JP3271875B2 - クリーンルームの空気吹き出し用ダクト - Google Patents
クリーンルームの空気吹き出し用ダクトInfo
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- JP3271875B2 JP3271875B2 JP21385195A JP21385195A JP3271875B2 JP 3271875 B2 JP3271875 B2 JP 3271875B2 JP 21385195 A JP21385195 A JP 21385195A JP 21385195 A JP21385195 A JP 21385195A JP 3271875 B2 JP3271875 B2 JP 3271875B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルームの天
井面に沿ってライン状に吹き出し口を設けた空気吹き出
し用ダクトに関し、特に、ダクトより吹き出される空気
の吹き出し方向の理想化を計り、また各吹き出し口から
は均一な空気量が室内に吹き出されるとともに、吹出口
近くの室内の空気が再びダクト内に吸い込まれるという
逆流現象を防ぐことが出来る空気吹き出しダクトについ
ての提案である。
井面に沿ってライン状に吹き出し口を設けた空気吹き出
し用ダクトに関し、特に、ダクトより吹き出される空気
の吹き出し方向の理想化を計り、また各吹き出し口から
は均一な空気量が室内に吹き出されるとともに、吹出口
近くの室内の空気が再びダクト内に吸い込まれるという
逆流現象を防ぐことが出来る空気吹き出しダクトについ
ての提案である。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームは、半導体製造、食品製
造、医薬品製造等の工業用として、また、病院の手術室
用等として幅広く用いられている。これらのクリーンル
ームにおける気流の改善手段として、室内に均一な風量
および充分な整流気流を得るために多孔板を利用したラ
イン状の吹き出し口を有する空気吹き出しダクトがある
（図６参照）。
造、医薬品製造等の工業用として、また、病院の手術室
用等として幅広く用いられている。これらのクリーンル
ームにおける気流の改善手段として、室内に均一な風量
および充分な整流気流を得るために多孔板を利用したラ
イン状の吹き出し口を有する空気吹き出しダクトがある
（図６参照）。
【０００３】この図６に示すものは空調機本体（２０）
より供給された空気は天井面に沿って延びる空気吹き出
しダクト（２１）内に流れ、ダクトを形成する多孔版
（２２）の表面より室内に吹き出される構造となってい
るものであるが、ダクト内の空気の流れは該ダクトの長
手方向に向かうラインに沿った水平気流となり、従っ
て、ダクト内の内圧の影響により上流側の空気吹き出し
が弱くなり、室内に吹き出される空気の吹き出し量が均
一とならず、また、吹き出し口に対して吹き出し方向が
一定でない。さらに、空気がダクトに吹き込まれた直後
においては、水平方向に向かう動圧の影響により、ダク
ト内が負圧となり室内空気を吹き出し口からダクト内に
吸い込む逆流（図中矢印で示す）が生じ均一な整流気流
が得られない。
より供給された空気は天井面に沿って延びる空気吹き出
しダクト（２１）内に流れ、ダクトを形成する多孔版
（２２）の表面より室内に吹き出される構造となってい
るものであるが、ダクト内の空気の流れは該ダクトの長
手方向に向かうラインに沿った水平気流となり、従っ
て、ダクト内の内圧の影響により上流側の空気吹き出し
が弱くなり、室内に吹き出される空気の吹き出し量が均
一とならず、また、吹き出し口に対して吹き出し方向が
一定でない。さらに、空気がダクトに吹き込まれた直後
においては、水平方向に向かう動圧の影響により、ダク
ト内が負圧となり室内空気を吹き出し口からダクト内に
吸い込む逆流（図中矢印で示す）が生じ均一な整流気流
が得られない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のライン状に吹き
出し口を設けたダクトにおいては、ダクト内を流れる空
気が長手方向に向かう水平気流となり、空気を理想的な
方向、かつ均一に室内に送り出すことが困難であり、ま
た、動圧の影響により室内空気を吹き出し口に吸い込む
逆流が生じるという問題を有している。
出し口を設けたダクトにおいては、ダクト内を流れる空
気が長手方向に向かう水平気流となり、空気を理想的な
