JP3297127B2 - ファン付きフィルタユニット - Google Patents
ファン付きフィルタユニットInfo
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- JP3297127B2 JP3297127B2 JP04223593A JP4223593A JP3297127B2 JP 3297127 B2 JP3297127 B2 JP 3297127B2 JP 04223593 A JP04223593 A JP 04223593A JP 4223593 A JP4223593 A JP 4223593A JP 3297127 B2 JP3297127 B2 JP 3297127B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばクリーンルーム
やクリーンストッカー等を構成するために用いるファン
付きフィルタユニットに関し、特に薄型で均一な風速分
布を達成するのに好適なファン付きフィルタユニットに
関する。
やクリーンストッカー等を構成するために用いるファン
付きフィルタユニットに関し、特に薄型で均一な風速分
布を達成するのに好適なファン付きフィルタユニットに
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のファン付きフィルタユニ
ットとしては、例えば特開平１−２００１３７号公報に
記載されるように、チャンバの上流側に複数個の軸流フ
ァンを配置するとともに前記チャンバの下流側にフィル
タを配置したものが知られている。
ットとしては、例えば特開平１−２００１３７号公報に
記載されるように、チャンバの上流側に複数個の軸流フ
ァンを配置するとともに前記チャンバの下流側にフィル
タを配置したものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のファン付きフィルタユニットの場合、複数個の軸流
ファンをチャンバ内の全領域に配置していたため、チャ
ンバの中心部に全軸流ファンの気流が集中する領域が生
じ、その領域においてはフィルタに対して他の領域より
かなり風速の大きな気流が衝突することになり、その結
果、風速分布が不均一でフィルタの寿命も短くなるとい
う不都合を有していた。本発明は、前記従来の不都合を
解消し、薄型でしかも均一な風速分布を達成することが
できるファン付きフィルタユニットを提供することを目
的とする。
来のファン付きフィルタユニットの場合、複数個の軸流
ファンをチャンバ内の全領域に配置していたため、チャ
ンバの中心部に全軸流ファンの気流が集中する領域が生
じ、その領域においてはフィルタに対して他の領域より
かなり風速の大きな気流が衝突することになり、その結
果、風速分布が不均一でフィルタの寿命も短くなるとい
う不都合を有していた。本発明は、前記従来の不都合を
解消し、薄型でしかも均一な風速分布を達成することが
できるファン付きフィルタユニットを提供することを目
的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のファン付きフィ
ルタユニットはかかる目的を達成するべく、チャンバの
上流側に複数個の軸流ファンを配置するとともに前記チ
ャンバの下流側にフィルタを配置したファン付きフィル
タユニットにおいて、前記軸流ファンの配置をチャンバ
の中心点を中心にしてその周囲に４分割される領域の３
領域内にのみ配置したことを特徴とする。なお、前記複
数個の軸流ファンのうち１個を仕切板を用いて他の軸流
ファンから隔離することが好ましい。さらにまた、前記
フィルタのチャンバ側近傍に整流板を配置することも好
ましい。なお、前記仕切板を設ける場合、前記仕切板を
チャンバの側壁並びに整流板との間に間隙を存して配置
することが好ましい。
ルタユニットはかかる目的を達成するべく、チャンバの
上流側に複数個の軸流ファンを配置するとともに前記チ
ャンバの下流側にフィルタを配置したファン付きフィル
タユニットにおいて、前記軸流ファンの配置をチャンバ
の中心点を中心にしてその周囲に４分割される領域の３
領域内にのみ配置したことを特徴とする。なお、前記複
数個の軸流ファンのうち１個を仕切板を用いて他の軸流
ファンから隔離することが好ましい。さらにまた、前記
フィルタのチャンバ側近傍に整流板を配置することも好
