JPH01281350A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はクリーンルームに係り、特に清浄エアの吹出面
に吹出ファンを設けると共に、その吸込面に吸込ファン
を設けたクリーンルームに関する。

〔従来技術〕

半導体製造はｍａｉｍ境を必要とするため、その製造は
通常クリーンルーム内で行われる。一般に、クリーンル
ームは、天井面に取付けられた複数のＨＥＰＡ　（高性
能）フィルタを通して清浄エアをクリーンルーム内に吹
き出し、そのルーム内のエアを通気構造を有する床面か
ら吸い込んで再び天井面のＨＥＰＡフィルタを通すエア
循環方式が採用され、清浄エアがルーム内に於いてダウ
ンフロー（層流）される。

ところで、従来のクリーンルームでは、清浄エアは天井
面の全体から吹出され、吹出された清浄エアはグレーチ
ング床面の全体から吸い込まれるようになっている。

第４図は従来のクリーンルーム内の清浄エアの流れの説
明図である。第４図に示すように清浄室内７０の天井面
Ｔ２は複数のＨＥＰＡフィルタ７３．７３・・・から構
成され、清浄エアの吹出面となっている。又、室内７０
の床７４は通気性を有するグレーチングで形成され、下
方に床下チャンバ７６が形成される。そして床下チャン
バ７Ｇの側面下部にはエアの吸引ロア８．７８が形成さ
れる。

このような構成において、天井面７２から吹き出された
清浄エアの気流は第４図の風量線８０．８０・・・で示
され、清浄エアは真下に向かってダウンフローされる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし室内７０に機器８２．８２等の障害物が設置され
ると、清浄エアの気流に乱れを生じ、エアの滞留域が形
成されて室内７０の清浄度を低下させる。そして、従来
このような機器８２．８２の障害物による清浄エアの乱
れを極力防止するためには、床下チャンバ７６を深く形
成して吸引ロア８．７８を床７４から離し、清浄室内７
０の気流に影響を与えないようにする。

又、第５図に示すように天井面７２の一部にはＨＥＰＡ
フィルタ７３が設置できない場合があり、このような場
合にも、清浄室７０内の清浄エアの気流は乱れるが、床
下チャンバ７６を深く形成することによって、室内７０
の気流の乱れは極力減少される。

このように、従来のクリーンルームは、清浄度を維持し
ようとすると、床下チャンバを大きくとる必要があった
。

本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、床下
チャンバを大きくしないで清浄度を維持できるクリーン
ルームを提案することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は前記目的を達成するために、清浄エアの吹出面
と吸込面とが対向して設けられるクリーンルームに於い
て、前記吹出面を分割形成し、各分割吹出面にそれぞれ
対向するように前記吸込面を分割形成し、各分割吹出面
に吹出ファンを設けると共に各分割吸込面に吸引ファン
を設けたことを特徴とする。

〔作用〕

本発明に係るクリーンルームによれば、対向する分割吹
出面と分割吸込面とを任意に選んで、それ等の吸引ファ
ン及び吹出ファンを稼動し、クリーンルーム内の清浄エ
アを局所的に層流にすることができる。この為、局所的
に清浄度が高められ、ルーム内に設置される機器等によ
る清浄エアの滞留を極力防止することができる。

〔実施例〕

以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルームの好
ましい実施例を詳説する。

第１図は本発明に係るクリーンルームの説明図である。

第１図に示すようにクリーンルーム１０には天井チャン
バ１１が形成され、天井チャンバ１１には複数の給気ボ
ックス１２．１２・・・が設けられる。各給気ボックス
１２には吹出ファン１３が設けられ、ボックス１２の下
面にはＨＥＰＡフィルタ１４が取付けられている。従っ
て、天井チャンバ１１のエアは強制的に複数のＨＥＰＡ
フィルタ】４．１４・・・を通って清浄室内１６に吹き
出される。そして、複数のＨＥＰＡフィルタ１４．１４
０組み合わせによって天井面が形成され、その天井面は
清浄エアの吹出口となっている。又、各給気ボックス１
２の吹出ファン１３は図示しない操作スイッチによって
０Ｎ１０ＦＦｆｉ作される。

