突する
ことになる。従って、チャンバ内での部分的な気流の乱
れが生じることになり、フィルタの下流での風速分布が
不均一になるだけでなくフィルタの寿命も短くなるとい
う不都合を有していた。
しては、例えば特開平1−200137号公報に記載さ
れるように、チャンバの上流側に複数個の軸流ファンを
配置するとともに、前記チャンバの下流側にフィルタを
配置したものが知られている。しかしながら、上記従来
のファン付フィルタ装置にあっては、複数個の軸流ファ
ンをチャンバ内の全面に設けているため、各軸流ファン
の隣接部に気流が集中する領域が生じ、その領域におい
ては他の領域よりもかなり大きな風速の気流が衝突する
ことになる。従って、チャンバ内での部分的な気流の乱
れが生じることになり、フィルタの下流での風速分布が
不均一になるだけでなくフィルタの寿命も短くなるとい
う不都合を有していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】前記不都合を解消する
ために、チャンバの上流側に間隔を存して複数個の軸流
ファンを配置することが考えられる。しかしながら、例
えばチャンバの中心点を中心にして周囲に4分割される
領域の2領域に軸流ファンを配置した場合には、軸流フ
ァンのチャンバ内壁面から離れた場所ではチャンバ内壁
面による反射風の影響が少ない等の理由により、風速の
小さな領域が生じてしまうという不都合を有していた。
また、さらにはチャンバの中心部においては、両軸流フ
ァンから離れているために、風速が小さな領域が生じて
しまうという不都合も有していた。このために、チャン
バ内に配置される軸流ファンを間隔を存して配置して
も、風速分布が均一となるファン付フィルタ装置の提案
が望まれていた。
ために、チャンバの上流側に間隔を存して複数個の軸流
ファンを配置することが考えられる。しかしながら、例
えばチャンバの中心点を中心にして周囲に4分割される
領域の2領域に軸流ファンを配置した場合には、軸流フ
ァンのチャンバ内壁面から離れた場所ではチャンバ内壁
面による反射風の影響が少ない等の理由により、風速の
小さな領域が生じてしまうという不都合を有していた。
また、さらにはチャンバの中心部においては、両軸流フ
ァンから離れているために、風速が小さな領域が生じて
しまうという不都合も有していた。このために、チャン
バ内に配置される軸流ファンを間隔を存して配置して
も、風速分布が均一となるファン付フィルタ装置の提案
が望まれていた。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明はかかる目的を達
成するべく、チャンバの上流側に間隔を存して複数個の
軸流ファンを配置するとともに、前記チャンバの下流側
にフィルタを配置したファン付フィルタ装置において、
少なくとも前記各軸流ファンの投影面上の吹き出し風量
の少ない領域に整流体を設けたことを特徴とする。ま
た、前記チャンバを略正方形状に形成し、その一方の対
角線上に2つの軸流ファンを配置した場合は、前記フィ
ルタの下流側であって、前記各軸流ファンの投影面上の
吹き出し風量の少ない側を通る位置に整流体を設け、前
記2つの整流体は前記フィルタ面を3等分するように平
行に設けることが好ましい。尚、前記チャンバを略正方
形状に形成し、その一方の対角線上に2つの軸流ファン
を配置した場合は、前記フィルタの上流側であって前記
チャンバの他方の対角線上に仕切体を配置することが好
ましい。また、前記チャンバを長方形状に形成し、その
長手方向の中心線に沿って間隔を存し且つチャンバ内壁
面との間にも間隔を存して複数個の軸流ファンを配置し
た場合は、前記フィルタの下流側であって、前記軸流フ
ァンの中心点を結んだ線に対して対称な位置に2つの整
流体を設けることが好ましい。
成するべく、チャンバの上流側に間隔を存して複数個の
軸流ファンを配置するとともに、前記チャンバの下流側
にフィルタを配置したファン付フィルタ装置において、
少なくとも前記各軸流ファンの投影面上の吹き出し風量
の少ない領域に整流体を設けたことを特徴とする。ま
た、前記チャンバを略正方形状に形成し、その一方の対
角線上に2つの軸流ファンを配置した場合は、前記フィ
ルタの下流側であって、前記各軸流ファンの投影面上の
吹き出し風量の少ない側を通る位置に整流体を設け、前
記2つの整流体は前記フィルタ面を3等分するように平
行に設けることが好ましい。尚、前記チャンバを略正方
形状に形成し、その一方の対角線上に2つの軸流ファン
を配置した場合は、前記フィルタの上流側であって前記
チャンバの他方の対角線上に仕切体を配置することが好
ましい。また、前記チャンバを長方形状に形成し、その
長手方向の中心線に沿って間隔を存し且つチャンバ内壁
面との間にも間隔を存して複数個の軸流ファンを配置し
た場合は、前記フィルタの下流側であって、前記軸流フ
ァンの中心点を結んだ線に対して対称な位置に2つの整
流体を設けることが好ましい。
【0005】
【作用】本発明によれば、フィルタの下流側であって軸