方向、かつ均一に室内に送り出すことが困難であり、ま
た、動圧の影響により室内空気を吹き出し口に吸い込む
逆流が生じるという問題を有している。
【０００５】本発明の目的は、天井に沿って長手方向に
延びる吹き出し口を設けた空気吹き出しダクトにおい
て、空気がダクト吹き出し口より理想的な方向に吹き出
し、かつ、室内に吹き出される空気の吹き出し量を均一
になし、また、一旦室内に吹き出された空気が再びダク
ト内に吸い込まれるという逆流現象を防止し、室内の空
気が十分満足のいく整流気流となる空気吹き出し用ダク
トを提供することにある。
延びる吹き出し口を設けた空気吹き出しダクトにおい
て、空気がダクト吹き出し口より理想的な方向に吹き出
し、かつ、室内に吹き出される空気の吹き出し量を均一
になし、また、一旦室内に吹き出された空気が再びダク
ト内に吸い込まれるという逆流現象を防止し、室内の空
気が十分満足のいく整流気流となる空気吹き出し用ダク
トを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、次に掲げる手段を課題解決のための骨子
としている。すなわち、クリーンルームの天井面に沿っ
て延びる空気吹き出し用ダクトにおいて、長手方向に延
びる内側ダクト板によって形成された内側エア通路と、
前記内側ダクト板の外側に所定空間を有して配設された
多孔性の外側ダクト板によって形成される外側エア通路
とを有する二重ダクト構造であって、前記外側エア通路
は所定間隔をもって長手方向に複数に区画され、各々の
区画された部分と内側エア通路とは前記内側ダクト板に
形成された空気導入口によって連通していることを特徴
とする空気吹き出し用ダクトである。
めに本発明は、次に掲げる手段を課題解決のための骨子
としている。すなわち、クリーンルームの天井面に沿っ
て延びる空気吹き出し用ダクトにおいて、長手方向に延
びる内側ダクト板によって形成された内側エア通路と、
前記内側ダクト板の外側に所定空間を有して配設された
多孔性の外側ダクト板によって形成される外側エア通路
とを有する二重ダクト構造であって、前記外側エア通路
は所定間隔をもって長手方向に複数に区画され、各々の
区画された部分と内側エア通路とは前記内側ダクト板に
形成された空気導入口によって連通していることを特徴
とする空気吹き出し用ダクトである。
【０００７】また、上記空気導入口には、内側エア通路
内に突出する空気風量調整ガイド、および、外側エア通
路側に延出する空気方向調整ガイドを設けることが好ま
しい。さらに、上記外側エア通路を形成する多孔板は、
全体の開口率が３ないし１０％であることが好ましい。
内に突出する空気風量調整ガイド、および、外側エア通
路側に延出する空気方向調整ガイドを設けることが好ま
しい。さらに、上記外側エア通路を形成する多孔板は、
全体の開口率が３ないし１０％であることが好ましい。
【０００８】また、上記空気風量調整ガイドは、その取
付角度が空気流に対向して０ないし９０度の角度、およ
び空気方向調整ガイドはその取付角度が空気流に対向し
て最大限９０度の角度で取付けられていることが好まし
い。また、上記空気風量調整ガイドおよび空気方向調整
ガイドは、多孔板からなることが好ましい。なお、該多
孔板は、開口率２０ないし６０％であることが好まし
い。
付角度が空気流に対向して０ないし９０度の角度、およ
び空気方向調整ガイドはその取付角度が空気流に対向し
て最大限９０度の角度で取付けられていることが好まし
い。また、上記空気風量調整ガイドおよび空気方向調整
ガイドは、多孔板からなることが好ましい。なお、該多
孔板は、開口率２０ないし６０％であることが好まし
い。
【０００９】
【作用】本発明のクリーンルームの空気吹き出し用ダク
トは、長手方向に延びる内側ダクト板と該内側ダクト板
の外側に配設された多孔性の外側ダクト板によって形成
された内側エア通路と外側エア通路とを有する二重ダク
ト構造とし、かつ、前記内側ダクト板に内側エア通路と
外側エア通路とを連通する空気導入口を形成し、空調機
本体より流れ込む空気を内側エア通路から外側エア通路
に流入せしめ、外側ダクト板の孔部よりクリーンルーム
室内に空気を吹き出すようにしている。
トは、長手方向に延びる内側ダクト板と該内側ダクト板
の外側に配設された多孔性の外側ダクト板によって形成
された内側エア通路と外側エア通路とを有する二重ダク
ト構造とし、かつ、前記内側ダクト板に内側エア通路と
外側エア通路とを連通する空気導入口を形成し、空調機