ましい。なお、前記仕切板を設ける場合、前記仕切板を
チャンバの側壁並びに整流板との間に間隙を存して配置
することが好ましい。
【０００５】
【作用】本発明ファン付きフィルタユニットは、チャン
バの上流側に複数個の軸流ファンを配置するので、大型
の軸流ファンを１個だけ配置するのに比して薄型に構成
される。また、軸流ファンの配置をチャンバの中心点を
中心にしてその周囲に４分割される領域の３領域内にの
み配置するため、従来のようにチャンバの全領域に軸流
ファンを配置した場合と異なり、軸流ファンからの気流
が逃げることができる空間が存在することになり、この
ためチャンバの中心部に４個の軸流ファンにより合成さ
れる大きな風速部分が存在しないことになり、チャンバ
内の風速分布、ひいてはフィルタの風速分布が均一とな
る。また、前記複数個の軸流ファンのうち１個を仕切板
を用いて他の軸流ファンから隔離することにより、前記
軸流ファンにより合成される大きな風速部分の発生をよ
り確実に防ぐことができる。また、前記フィルタのチャ
ンバ側近傍に整流板を配置すれば、風速分布はより均一
化する。なお、前記仕切板を用いる場合にチャンバの側
壁並びに整流板との間に間隙を存して配置すると、この
間隙を介して軸流ファンの存在しない領域の風速が助け
られ、これにより風速分布がより均一化する。
バの上流側に複数個の軸流ファンを配置するので、大型
の軸流ファンを１個だけ配置するのに比して薄型に構成
される。また、軸流ファンの配置をチャンバの中心点を
中心にしてその周囲に４分割される領域の３領域内にの
み配置するため、従来のようにチャンバの全領域に軸流
ファンを配置した場合と異なり、軸流ファンからの気流
が逃げることができる空間が存在することになり、この
ためチャンバの中心部に４個の軸流ファンにより合成さ
れる大きな風速部分が存在しないことになり、チャンバ
内の風速分布、ひいてはフィルタの風速分布が均一とな
る。また、前記複数個の軸流ファンのうち１個を仕切板
を用いて他の軸流ファンから隔離することにより、前記
軸流ファンにより合成される大きな風速部分の発生をよ
り確実に防ぐことができる。また、前記フィルタのチャ
ンバ側近傍に整流板を配置すれば、風速分布はより均一
化する。なお、前記仕切板を用いる場合にチャンバの側
壁並びに整流板との間に間隙を存して配置すると、この
間隙を介して軸流ファンの存在しない領域の風速が助け
られ、これにより風速分布がより均一化する。
【０００６】
【実施例】次に、本発明のファン付きフィルタユニット
の実施例を比較例とともに説明する。 （実施例１）図１は本発明のファン付きフィルタユニッ
トの一実施例の平面図、図２はその正面図、図３は図１
のＡ−Ａ線拡大断面図を示す。図中１は巾６１０ｍｍ、
奥行６１０ｍｍのチャンバを示し、その下流側には開口
率約５０％のパンチング板からなる整流板２とパッキン
３を介してフィルタ４が取り付けられており、フィルタ
４の下流側にはパンチング板からなるメディアガード５
が取り付けられている。また、前記チャンバー１内には
チャンバ１の中心点を中心にしてその周囲に図中破線で
示したように４分割される領域の３領域内に軸流ファン
６が配置されるように、３個の軸流ファン６が天井１ａ
に固着されている。さらにまた、前記チャンバ１内には
仕切板７がチャンバの側壁１ｂ並びに整流板２との間に
それぞれ間隙を存して配置されるように、天井１ａに固
着され、前記複数個の軸流ファン６，６，６のうち１個
を他の軸流ファン６，６から隔離するようにしてある。
前記仕切板７は短辺５０ｍｍ、長辺４００ｍｍ、巾２０
ｍｍの長方形状で密度２４ｋｇ／ｍ3 のグラスウール板
であり、前記チャンバの側壁１ｂとの間には５０ｍｍ、
前記整流板２との間には１０ｍｍの間隙が形成されるよ
うに配置されている。これを実施例１とする。
の実施例を比較例とともに説明する。 （実施例１）図１は本発明のファン付きフィルタユニッ
トの一実施例の平面図、図２はその正面図、図３は図１
のＡ−Ａ線拡大断面図を示す。図中１は巾６１０ｍｍ、
奥行６１０ｍｍのチャンバを示し、その下流側には開口
率約５０％のパンチング板からなる整流板２とパッキン
３を介してフィルタ４が取り付けられており、フィルタ
４の下流側にはパンチング板からなるメディアガード５
が取り付けられている。また、前記チャンバー１内には
チャンバ１の中心点を中心にしてその周囲に図中破線で
示したように４分割される領域の３領域内に軸流ファン
