JPH0666439A - クリーンルーム及びエアサプライユニット - Google Patents
クリーンルーム及びエアサプライユニットInfo
- Publication number
- JPH0666439A JPH0666439A JP21612492A JP21612492A JPH0666439A JP H0666439 A JPH0666439 A JP H0666439A JP 21612492 A JP21612492 A JP 21612492A JP 21612492 A JP21612492 A JP 21612492A JP H0666439 A JPH0666439 A JP H0666439A
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- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean room
- air supply
- supply unit
- room
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Abstract
(57)【要約】
【目的】均一な空気流れをもつ安価で高性能のクリーン
ルームを実現する。 【構成】室の大きさ（６．５ｍ×３．８ｍ×２．７ｍ）
のクリーンルームの天井に直線状に長い多孔板から成る
多孔板開口率２０％、空気流入速度６．５ｍ／ｓ、空気
吹出し速度０．４ｍ／ｓのエアサプライユニット３体
を、一体あたり流入空気流量４０ｃｍ3 ／ｍｉｎの条件
で設置した。
ルームを実現する。 【構成】室の大きさ（６．５ｍ×３．８ｍ×２．７ｍ）
のクリーンルームの天井に直線状に長い多孔板から成る
多孔板開口率２０％、空気流入速度６．５ｍ／ｓ、空気
吹出し速度０．４ｍ／ｓのエアサプライユニット３体
を、一体あたり流入空気流量４０ｃｍ3 ／ｍｉｎの条件
で設置した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、新規な方式のクリーン
ルーム及びこれに用いるエアサプライユニットに関す
る。
ルーム及びこれに用いるエアサプライユニットに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】温度、湿度制御された空気を導風ダクト
により室内へ導き、室内に設けられた吹出口より室内へ
供給するクリーンルームが知られている。従来のクリー
ンルームは導風ダクトを天井裏あるいは壁内部に配設
し、かつ天井の一部や壁面の一部に空気吹出口を分散配
置し、導風ダクトおよび吹出口を通して室内に空気を送
り出すものであった。
により室内へ導き、室内に設けられた吹出口より室内へ
供給するクリーンルームが知られている。従来のクリー
ンルームは導風ダクトを天井裏あるいは壁内部に配設
し、かつ天井の一部や壁面の一部に空気吹出口を分散配
置し、導風ダクトおよび吹出口を通して室内に空気を送
り出すものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来のシ
ステムにおいては、空気吹出口が天井面あるいは壁面に
分散されるため、室内の気流が乱れたものになり、室内
の清浄度を向上させるのに効率が悪いという問題があっ
た。本発明は、上記事情に鑑み、室内気流の乱れがない
クリーンルームシステム及びそのシステムに用いるエア
サプライユニットを提供することを目的とする。
ステムにおいては、空気吹出口が天井面あるいは壁面に
分散されるため、室内の気流が乱れたものになり、室内
の清浄度を向上させるのに効率が悪いという問題があっ
た。本発明は、上記事情に鑑み、室内気流の乱れがない
クリーンルームシステム及びそのシステムに用いるエア
サプライユニットを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、本発明のクリーンルームシステムは以下のような
構成とした。すなわち、クリーンルーム外に設けた空調
機によって温度及び湿度を制御された空気は導風ダクト
を通ってＨＥＰＡフィルタ（高性能脱塵清浄化フィル
タ）へと導かれる。そこで清浄化された空気は、室内に
直線状に延びる多孔板からなる複数のエアサプライユニ
ットへ送られる。そしてこのエアサプライユニットから
室内へ供給される。室内へ供給された空気は室の床面又
は壁面下端に設けられた吸い込み口より吸い込まれ、空
調機へと戻される。
めに、本発明のクリーンルームシステムは以下のような
構成とした。すなわち、クリーンルーム外に設けた空調
機によって温度及び湿度を制御された空気は導風ダクト
を通ってＨＥＰＡフィルタ（高性能脱塵清浄化フィル
タ）へと導かれる。そこで清浄化された空気は、室内に
直線状に延びる多孔板からなる複数のエアサプライユニ
ットへ送られる。そしてこのエアサプライユニットから
室内へ供給される。室内へ供給された空気は室の床面又
は壁面下端に設けられた吸い込み口より吸い込まれ、空
調機へと戻される。
【０００５】なお、ここで用いられるエアサプライユニ