本体より流れ込む空気を内側エア通路から外側エア通路
に流入せしめ、外側ダクト板の孔部よりクリーンルーム
室内に空気を吹き出すようにしている。
【００１０】また、前記内側ダクト板に形成した空気導
入口に空気風量調整ガイドおよび空気方向調整ガイドを
設けることにより、各区画毎に適量の風量となるように
してダクトの長手方向の風量分布の均一化をなし、ま
た、各区画の風速を抑えることが可能となり、動圧の影
響を抑制することで理想的な空気の吹き出し方向が得ら
れるとともに、吹き出し口近くの空気の逆流即ち室内側
からダクト内に空気が逆流することを防止できるもので
ある。
入口に空気風量調整ガイドおよび空気方向調整ガイドを
設けることにより、各区画毎に適量の風量となるように
してダクトの長手方向の風量分布の均一化をなし、ま
た、各区画の風速を抑えることが可能となり、動圧の影
響を抑制することで理想的な空気の吹き出し方向が得ら
れるとともに、吹き出し口近くの空気の逆流即ち室内側
からダクト内に空気が逆流することを防止できるもので
ある。
【００１１】
【実施例】図１は、本発明のクリーンルームの空気吹き
出し用ダクトの内部構造を説明するための縦断面図であ
り、図２（ａ）は図１中のＡの部分拡大図、図２（ｂ）
は図１中のＢの部分拡大図である。
出し用ダクトの内部構造を説明するための縦断面図であ
り、図２（ａ）は図１中のＡの部分拡大図、図２（ｂ）
は図１中のＢの部分拡大図である。
【００１２】クリーンルーム室内１には、熱交換器、送
風ファン、フィルター等を内装した通常の空調機本体２
が設置されており、室内の空気は空調機本体の下方より
吸い込まれ空調機本体内のファンより、空調機本体の上
方に取付けられ天井面に沿って延設された空気吹き出し
用ダクト３内に流入され、再び室内に吹き出されるよう
に構成されている。
風ファン、フィルター等を内装した通常の空調機本体２
が設置されており、室内の空気は空調機本体の下方より
吸い込まれ空調機本体内のファンより、空調機本体の上
方に取付けられ天井面に沿って延設された空気吹き出し
用ダクト３内に流入され、再び室内に吹き出されるよう
に構成されている。
【００１３】本発明における前記ダクト３は図３縦断面
図（図１中Ｃ−Ｃ線断面図）に示すように、船底形の断
面を有しており、空調機本体より送られてきた空気はダ
クトの下方、斜め下方および水平方向をもって室内に吹
き出されるよう構成されている。尚、空気吹き出し用ダ
クトとしては、前記した船底形の断面を有するもののほ
か、長方形断面を有するもの、あるいは前記両者の角部
を湾曲状にしたものでもよい。
図（図１中Ｃ−Ｃ線断面図）に示すように、船底形の断
面を有しており、空調機本体より送られてきた空気はダ
クトの下方、斜め下方および水平方向をもって室内に吹
き出されるよう構成されている。尚、空気吹き出し用ダ
クトとしては、前記した船底形の断面を有するもののほ
か、長方形断面を有するもの、あるいは前記両者の角部
を湾曲状にしたものでもよい。
【００１４】空気吹き出し用ダクト３を天井面に沿って
延設し、空気をライン状に吹き出すようにした所謂ライ
ン式クリーンルームにおいては、図３中の矢印で示すよ
うに空気の吹き出しが理想的な整流気流を生起させるも
のであるが、本発明はこのような整流気流をより確実に
得るために、空気がダクト３から理想的な方向即ち空気
が吹き出し口に対して垂直方向に吹き出されるようにし
たものである。
延設し、空気をライン状に吹き出すようにした所謂ライ
ン式クリーンルームにおいては、図３中の矢印で示すよ
うに空気の吹き出しが理想的な整流気流を生起させるも
のであるが、本発明はこのような整流気流をより確実に
得るために、空気がダクト３から理想的な方向即ち空気
が吹き出し口に対して垂直方向に吹き出されるようにし
たものである。
【００１５】空気吹き出し用ダクト３は、長手方向に延
びる内側ダクト板４によって形成された内側エア通路５
と、前記内側ダクト板４の外側に所定空間を有して配設
された多孔性の外側ダクト板６によって形成された外側
エア通路７とを有する二重ダクト構造に形成されてい
る。
びる内側ダクト板４によって形成された内側エア通路５
と、前記内側ダクト板４の外側に所定空間を有して配設
された多孔性の外側ダクト板６によって形成された外側
エア通路７とを有する二重ダクト構造に形成されてい
る。
【００１６】また、前記外側エア通路７は所定間隔をも
って長手方向に複数に区画され、かつ前記内側ダクト板