６が配置されるように、３個の軸流ファン６が天井１ａ
に固着されている。さらにまた、前記チャンバ１内には
仕切板７がチャンバの側壁１ｂ並びに整流板２との間に
それぞれ間隙を存して配置されるように、天井１ａに固
着され、前記複数個の軸流ファン６，６，６のうち１個
を他の軸流ファン６，６から隔離するようにしてある。
前記仕切板７は短辺５０ｍｍ、長辺４００ｍｍ、巾２０
ｍｍの長方形状で密度２４ｋｇ／ｍ3 のグラスウール板
であり、前記チャンバの側壁１ｂとの間には５０ｍｍ、
前記整流板２との間には１０ｍｍの間隙が形成されるよ
うに配置されている。これを実施例１とする。
【０００７】（実施例２）実施例１のファン付きフィル
タユニットの仕切板を短辺６０ｍｍ、長辺５００ｍｍ、
巾２０ｍｍの長方形状で密度２４ｋｇ／ｍ3 のグラスウ
ール板に代え、前記チャンバの側壁１ｂ並びに前記整流
板２との間に間隙が形成されないように整流板２の端部
をこれら側壁１ｂ並びに前記整流板２に当接させた以外
は前記実施例１と同様の構成のファン付きフィルタユニ
ットを構成した。これを実施例２とする。
タユニットの仕切板を短辺６０ｍｍ、長辺５００ｍｍ、
巾２０ｍｍの長方形状で密度２４ｋｇ／ｍ3 のグラスウ
ール板に代え、前記チャンバの側壁１ｂ並びに前記整流
板２との間に間隙が形成されないように整流板２の端部
をこれら側壁１ｂ並びに前記整流板２に当接させた以外
は前記実施例１と同様の構成のファン付きフィルタユニ
ットを構成した。これを実施例２とする。
【０００８】（実施例３）前記実施例１のファン付きフ
ィルタユニットの仕切板を取り外した以外は前記実施例
１と同様の構成のファン付きフィルタユニットを構成し
た。これを実施例３とする。
ィルタユニットの仕切板を取り外した以外は前記実施例
１と同様の構成のファン付きフィルタユニットを構成し
た。これを実施例３とする。
【０００９】（実施例４）前記実施例１のファン付きフ
ィルタユニットの仕切板と整流板を取り外した以外は前
記実施例１と同様の構成のファン付きフィルタユニット
を構成した。これを実施例４とする。
ィルタユニットの仕切板と整流板を取り外した以外は前
記実施例１と同様の構成のファン付きフィルタユニット
を構成した。これを実施例４とする。
【００１０】（比較例１）軸流ファンが設けられていな
い領域にも軸流ファンを配置し、軸流ファンの数を４個
とした以外は前記実施例４と同様の構成のファン付きフ
ィルタユニットを構成した。これを比較例１とする。
い領域にも軸流ファンを配置し、軸流ファンの数を４個
とした以外は前記実施例４と同様の構成のファン付きフ
ィルタユニットを構成した。これを比較例１とする。
【００１１】（比較例２）軸流ファンの数を２個とした
以外は前記実施例４と同様の構成のファン付きフィルタ
ユニットを構成した。これを比較例２とする。
以外は前記実施例４と同様の構成のファン付きフィルタ
ユニットを構成した。これを比較例２とする。
【００１２】（比較例３）軸流ファンの数を１個とした
以外は前記実施例４と同様の構成のファン付きフィルタ
ユニットを構成した。これを比較例３とする。
以外は前記実施例４と同様の構成のファン付きフィルタ
ユニットを構成した。これを比較例３とする。
【００１３】次に前記実施例１乃至４並びに比較例１乃
至３のファン付きフィルタユニットのそれぞれについ
て、騒音、平均風速、風速分布の偏りを測定した。その
測定結果を下記表１に示す。
至３のファン付きフィルタユニットのそれぞれについ
て、騒音、平均風速、風速分布の偏りを測定した。その
測定結果を下記表１に示す。
【００１４】
【表１】
【００１５】なお、騒音はフィルタ吹出面の中央部の下
１０００ｍｍの位置において、６３、１２５、２５０、
５００、１０００、２０００、４０００、８０００の合
成レベル（Ａレンジ）の発生騒音を測定し、その測定結
果を示したものである。また、平均風速と風速分布の偏
りは供試フィルタの下流側に風速分布測定用ダクトを配
置し、フィルタ面より１００ｍｍの位置においてトラン
ジスタ風速計を用い、６１０ｍｍ×６１０ｍｍのフィル
タの吹出面を３６分割して２５箇所で測定し、その測定
結果を示したものである。
１０００ｍｍの位置において、６３、１２５、２５０、
５００、１０００、２０００、４０００、８０００の合
成レベル（Ａレンジ）の発生騒音を測定し、その測定結
果を示したものである。また、平均風速と風速分布の偏
