JP2590917Y2 - 天井システム用フィルタユニット - Google Patents
天井システム用フィルタユニットInfo
- Publication number
- JP2590917Y2 JP2590917Y2 JP1992091105U JP9110592U JP2590917Y2 JP 2590917 Y2 JP2590917 Y2 JP 2590917Y2 JP 1992091105 U JP1992091105 U JP 1992091105U JP 9110592 U JP9110592 U JP 9110592U JP 2590917 Y2 JP2590917 Y2 JP 2590917Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- baffle plate
- blower
- opening
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、フィルタユニットに関
し、更に詳細にはクリーンルームの天井に配備される天
井システム用フィルタユニットに関する。
し、更に詳細にはクリーンルームの天井に配備される天
井システム用フィルタユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の天井システム用フィルタユニット
としては、例えば特開平４−１１０００８号公報に示さ
れるように、集塵フィルタと、前記集塵フィルタ上に載
置されたチャンバと、前記チャンバ内に内蔵された送風
機と、前記集塵フィルタと前記送風機との間に配置され
たバッフル板と、前記バッフル板の前記送風機側の面に
配設された吸音材と、前記バッフル板と前記チャンバの
一内側面およびその対向面との間隙にそれぞれ形成され
る通風帯とを備えて気流分布の均一化と騒音低滅を図る
ようにしたものが知られている。
としては、例えば特開平４−１１０００８号公報に示さ
れるように、集塵フィルタと、前記集塵フィルタ上に載
置されたチャンバと、前記チャンバ内に内蔵された送風
機と、前記集塵フィルタと前記送風機との間に配置され
たバッフル板と、前記バッフル板の前記送風機側の面に
配設された吸音材と、前記バッフル板と前記チャンバの
一内側面およびその対向面との間隙にそれぞれ形成され
る通風帯とを備えて気流分布の均一化と騒音低滅を図る
ようにしたものが知られている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、システ
ムの大型化にともなって、フィルタおよびフィルタを組
込んだ天井システム用フィルタユニットが大型化してい
るために、上記従来例の構成ではフィルタの面風速分布
が不均一となり層流化が行なえないという課題を有して
いた。そこで本考案は、大型化に対応してフィルタの面
風速分布の均一化を保てる天井システム用フィルタユニ
ットを提供することを目的とする。
ムの大型化にともなって、フィルタおよびフィルタを組
込んだ天井システム用フィルタユニットが大型化してい
るために、上記従来例の構成ではフィルタの面風速分布
が不均一となり層流化が行なえないという課題を有して
いた。そこで本考案は、大型化に対応してフィルタの面
風速分布の均一化を保てる天井システム用フィルタユニ
ットを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本考案の天井システム用
フィルタユニットは、前記目的を達成するべく、集塵フ
ィルタと、前記集塵フィルタ上に載置されたチャンバ
と、前記チャンバ内に内蔵された送風機と、前記集塵フ
ィルタと前記送風機との間に配置されたバッフル板と、
前記バッフル板の前記送風機側の面に配設された吸音材
と、前記バッフル板と前記チャンバの一内側面およびそ
の対向面との間隙にそれぞれ形成される通風帯とを備え
た天井システム用フィルタユニットにおいて、前記バッ
フル板の略中央に開口部を設けたことを特徴とする。
フィルタユニットは、前記目的を達成するべく、集塵フ
ィルタと、前記集塵フィルタ上に載置されたチャンバ
と、前記チャンバ内に内蔵された送風機と、前記集塵フ
ィルタと前記送風機との間に配置されたバッフル板と、
前記バッフル板の前記送風機側の面に配設された吸音材
と、前記バッフル板と前記チャンバの一内側面およびそ
の対向面との間隙にそれぞれ形成される通風帯とを備え
た天井システム用フィルタユニットにおいて、前記バッ
フル板の略中央に開口部を設けたことを特徴とする。
【０００５】
【作用】本考案によれば、空気が通風帯以外に開口部か
らもバッフル板と集塵フィルタとの間の空間に流れ込む
ため、バッフル板の通風帯側の風速が遅くなり、その結
果フィルタ面からの吹出風速の均一化が図れるとともに
通風帯で生じていた風切り音の現象が薄れて低騒音化が
図れる。
らもバッフル板と集塵フィルタとの間の空間に流れ込む
ため、バッフル板の通風帯側の風速が遅くなり、その結
果フィルタ面からの吹出風速の均一化が図れるとともに
通風帯で生じていた風切り音の現象が薄れて低騒音化が