には前記外側エア通路７の各区画ごとに、内側エア通路
５の空気を導入するための空気導入口８が形成されてい
る。この空気導入口８の設置位置は実施例では各区画ご
との端部となっているが、空気を導入できる位置なら真
中よりでもよい。
って長手方向に複数に区画され、かつ前記内側ダクト板
には前記外側エア通路７の各区画ごとに、内側エア通路
５の空気を導入するための空気導入口８が形成されてい
る。この空気導入口８の設置位置は実施例では各区画ご
との端部となっているが、空気を導入できる位置なら真
中よりでもよい。
【００１７】さらに、前記空気導入口８には、前記内側
エア通路５側に突出して空気風量調整ガイド９が空気流
に対向して０ないし９０度の角度で取付けられている。
この空気風量調整ガイド９を設けることにより長手方向
の風量分布の均一化および各区画の風速を抑えることが
可能となり、動圧の影響を抑制することで空気を理想的
な方向即ち吹き出し口に対して垂直な方向に吹き出すこ
とができ、かつ、均一な吹き出し量が得られる。
エア通路５側に突出して空気風量調整ガイド９が空気流
に対向して０ないし９０度の角度で取付けられている。
この空気風量調整ガイド９を設けることにより長手方向
の風量分布の均一化および各区画の風速を抑えることが
可能となり、動圧の影響を抑制することで空気を理想的
な方向即ち吹き出し口に対して垂直な方向に吹き出すこ
とができ、かつ、均一な吹き出し量が得られる。
【００１８】また、前記空気導入口８には、前記空気風
量調整ガイド９と反対方向即ち前記外側エア通路７に向
かって延出する空気方向調整ガイド１０が最大限９０度
の角度で取付けられている。
量調整ガイド９と反対方向即ち前記外側エア通路７に向
かって延出する空気方向調整ガイド１０が最大限９０度
の角度で取付けられている。
【００１９】この空気方向調整ガイドを設けることによ
り、各区画ごとに流入直後の空気にたいして下向きのベ
クトルを与えることができ、これにより例えば内側エア
通路５内の通過風速が１．５〜２ｍ／ｓ以上の場合に起
こりやすい気流の逆流現象即ち室内の空気が多孔板６の
手前側の孔部１１からダクト内に吸い込まれるという現
象を防止できる。前記空気風量調整ガイド９および空気
方向調整ガイド１０は、前記した如く空気に下向きベク
トルを与えると共に区画内の適性な風量分布が可能とな
るように、例えばパンチングされた多孔板で形成されて
いる。また、前記空気風量調整ガイド９および空気方向
調整ガイド１０は、孔部が開口率が２０ないし６０％で
ある多孔板により形成されている。
り、各区画ごとに流入直後の空気にたいして下向きのベ
クトルを与えることができ、これにより例えば内側エア
通路５内の通過風速が１．５〜２ｍ／ｓ以上の場合に起
こりやすい気流の逆流現象即ち室内の空気が多孔板６の
手前側の孔部１１からダクト内に吸い込まれるという現
象を防止できる。前記空気風量調整ガイド９および空気
方向調整ガイド１０は、前記した如く空気に下向きベク
トルを与えると共に区画内の適性な風量分布が可能とな
るように、例えばパンチングされた多孔板で形成されて
いる。また、前記空気風量調整ガイド９および空気方向
調整ガイド１０は、孔部が開口率が２０ないし６０％で
ある多孔板により形成されている。
【００２０】本実施例では、図１に示すように外側エア
通路７は所定間隔をもって複数に区画されており、その
区画部分に設けられている最初の空気導入口８は、空調
機本体とダクトとの取付部分である最上流端部付近に設
けられている。この最初の空気導入口８に取付ける空気
風量調整ガイド９は角度０度とされている。各々の空気
導入口８に設けられた空気風量調整ガイドは、ダクトの
下流即ち長手方向の先端に行くに従ってその角度が変更
されている。それは、ダクトの長さとダクト内に供給さ
れる風量、風速等を加味して設定されており、例えば図
４に示す如く外側エア通路７が１４個に区画されている
場合は２番目から６番目のガイド９は３０度、７番目か
ら１４番目のガイドは４５度と設定される。これによっ
て得られた風量および気流の関係は図４のグラフで示す
ようにほぼ均一かつ一定した理想的な状態であることが
判る。
通路７は所定間隔をもって複数に区画されており、その
区画部分に設けられている最初の空気導入口８は、空調
機本体とダクトとの取付部分である最上流端部付近に設
けられている。この最初の空気導入口８に取付ける空気
風量調整ガイド９は角度０度とされている。各々の空気
導入口８に設けられた空気風量調整ガイドは、ダクトの