ットはクリーンルームの天井に配設される空気供給ダク
トであって、室内の長手方向に延びる多孔板、例えばパ
ンチメタルからなり、多孔板の孔径が板厚以下であるこ
とを特徴とする。このエアサプライユニットは、上流側
から下流側に向かって、空気の流れる流路断面積を徐々
に減少した形状とし、またエアサプライユニットの空気
流入口に流入空気の流れの方向を調整する流路調整体を
備えた構造とすることが望ましい。
ットはクリーンルームの天井に配設される空気供給ダク
トであって、室内の長手方向に延びる多孔板、例えばパ
ンチメタルからなり、多孔板の孔径が板厚以下であるこ
とを特徴とする。このエアサプライユニットは、上流側
から下流側に向かって、空気の流れる流路断面積を徐々
に減少した形状とし、またエアサプライユニットの空気
流入口に流入空気の流れの方向を調整する流路調整体を
備えた構造とすることが望ましい。
【０００６】
【作用】上記構造のエアサプライユニットを有する本発
明のクリーンルームシステムにおいては、吹出口からの
吹出し気流が均一に下向に吹出すため、従来のクリーン
ルームシステムで問題であった室内空気流の渦や拡散流
が消滅し、室内清浄に非常に有効な流れを実現すること
ができる。
明のクリーンルームシステムにおいては、吹出口からの
吹出し気流が均一に下向に吹出すため、従来のクリーン
ルームシステムで問題であった室内空気流の渦や拡散流
が消滅し、室内清浄に非常に有効な流れを実現すること
ができる。
【０００７】多孔板からなるエアサプライユニットの吹
出し口の孔径ａが板厚ｄより小さい、すなわち、ａ／ｄ
が１：１以下であるような構造とすることにより、空気
の流れが吹出し口の孔の中で整流され吹き出し気流は垂
直下向きになる。一方、孔径と板厚の比ａ／ｄが１：１
を越えると、吹出し口から流出する流れにエアサプライ
ユニットの長手方向速度成分が現れ、流出方向に偏りを
生じるため、室内塵挨の発生位置によっては拡散を引き
起こしたり、ある程度以上の清浄空間の実現が困難とな
る。
出し口の孔径ａが板厚ｄより小さい、すなわち、ａ／ｄ
が１：１以下であるような構造とすることにより、空気
の流れが吹出し口の孔の中で整流され吹き出し気流は垂
直下向きになる。一方、孔径と板厚の比ａ／ｄが１：１
を越えると、吹出し口から流出する流れにエアサプライ
ユニットの長手方向速度成分が現れ、流出方向に偏りを
生じるため、室内塵挨の発生位置によっては拡散を引き
起こしたり、ある程度以上の清浄空間の実現が困難とな
る。
【０００８】これに対し、本発明のエアサプライユニッ
トを用いると、気流が垂直下方へ吹き出されるので、室
内発生塵挨等の外乱に強く、高清浄空間を達成すること
ができる。なお、吹出し気流分布の均一化のために、エ
アサプライユニット内の流路断面積を先端側に行くにし
たがって徐々に減少させると、整流型クリーンルームの
室内気流分布に近い、室内全域に均一な垂直下方気流分
布を実現することができ、より高い清浄空間を有するク
リーンルームを提供することができる。
トを用いると、気流が垂直下方へ吹き出されるので、室
内発生塵挨等の外乱に強く、高清浄空間を達成すること
ができる。なお、吹出し気流分布の均一化のために、エ
アサプライユニット内の流路断面積を先端側に行くにし
たがって徐々に減少させると、整流型クリーンルームの
室内気流分布に近い、室内全域に均一な垂直下方気流分
布を実現することができ、より高い清浄空間を有するク
リーンルームを提供することができる。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例のクリーンルームの全体シス
テムを図２に示した。空調機２はクリーンルーム１外に
設けられ、循環空気３と外気４とを適切に混合しながら
所望の温度及び湿度の空気５を整え、これを導風ダクト
６を通ってＨＥＰＡフィルタ７へ導き、清浄化する。清
浄化された空気８は、クリーンルーム１の室内に直線状
に延びる多孔板からなる複数のエアサプライユニット９
へ送られエアサプライユニット９から室内へ供給され
る。室内へ供給された空気は室の床面又は壁面下端に設
けられた吸込口１０より吸い込まれ、ダクト１１を経
て、循環空気３として空調機２に戻される。
テムを図２に示した。空調機２はクリーンルーム１外に
設けられ、循環空気３と外気４とを適切に混合しながら
所望の温度及び湿度の空気５を整え、これを導風ダクト
６を通ってＨＥＰＡフィルタ７へ導き、清浄化する。清
浄化された空気８は、クリーンルーム１の室内に直線状
に延びる多孔板からなる複数のエアサプライユニット９
へ送られエアサプライユニット９から室内へ供給され
る。室内へ供給された空気は室の床面又は壁面下端に設
けられた吸込口１０より吸い込まれ、ダクト１１を経
て、循環空気３として空調機２に戻される。
【００１０】実施例のエアサプライユニット９はクリー
ンルーム１の天井に複数列平行に配設されている。エア
サプライユニット９は長手方向に延びる鋼板製のパンチ
メタルから構成されている。このエアサプライユニット
９は、各孔から流出する空気の速度が一定になるよう
に、上流側から下流側に向かって、空気の流れる流路断
