JP3486128B2 - クリーンルーム用空気清浄化装置 - Google Patents
クリーンルーム用空気清浄化装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工業、光学機
器、精密機械、電子機器、医療機器、食品醸造業等の分
野において、無塵、無菌のクリーンルームを簡単に構成
できる空気清浄化装置に関する。
器、精密機械、電子機器、医療機器、食品醸造業等の分
野において、無塵、無菌のクリーンルームを簡単に構成
できる空気清浄化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンルーム、クリーンブース
としては、例えば、実公昭５６―５７０７号公報に示さ
れているように、空気を清浄化しようとする室の外に空
気吸込口と送風機を配置し、また該室の天井の上方にフ
イルタを配置して、天井の全面から清浄化した空気を吹
き出させる層流式クリーンルームがある。ところが、か
かるクリーンルームの場合、天井部上方に清浄な空気の
通路を設けかつ室外に空気清浄化のための諸設備を設け
なければならないので、空気清浄化装置の設置が大工事
になるばかりでなく、既設の室をクリーンルームとする
ためには、既存の天井部及び壁を取り壊して、空気清浄
化装置を設置するという大改造が必要となる欠点があ
る。また、室内の空気は、床付近の側壁面に設けられた
排気口から気圧差を利用して排気されるに過ぎないの
で、作業台等の上面に流下した清浄な空気の舞い上がり
現象が生じ、そのために作業台上面等の塵も一緒に舞い
上がってしまうという欠点がある。更に、吹き出された
清浄な空気は、室内の側壁下部から室外へ排出され、そ
の後、新たな含塵エアが吸込口から吸い込まれてフィル
タを通ることになるので、清浄化に長時間を要し、エア
フィルタの稼働効率が上がらないという欠点がある。更
にまた、室内の側壁下部に排気口が開設されているた
め、天井全面から吹き出された清浄化空気が前記排気口
へ向かって斜めに流れ、全室に渡って均一な空気清浄化
を図ることが困難である。
としては、例えば、実公昭５６―５７０７号公報に示さ
れているように、空気を清浄化しようとする室の外に空
気吸込口と送風機を配置し、また該室の天井の上方にフ
イルタを配置して、天井の全面から清浄化した空気を吹
き出させる層流式クリーンルームがある。ところが、か
かるクリーンルームの場合、天井部上方に清浄な空気の
通路を設けかつ室外に空気清浄化のための諸設備を設け
なければならないので、空気清浄化装置の設置が大工事
になるばかりでなく、既設の室をクリーンルームとする
ためには、既存の天井部及び壁を取り壊して、空気清浄
化装置を設置するという大改造が必要となる欠点があ
る。また、室内の空気は、床付近の側壁面に設けられた
排気口から気圧差を利用して排気されるに過ぎないの
で、作業台等の上面に流下した清浄な空気の舞い上がり
現象が生じ、そのために作業台上面等の塵も一緒に舞い
上がってしまうという欠点がある。更に、吹き出された
清浄な空気は、室内の側壁下部から室外へ排出され、そ
の後、新たな含塵エアが吸込口から吸い込まれてフィル
タを通ることになるので、清浄化に長時間を要し、エア
フィルタの稼働効率が上がらないという欠点がある。更
にまた、室内の側壁下部に排気口が開設されているた
め、天井全面から吹き出された清浄化空気が前記排気口
へ向かって斜めに流れ、全室に渡って均一な空気清浄化
を図ることが困難である。
【０００３】上記、問題点を解決するものとして、例え
ば、特公昭３−４８４１７号公報に示されるような空気
清浄化装置がある。この装置は、密閉されている部屋内
に配置され、その部屋をクリーンルームとするものであ
って、少なくともその一側面を部屋の内側壁に密接し、
かつその上端面を天井下面に密接する柱状本体と、該柱
状本体の上部から水平方向に延設され、少なくともその
上面を部屋の天井に接する風導管とからなり、前記柱状
本体はその下面に比較的短小な脚部及び空気吸込口を有
し、その内部には空気循環用の送風機及び空気清浄化用
フィルターが内装された空気通路を有しており、また、
前記風導管は前記柱状本体と略同一幅で延設方向におけ
る部屋の天井の長さに応じた長さを有し、その両側板と
下底板との全面には、部屋内の全方向に指向する空気吹
出口を有している。また、前記柱状本体と前記風導管と