下流即ち長手方向の先端に行くに従ってその角度が変更
されている。それは、ダクトの長さとダクト内に供給さ
れる風量、風速等を加味して設定されており、例えば図
４に示す如く外側エア通路７が１４個に区画されている
場合は２番目から６番目のガイド９は３０度、７番目か
ら１４番目のガイドは４５度と設定される。これによっ
て得られた風量および気流の関係は図４のグラフで示す
ようにほぼ均一かつ一定した理想的な状態であることが
判る。
【００２１】図５は、内側ダクト板４の外側に被せられ
て外側エア通路を形成する多孔性の外側ダクト板６を示
すものであって、全体の開口率が３ないし１０％となる
ように形成されている。本実施例では、孔部分１１がダ
クトの長手方向に沿ってライン状となるようライン状の
メクラ部分１２を設けて開口率３ないし１０％の多孔板
が示されているが、孔部分のフォーメイションはこれに
限定されるものではなく、３ないし１０％の間でランダ
ムに穿設したものでもよいことは勿論のことである。
て外側エア通路を形成する多孔性の外側ダクト板６を示
すものであって、全体の開口率が３ないし１０％となる
ように形成されている。本実施例では、孔部分１１がダ
クトの長手方向に沿ってライン状となるようライン状の
メクラ部分１２を設けて開口率３ないし１０％の多孔板
が示されているが、孔部分のフォーメイションはこれに
限定されるものではなく、３ないし１０％の間でランダ
ムに穿設したものでもよいことは勿論のことである。
【００２２】
【発明の効果】以上のような構成になる本発明の空気吹
き出し用ダクトは、風量分布の均一化を可能とし、かつ
下向きのベクトルを与えることができ、それによって充
分な整流気流を得るための理想的な空気の吹き出し方向
が得られ、かつ、吹き出し量の均一化をなし、吹き出さ
れた室内側の空気がダクトの吹き出し口から再び吸い込
まれるという空気の逆流を防止できるものである。
き出し用ダクトは、風量分布の均一化を可能とし、かつ
下向きのベクトルを与えることができ、それによって充
分な整流気流を得るための理想的な空気の吹き出し方向
が得られ、かつ、吹き出し量の均一化をなし、吹き出さ
れた室内側の空気がダクトの吹き出し口から再び吸い込
まれるという空気の逆流を防止できるものである。
【図１】はクリーンルームに本発明の空気吹き出し用ダ
クトを取付けたものの切欠断面図。
クトを取付けたものの切欠断面図。
【図２】は図１の部分拡大図で（ａ）は図１のＡの部分
拡大図、（ｂ）は図１のＢの部分拡大図。
拡大図、（ｂ）は図１のＢの部分拡大図。
【図３】は本発明のダクトの縦断面図と空気の流れを示
す図。
す図。
【図４】は本発明のダクトと風量および気流との関係を
示す図。
示す図。
【図５】はダクトの外表面を構成する多孔板の例の図。
【図６】は従来の空気吹き出し用ダクトを設けたクリー
ンルームを示す図。
ンルームを示す図。
１：クリーンルーム、 ２：空調機本体、 ３：ダク
ト、 ４：内側ダクト板、 ５：内側エア通路、 ６：
外側ダクト板、 ７：外側エア通路、 ８：空気導入
口、 ９：空気風量調整ガイド、 １０：空気方向調整
ガイド、 １１：多孔板の孔部、 １２：メクラ部分、
２０：空調機本体、 ２１：空気吹き出しダクト、
２２：ダクトを形成する多孔板。
ト、 ４：内側ダクト板、 ５：内側エア通路、 ６：
外側ダクト板、 ７：外側エア通路、 ８：空気導入
口、 ９：空気風量調整ガイド、 １０：空気方向調整
ガイド、 １１：多孔板の孔部、 １２：メクラ部分、
２０：空調機本体、 ２１：空気吹き出しダクト、
２２：ダクトを形成する多孔板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森分 芳郎 神奈川県大和市中央林間４−20−４ 平 山設備株式会社内 (56)参考文献 実開 昭57−196924（ＪＰ，Ｕ) 実開 平５−54946（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 13/06 F24F 7/06 F24F 13/02 F24F 13/072
Claims (6)
- 【請求項１】クリーンルーム室内の天井面に沿って延び
る空気吹き出し用ダクトにおいて、長手方向に延びる内
側ダクト板によって形成される内側エア通路と、前記内
側ダクト板の外側に所定空間を有して配設された多孔性
の外側ダクト板によって形成される外側エア通路とを有
する二重ダクト構造であって、前記外側エア通路は所定