流ファンの投影面上の吹き出し風量の少ない領域に整流
体を設けたことにより、軸流ファンから整流体に吹き付
けられる気流が、整流体に衝突するとともに、この衝突
により整流体の両端縁を通過する気流が整流体の下方に
巻き込まれて風速が合成され、その結果整流体の下方に
沿って、風速を大きくすることができる。この整流体
は、各軸流ファンの投影面上の吹き出し風量の少ない領
域に設けられるので、その結果フィルタ下流での風速分
布を均一にすることができる。また、前記チャンバを略
正方形状に形成し、その一方の対角線上に2つの軸流フ
ァンを配置した場合は、仕切板の配置により、チャンバ
内は2分割され、チャンバの中心部における両軸流ファ
ンの影響を受けない場所が存在しなくなり、そのため、
フィルタ下流での風速分布をさらに均一にすることがで
きる。
流ファンの投影面上の吹き出し風量の少ない領域に整流
体を設けたことにより、軸流ファンから整流体に吹き付
けられる気流が、整流体に衝突するとともに、この衝突
により整流体の両端縁を通過する気流が整流体の下方に
巻き込まれて風速が合成され、その結果整流体の下方に
沿って、風速を大きくすることができる。この整流体
は、各軸流ファンの投影面上の吹き出し風量の少ない領
域に設けられるので、その結果フィルタ下流での風速分
布を均一にすることができる。また、前記チャンバを略
正方形状に形成し、その一方の対角線上に2つの軸流フ
ァンを配置した場合は、仕切板の配置により、チャンバ
内は2分割され、チャンバの中心部における両軸流ファ
ンの影響を受けない場所が存在しなくなり、そのため、
フィルタ下流での風速分布をさらに均一にすることがで
きる。
【0006】
【実施例】以下、本発明ファン付フィルタ装置の実施例
について図面を用いて説明する。図1は、本発明ファン
付フィルタ装置の一実施例を示す平面図、図2はそのII
−II線拡大断面図である。図において、1はチャンバで
あり、チャンバ1内の上流側には軸流ファン2a,2b
が、下流側にはフィルタ3が設けられている。ここで軸
流ファン2a,2bについてさらに詳細に説明すると、
図示はしないが中心位置にモータ部を有し、このモータ
部の周囲にこのモータによって駆動される羽根が配設さ
れ、この羽根を円筒状のベンチュリーケースによって囲
繞するようにしてある。前記2つの軸流ファン2a,2
bはチャンバ1の対角線上に配置され、これら軸流ファ
ン2a,2bは同一性能のものを用いている。
について図面を用いて説明する。図1は、本発明ファン
付フィルタ装置の一実施例を示す平面図、図2はそのII
−II線拡大断面図である。図において、1はチャンバで
あり、チャンバ1内の上流側には軸流ファン2a,2b
が、下流側にはフィルタ3が設けられている。ここで軸
流ファン2a,2bについてさらに詳細に説明すると、
図示はしないが中心位置にモータ部を有し、このモータ
部の周囲にこのモータによって駆動される羽根が配設さ
れ、この羽根を円筒状のベンチュリーケースによって囲
繞するようにしてある。前記2つの軸流ファン2a,2
bはチャンバ1の対角線上に配置され、これら軸流ファ
ン2a,2bは同一性能のものを用いている。
【0007】フィルタ3の下流側には、フィルタ3を覆
うように通風体4がチャンバ1に取り付けられている。
この通風体4はフィルタ3の損傷を防止するためのもの
で、金網やパンチング板等が用いられる。通風体4のフ
ィルタ3側の面には2つの整流体5a,5bが設けられ
ている。一方の整流体5aは軸流ファン2aの投影面上
の吹き出し風量の少ない側を通る位置に、また、他方の
整流体5bは軸流ファン2bの投影面上の吹き出し風量
の少ない側を通る位置にそれぞれ設けられている。これ
らの整流体5a,5bは互いに平行に設けられており、
フィルタ3の面をおおよそ3等分するように設けられて
いる。また、これらの整流体5a,5bは、整流体5
a,5bの各両端縁を通過した気流が整流体5a,5b
の下方に巻き込まれ合成されるような幅及び形状のもの
とする。また、チャンバ1内には、軸流ファン2a,2
bを分けるようにチャンバ1の他の対角線上に仕切板6
が設けられている。
うように通風体4がチャンバ1に取り付けられている。
この通風体4はフィルタ3の損傷を防止するためのもの
で、金網やパンチング板等が用いられる。通風体4のフ
ィルタ3側の面には2つの整流体5a,5bが設けられ
ている。一方の整流体5aは軸流ファン2aの投影面上
の吹き出し風量の少ない側を通る位置に、また、他方の
整流体5bは軸流ファン2bの投影面上の吹き出し風量
の少ない側を通る位置にそれぞれ設けられている。これ
らの整流体5a,5bは互いに平行に設けられており、
フィルタ3の面をおおよそ3等分するように設けられて
いる。また、これらの整流体5a,5bは、整流体5
a,5bの各両端縁を通過した気流が整流体5a,5b
の下方に巻き込まれ合成されるような幅及び形状のもの
とする。また、チャンバ1内には、軸流ファン2a,2
bを分けるようにチャンバ1の他の対角線上に仕切板6