図れる。
【０００６】
【実施例】以下、本考案の実施例による天井システム用
フィルタユニットを図面に基づいて説明する。図１は、
クリーンルームの天井システムに用いられ、ローカルリ
ターン方式のものとして構成される天井システム用フィ
ルタユニットの一実施例の垂直断面図、図２は図１のＩ
Ｉ−ＩＩ線断面図である。
フィルタユニットを図面に基づいて説明する。図１は、
クリーンルームの天井システムに用いられ、ローカルリ
ターン方式のものとして構成される天井システム用フィ
ルタユニットの一実施例の垂直断面図、図２は図１のＩ
Ｉ−ＩＩ線断面図である。
【０００７】図において集塵フィルタ１はクリーンルー
ムの天井に配置されるものであって、この集塵フィルタ
１上にはチャンバ３が気密に設置されている。このチャ
ンバ３内部の上面には、シロッコファンからなる送風機
４が固定されており、この送風機４は、チャンバ３の外
部から吸い込んだ空気をチャンバ３内に吐出する吐出口
４ａを有している。この送風機４と集塵フィルタ１との
間には、バッフル板５がチャンバ３内を上部空間と下部
空間に分割するように設置されている。このバッフル板
５は、上記送風機４の空気吐出方向である矢印Ａと直交
する方向においては、チャンバ３の内側面に当接され、
送風機４の空気吐出方向およびその逆方向においては、
チャンバ３の内側面には当接されておらず、それぞれの
内側面との間隙にのみ通風帯６、７が形成されている。
またこのバッフル板５の略中央には本考案の特徴とする
開口部８が形成されている。なお、バッフル板５の送風
機４側の面およびチャンバ３の内周面には、吸音材９が
配設されている。
ムの天井に配置されるものであって、この集塵フィルタ
１上にはチャンバ３が気密に設置されている。このチャ
ンバ３内部の上面には、シロッコファンからなる送風機
４が固定されており、この送風機４は、チャンバ３の外
部から吸い込んだ空気をチャンバ３内に吐出する吐出口
４ａを有している。この送風機４と集塵フィルタ１との
間には、バッフル板５がチャンバ３内を上部空間と下部
空間に分割するように設置されている。このバッフル板
５は、上記送風機４の空気吐出方向である矢印Ａと直交
する方向においては、チャンバ３の内側面に当接され、
送風機４の空気吐出方向およびその逆方向においては、
チャンバ３の内側面には当接されておらず、それぞれの
内側面との間隙にのみ通風帯６、７が形成されている。
またこのバッフル板５の略中央には本考案の特徴とする
開口部８が形成されている。なお、バッフル板５の送風
機４側の面およびチャンバ３の内周面には、吸音材９が
配設されている。
【０００８】図３は、クリーンルームの天井システムに
用いられ、ローカルリターン方式のものとして構成され
る天井システム用フィルタユニットの他実施例の垂直断
面図、図４は図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。本実施
例では、前記実施例のシロッコファンからなる送風機４
に代え斜流ファンからなる送風機４を用いたもので、空
気吐出方向が矢印Ｂに示されるように送風機４の全周の
斜め下方になるため、送風機４の取付位置とバッフル板
５に設ける開口部８の開口率を前記実施例と変えてある
が、他の構成は前記実施例と同様であるので、同一部材
には同一符号を付してその説明は省略する。
用いられ、ローカルリターン方式のものとして構成され
る天井システム用フィルタユニットの他実施例の垂直断
面図、図４は図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。本実施
例では、前記実施例のシロッコファンからなる送風機４
に代え斜流ファンからなる送風機４を用いたもので、空
気吐出方向が矢印Ｂに示されるように送風機４の全周の
斜め下方になるため、送風機４の取付位置とバッフル板
５に設ける開口部８の開口率を前記実施例と変えてある
が、他の構成は前記実施例と同様であるので、同一部材
には同一符号を付してその説明は省略する。
【０００９】次に上記のように構成された各フィルタユ
ニットにおける空気の流れについて説明する。送風機４
によってチャンバ３外から吸い込んだ空気は、チャンバ
３内において矢印Ａ或いは矢印Ｂで示した方向に吐出さ
れる。このとき空気は、バッフル板５より上方の送風機
４側のチャンバ３内において乱流状態となるが内圧は上
昇する。従って空気は送風帯６、７および開口部８から
バッフル板５と集塵フィルタ１との間の空間に流れ込み
集塵フィルタ１上面全域に広がる。そしてこの集塵フィ
ルタ１の全域に広がった空気は、クリーンルームとの圧
力差により集塵フィルタ１内部を通りクリーンルームに
導かれることになる。
ニットにおける空気の流れについて説明する。送風機４
によってチャンバ３外から吸い込んだ空気は、チャンバ
３内において矢印Ａ或いは矢印Ｂで示した方向に吐出さ
れる。このとき空気は、バッフル板５より上方の送風機
４側のチャンバ３内において乱流状態となるが内圧は上
昇する。従って空気は送風帯６、７および開口部８から
バッフル板５と集塵フィルタ１との間の空間に流れ込み