面積を徐々に減少した形状とした。
ンルーム１の天井に複数列平行に配設されている。エア
サプライユニット９は長手方向に延びる鋼板製のパンチ
メタルから構成されている。このエアサプライユニット
９は、各孔から流出する空気の速度が一定になるよう
に、上流側から下流側に向かって、空気の流れる流路断
面積を徐々に減少した形状とした。
【００１１】また、室内に配置された複数本のエアサプ
ライユニット９に均一な風量で清浄化された空気８を送
るためにＨＥＰＡフィルタ７とエアサプライユニット９
の間に流量調整用ルーバー１２、及びバタフライ弁１３
を設けている。これによりエアサプライユニット９から
室内へ吹き出す気流の速度はどのエアサプライユニット
においても均一になる。
ライユニット９に均一な風量で清浄化された空気８を送
るためにＨＥＰＡフィルタ７とエアサプライユニット９
の間に流量調整用ルーバー１２、及びバタフライ弁１３
を設けている。これによりエアサプライユニット９から
室内へ吹き出す気流の速度はどのエアサプライユニット
においても均一になる。
【００１２】実施例のエアサプライユニット９の詳細を
図１に示した。図１（ａ）は、部分縦断面図、図１
（ｂ）は横断面図である。実施例のエアサプライユニッ
ト９は長手方向に延びる鋼板製のパンチメタル２２をＵ
型に成形したダクト２１から構成されている。鋼板の厚
さ２３は１２ｍｍとした。パンチメタル２２は多数の孔
２４を備え、空気吹き出し孔を形成する、この孔径２５
は１０ｍｍとした。このエアサプライユニット９は、各
孔から流出する空気の速度が一定になるように、上流側
から下流側に向かって、空気の流れるダクト２１の流路
断面積を奥行側が徐々に減少した形状とした。
図１に示した。図１（ａ）は、部分縦断面図、図１
（ｂ）は横断面図である。実施例のエアサプライユニッ
ト９は長手方向に延びる鋼板製のパンチメタル２２をＵ
型に成形したダクト２１から構成されている。鋼板の厚
さ２３は１２ｍｍとした。パンチメタル２２は多数の孔
２４を備え、空気吹き出し孔を形成する、この孔径２５
は１０ｍｍとした。このエアサプライユニット９は、各
孔から流出する空気の速度が一定になるように、上流側
から下流側に向かって、空気の流れるダクト２１の流路
断面積を奥行側が徐々に減少した形状とした。
【００１３】本発明のクリーンルームシステムでは、ク
リーンルーム内の空気の気流を図５に示すように非常に
均一な流れにすることができ、図６に示す従来の気流の
ように旋回流や渦流を生じない。図３は本発明のクリー
ンルームシステムと従来のクリーンルームシステムを用
いて場合の０．５μｍの粒子の１ｆｔ3 中の個数と時間
との関係を調べたグラフである。室内清浄度クラス１０
０を達成するのに本発明の装置では従来に比し約５分時
間短縮することができた。また、従来のクリーンルーム
システムに比べより高清浄な空調を実現することができ
る。
リーンルーム内の空気の気流を図５に示すように非常に
均一な流れにすることができ、図６に示す従来の気流の
ように旋回流や渦流を生じない。図３は本発明のクリー
ンルームシステムと従来のクリーンルームシステムを用
いて場合の０．５μｍの粒子の１ｆｔ3 中の個数と時間
との関係を調べたグラフである。室内清浄度クラス１０
０を達成するのに本発明の装置では従来に比し約５分時
間短縮することができた。また、従来のクリーンルーム
システムに比べより高清浄な空調を実現することができ
る。
【００１４】本発明のクリーンルームシステムには天井
裏ダクト配管工事が不要である。このため製造コストを
低く押さえることができる。また、天井裏スペースが不
要であるためクリーンルーム建造も簡易であり、工期を
短縮することができる。一般の室をクリーンルームに改
造する場合も容易に改造することができる。室の大きさ
（６．５ｍ×３．８ｍ×２．７ｍ）のクリーンルームに
本発明のシステムを適用した。エアサプライユニット３
体、多孔板開口率２０％、空気流入速度６．５ｍ／ｓ、
空気吹出し速度０．４ｍ／ｓ、装置一体あたり流入空気
流量４０ｃｍ3 ／ｍｉｎの条件で＋０．５μｍ以上の塵
挨は速やかに１立方フィートあたり１０個以下となるこ
とが期待された。また構造上、ダクトが多孔板であるの
で、ダクトの空気吹き出し部全面をＨＥＰＡフィルタ等
の高性能フィルタとするよりもはるかに安価である。
裏ダクト配管工事が不要である。このため製造コストを
低く押さえることができる。また、天井裏スペースが不
要であるためクリーンルーム建造も簡易であり、工期を
短縮することができる。一般の室をクリーンルームに改
造する場合も容易に改造することができる。室の大きさ
（６．５ｍ×３．８ｍ×２．７ｍ）のクリーンルームに
本発明のシステムを適用した。エアサプライユニット３
体、多孔板開口率２０％、空気流入速度６．５ｍ／ｓ、
空気吹出し速度０．４ｍ／ｓ、装置一体あたり流入空気
流量４０ｃｍ3 ／ｍｉｎの条件で＋０．５μｍ以上の塵
挨は速やかに１立方フィートあたり１０個以下となるこ
とが期待された。また構造上、ダクトが多孔板であるの
で、ダクトの空気吹き出し部全面をＨＥＰＡフィルタ等