は、柱状本体の上端面と風導管との上面が一連の水平面
を形成し、その全長が前記風導管延設方向における部屋
の天井長さと等長に形成されているという構成をなして
いる。
ば、特公昭３−４８４１７号公報に示されるような空気
清浄化装置がある。この装置は、密閉されている部屋内
に配置され、その部屋をクリーンルームとするものであ
って、少なくともその一側面を部屋の内側壁に密接し、
かつその上端面を天井下面に密接する柱状本体と、該柱
状本体の上部から水平方向に延設され、少なくともその
上面を部屋の天井に接する風導管とからなり、前記柱状
本体はその下面に比較的短小な脚部及び空気吸込口を有
し、その内部には空気循環用の送風機及び空気清浄化用
フィルターが内装された空気通路を有しており、また、
前記風導管は前記柱状本体と略同一幅で延設方向におけ
る部屋の天井の長さに応じた長さを有し、その両側板と
下底板との全面には、部屋内の全方向に指向する空気吹
出口を有している。また、前記柱状本体と前記風導管と
は、柱状本体の上端面と風導管との上面が一連の水平面
を形成し、その全長が前記風導管延設方向における部屋
の天井長さと等長に形成されているという構成をなして
いる。
【０００４】ところが、かかる空気清浄化装置において
は、柱状本体に隣接した風導管から吹き出される空気の
風速と柱状本体から離れた風導管から吹き出される空気
の風速とが異なっているので、部屋内の吹き出し気流の
分布の均一化が図れないという問題がある。
は、柱状本体に隣接した風導管から吹き出される空気の
風速と柱状本体から離れた風導管から吹き出される空気
の風速とが異なっているので、部屋内の吹き出し気流の
分布の均一化が図れないという問題がある。
【０００５】そこで、このような欠点を解決するものと
して、例えば、特開平６―６６４３９号公報に示される
ような空気清浄化装置がある。即ち、この装置において
は、クリーンルームの外に設けた空調機によって温度及
び湿度を制御された空気は、導風ダクトを通ってＨＥＰ
Ａフィルタへと導かれる。このフィルタで清浄化された
空気は、室内に直線上に延びている多孔板からなる複数
のエアサプライユニットへと送られる。このエアサプラ
イユニットは、クリーンルームの天井に配設される空気
供給ダクトであって、室内の長手方向に延びている多孔
板からなり、該多孔板の孔径は板厚以下である。また、
このエアサプライユニットにおいては、空気の流れる流
路の断面積を、その上流側から下流側に向かって徐々に
減少した形状となし、その空気流入口に流入空気の流れ
の方向を調整する流路調整体が設けられている。このエ
アサプライユニットでは、上流側から下流側まで、各孔
から流出する空気の速度が一定となるけれども、部屋の
端部から端部まで予め規定された長さのダクトでしか適
用できないので、必要な部位のみ施行した後にダクトの
長さを変更する等のことができず、いわゆるフレキシブ
ル性に欠けている。
して、例えば、特開平６―６６４３９号公報に示される
ような空気清浄化装置がある。即ち、この装置において
は、クリーンルームの外に設けた空調機によって温度及
び湿度を制御された空気は、導風ダクトを通ってＨＥＰ
Ａフィルタへと導かれる。このフィルタで清浄化された
空気は、室内に直線上に延びている多孔板からなる複数
のエアサプライユニットへと送られる。このエアサプラ
イユニットは、クリーンルームの天井に配設される空気
供給ダクトであって、室内の長手方向に延びている多孔
板からなり、該多孔板の孔径は板厚以下である。また、
このエアサプライユニットにおいては、空気の流れる流
路の断面積を、その上流側から下流側に向かって徐々に
減少した形状となし、その空気流入口に流入空気の流れ
の方向を調整する流路調整体が設けられている。このエ
アサプライユニットでは、上流側から下流側まで、各孔
から流出する空気の速度が一定となるけれども、部屋の
端部から端部まで予め規定された長さのダクトでしか適
用できないので、必要な部位のみ施行した後にダクトの
長さを変更する等のことができず、いわゆるフレキシブ
ル性に欠けている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のクリーンルーム
用空気清浄化装置の場合、既設の部屋内に設置するため
には、該部屋の天井部、壁部などの改善工事が必要であ
