JP2008086873A

JP2008086873A - ファンフィルタユニット

Info

Publication number: JP2008086873A
Application number: JP2006268886A
Authority: JP
Inventors: Takuma Ishii; 卓磨石井; Akira Nanba; 暁南波
Original assignee: Japan Servo Corp
Current assignee: Nidec Advanced Motor Corp
Priority date: 2006-09-29
Filing date: 2006-09-29
Publication date: 2008-04-17

Abstract

【課題】ファンフィルタユニットの内部構造にスペースを要するため、小型化が困難であり、また整流機構により、ファンユニットによって吸い込んだ空気が乱れ、流れの衝突や渦流による損失が発生するため、空気抵抗の上昇が発生し、風量損失が大きいという問題点に対する整流機構の構造改善の提供。
【解決手段】ファンフィルタユニット１の整流機構に、整流ネット３を採用することにより、内部構造に要したスペースを削減することが可能であり、さらにファンユニット１によって吸い込んだ空気は、整流ネット３により、集塵フィルタ４の直前で、空気抵抗の上昇を最小限に止めながら分散されるので、風量損失を低減させる事が可能となり、また従来の整流機構と比べて、低コストとなることを実現できるものである。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体工場や食品加工工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルタユニットに関する。

特にファンユニットによって吸い込んだ空気を、整流板・拡散板等により、粉塵除去用フィルタ（以下集塵フィルタと記す。）の直前で空気の流れを分散し、集塵フィルタの排出口より清浄な空気を均一の風量で排出することを目的とする。

従来のファンフィルタユニット(１)は、ファンユニットによって吸い込んだ空気を、金属板からなるパンチングメタル材等の整流板・拡散板により、集塵フィルタの手前で空気抵抗を高くし、空気の流れを乱し、分散させ、排出口より排出する風量を均一化する構造であった。

特開平０９−０９４４１９特開平０９−３１０８９６特開２００１−１１６３１０特開２００２−２４３２３３また、他の従来の技術にて構成された、ファンフィルタユニット(１)の整流機構は、ファンユニットによって吸い込んだ空気を、遮蔽板にあてることにより、空気の流れを乱し、分散させた後、集塵フィルタを通過させることにより、排出口より排出される風量を均一化する構造であった。

上述の如き従来の方法では、ファンフィルタユニット(１)の内部構造にスペースを要するため、小型化が困難であった。また、整流機構により、ファンユニットによって吸い込んだ空気が乱れ、さらに流れの衝突や渦流による損失が発生するため、空気抵抗の上昇が発生し、結果として風量損失が大きいという問題点があった。さらに、整流機構が複雑な構造を要するため、コストが高いという問題があった。この問題点を、整流機構の構造改善により解決することが、本発明の課題である。

上述の課題を解決するための手段が、ファンフィルタユニット(１)の整流機構に、整流板・拡散板等に変わり、整流ネットを採用することにより、内部構造に要したスペースを削減することが可能であり、さらにファンユニットによって吸い込んだ空気は、整流ネットにより、集塵フィルタの直前で、空気抵抗の上昇を最小限に止めながら分散されるので、風量損失を低減させる事が可能となる。

本発明になる上記構造は、ファンフィルタユニット(１)の整流機構に、整流ネットを採用することにより、内部構造に要したスペースを削減することが可能である。
さらに、ファンユニットによって吸い込んだ空気は、整流ネットにより、集塵フィルタの直前で、空気抵抗の上昇を最小限に止めながら分散されるので、風量損失を低減させる事が可能となり、機器の静音化に効果がある。
また、空気抵抗の上昇を最小限に止めながら分散されるので、風量損失を低減させる事が可能となり、フアンユニットのモータを低出力のモータで済ますことが出来、省エネルギーが図られ、高効率で低価格なファンフィルタユニット(１)が実現できる。

以下、図面によって本発明の実施例を説明する。

図１及び図２は、発明に成る例の図を示したものである。図１に示すように、ファンユニット(１)と集塵フィルタ(４)の間に、化学繊維等の合成繊維等からなる、網目が平織り構造(格子が四角形)やハニカム織り構造(格子が六角形)のもので、編み込まれる繊維の経線(縦線)と緯線(横線)の密度が、それぞれ３０本／寸から７０本／寸で編みこまれている、厚みは１ｍｍ〜２ｍｍの整流ネット(３)が取り付けられている。

図２（ａ）に示すように、ファンユニット(１)によって、吸入口(２)から空気を取り入れ、ケーシング(６)の内壁方向に空気を吐き出すため、ケーシング(６)の内壁に沿って、空気の流れ(５)が発生する。集塵フィルタ(４)の手前で、整流ネット(３)によって、空気の流れ(５)が分散され、集塵フィルタ(４)を通過する。

図２(ｂ)に示すように、空気の流れ(５)が、整流ネット(３)を通過する時、整流ネット(３)を構成する繊維の断面が円形であるため、渦流(９)や流れの衝突による損失が発生しにくいので、風量損失を抑えて、空気の流れ(５)が通過出来る。

図３に従来技術の実施例を示す図である。図３(a)に示すように、ファンユニット(1)と集塵フィルタ(４)の間に、パンチングメタル材の拡散板(７)が取り付けられている。図３(ｂ)に示すように、ファンユニット(1)と集塵フィルタ(４)の間に、遮蔽板(８)が取り付けられている。

図３(ｃ)に示すように、空気の流れ(５)が、パンチングメタル材の拡散板(７)を通過する時、拡散板(７)との衝突や、渦流(９)が発生し、過大な風量損失が発生する。

図４に示すように、本発明による対策前と対策後では、排出口より２０cm位置で風速分布を、対策前で排出口の中心と外側で偏りの大きかった風速分布を、整流ネット(３)を排出口より見て、集塵フィルタの奥側に取り付けることにより、上記構造上の特性によって、風量の減少を1〜２％におさえて、風速の均一化とする。

本発明になる上記構造は、ファンフィルタユニット(１)の整流機構に、整流ネット(３)を採用することにより、従来技術での内部構造に要したスペース(Ｌ３、Ｌ４)と比較して、本整流機構では５〜３０mmの小型化が可能となり、さらにファンユニット(１)によって吸い込んだ空気は、整流ネット(３)により、集塵フィルタ(４)の直前で、空気抵抗の上昇を最小限に止めながら分散されるので、風量損失を低減させる事が可能となり、本発明が完成した。

化学繊維工場,薬品工場、液晶工場などの清浄空間を必要とするクリーンベンチで使用される。

本発明に成る例の構造を示す図。本発明に成る例の筐体内部の状態変化説明を示す図。従来技術の構造例を示す。本発明による対策の効果を示す図

符号の説明

１ファンユニット
２吸入口
３整流ネット
４集塵フィルタ
５空気の流れ
６ケーシング
７拡散板
８遮蔽板
９渦流

Claims

筐体内部にファンユニットを持ち、これにより粉塵のある空気を、吸入口から筐体内部に吸い込み、筐体内部に備え付けられている、0.3μmの粉塵を除去する効率が95%以上の粉塵除去用フィルタ(集塵フィルタ)を通して、吸い込んだ空気を筐体外部に排出する装置において、排出する空気を均一に排出口させる目的で、筐体内部に樹脂繊維を使用した網(整流ネット)を、排出口より見て、粉塵除去用フィルタ(集塵フィルタ)の奥側に持つ構造を特長とするファンフィルタユニット。