JPS61117094A

JPS61117094A - 工業用ロボツト

Info

Publication number: JPS61117094A
Application number: JP23553784A
Authority: JP
Inventors: 隆憲舟橋; 夛田　治夫; 明良中田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1984-11-08
Filing date: 1984-11-08
Publication date: 1986-06-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は精密製品製造工場等、空気中の塵埃を極度に嫌
う場所で使用する塵埃無発生ロボットに関するものであ
る。

従来例の構成とその問題点最近、半導体製造工場や光学部品組立工場等においては
、粒子径が０．６μ〜０．１μ、又はそれ以下の粒子径
の微粒子の存在が、製品の品質や歩留りを左右する要因
になってきている。その中で、人間の存在自体が無塵埃
化の大きな障害となっており、省人化、ロボット化を今
後進めていかなければならなくなっている。

工業用ロボットには、関節部のサーボモータのブラシ部
や軸受部、オイルシール等多くの塵埃発生要因がある。

このようなロボットは半導体製品製造工場や光学部品組
立工場等、空気中の塵埃が製品の品質を左右するような
場所では、このままでは使用できず、塵埃の飛散を防ぐ
工夫が必要となる。

従来の塵埃飛散防止対策について、直交型のロボットを
例にあげてその内容と問題点を説明する。

第１図に示した直交型ロボットは、現在多方面で多く使
用されている３自由度のロボットで１は横方向駆動部、
２は上下方向駆動部、３は前後方向駆動部である。各駆
動部は、第２図に示すような形状をしており、サーボモ
ータとボールネジ又ハラツクとビニオン（いずれも図示
せず）等によって駆動される。サーボモータやボールネ
ジ等の塵埃発生部をおおうカバー４には、フランジ５が
直線移動をするために、開口部６が出来てしまう。

その開口部６を通って、多量の塵埃が発散することは、
周知のとおりである。

その開口部６からの塵埃を防ぐために、従来は第３図、
第４図のように、カバー７とフランジ８と伸縮可能なカ
バー９で、サーボモータ１０、ボールネジ１１、ボール
ネジナツト１２、軸受１３゜１４等塵埃発生部をおおい
、略密閉化していた。

しかし、この方法では、伸縮自在のカバー９まわりでの
密閉性に問題があり、さらに、伸縮自在カバー９の摺動
部から新たに塵埃を飛散させるという問題があった。ま
た、伸縮自在カバー９を蛇腹式カバー（図示せず）にし
た例もあるが、蛇腹の伸縮により、局部的にポンプの役
目を果たし、内部の塵埃を外へ吹き出す問題があった。

すなわち、ロボットの回転部、摺動部等の可動部におけ
る完全な密閉は事実上困難であり、また可動部を覆うカ
バー自体が塵埃の発生源にもなるため、塵埃の飛散を防
ぐことは難しい。

発明の目的本発明は上記従来の欠点を解消するものであり、コンパ
クトにロボットから出る塵埃の飛散を防止するものであ
る。

発明の構成本発明は塵埃発生部と外気とを結ぶ通路の途中から、通
路内の塵埃を空気とともに吸入し、他所へ排出する排気
流路とを備えたロボットであシ、前記通路の途中から塵
埃を吸入するための吸入口は塵埃を排出する排出口から
の距離が長いほど吸入口面積を大きく形成しているため
、吸入口の各部で均等に塵埃、および空気を吸入し、高
性能にロボットから発生する塵埃の飛散を防止すること
のできるものである。

実施例の説明以下本発明の一実施例を第５〜８図にもとづいて説明す
る。

第６図は本発明の実施例における塵埃無発生ロボットの
１自由度直進駆動ユニットの外観図である。第６図は第
５図の前進駆動ユニットの断面図、第７図は、第５図の
吸入孔１９、排気路２８の断面である。図において、１
５はサーボモータをおおう防塵カバー、１６はボールネ
ジ（図示せず）部をおおうカバー、１７は可動７ランジ
、１８は防塵カバー１５、カバー１６で形成された空気
通路、１８ａはこの空気通路１８と外気とを結ぶ空気通
路開口部、１９は前記空気通路開口部１８ａ中に設けら
れた複数の吸入孔、２ｏは排気コネクタ、２１は排気パ
イプである。そして、吸入孔１９は、第７図に示すよう
に、排気コネクタ２０からの距離が長くなるほど吸入口
径が犬きくなるように形成されている。２２はボールネ
ジ、２３．２４はその両端にてカバー１６に固定された
ガイドシャフト、２５．２６はリニアスライド軸受、２
７はポールネジナツトである。また、２８は前記吸入孔
１９と排気コネクタ２Ｑとを結ぶ排気路であり、前記吸
入孔１９、排気コネクタ２０、排気パイプ２１、排気路
２８で排気流路を構成する。