ったり、温度及び湿度の調整にエネルギーがかかりすぎ
たり、部屋全体が均一に清浄化できなかったり、また、
清浄化度を自由に調整できなかったり、フレキシブル性
に欠けている。そこで、本発明の目的は、かかる問題点
を解消し、既設の部屋の天井部、壁部の改善工事をする
ことなく、該部屋内に設置することができ、該クリーン
ルーム内全体を均一に清浄化できるクリーンルーム用空
気清浄化装置を提供することにある。更に、本発明の目
的は、ダクトユニットを接続するフランジの突起を利用
してダクト内の長さ方向における気流速度の均一化を図
れるようにしたクリーンルーム用空気清浄化装置を提供
することにある。
用空気清浄化装置の場合、既設の部屋内に設置するため
には、該部屋の天井部、壁部などの改善工事が必要であ
ったり、温度及び湿度の調整にエネルギーがかかりすぎ
たり、部屋全体が均一に清浄化できなかったり、また、
清浄化度を自由に調整できなかったり、フレキシブル性
に欠けている。そこで、本発明の目的は、かかる問題点
を解消し、既設の部屋の天井部、壁部の改善工事をする
ことなく、該部屋内に設置することができ、該クリーン
ルーム内全体を均一に清浄化できるクリーンルーム用空
気清浄化装置を提供することにある。更に、本発明の目
的は、ダクトユニットを接続するフランジの突起を利用
してダクト内の長さ方向における気流速度の均一化を図
れるようにしたクリーンルーム用空気清浄化装置を提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくともそ
の一側面をクリーン化したい部屋の内側壁面に配設した
送風ユニットと、該送風ユニットの上部から水平方向に
延設されたダクトとからなり、該送風ユニットは、その
下部に空気吸込口を有しかつその内部に空気循環用の送
風機が内装されている空気通路を有しており、該送風ユ
ニットと該ダクトとは、送風ユニットの上端面とダクト
の上面とが水平面を形成するように配設されたクリーン
ルーム用空気清浄化装置において、該ダクトの下面に空
気清浄化用フィルターが取付固定され、且つ、該ダクト
が複数のダクトユニットからなり、各ダクトユニット同
士が接合面全周に亘り内向きフランジを介して接続され
てなるクリーンルーム用空気清浄化装置である。
の一側面をクリーン化したい部屋の内側壁面に配設した
送風ユニットと、該送風ユニットの上部から水平方向に
延設されたダクトとからなり、該送風ユニットは、その
下部に空気吸込口を有しかつその内部に空気循環用の送
風機が内装されている空気通路を有しており、該送風ユ
ニットと該ダクトとは、送風ユニットの上端面とダクト
の上面とが水平面を形成するように配設されたクリーン
ルーム用空気清浄化装置において、該ダクトの下面に空
気清浄化用フィルターが取付固定され、且つ、該ダクト
が複数のダクトユニットからなり、各ダクトユニット同
士が接合面全周に亘り内向きフランジを介して接続され
てなるクリーンルーム用空気清浄化装置である。
【０００８】このクリーンルーム用空気清浄化装置で
は、該フィルタの下流側に該部屋内の全方向に指向する
空気吹出し口が取付固定されていることが好ましい。こ
のクリーンルーム用空気清浄化装置では、該ダクトが複
数延設されていることが好ましい。このクリーンルーム
用空気清浄化装置では、該ダクトとして、空気清浄化用
フィルター及び空気吹出し口を取付固定していないもの
とそれらを取付固定したものとを組み合わせた複数のダ
クトユニットを用いることが好ましい。
は、該フィルタの下流側に該部屋内の全方向に指向する
空気吹出し口が取付固定されていることが好ましい。こ
のクリーンルーム用空気清浄化装置では、該ダクトが複
数延設されていることが好ましい。このクリーンルーム
用空気清浄化装置では、該ダクトとして、空気清浄化用
フィルター及び空気吹出し口を取付固定していないもの
とそれらを取付固定したものとを組み合わせた複数のダ
クトユニットを用いることが好ましい。
【０００９】
【作用】本発明のクリーンルーム用空気清浄化装置にお
いては、空調機が室内に設けられ且つ室内床面より吸込
み循環する方式であるため、既設のクリーンルーム内に
設置でき、天井部、壁部の改善工事が不要で、工期短
縮、工事費の低減が図れる。又、室内のエアのみを循環
するため、清浄化が迅速に達成され、温度、湿度の調整
に要するエネルギーが低減され、省エネ化が図れる。ま