間隔をもって長手方向に複数に区画され、各々の区画さ
れた部分と内側エア通路とは前記内側ダクト板に形成さ
れた空気導入口によって連通され、前記空気導入口に
は、前記内側エア通路側に突出する空気風量調整ガイド
と前記外側エア通路側に延出する空気方向調整ガイドが
設けられており、前記各ガイドにより、各区画毎の長手
方向の風量分布を均一化するとともに動圧抑制をなすよ
うにしたことを特徴とするクリーンルームの空気吹き出
し用ダクト。 - 【請求項２】外側通路を形成する多孔性の外側ダクト板
は、全体の開口率が３ないし１０％であることを特徴と
する請求項１に記載のクリーンルームの空気吹き出し用
ダクト。 - 【請求項３】空気風量調整ガイドは、その取付角度が空
気流に対向して０ないし９０度の範囲の角度で取付けら
れていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンル
ームの空気吹き出し用ダクト。 - 【請求項４】空気方向調整ガイドは、その取付角度が空
気流に対向して最大限９０度の角度で取付けられている
ことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの吹
き出し用ダクト。 - 【請求項５】空気風量調整ガイドおよび空気方向調整ガ
イドは、多孔板からなることを特徴とする請求項１ない
し４のいずれか１項に記載のクリーンルームの空気吹き
出し用ダクト。 - 【請求項６】空気風量調整ガイド及び空気方向調整ガイ
ドを形成する多孔板の孔開口率は２０ないし６０％であ
ることを特徴とする請求項５に記載のクリーンルームの
空気吹き出し用ダクト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21385195A JP3271875B2 (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | クリーンルームの空気吹き出し用ダクト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21385195A JP3271875B2 (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | クリーンルームの空気吹き出し用ダクト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0960959A JPH0960959A (ja) | 1997-03-04 |
| JP3271875B2 true JP3271875B2 (ja) | 2002-04-08 |
Family
ID=16646077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21385195A Expired - Lifetime JP3271875B2 (ja) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | クリーンルームの空気吹き出し用ダクト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3271875B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE9802064L (sv) * | 1998-06-11 | 1999-12-12 | Johnson Suisse Medical Develop | Metod och anordning vid klimatstyrning av rum |
| JP4553681B2 (ja) * | 2004-10-27 | 2010-09-29 | パナソニック環境エンジニアリング株式会社 | 空気吹出口及びそれを用いた空調方法 |
| JP5625849B2 (ja) * | 2010-12-09 | 2014-11-19 | 株式会社デンソーファシリティーズ | スポット式空調装置の吹出口装置 |
-
1995
- 1995-08-22 JP JP21385195A patent/JP3271875B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JPH0960959A (ja) | 1997-03-04 |
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