りは供試フィルタの下流側に風速分布測定用ダクトを配
置し、フィルタ面より１００ｍｍの位置においてトラン
ジスタ風速計を用い、６１０ｍｍ×６１０ｍｍのフィル
タの吹出面を３６分割して２５箇所で測定し、その測定
結果を示したものである。
【００１６】表１の結果から明らかなように、本発明の
実施例によるファン付きフィルタユニットでは必要な風
速０．３６ｍ／ｓが得られており、しかも騒音が５９ｄ
Ｂ以下で風速分布の偏りも最大、最小値が±２７以下と
優れていることが分かる。仕切板を設けた場合（実施例
１，２）は仕切板を設けない場合（実施例３）に比べて
風速分布が均一となり、特に仕切板とチャンバの側壁並
びに整流板２との間に間隙を形成した場合（実施例
１）、風速分布がより均一となることが分かる。また、
整流板用いた場合（実施例３）は、整流板を用いない場
合（実施例４）に比べ騒音が若干上がるが風速分布が均
一になることが分かる。これに対して、比較例の１のよ
うに軸流ファンを４個設けた場合は、必要な風速は得ら
れるが、騒音が大きく、風速分布の偏りも大きなものと
なっていることが分かる。また、比較例２または比較例
３のように軸流ファンが１個或いは２個の場合、騒音は
小さいものの、必要な風速が得られないばかりか、風速
分布の偏りも大きなものとなっていることが分かる。
実施例によるファン付きフィルタユニットでは必要な風
速０．３６ｍ／ｓが得られており、しかも騒音が５９ｄ
Ｂ以下で風速分布の偏りも最大、最小値が±２７以下と
優れていることが分かる。仕切板を設けた場合（実施例
１，２）は仕切板を設けない場合（実施例３）に比べて
風速分布が均一となり、特に仕切板とチャンバの側壁並
びに整流板２との間に間隙を形成した場合（実施例
１）、風速分布がより均一となることが分かる。また、
整流板用いた場合（実施例３）は、整流板を用いない場
合（実施例４）に比べ騒音が若干上がるが風速分布が均
一になることが分かる。これに対して、比較例の１のよ
うに軸流ファンを４個設けた場合は、必要な風速は得ら
れるが、騒音が大きく、風速分布の偏りも大きなものと
なっていることが分かる。また、比較例２または比較例
３のように軸流ファンが１個或いは２個の場合、騒音は
小さいものの、必要な風速が得られないばかりか、風速
分布の偏りも大きなものとなっていることが分かる。
【００１７】なお、前記実施例では軸流ファンをチャン
バ内に配置した構成のものを示したが、図４に示すよう
に、軸流ファン６をチャンバ１の天井１ａの外側に配置
する構成としても前記実施例と同様の効果が得られるこ
とは言うまでもない。
バ内に配置した構成のものを示したが、図４に示すよう
に、軸流ファン６をチャンバ１の天井１ａの外側に配置
する構成としても前記実施例と同様の効果が得られるこ
とは言うまでもない。
【００１８】また、前記仕切板７としてグラスウール板
を用いたが、これにを多孔板に代えても構わない。な
お、本発明のファン付きフィルタユニットは、１ユニッ
トとしての使用に限られるものではなく、複数個のユニ
ットを組み合わせて用いることも任意であることは言う
までもない。
を用いたが、これにを多孔板に代えても構わない。な
お、本発明のファン付きフィルタユニットは、１ユニッ
トとしての使用に限られるものではなく、複数個のユニ
ットを組み合わせて用いることも任意であることは言う
までもない。
【００１９】
【発明の効果】このように、本発明のファン付きフィル
タユニットによれば、薄型でしかも均一な風速分布を達
成することができるファン付きフィルタユニットを提供
することができる。
タユニットによれば、薄型でしかも均一な風速分布を達
成することができるファン付きフィルタユニットを提供
することができる。
【図１】本発明のファン付きフィルタユニットの一実施
例の平面図
例の平面図
【図２】本発明のファン付きフィルタユニットの正面図
【図３】図１のＡ−Ａ線拡大断面図
【図４】本発明のファン付きフィルタユニットの他実施
例の正面図
例の正面図