た、ダクトが天井に接して設けられうるため、吹出し口
の直下で渦流を発生することもなく、層流化が図れる。
また、ダクトの下面にフィルタが設けられるため、ダク
トを通して供給されるエアがフィルタを抵抗体として層
流化され、更に、部屋内の全方向に指向するパンチング
板がフィルタの下流側に空気吹出し口として設けられて
いるため、吹出し口の直下だけでなく、部屋全体に対し
て均一にエアを吹き出すことができる。また、ダクトの
下面にフィルタが取付固定されるため、ダクトの下側か
らダクトにフィルタ取付作業が行え、施工性に優れる。
また、各ダクトユニット同士が接合面全周に亘り内向き
フランジを介して接続されているので、ダクトの外面に
突出物が存在しないばかりでなく、前記内向きフランジ
がダクト内の気流速度をダクトの長手方向において均一
化させるように作用する。また、ダクトが複数延設され
うるためまたダクトが複数のダクトユニットからなるた
め、所望の場所のみに清浄なエアを効率よく吹き出させ
ることができると共に、必要に応じてダクト及びダクト
ユニットを接続したり、省略したりしうるフレキシブル
性がある。
いては、空調機が室内に設けられ且つ室内床面より吸込
み循環する方式であるため、既設のクリーンルーム内に
設置でき、天井部、壁部の改善工事が不要で、工期短
縮、工事費の低減が図れる。又、室内のエアのみを循環
するため、清浄化が迅速に達成され、温度、湿度の調整
に要するエネルギーが低減され、省エネ化が図れる。ま
た、ダクトが天井に接して設けられうるため、吹出し口
の直下で渦流を発生することもなく、層流化が図れる。
また、ダクトの下面にフィルタが設けられるため、ダク
トを通して供給されるエアがフィルタを抵抗体として層
流化され、更に、部屋内の全方向に指向するパンチング
板がフィルタの下流側に空気吹出し口として設けられて
いるため、吹出し口の直下だけでなく、部屋全体に対し
て均一にエアを吹き出すことができる。また、ダクトの
下面にフィルタが取付固定されるため、ダクトの下側か
らダクトにフィルタ取付作業が行え、施工性に優れる。
また、各ダクトユニット同士が接合面全周に亘り内向き
フランジを介して接続されているので、ダクトの外面に
突出物が存在しないばかりでなく、前記内向きフランジ
がダクト内の気流速度をダクトの長手方向において均一
化させるように作用する。また、ダクトが複数延設され
うるためまたダクトが複数のダクトユニットからなるた
め、所望の場所のみに清浄なエアを効率よく吹き出させ
ることができると共に、必要に応じてダクト及びダクト
ユニットを接続したり、省略したりしうるフレキシブル
性がある。
【００１０】本発明では、ダクトユニットの下面にフィ
ルタ及びパンチング板である空気吹出し口を必ず設ける
必要はなく、設けない場合は、例えば、これをめくらと
することでクリーンルーム内の清浄化度を自由に調整で
きる。
ルタ及びパンチング板である空気吹出し口を必ず設ける
必要はなく、設けない場合は、例えば、これをめくらと
することでクリーンルーム内の清浄化度を自由に調整で
きる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は、本発明の一実施例のクリーンルーム用空
気清浄化装置の縦側面図を示し、図２は、図１に示され
た装置の右側面図を示し、図３は、図１のＣ部分の拡大
図を示すものである。
する。図１は、本発明の一実施例のクリーンルーム用空
気清浄化装置の縦側面図を示し、図２は、図１に示され
た装置の右側面図を示し、図３は、図１のＣ部分の拡大
図を示すものである。
【００１２】図１に示されているように、クリーンルー
ム化しようとする部屋１に配設される空気清浄化装置２
は、その一側面を部屋１の内側壁１ｃに密接させかつそ
の上端面を天井下面１ｂに密接させるように設けられた
送風ユニット３と、該送風ユニット３の上部から水平方
向に延設されかつその上面を天井下面１ｂに接するよう
に設けられた風導管（ダクト）４とからなっている。該
送風ユニット３は、パッケージ３ａと、接続ボックス３
ｂと、該パッケージ及び接続ボックスを連結するキャン
バス３ｃとからなる。パッケージ３ａは、部屋１の床面
１ａに固定するための短い脚部３ｇをその下面に設けて
なる鋼板製の箱体であり、その内部に、ファン３ｄ、フ
ァンコイル３ｅ、コンプレッサー３ｆ、ヒーター等が装