の高性能フィルタとするよりもはるかに安価である。
【００１５】図４に垂直整流型エアサプライユニットを
用いた場合の数値シミュレーション結果を示した。これ
を見ると垂直整流型クリーンルームに近い気流分布が得
られていることがわかる。
用いた場合の数値シミュレーション結果を示した。これ
を見ると垂直整流型クリーンルームに近い気流分布が得
られていることがわかる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、室内気流の乱れがない
クリーンルームを得ることができるので、高度の清浄空
間を容易に達成することができる。また、天井裏ダクト
配管工事が不要となり、天井裏スペースが不要であるた
めクリーンルーム建造も簡易であり、工期を短縮するこ
とができる。
クリーンルームを得ることができるので、高度の清浄空
間を容易に達成することができる。また、天井裏ダクト
配管工事が不要となり、天井裏スペースが不要であるた
めクリーンルーム建造も簡易であり、工期を短縮するこ
とができる。
【図１】エアサプライユニットの（ａ）縦断面図、
（ｂ）横断面図である。
（ｂ）横断面図である。
【図２】実施例のクリーンルームの説明図である。
【図３】本発明の効果を示すグラフである。
【図４】シミュレーションの図である。
【図５】実施例の気流分布を示す模式図である。
【図６】従来例の気流分布を示す模式図である。
１ クリーンルーム ２ 空調機 ３ 循環空気 ４ 外気 ５ 空気 ６ ダクト ７ ＨＥＰＡフィルタ ８ 空気 ９ エアサプライユニット １０ 吸入口 １１ ダクト １２ ルーバー １３ バタフライ弁 ２１ ダクト ２２ パンチメタル ２３ 厚さ ２４ 孔 ２５ 孔径
Claims (2)
- 【請求項１】 空気の温度・湿度を調節する空調機をク
リーンルーム外に設け、天井面に直線状に長い多孔板か
らなるエアサプライユニットを備え、室内壁の下部また
は床面に排気取出し部を設けたことを特徴とするクリー
ンルーム。 - 【請求項２】 多孔板の孔径が板厚以下であることを特
徴とするエアサプライユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21612492A JPH0666439A (ja) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | クリーンルーム及びエアサプライユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21612492A JPH0666439A (ja) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | クリーンルーム及びエアサプライユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666439A true JPH0666439A (ja) | 1994-03-08 |
Family
ID=16683638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21612492A Pending JPH0666439A (ja) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | クリーンルーム及びエアサプライユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666439A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2004114378A1 (ja) * | 2003-06-19 | 2006-07-27 | 北海道ティー・エル・オー株式会社 | クリーンユニット、クリーンユニットシステム、機能ユニット、機能ユニットシステム、材料処理方法、素子製造方法、細胞系育成方法および植物体育成方法 |
| CN101982704A (zh) * | 2010-10-12 | 2011-03-02 | 中国矿业大学 | 建筑物大空间公共场所有害物质的防护系统及方法 |
| KR101017910B1 (ko) * | 2008-09-04 | 2011-03-04 | (주)신성이엔지 | 클린룸 시스템 |
| JP4755307B1 (ja) * | 2010-10-28 | 2011-08-24 | 株式会社朝日工業社 | クリーンルーム |
| CN102589080A (zh) * | 2011-01-12 | 2012-07-18 | 上海运青制版有限公司 | 一种电雕车间的正压气流处理装置 |
| JP2013085994A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-13 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | 安全キャビネット |