１ チャンバ １ｂ チャンバの側壁 ２ 整流板 ４ フィルタ ６ 軸流ファン ７ 仕切板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−42498（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−296198（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−129115（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−200137（ＪＰ，Ａ) 実開 昭49−118728（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−84425（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−11415（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−45522（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−176226（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−140917（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−106035（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24F 7/06 B01D 46/00 B01D 46/52 F24F 7/00
Claims (4)
- 【請求項１】 チャンバの上流側に複数個の軸流ファン
を配置するとともに前記チャンバの下流側にフィルタを
配置したファン付きフィルタユニットにおいて、前記軸
流ファンの配置をチャンバの中心点を中心にしてその周
囲に４分割される領域の３領域内にのみ配置したことを
特徴とするファン付きフィルタユニット。 - 【請求項２】 前記複数個の軸流ファンのうち１個を仕
切板を用いて他の軸流ファンから隔離することを特徴と
する請求項１記載のファン付きフィルタユニット。 - 【請求項３】 前記フィルタのチャンバ側近傍に整流板
を配置したことを特徴とする請求項１または２記載のフ
ァン付きフィルタユニット。 - 【請求項４】 前記仕切板をチャンバの側壁並びに整流
板との間に間隙を存して配置したことを特徴とする請求
項３記載のファン付きフィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04223593A JP3297127B2 (ja) | 1993-02-06 | 1993-02-06 | ファン付きフィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04223593A JP3297127B2 (ja) | 1993-02-06 | 1993-02-06 | ファン付きフィルタユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06226022A JPH06226022A (ja) | 1994-08-16 |
| JP3297127B2 true JP3297127B2 (ja) | 2002-07-02 |
Family
ID=12630375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04223593A Expired - Fee Related JP3297127B2 (ja) | 1993-02-06 | 1993-02-06 | ファン付きフィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3297127B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009206239A (ja) * | 2008-02-27 | 2009-09-10 | Orion Mach Co Ltd | 恒温空気供給装置 |
-
1993
- 1993-02-06 JP JP04223593A patent/JP3297127B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06226022A (ja) | 1994-08-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020305 |
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