室内１６の清浄エアはダウンフローされ、グレーチング
床１８から吸い込まれる。グレーチング床１８の下面に
は複数の吸引ボックス２０．２０が上方の給気ボックス
１２とそれぞれに対向し、且つ１：１に対応して取付け
られ、各吸引ボックス２０は支持フレーム２２によって
支持される。

又、グレーチング床１８の下面と各吸引ボックス２０と
の間には風量調節フィルタ２４が設けられ、各ボックス
２０に吸引される清浄エアの風量を調節している。ボッ
クス２０内には吸引ファン２６が内蔵され、強制的に清
浄室内１６の清浄エアを吸引している。又、各吸引ファ
ン２６は図示しない操作スイッチによって０Ｎ１０ＦＦ
！ｉ作される。

吸引ボックス２０によって吸引されたエアは床下チャン
バ２８に排気され、側面開口３０を通って？！環チャン
バ３２に送られる。ｍｉチャンバ３２のエアは上部開口
３４を通って、再び天井チャンバ１１に送られる。これ
により、清浄室内１６にエアが？ｌＩＩされる。

前記の如く構成された本発明に係るクリーンルームによ
れば、給気ボックス１２内の吹出ファン１３及びそのボ
ックス１２の下方に対向する吸引ボックス２０内の吸引
ファン２６は、室内１６の機器等の設置位置に応じて稼
動され、強制的に清浄エアを吹出し及び吸引する。この
ため、清浄エア流は局所的に調節される。

第２図は本発明に係るクリーンルーム１０の清浄室内１
６に機器４０．４０を設けた時の清浄エアの気流の説明
図である。第２図に示すように清浄エアの気流は風量線
４１４１・・・で示されている。給気ボックス１２及び
吸引ボックス２０は機器４０の真上或いは真下に位置す
る場合はその運転が停止され、機器４０の周囲に位置す
る給気ボックス１２及び吸引ボックス２０は稼動され清
浄エアが強制的に送流される。清浄エアを強制吸引して
風量を極め細かく調節することによって、清浄室内１６
の滞留はできる限り防止され、清浄室内１６の清浄度を
十分に維持することができる。

又、第３図は吹出面である天井面の給気ボックス１２及
び対向する吸引ボックス２０を停止した時の清浄エアの
流れの説明図である。この場合にも、清浄室内１６の清
浄エアの滞留を防止し、清浄度を高めることができる。

また、機器等が位置する上方の給気ボックス１２の吹出
ファン１３は停止され、その下方の吸引ファン２６も停
止されるので、ランニングコストを下げることができる
。

前記実施例においては、天井面に吹出面を設けると共に
床に吸込面を設けたが、これに限るものではなく、吹出
面をクリーンルームの側壁に設け、その対向する側壁に
吹込面を設けてもよい。この場合にも、局所的な清浄エ
アの層流をクリーンルーム内に起こすことができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係るクリーンルームによれ
ば、清浄エアの吹出面を分割形成し、その分割吹出面に
対向させて吸込面を分割形成したので、床下チャンバを
大きくしないで清浄度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

′！Ｊ１図は本発明に係るクリーンルームの説明図、第
２図及び第３図は本発明に係るクリーンルーム内の清浄
エアの気流の説明図、第４図及び第５図は従来のクリー
ンルーム内の清浄エアの気流の説明図である。 １０・・・クリーンルーム、　　１１・・・天井チャフ
／（，１２・・・給気ボックス、　　１３・・・吹出フ
ァン、　　１４・・・ＨＥＰΔフィルタ、　１６・・・
清浄室内、　１８・・・グレーチング床、　　２０・・
・吸引ボックス、２６・・・吸引ファン。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 清浄エアの吹出面と吸込面とが対向して設けられるクリ
   ーンルームに於いて、 前記吹出面を分割形成し、各分割吹出面にそれぞれ対向
   するように前記吸込面を分割形成し、各分割吹出面に吹
   出ファンを設けると共に各分割吸込面に吸引ファンを設
   けたことを特徴とするクリーンルーム。