JP2001116310A - ファンフィルターユニット - Google Patents
ファンフィルターユニットInfo
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- JP2001116310A JP2001116310A JP28956799A JP28956799A JP2001116310A JP 2001116310 A JP2001116310 A JP 2001116310A JP 28956799 A JP28956799 A JP 28956799A JP 28956799 A JP28956799 A JP 28956799A JP 2001116310 A JP2001116310 A JP 2001116310A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- filter unit
- blower
- fan filter
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Air Filters, Heat-Exchange Apparatuses, And Housings Of Air-Conditioning Units (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルームで使用されるファンフィルタ
ーユニットで簡単な拡散板を用いてフィルター通過風速
の分布を均一化することを目的とする。 【解決手段】 ケース１に上流から、送風機２と、チャ
ンバー３と、フィルター４の順に配置構成され、チャン
バー３内の下流側でフィルター４の面と並行に５ないし
１０ｍｍの間隔を置いた位置に、パンチングメタル材の
拡散板５を備えることで送風機の気流を均等に分散整流
する作用により集塵効率をあげ且つ濾材の寿命を延ばす
という効果が得られる。
ーユニットで簡単な拡散板を用いてフィルター通過風速
の分布を均一化することを目的とする。 【解決手段】 ケース１に上流から、送風機２と、チャ
ンバー３と、フィルター４の順に配置構成され、チャン
バー３内の下流側でフィルター４の面と並行に５ないし
１０ｍｍの間隔を置いた位置に、パンチングメタル材の
拡散板５を備えることで送風機の気流を均等に分散整流
する作用により集塵効率をあげ且つ濾材の寿命を延ばす
という効果が得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場、食品
工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用
されるファンフィルターユニットに関する。
工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用
されるファンフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のファンフィルターユニッ
トは、図３に示すように、チャンバー１０１に空気を送
り込むための送風機１０２と、この送風機１０２を覆う
ケーシング１０３が配置されており、空気を濾過清浄す
るフィルター１０４を備え、送風機１０２より送り込ま
れた空気が、フィルター１０４を通過して清浄空気とな
って吹き出すものが一般的であった。また、特開平６−
１５９７５２号公報には、騒音防止のためにチャンバー
内部全体に消音材を貼りめぐらすものが示されている。
トは、図３に示すように、チャンバー１０１に空気を送
り込むための送風機１０２と、この送風機１０２を覆う
ケーシング１０３が配置されており、空気を濾過清浄す
るフィルター１０４を備え、送風機１０２より送り込ま
れた空気が、フィルター１０４を通過して清浄空気とな
って吹き出すものが一般的であった。また、特開平６−
１５９７５２号公報には、騒音防止のためにチャンバー
内部全体に消音材を貼りめぐらすものが示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のファ
ンフィルターユニットでは、ファンから吹き出した空気
がフィルターに対して不均一に拡散し、フィルターから
吹き出す空気の風速が速い部分と遅い部分の差が大きく
なり、その風速分布がばらつくことから濾過効率や寿命
の低下という課題があった。
ンフィルターユニットでは、ファンから吹き出した空気
がフィルターに対して不均一に拡散し、フィルターから
吹き出す空気の風速が速い部分と遅い部分の差が大きく
なり、その風速分布がばらつくことから濾過効率や寿命
の低下という課題があった。
【０００４】また、ファンによる発生騒音を遮断、吸音
するためにチャンバー内部全体に消音材を貼りつけるこ
とも費用が大きいという課題があった。
するためにチャンバー内部全体に消音材を貼りつけるこ
とも費用が大きいという課題があった。
【０００５】本発明は、上記課題を解決するもので、簡
単な拡散板を用いてフィルター通過風速の分布を均一化
するファンフィルターユニットを提供することを第１の
目的としている。
単な拡散板を用いてフィルター通過風速の分布を均一化
するファンフィルターユニットを提供することを第１の
目的としている。
【０００６】第２の目的は、送風機の吸込み側に吸音材
を配置する簡易な構成で、発生騒音の伝播をより一層抑
制することにある。
を配置する簡易な構成で、発生騒音の伝播をより一層抑
制することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のファンフィルタ
ーユニットは上記目的を達成するために、開口したケー
スの下方に装着した空気を濾過清浄するフィルターと、
ケースの天板内側に設けた送風機と、フィルターと送風
機の間に設けたチャンバーと、チャンバー内部の下流側
に多孔板からなる拡散板をフィルターとの間隔を所定間
隔となるよう設けたものである。
ーユニットは上記目的を達成するために、開口したケー