が設けられている。
【0008】次に、上記実施例のファン付フィルタ装置
の風速分布について測定した。この時の風速測定結果を
表1に示す。各測定点は図3に示すとおりである。尚、
本風速分布の測定は、軸流ファンとして標準パーキーフ
ァン、フィルタとして低圧損フィルタ、通風体としてパ
ンチングメタル(φ3×5P,SUS)を用いた。ま
た、チャンバの高さは140mm、フィルタ高さは75
mm、フィルタの縦横幅は各610mmである。また、
各測定点間は100mmとした。尚、整流板は5〜10
mm幅のものを用いた。
の風速分布について測定した。この時の風速測定結果を
表1に示す。各測定点は図3に示すとおりである。尚、
本風速分布の測定は、軸流ファンとして標準パーキーフ
ァン、フィルタとして低圧損フィルタ、通風体としてパ
ンチングメタル(φ3×5P,SUS)を用いた。ま
た、チャンバの高さは140mm、フィルタ高さは75
mm、フィルタの縦横幅は各610mmである。また、
各測定点間は100mmとした。尚、整流板は5〜10
mm幅のものを用いた。
【0009】
【表1】
【0010】また、仕切板6を外し、整流体5a,5b
だけの実施例の風速測定結果を表2に、仕切板6及び整
流体5a,5bをともに外した比較例の風速測定結果を
表3に示す。測定条件はすべて同じとした。
だけの実施例の風速測定結果を表2に、仕切板6及び整
流体5a,5bをともに外した比較例の風速測定結果を
表3に示す。測定条件はすべて同じとした。
【0011】
【表2】
【0012】
【表3】
【0013】上記の風速分布の測定結果からも明らかな
ように、整流体5a,5bを設けた領域の風速が速くな
っており、比較例に比べて本実施例は風速分布の均一化
が図れていることがわかる。また、整流体に加え仕切板
を用いた場合には、整流体のみを用いる場合よりも、さ
らに風速分布の均一化が図れていることがわかる。
ように、整流体5a,5bを設けた領域の風速が速くな
っており、比較例に比べて本実施例は風速分布の均一化
が図れていることがわかる。また、整流体に加え仕切板
を用いた場合には、整流体のみを用いる場合よりも、さ
らに風速分布の均一化が図れていることがわかる。
【0014】次に本発明ファン付フィルタ装置の他の実
施例について説明する。図4は、本発明ファン付フィル
タ装置の他実施例を示す平面図、図5はそのV−V線拡
大断面図である。尚、前記実施例と同一機能を有する部
材は前記実施例のものと同一符号を付してその詳細な説
明を省略する。本実施例においては、チャンバ1を長方
形状に形成し、その長手方向の中心線に沿って間隔を存
し且つチャンバ1の内壁面との間にも間隔を存して3個
の軸流ファン2a,2b,2cを配置するようにした。
そして、本実施例の場合は、前記軸流ファン2a,2
b,2cの中心点を結んだ線に対して対称な位置に2本
の整流体を設けるようにした。次に、上記実施例のファ
ン付フィルタ装置の風速分布について前記実施例と同様
にして測定した。この時の風速測定結果を表4に示す。
各測定点は図6に示すとおりである。尚、本実施例にお
けるフィルタの縦横幅はそれぞれ700mm,420m
mである。
施例について説明する。図4は、本発明ファン付フィル
タ装置の他実施例を示す平面図、図5はそのV−V線拡
大断面図である。尚、前記実施例と同一機能を有する部
材は前記実施例のものと同一符号を付してその詳細な説
明を省略する。本実施例においては、チャンバ1を長方
形状に形成し、その長手方向の中心線に沿って間隔を存
し且つチャンバ1の内壁面との間にも間隔を存して3個
の軸流ファン2a,2b,2cを配置するようにした。
そして、本実施例の場合は、前記軸流ファン2a,2
b,2cの中心点を結んだ線に対して対称な位置に2本
の整流体を設けるようにした。次に、上記実施例のファ
ン付フィルタ装置の風速分布について前記実施例と同様
にして測定した。この時の風速測定結果を表4に示す。
各測定点は図6に示すとおりである。尚、本実施例にお
けるフィルタの縦横幅はそれぞれ700mm,420m
mである。
【0015】
【表4】
【0016】また、整流体5a,5bを外した比較例の
風速測定結果を表5に示す。測定条件はすべて前記実施
例と同じとした。
風速測定結果を表5に示す。測定条件はすべて前記実施
例と同じとした。
【0017】
【表5】
【0018】上記の風速分布の測定結果からも明らかな
ように、整流体5a,5bを設けた領域の風速が速くな
っており、比較例に比べて本実施例は風速分布の均一化
が図れていることがわかる。
ように、整流体5a,5bを設けた領域の風速が速くな
っており、比較例に比べて本実施例は風速分布の均一化
が図れていることがわかる。
【0019】尚、前記実施例では整流体を通風体と別体
に構成したが、通風体と一体に構成してもよい。特に通
風体がパンチングメタルで構成される場合は、パンチン
グメタルの孔を塞ぐことにより、その埋め込み領域を整
流体としてもよい。
に構成したが、通風体と一体に構成してもよい。特に通