| JP2013253761A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Nippon Ika Kikai Seisakusho:Kk | 無菌病室及び中継ユニット |
| CN104864540A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-08-26 | 天津龙川精工洁净技术发展有限公司 | 独立自循环式洁净手术室 |
| JP2022056167A (ja) * | 2020-09-29 | 2022-04-08 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 送風器及び電子部品の実装装置 |
| JP2022090050A (ja) * | 2022-04-22 | 2022-06-16 | 神山 綾子 | 部屋の気流形成方法および空調設備を設けた部屋 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62147250A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-01 | Shimizu Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPH01142354A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Hitachi Reinetsu Kk | 空調室の天井吹出構造 |
-
1992
- 1992-08-13 JP JP21612492A patent/JPH0666439A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62147250A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-07-01 | Shimizu Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
| JPH01142354A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Hitachi Reinetsu Kk | 空調室の天井吹出構造 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2004114378A1 (ja) * | 2003-06-19 | 2006-07-27 | 北海道ティー・エル・オー株式会社 | クリーンユニット、クリーンユニットシステム、機能ユニット、機能ユニットシステム、材料処理方法、素子製造方法、細胞系育成方法および植物体育成方法 |
| KR101017910B1 (ko) * | 2008-09-04 | 2011-03-04 | (주)신성이엔지 | 클린룸 시스템 |
| CN101982704A (zh) * | 2010-10-12 | 2011-03-02 | 中国矿业大学 | 建筑物大空间公共场所有害物质的防护系统及方法 |
| JP4755307B1 (ja) * | 2010-10-28 | 2011-08-24 | 株式会社朝日工業社 | クリーンルーム |
| WO2012056592A1 (ja) * | 2010-10-28 | 2012-05-03 | 株式会社朝日工業社 | クリーンルーム |
| KR101284022B1 (ko) * | 2010-10-28 | 2013-07-09 | 가부시키가이샤 아사히 코교샤 | 크린 룸 |
| CN102589080A (zh) * | 2011-01-12 | 2012-07-18 | 上海运青制版有限公司 | 一种电雕车间的正压气流处理装置 |
| JP2013085994A (ja) * | 2011-10-14 | 2013-05-13 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | 安全キャビネット |
| JP2013253761A (ja) * | 2012-06-08 | 2013-12-19 | Nippon Ika Kikai Seisakusho:Kk | 無菌病室及び中継ユニット |
| CN104864540A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-08-26 | 天津龙川精工洁净技术发展有限公司 | 独立自循环式洁净手术室 |
| JP2022056167A (ja) * | 2020-09-29 | 2022-04-08 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 送風器及び電子部品の実装装置 |
| JP2022090050A (ja) * | 2022-04-22 | 2022-06-16 | 神山 綾子 | 部屋の気流形成方法および空調設備を設けた部屋 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970909 |