スの下方に装着した空気を濾過清浄するフィルターと、
ケースの天板内側に設けた送風機と、フィルターと送風
機の間に設けたチャンバーと、チャンバー内部の下流側
に多孔板からなる拡散板をフィルターとの間隔を所定間
隔となるよう設けたものである。
【０００８】本発明によれば、簡単な拡散板を用いてフ
ィルター通過風速の分布を均一化することができるファ
ンフィルターユニットが得られる。また他の手段は、ケ
ースと天板の内面に多孔質の吸音材を備えたもので、簡
易な構成で発生騒音の伝播をより一層抑制することがで
きる。
ィルター通過風速の分布を均一化することができるファ
ンフィルターユニットが得られる。また他の手段は、ケ
ースと天板の内面に多孔質の吸音材を備えたもので、簡
易な構成で発生騒音の伝播をより一層抑制することがで
きる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明は、ケースの天板内側の送
風機下流に空気を濾過清浄するフィルターを設け、フィ
ルターと送風機の間のチャンバー内部下流側に多孔板か
らなる拡散板をフィルターとの間隔を５ないし１０ｍｍ
となるよう設けたものであり、拡散板が送風機の気流を
均等に分散整流するという作用を有する。
風機下流に空気を濾過清浄するフィルターを設け、フィ
ルターと送風機の間のチャンバー内部下流側に多孔板か
らなる拡散板をフィルターとの間隔を５ないし１０ｍｍ
となるよう設けたものであり、拡散板が送風機の気流を
均等に分散整流するという作用を有する。
【００１０】また、ケースと天井の内面に多孔質の吸音
材を備えたものであり、送風機の吸込み側より放散され
る吸込み気流や電動機の発生騒音を吸音材によって吸収
するという作用を有する。
材を備えたものであり、送風機の吸込み側より放散され
る吸込み気流や電動機の発生騒音を吸音材によって吸収
するという作用を有する。
【００１１】以下、本発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１２】
【実施例】図１に示すように、ファンフィルターユニッ
トの主要部は下方を開口したケース１に上流から、送風
機２と、チャンバー３と、フィルター４の順に配置構成
されている。そしてチャンバー３内の下流側でフィルタ
ー４の面と並行に５ないし１０ｍｍの間隔を置いた位置
に、パンチングメタル材の拡散板５を備えている。この
拡散板５は送風機２の吹出口より大きい面積を有し、パ
ンチング孔の開孔率は４０％としている。拡散板をフィ
ルターとの間隔Ｌを５ないし１０ｍｍに設定するのは図
２に示すように実験の結果である。また、送風機２は電
動機２ａに直結したファン２ｂを有し、チャンバー３内
部の天板６に支柱７によって固定され、ケース１の送風
機２に対する内面および天板６の内面には多孔質の吸音
材８を貼りつけている。
トの主要部は下方を開口したケース１に上流から、送風
機２と、チャンバー３と、フィルター４の順に配置構成
されている。そしてチャンバー３内の下流側でフィルタ
ー４の面と並行に５ないし１０ｍｍの間隔を置いた位置
に、パンチングメタル材の拡散板５を備えている。この
拡散板５は送風機２の吹出口より大きい面積を有し、パ
ンチング孔の開孔率は４０％としている。拡散板をフィ
ルターとの間隔Ｌを５ないし１０ｍｍに設定するのは図
２に示すように実験の結果である。また、送風機２は電
動機２ａに直結したファン２ｂを有し、チャンバー３内
部の天板６に支柱７によって固定され、ケース１の送風
機２に対する内面および天板６の内面には多孔質の吸音
材８を貼りつけている。
【００１３】上記構成において、送風機２から送られる
気流は拡散板５のパンチング孔により均等に分散整流さ
れて適切な流速でフィルター４の全面に入り、均等に気
流中の塵埃を補足することで、集塵効率をあげ且つ濾材
の寿命を延ばす効果がある。さらに、送風機２の回転や
吸気流による発生騒音は、簡易な構成で遮音、吸音する
ことができる。
気流は拡散板５のパンチング孔により均等に分散整流さ
れて適切な流速でフィルター４の全面に入り、均等に気
流中の塵埃を補足することで、集塵効率をあげ且つ濾材
の寿命を延ばす効果がある。さらに、送風機２の回転や
吸気流による発生騒音は、簡易な構成で遮音、吸音する
ことができる。
【００１４】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように本発明
によれば、フィルターの上流に所定間隔で拡散板を設け
て気流の分散整流することで、集塵効率をあげ且つ濾材
の寿命を延ばすという効果のあるファンフィルターユニ
ットを提供できる。
によれば、フィルターの上流に所定間隔で拡散板を設け
て気流の分散整流することで、集塵効率をあげ且つ濾材
の寿命を延ばすという効果のあるファンフィルターユニ
ットを提供できる。
【００１５】また、簡易な吸音材の貼付構成で、吸込み
気流や電動機の発生騒音を全体に抑制できるという効果
のあるファンフィルターユニットを提供できる。
気流や電動機の発生騒音を全体に抑制できるという効果
のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【図１】本発明の実施例のファンフィルターユニットを
示す側断面図
示す側断面図
【図２】同拡散板の整流効果を示す図
【図３】従来のファンフィルターユニットの構成を示す
側断面図
側断面図
１ ケース ２ 送風機 ３ チャンバー ４ フィルター ５ 拡散板 ６ 天板 ８ 吸音材
Claims (3)
- 【請求項１】 開口したケースの下方に装着した空気を
濾過清浄するフィルターと、前記ケースの天板内側に設
けた送風機と、前記フィルターと前記送風機の間に設け
たチャンバーと、前記チャンバー内部の下流側に多孔板
からなる拡散板を備えたファンフィルターユニット。 - 【請求項２】 拡散板はフィルターとの間隔を５ないし
１０ｍｍとした請求項１記載のファンフィルターユニッ
ト。 - 【請求項３】 ケースと天板の内面に多孔質の吸音材を