風体がパンチングメタルで構成される場合は、パンチン
グメタルの孔を塞ぐことにより、その埋め込み領域を整
流体としてもよい。
【0020】
【発明の効果】本発明のファン付フィルタ装置は、上記
実施例からも明らかなように、チャンバの上流側に間隔
を存して複数個の軸流ファンを配置する場合でも、フィ
ルタの下流での風速分布を均一にすることができる。
実施例からも明らかなように、チャンバの上流側に間隔
を存して複数個の軸流ファンを配置する場合でも、フィ
ルタの下流での風速分布を均一にすることができる。
【図1】本発明の一実施例におけるファン付フィルタ装
置の平面図
置の平面図
【図2】図1のII−II線拡大断面図
【図3】同装置における風速測定点を示す平面図
【図4】本発明の他実施例におけるファン付フィルタ装
置の平面図
置の平面図
【図5】図4のV−V線拡大断面図
【図6】同装置における風速測定点を示す平面図
1 チャンバ 2a 軸流ファン 2b 軸流ファン 3c 軸流ファン 3 フィルタ 4 通風体 5a 整流体 5b 整流体 6 仕切板
Claims (4)
- 【請求項1】 チャンバの上流側に間隔を存して複数個
の軸流ファンを配置するとともに、前記チャンバの下流
側にフィルタを配置したファン付フィルタ装置におい
て、少なくとも前記各軸流ファンの投影面上の吹き出し
風量の少ない領域に整流体を設けたことを特徴とするフ
ァン付フィルタ装置。 - 【請求項2】 前記チャンバを略正方形状に形成し、そ
の一方の対角線上に2つの軸流ファンを配置し、前記フ
ィルタの下流側であって、前記各軸流ファンの投影面上
の吹き出し風量の少ない側を通る位置に整流体を設け、
前記2つの整流体は前記フィルタ面を3等分するように
平行に設けたことを特徴とする請求項1記載のファン付
フィルタ装置。 - 【請求項3】 前記フィルタの上流側であって前記チャ
ンバの他方の対角線上に仕切体を配置したことを特徴と
する請求項2記載のファン付フィルタ装置。 - 【請求項4】 前記チャンバを長方形状に形成し、その
長手方向の中心線に沿って間隔を存し且つチャンバ内壁
面との間にも間隔を存して複数個の軸流ファンを配置
し、前記フィルタの下流側であって、前記各軸流ファン
の中心点を結んだ線に対して対称な位置に2つの整流体
を設けたことを特徴とする請求項1記載のファン付フィ
ルタ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21804593A JP3337529B2 (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | ファン付フィルタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21804593A JP3337529B2 (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | ファン付フィルタ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0747217A true JPH0747217A (ja) | 1995-02-21 |
JP3337529B2 JP3337529B2 (ja) | 2002-10-21 |
Family
ID=16713790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21804593A Expired - Fee Related JP3337529B2 (ja) | 1993-08-09 | 1993-08-09 | ファン付フィルタ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3337529B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006258309A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
-
1993
- 1993-08-09 JP JP21804593A patent/JP3337529B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006258309A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
JP4645244B2 (ja) * | 2005-03-15 | 2011-03-09 | パナソニック株式会社 | ファンフィルターユニット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3337529B2 (ja) | 2002-10-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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