備され、エア通路が形成されている。また、パッケージ
３ａには、その下方に空気吸込口３ｈが開口されてい
る。接続ボックス３ｂは、ダクト４と連結している。キ
ャンバス３ｃは、幅方向及び高さ方向の寸法誤差を緩衝
する。
ム化しようとする部屋１に配設される空気清浄化装置２
は、その一側面を部屋１の内側壁１ｃに密接させかつそ
の上端面を天井下面１ｂに密接させるように設けられた
送風ユニット３と、該送風ユニット３の上部から水平方
向に延設されかつその上面を天井下面１ｂに接するよう
に設けられた風導管（ダクト）４とからなっている。該
送風ユニット３は、パッケージ３ａと、接続ボックス３
ｂと、該パッケージ及び接続ボックスを連結するキャン
バス３ｃとからなる。パッケージ３ａは、部屋１の床面
１ａに固定するための短い脚部３ｇをその下面に設けて
なる鋼板製の箱体であり、その内部に、ファン３ｄ、フ
ァンコイル３ｅ、コンプレッサー３ｆ、ヒーター等が装
備され、エア通路が形成されている。また、パッケージ
３ａには、その下方に空気吸込口３ｈが開口されてい
る。接続ボックス３ｂは、ダクト４と連結している。キ
ャンバス３ｃは、幅方向及び高さ方向の寸法誤差を緩衝
する。
【００１３】該ダクト４は、複数のダクトユニット４か
らなり、各ダクト同士が接合面全周に亘り内向きフラン
ジ４ｂを介して接続され、それぞれの下面が部屋１に向
かって開口しており、図４に示されているように、各ダ
クトユニットでは、開口部４ａ周辺の下流側にフィルタ
５を固定するのに、開口部４ａの下流の面にガスケット
６を介してフィルタ５が圧着して取付固定されている。
フィルタ５の下流側に、部屋１内の全方向に指向する空
気吹出し口となるパンチング板７を取り付け固定する。
該パンチング板７は、部屋（クリーンルーム）１の幅が
狭いときには気流分布の均一化に有用であるが、幅が広
い部屋１では必ずしも必要ではない。パンチング板７の
形状には特に制限はなく、例えば、平形でも山形でもよ
いが、平形よりも山形の方が、部屋１内の全方向に指向
する空気吹き出しが可能であるため、気流分布の均一化
に優れている。該ダクト４の寸法は、部屋１の天井の長
さに応じた長さに規定されるものではなく、複数台延設
することで、所望の空間のみを清浄化することができ
る。また、該ダクト４は、空気清浄化用フィルタ５及び
空気吹出し口としてのパンチング板７を取付固定した部
分とそれらを取付固定しない部分とで構成される複数の
ダクトユニット４からなり、所望の清浄度に応じて適宜
選択される。取付固定されていない部分には、フィルタ
５に相当する部分に空ボックス８、吹出し口用パンチン
グ板７に相当する部分に無孔板９が配設されている。
らなり、各ダクト同士が接合面全周に亘り内向きフラン
ジ４ｂを介して接続され、それぞれの下面が部屋１に向
かって開口しており、図４に示されているように、各ダ
クトユニットでは、開口部４ａ周辺の下流側にフィルタ
５を固定するのに、開口部４ａの下流の面にガスケット
６を介してフィルタ５が圧着して取付固定されている。
フィルタ５の下流側に、部屋１内の全方向に指向する空
気吹出し口となるパンチング板７を取り付け固定する。
該パンチング板７は、部屋（クリーンルーム）１の幅が
狭いときには気流分布の均一化に有用であるが、幅が広
い部屋１では必ずしも必要ではない。パンチング板７の
形状には特に制限はなく、例えば、平形でも山形でもよ
いが、平形よりも山形の方が、部屋１内の全方向に指向
する空気吹き出しが可能であるため、気流分布の均一化
に優れている。該ダクト４の寸法は、部屋１の天井の長
さに応じた長さに規定されるものではなく、複数台延設
することで、所望の空間のみを清浄化することができ
る。また、該ダクト４は、空気清浄化用フィルタ５及び
空気吹出し口としてのパンチング板７を取付固定した部
分とそれらを取付固定しない部分とで構成される複数の
ダクトユニット４からなり、所望の清浄度に応じて適宜
選択される。取付固定されていない部分には、フィルタ
５に相当する部分に空ボックス８、吹出し口用パンチン
グ板７に相当する部分に無孔板９が配設されている。
【００１４】該ダクト４は、本実施例では，Ｉ型の一列
の配列としているが、送風ユニット３を基点として２方
向にダクト４を配列したＬ型、３方向にダクト４を配列
したＴ型もダクトの組み合わせにより適宜選択できる。
の配列としているが、送風ユニット３を基点として２方