集塵フィルタ１上面全域に広がる。そしてこの集塵フィ
ルタ１の全域に広がった空気は、クリーンルームとの圧
力差により集塵フィルタ１内部を通りクリーンルームに
導かれることになる。
【００１０】前記各実施例においては、チャンバ３の巾
Ｗを６１０ｍｍ、奥行Ｌを１４５０ｍｍ、高さＨを３２
５ｍｍとした場合、集塵フィルタ１上面とバッフル板５
との通風隙間は３０〜１００ｍｍ、通風帯６、７の隙間
巾は２５〜７０ｍｍとすることが好ましい。
Ｗを６１０ｍｍ、奥行Ｌを１４５０ｍｍ、高さＨを３２
５ｍｍとした場合、集塵フィルタ１上面とバッフル板５
との通風隙間は３０〜１００ｍｍ、通風帯６、７の隙間
巾は２５〜７０ｍｍとすることが好ましい。
【００１１】また開口部８の開口率（ｗ×ｌ×１００／
Ｗ×Ｌ：ただしｗは開口部８の巾、ｌは開口部８の奥行
寸法とする。）は、送風機４にシロッコファンを用いた
時は１〜５％、斜流ファンを用いた時は６〜１２％とす
ることが好ましい。
Ｗ×Ｌ：ただしｗは開口部８の巾、ｌは開口部８の奥行
寸法とする。）は、送風機４にシロッコファンを用いた
時は１〜５％、斜流ファンを用いた時は６〜１２％とす
ることが好ましい。
【００１２】上記好ましい条件における各実施例の実験
結果を以下に示す。なお測定においては、集塵フィルタ
１上面とバッフル板５との通風隙間を４０ｍｍ、通風帯
６、７の隙間巾を５０ｍｍとした。また、送風機４にシ
ロッコファンを用いた時の開口部８の開口率を３％、斜
流ファンを用いた時の開口部８の開口率を７％とした。
そして各々開口率０％、すなわち開口部８を設けない場
合と対比させて、フィルタ吹出風速と気流分布（標準偏
差値）とフィルタ側騒音を測定した。なお、フィルタ吹
出速度と気流分布は供試フィルタの下流側に風速分布測
定用ダクトを設け、フィルタ面より１００ｍｍの位置に
おいてトランジスタ風速計を用いて４０箇所測定した。
また、フィルタ側騒音はフィルタ面より１０００ｍｍの
位置にマイクロホンを設置し、発生騒音を測定した。上
記の測定結果を表１に示す。
結果を以下に示す。なお測定においては、集塵フィルタ
１上面とバッフル板５との通風隙間を４０ｍｍ、通風帯
６、７の隙間巾を５０ｍｍとした。また、送風機４にシ
ロッコファンを用いた時の開口部８の開口率を３％、斜
流ファンを用いた時の開口部８の開口率を７％とした。
そして各々開口率０％、すなわち開口部８を設けない場
合と対比させて、フィルタ吹出風速と気流分布（標準偏
差値）とフィルタ側騒音を測定した。なお、フィルタ吹
出速度と気流分布は供試フィルタの下流側に風速分布測
定用ダクトを設け、フィルタ面より１００ｍｍの位置に
おいてトランジスタ風速計を用いて４０箇所測定した。
また、フィルタ側騒音はフィルタ面より１０００ｍｍの
位置にマイクロホンを設置し、発生騒音を測定した。上
記の測定結果を表１に示す。
【００１３】
【表１】
【００１４】また、上記各実施例および開口部を有しな
い各比較例におけるバッフル板の各部位での風速値を図
５〜図８に示す。図５、図６は送風機としてシロッコフ
ァンを用いた場合で、図５が開口部を設けないもの、図
６が開口率を３％とした本実施例である。図７、図８は
送風機として斜流ファンを用いた場合で、図７が開口部
を設けないもの、図８が開口率を７％とした本実施例で
ある。なお、吸音材としてはグラスウール３２ｋｇ／ｍ
3 のものを２５ｍｍの厚さで用いた。また、送風機自体
の騒音は、５０Ｈｚ運転時においてシロッコファンにあ
っては６３ｄＢ、斜流ファンにあっては６０〜６３ｄＢ
であった。
い各比較例におけるバッフル板の各部位での風速値を図
５〜図８に示す。図５、図６は送風機としてシロッコフ
ァンを用いた場合で、図５が開口部を設けないもの、図
６が開口率を３％とした本実施例である。図７、図８は
送風機として斜流ファンを用いた場合で、図７が開口部
を設けないもの、図８が開口率を７％とした本実施例で
ある。なお、吸音材としてはグラスウール３２ｋｇ／ｍ
3 のものを２５ｍｍの厚さで用いた。また、送風機自体
の騒音は、５０Ｈｚ運転時においてシロッコファンにあ
っては６３ｄＢ、斜流ファンにあっては６０〜６３ｄＢ
であった。
【００１５】以上の結果から明らかなように、バッフル
板に開口部がないものに比べて開口部のある本実施例の
ものは風速分布の均一化が図れた。また、バッフル板の
各部位における風速からみて、バッフル板の通風帯側の
低速化がみられ、結果としてこれが風切り音を少なくし
て低騒音化につながっている。さらに斜流ファンはシロ
ッコファンに比べて消費電力が小さいため省電力型で採
用されるが、シロッコファンより風速分布も悪く、低騒
音化にも劣っていたが、シロッコファン同等の性能を得
られる上省電力化も図られ効果が特に大きいといえる。
板に開口部がないものに比べて開口部のある本実施例の
ものは風速分布の均一化が図れた。また、バッフル板の
各部位における風速からみて、バッフル板の通風帯側の
低速化がみられ、結果としてこれが風切り音を少なくし
て低騒音化につながっている。さらに斜流ファンはシロ
