JPS63224783A

JPS63224783A - 除塵装置

Info

Publication number: JPS63224783A
Application number: JP5763387A
Authority: JP
Inventors: 播磨　太郎
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1987-03-12
Filing date: 1987-03-12
Publication date: 1988-09-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は１例えば半導体製造に供されるクリーンルー
ム内に設置される装置の直動部分（並進機構）の塵埃発
散を防止する除塵装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第６図は従来例の除塵装置を内部を切シ欠いて示す斜視
図で、第７図は従来例の除塵装置を示す断面構成図であ
る。図において、（１）はボールねじ。

（２）はボールナラ）、（３）はカバー、（５）は吸引
ノズル。

（６）は吸引ブロワである。

次に動作について説明する。ボールねじ（１）とボール
ナツト（２１の動作によって、潤滑油の飛散や摩耗粉等
のゴミが生じる。

カバー（３）によって、このゴミが飛び散る事を防ぐ。

さらに吸引ブロワ−（６）に接続された吸引ノズル（４
）により１発生したゴミを集塵する事によシ。

並進機構近傍がゴミで汚染される事を防ぐようになって
いる。

なお、この分野の技術については２例えば雑誌：第４回
ロボット学会学術講演会予稿集、　Ｎｏ。

３３）０、　　Ｐ　４４９〜Ｐ　４５０及び５５ｍ１ｃ
ｏｎｄｕｃｔｏｒＷｏｒｌｄ　’８５．１　＋　、　　
Ｐ　６７〜Ｆ　８０に記載されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の除塵装置では、各々の吸込ノズルの
吸込みに指向性がない為に、吸引口から離れると急速に
吸込み風速が減衰する。そのため発塵源の出来るだけ近
くに吸引ノズルを設置する必要があった。また、塵埃以
外に周囲の空気を大量に吸込むことになり、吸引装置、
吸込みノズルが大型となるという問題点があった。

この発明は係る問題点を解決するためになさ゛れたもの
で、直動軸、並進機構のような線状の発塵源の除塵を効
率良く行える除塵装置を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕この発明の除塵装置は、気体を送風する送風機を有し１
発塵源の周囲に設けた複数の吹出口から気体を吹出し、
上記発展源の周囲を巡る巡回流を形成する手段、及び吸
込装置を有し、上記巡回流で形成される筒状空間の巡回
流の仮想中心線方向の一端部又は両端部に設けた吸込口
から上記発塵源より発生した塵埃を吸引する手段を備え
たものである。

〔作用〕

この発明においては巡回流によって、塵埃を吸引する吸
引流は巡回流の仮想中心線方向に指向性を持つので、効
率良く除塵を行える。吸引装置等の大型化が回避できる
。

〔実施例〕

以下、この発明を図について説明する。第１図はこの一
実施例の除塵装置を内部を切欠いて示す斜視図、第２同
はその要部を縦断面で示す構成図。

第３図はその横断面である。図において、（１）はボー
ルねじ、　＋２Ｌｔボールナツト、（３）はカバー、（
４）は複数の吹出口（４ａ）を有する吹出し口利、（５
）は吸込口、　＋６１ａ吸込装置、（７）はテーブル、
（８）及び（９）は軸受、　ＩＪｌは送風機である。こ
こで並進機構はボールねじ（１）、ボールナツト（２）
ｌ　テーブル（７）及びモータ（図示省略）等で構成さ
れる。また矢印ＣＡＪｔ′ｉ塵埃吸引方向、吸引流を、
矢印（Ｂ）ｌ−を気体の吹出し方向を、矢印（Ａ５ｆｌ
負圧流を、矢印（Ｂつは巡回流を表わい（Ｑは巡回流（
Ｂりで形成される筒状空間でちる。

上記のように構成された除塵装置において、吹出し口（
４ａ）から吹出した空気は吸引装置（６）と吸引口（５
）による吸引流によって、第４図及び第５図の説明図に
示すようなボールねじ（１）を取シ囲むような巡回流（
Ｂつを形成する。このボールねじ（１）の軸方向に構成
される巡回流により、筒状空間（空気の筒）（Ｃ）が構
成される。ここで筒状空間の巡回流の仮想中心線方向は
ボールねじ（１）の軸方向と一致する。この筒状空間に
よって吸引口（５）と吸引装置（６）による吸引流は、
ボールねじ（１）の軸方向に添った指向性を持つ流れと
なる。従って吸込口（５）から離れても急速に吸込風速
が減衰することがない。

変化しない。そのために、ボールねじ（１１とポールナ
ツト（２）が動作することによシ生じる潤滑油の飛散や
摩耗粉によるゴミ（塵埃）が、吸込口（５）から離れて
いてもこの吸引流によって集塵される。吸込口の設置に
対する制約を小さくできる。また。

周囲の余分な空気を大量に吸い込むことがないので、効
率が良く、吸引装置等の大型化が回避でき小型化できる
。また筒状空間は空気の巡回流であるから、並進機構は
この空気を破って自在に移動でき９巡回流を並進機構の
発塵源、ボールねじ（１）とポールナツト（２）の極く
近くにも形成でき、塵埃の周囲への飛散を小さい範囲に
とどめることもでき、よシ除塵効果が高い。

なお、上記実施例では発塵源として並進機構を。

そしてその移動具がボールねじの場合について説明した
が、直動エアシリンダやスプライン軸の場合でも良く、
同様の効果を奏する。

また、上記実施例では巡回流は複数の吹出口から気体を
吹出すのみで形成しているが、複数の吸込口をも設は気
体を循環させるようにした循環流であっても同様の効果
を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、気体を送風する送風
機を有し２発塵源の周囲に設けた複数の吹出口から気体
を吹出し、上記発塵源の周囲を巡る巡回流を形成する手
段、及び吸込装置を有し。

上記巡回流で形成される筒状空間の巡回流の仮想中心線
方向の一端部又は両端部に設けた吸込口から上記発塵源
よシ発生した塵埃を吸引する手段を備えたものにするこ
とによシ、塵埃を吸引する吸引流は巡回流の仮想中心線
方向に指向性を持つので小型で、効率良ぐ除塵できる除
塵装置が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の除塵装置を内部を切欠い
て示す斜視図、第２図はその要部縦断面構成図、第３図
はその横断面図、第４図及び第５図はその説明図、第６
図は従来例の除塵装置を内部を切欠いて示す斜視図、第
７図は従来例の横断面構成図である。図において、　（１）Ｖｉボールねじ、　（２＋Ｖｉボ
ールナツ）、（４１は吹出し目動、　　（４ａ）１４吹
出し口、（５）は吸込口、　＋６１ｉｌｔ吸込装置、　
ｆｉｔ）は送風機である。なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）気体を送風する送風機を有し、発塵源の周囲に設
けた複数の吹出口から気体を吹出し、上記発塵源の周囲
を巡る巡回流を形成する手段、及び吸込装置を有し、上
記巡回流で形成される筒状空間の巡回流の仮想中心線方
向の一端部又は両端部に設けた吸込口から上記発塵源よ
り発生した塵埃を吸引する手段を備えた除塵装置。
（２）巡回流の仮想中心線方向は発塵源の長手方向と並
行で、上記長手方向から塵埃を吸引する特許請求の範囲
第１項記載の除塵装置。
（３）巡回流を形成する手段は、複数の吹出口から吹出
した気体を吸込む複数の吸込口を設けた循環流を形成す
る手段である特許請求の範囲第１項又は第２項記載の除
塵装置。