備えた請求項１または２記載のファンフィルターユニッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28956799A JP2001116310A (ja) | 1999-10-12 | 1999-10-12 | ファンフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28956799A JP2001116310A (ja) | 1999-10-12 | 1999-10-12 | ファンフィルターユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001116310A true JP2001116310A (ja) | 2001-04-27 |
Family
ID=17744910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28956799A Pending JP2001116310A (ja) | 1999-10-12 | 1999-10-12 | ファンフィルターユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001116310A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004001043A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Hitachi Zosen Corp | レーザ加工時のヒューム除去方法及び装置 |
| JP2006068676A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
| JP2006100239A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-04-13 | Toyota Motor Corp | 燃料電池システム |
| JP2008086873A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Japan Servo Co Ltd | ファンフィルタユニット |
| JP2008256266A (ja) * | 2007-04-05 | 2008-10-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
| US8187756B2 (en) | 2004-09-06 | 2012-05-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fuel cell system |
| US9791829B2 (en) * | 2015-02-25 | 2017-10-17 | Konica Minolta, Inc. | Air cleaner and image forming device with air cleaner |
| KR102070807B1 (ko) * | 2019-07-03 | 2020-01-29 | 김태성 | 지하 주차장의 내열용 환풍팬 및 온도감지용 퓨즈가 부가된 점검레버를 구비한 댐퍼 개폐장치 |
-
1999
- 1999-10-12 JP JP28956799A patent/JP2001116310A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004001043A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Hitachi Zosen Corp | レーザ加工時のヒューム除去方法及び装置 |
| JP2006068676A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
| JP4670286B2 (ja) * | 2004-09-03 | 2011-04-13 | パナソニック株式会社 | ファンフィルターユニット |
| JP2006100239A (ja) * | 2004-09-06 | 2006-04-13 | Toyota Motor Corp | 燃料電池システム |
| US8187756B2 (en) | 2004-09-06 | 2012-05-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fuel cell system |
| JP2008086873A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Japan Servo Co Ltd | ファンフィルタユニット |
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| US9791829B2 (en) * | 2015-02-25 | 2017-10-17 | Konica Minolta, Inc. | Air cleaner and image forming device with air cleaner |
| KR102070807B1 (ko) * | 2019-07-03 | 2020-01-29 | 김태성 | 지하 주차장의 내열용 환풍팬 및 온도감지용 퓨즈가 부가된 점검레버를 구비한 댐퍼 개폐장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061006 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20061114 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090521 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091006 |