第８図は前記１自由度直進駆動ユニットで構成された、
３自由度直交型ロボットの外観図である。

２９は横方向駆動ユニット、３ｏは上下方向駆動ユニッ
ト、３１は前後方向駆動ユニットである。

また３２，３３は配線ケーブル、３４，３５．３６は排
気パイプである。

以上のように構成された塵埃無発生ロボットについて、
以下その動作を説明する。

まず、ロポッ、トにおける塵埃は、歯車のがみ合い部、
軸受、モータのブラシ部、オイルシール部等の可動部か
ら多く発生するが、本実施例では、ボールネジ２２．ガ
イドシャ７１−２３．２４、リニアスライド軸受２５，
２６．ボールネジナツト２７等が主な塵埃発生部となる
。この塵埃発生部はカバー１５．１５でおおわれており
、塵埃は空気通路１８を通って外へ飛散していく。

そこで、吸入孔１９より空気通路１８内の塵埃を空気と
ともに吸入し、排気路２８、排気パイプ２１を通じて他
所へ排気すれば、塵埃のロボット外部ヘの飛散を防止す
ることができる。

ただし、吸入孔１９からは多量の空気を吸いこむため、
排気通路２８の損失などによって、吸入孔１９が排気コ
ネクタから遠くなるほど、排気通路と空気通路開口部と
の圧力差が小さくなってしまうことがある。圧力差が小
さくなると空気吸入量が減ってしまい、したがって塵埃
の吸収量が少なくなることがある。そのため、本実施例
では吸入孔１９が排気コネクタから遠ざかるほど吸入孔
１９の径を大きくして、それぞれの吸入孔で空気吸入量
が等しくなるようにしている。

なお、一実施例としては、直進運動を行なう工業用ロボ
ットについての例をあげたが、回転運動を行なう工業用
ロボットについても同様に塵埃の発生防止が可能である
。

また、実施例においては、塵埃を吸いこむ吸入口として
複数の穴を空気通路開口部１８ａ中に設けているが、複
数の穴のかわシに一つの細長い、溝を設けることも考え
られる。この場合は、空気の吸入量をすべての場所で均
一にするために、溝幅を排気コネクタからの距離に応じ
て変えることになる。

さらに、塵埃発生部を覆うカバーはロボットを構成する
構造物そのものであっても良いし、また別部材であって
も良いことは言うまでもないが、別部材の場合は完全密
封のためにパツキン等のシール材を使用して固定するこ
とは言うまでもない。

発明の効果以上、本発明は塵埃発生部と外気とを結ぶ通路の途中か
ら、通路内の塵埃を空気とともに吸入し、他所へ排出す
る排気流路とを備えることにより、ロボット内部で発生
した塵埃の飛散を防ぐことが出来る。また、空気ととも
に塵埃を吸入する吸入口は塵埃を排出する排出口からの
距離が長いほど吸入面積を大きく形成しているので、排
出口からの距離にかかわらず塵埃の吸入能力を均一にす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は直交型ロボットの斜視図、第２図は１自由度直
線駆動部の斜視図、第３図は塵埃飛散の防止を行なった
従来の工業用ロボットの斜視図、第４図は同断面図、第
５図は本発明の一実施例における工業用ロボットの斜視
図、第６図は同断面図、第７図は第６図におけるｂ　−
ｂ拡大断面図、第８図は３自由度直交ロボットの斜視図
である。１５．１６・・・・・・カバー、１７・・・・・・可動
フランジ、１８・・・・・・空気通路、１９・・・・・
・排気孔、２ｏ・・・・・・排気コネクタ、２１・・・
・・・排気パイプ、２８・・・・・・排気路。代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　はが１名第１
図第２図　　　　　　５第５図Ｚ／第６図第７図第８図

Claims

【特許請求の範囲】

回転もしくは直進運動可能な工業用ロボットであって、
塵埃が発生可能な塵埃発生部をおおい、かつこの塵埃発
生部が外気と一部を残して隔壁可能なようカバーを設け
、塵埃発生部と外気とを通ずる空気通路の途中に吸入口
を開口し、この吸入口から空気通路内の塵埃を空気とと
もに吸入し、排気流路をとおって排出口から他所へ排出
する構造を備えており、前記吸入口は塵埃を排出する排
出口からの距離が長いほど吸入口面積を大きく形成した
工業用ロボット。