向にダクト４を配列したＬ型、３方向にダクト４を配列
したＴ型もダクトの組み合わせにより適宜選択できる。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のクリーンルーム用空気清浄化装置においては、空調機
が室内に設けられるため、既設のクリーンルーム内に設
置でき、該クリーンルームの天井部、壁部等の改造工事
が不要で、工期短縮、工事費の低減を図れる。また、室
内のエアのみを循環するため、クリーン化が迅速に達成
される。また、天井下面のダクトよりエアが均一に吹き
出されるため、吹出し口の直下で渦流を発生することも
なく層流化が図れる。ダクトの吹出し口の近傍にフィル
タを設けることにより、ダクトを通して供給されたエア
がエアフィルタの抵抗により整流化され、気流分布が均
一化される。また、ダクトの下面にフィルタが取付固定
されるため、ダクトの下側からダクトにフィルタの取付
作業が行え、施工性に優れる。また、各ダクトユニット
同士が接合面全周に亘り内向きフランジを介して接続さ
れているので、ダクトの外面に突出物が存在しないばか
りでなく、前記内向きフランジがダクトの内の気流速度
をダクトの長手方向において均一化させることができ
る。また、ダクトが複数延設されうるためまたダクトが
複数のダクトユニットからなるため、所望の場所のみに
清浄なエアを効率よく吹き出させると共に、必要に応じ
てダクト及びダクトユニットを接続したり、省略したり
しうるフレキシブル性がある。また、下流側に空気吹出
し口としてのパンチング板を設けることにより、更に気
流分布が均一化されうる。
のクリーンルーム用空気清浄化装置においては、空調機
が室内に設けられるため、既設のクリーンルーム内に設
置でき、該クリーンルームの天井部、壁部等の改造工事
が不要で、工期短縮、工事費の低減を図れる。また、室
内のエアのみを循環するため、クリーン化が迅速に達成
される。また、天井下面のダクトよりエアが均一に吹き
出されるため、吹出し口の直下で渦流を発生することも
なく層流化が図れる。ダクトの吹出し口の近傍にフィル
タを設けることにより、ダクトを通して供給されたエア
がエアフィルタの抵抗により整流化され、気流分布が均
一化される。また、ダクトの下面にフィルタが取付固定
されるため、ダクトの下側からダクトにフィルタの取付
作業が行え、施工性に優れる。また、各ダクトユニット
同士が接合面全周に亘り内向きフランジを介して接続さ
れているので、ダクトの外面に突出物が存在しないばか
りでなく、前記内向きフランジがダクトの内の気流速度
をダクトの長手方向において均一化させることができ
る。また、ダクトが複数延設されうるためまたダクトが
複数のダクトユニットからなるため、所望の場所のみに
清浄なエアを効率よく吹き出させると共に、必要に応じ
てダクト及びダクトユニットを接続したり、省略したり
しうるフレキシブル性がある。また、下流側に空気吹出
し口としてのパンチング板を設けることにより、更に気
流分布が均一化されうる。
【図１】本発明の一実施例のクリーンルーム用空気清浄
化装置の縦側面図
化装置の縦側面図
【図２】図１に示された装置の右側面図
【図３】図１に示された装置のＣ部分の拡大図
１ 部屋
１ａ 床面
１ｂ 天井下面
１ｃ 内側壁
２ 空気清浄化装置
３ 送風ユニット
３ａ パッケージ
３ｂ 接続ボックス
３ｃ キャンバス
４ ダクトユニット
４ａ 開口部４ｂ 内向きフランジ
５ フィルタ
６ ガスケット
７ パンチング板
８ 空ボックス
９ 無孔板
フロントページの続き
(72)発明者 山本 孝
東京都中央区日本橋３丁目12番２号 富
士電機総設株式会社内
(72)発明者 坂本 敬治
茨城県結城市作の谷415番地 日本無機
株式会社 結城工場内
(72)発明者 大山 広
茨城県結城市作の谷415番地 日本無機
株式会社 結城工場内
(72)発明者 羽毛田 守
茨城県結城市作の谷415番地 日本無機
株式会社 結城工場内
(56)参考文献 特開 昭59−44538（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−178824（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−81613（ＪＰ，Ｕ)