ッコファンに比べて消費電力が小さいため省電力型で採
用されるが、シロッコファンより風速分布も悪く、低騒
音化にも劣っていたが、シロッコファン同等の性能を得
られる上省電力化も図られ効果が特に大きいといえる。
【００１６】
【考案の効果】以上の説明から明らかなように、本考案
の天井シテスム用フィルタユニットによれば、大型ユニ
ットにおいても集塵フィルタ面からの吹出風速の均一化
が図れるとともに、低騒音化が図れる。
の天井シテスム用フィルタユニットによれば、大型ユニ
ットにおいても集塵フィルタ面からの吹出風速の均一化
が図れるとともに、低騒音化が図れる。
【図１】本考案の一実施例による天井システム用フィル
タユニットの垂直断面図
タユニットの垂直断面図
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図
【図３】本考案の他実施例による天井システム用フィル
タユニットの垂直断面図
タユニットの垂直断面図
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図
【図５】シロッコファンを用い開口部のない場合の風速
説明図
説明図
【図６】シロッコファンを用い開口部を有する場合の風
速説明図
速説明図
【図７】斜流ファンを用い開口部のない場合の風速説明
図
図
【図８】斜流ファンを用い開口部を有する場合の風速説
明図
明図
１ 集塵フィルタ ３ チャンバ ４ 送風機 ５ バッフル板 ６ 通風帯 ７ 通風帯 ８ 開口部 ９ 吸音材
Claims (1)
- 【請求項１】 集塵フィルタと、前記集塵フィルタ上に
載置されたチャンバと、前記チャンバ内に内蔵された送
風機と、前記集塵フィルタと前記送風機との間に配置さ
れたバッフル板と、前記バッフル板の前記送風機側の面
に配設された吸音材と、前記バッフル板と前記チャンバ
の一内側面およびその対向面との間隙にそれぞれ形成さ
れる通風帯とを備えた天井システム用フィルタユニット
において、前記バッフル板の略中央に開口部を設けたこ
とを特徴とする天井システム用フィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992091105U JP2590917Y2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 天井システム用フィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992091105U JP2590917Y2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 天井システム用フィルタユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0648812U JPH0648812U (ja) | 1994-07-05 |
| JP2590917Y2 true JP2590917Y2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=14017251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992091105U Expired - Lifetime JP2590917Y2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 天井システム用フィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2590917Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003251126A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-09-09 | Nippon Muki Co Ltd | ファン付フィルタユニット |
| JP4609699B2 (ja) * | 2004-10-18 | 2011-01-12 | 清水建設株式会社 | 局所清浄化空調システム |
| JP5343318B2 (ja) * | 2007-02-19 | 2013-11-13 | パナソニック株式会社 | 超薄型ファンフィルターユニット |
| JP4473931B1 (ja) * | 2009-03-27 | 2010-06-02 | 近藤工業株式会社 | 解剖台におけるホルムアルデヒド拡散防止装置 |
-
1992
- 1992-12-15 JP JP1992091105U patent/JP2590917Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0648812U (ja) | 1994-07-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19981027 |
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