実開 平１−169753（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭64−25644（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F24F 7/04 - 7/06
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくともその一側面をクリーン化した
い部屋の内側壁面に配設した送風ユニットと、該送風ユ
ニットの上部から水平方向に延設されたダクトとからな
り、該送風ユニットは、その下部に空気吸込口を有しか
つその内部に空気循環用の送風機が内装された空気通路
を有しており、該送風ユニットと該ダクトとは、該送風
ユニットの上端面とダクトの上面とが水平面を形成する
ように配設されたクリーンルーム用空気清浄化装置にお
いて、該ダクトの下面に空気清浄化用フィルタが取付固
定され、且つ、該ダクトが複数のダクトユニットからな
り、各ダクトユニット同士が接合面全周に亘り内向きフ
ランジを介して接続されてなることを特徴とするクリー
ンルーム用空気清浄化装置。 - 【請求項２】 該フィルタの下流側に該部屋内の全方向
に指向する空気吹出し口が取付固定されたことを特徴と
する請求項１記載のクリーンルーム用空気清浄化装置。 - 【請求項３】 該ダクトが複数延設されたことを特徴と
する請求項１又は２記載のクリーンルーム用空気清浄化
装置。 - 【請求項４】 該ダクトが、空気清浄化用フィルター及
び空気吹出し口を取付固定していないものとそれらを取
付固定したものとを組み合わせた複数のダクトユニット
からなっていることを特徴とする請求項１乃至３のいず
れか一項に記載のクリーンルーム用空気清浄化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11875799A JP3486128B2 (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | クリーンルーム用空気清浄化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11875799A JP3486128B2 (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | クリーンルーム用空気清浄化装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18061594A Division JPH0828920A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | クリーンルーム用空気清浄化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11325532A JPH11325532A (ja) | 1999-11-26 |
| JP3486128B2 true JP3486128B2 (ja) | 2004-01-13 |
Family
ID=14744315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11875799A Expired - Lifetime JP3486128B2 (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | クリーンルーム用空気清浄化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3486128B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN201373535Y (zh) * | 2009-03-23 | 2009-12-30 | 上海淮亩节能环保科技有限公司 | 长风管分流额定式均匀送、回风装置 |
-
1999
- 1999-04-26 JP JP11875799A patent/JP3486128B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11325532A (ja) | 1999-11-26 |
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