JPS6133888A - 工業用ロボツト - Google Patents
工業用ロボツトInfo
- Publication number
- JPS6133888A JPS6133888A JP15585084A JP15585084A JPS6133888A JP S6133888 A JPS6133888 A JP S6133888A JP 15585084 A JP15585084 A JP 15585084A JP 15585084 A JP15585084 A JP 15585084A JP S6133888 A JPS6133888 A JP S6133888A
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- JP
- Japan
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- dust
- air
- robot
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- industrial robot
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、精密製品製造工場等、空気中の塵埃を極度に
嫌う場所で使用する塵埃無発生ロボットに関するもので
ある。
嫌う場所で使用する塵埃無発生ロボットに関するもので
ある。
従来例の構成とその問題点
最近、半導体製造工場や光学部品組立工場等においては
、粒子径が０．５μ〜０．１μ、又はそれ以下の粒子径
の微粒子の存在が、製品の品質や歩留りを左右する要因
になってきている。その中で、人間の存在自体が無塵埃
化の大きな障害と々っており、省人化、ロボット化を今
後進めていかなければならなくなっている。
、粒子径が０．５μ〜０．１μ、又はそれ以下の粒子径
の微粒子の存在が、製品の品質や歩留りを左右する要因
になってきている。その中で、人間の存在自体が無塵埃
化の大きな障害と々っており、省人化、ロボット化を今
後進めていかなければならなくなっている。
一般に工業用ロボツトには、関節部のサーボモータのブ
ラシ部や軸受部、オイルシール等多くの塵埃発生要因が
ある。このようなロボットは半導体製品製造工場や光学
部品組立工場等、空気中の塵埃が製品の品質を左右する
ような場所では、とのま壕では使用できず、塵埃の飛散
を防ぐ工夫が必要となる。
ラシ部や軸受部、オイルシール等多くの塵埃発生要因が
ある。このようなロボットは半導体製品製造工場や光学
部品組立工場等、空気中の塵埃が製品の品質を左右する
ような場所では、とのま壕では使用できず、塵埃の飛散
を防ぐ工夫が必要となる。
従来の塵埃飛散防止対策について、直交型のロボットを
例にあげてその内容と問題点を説明する。
例にあげてその内容と問題点を説明する。
第１図に示した直交型ロボットは、現在多方面で多く使
用されている３自由度のロボットで、１は横方向駆動部
、２は上下方向駆動部、３は前後方向駆動部である。各
駆動部は、第２図に示すような形状をしてお９、サーボ
モータとボールネジ又はラックとピニオン（いずれも図
示せず）等によって駆動される。サーボモータやボール
ネジ等の塵埃発生部をおおうカバー４には、フランジ６
が直線移動をするために、開口部６が出来てし捷う。
用されている３自由度のロボットで、１は横方向駆動部
、２は上下方向駆動部、３は前後方向駆動部である。各
駆動部は、第２図に示すような形状をしてお９、サーボ
モータとボールネジ又はラックとピニオン（いずれも図
示せず）等によって駆動される。サーボモータやボール
ネジ等の塵埃発生部をおおうカバー４には、フランジ６
が直線移動をするために、開口部６が出来てし捷う。
その開口部６を通って、多量の塵埃が発散することは、
周知のとおりである。
周知のとおりである。
その開口部６からの塵埃を防ぐために、従来は第３図、
第４図のように、カバー７とフランジ８と伸縮可能なカ
バー９で、サーボモータ１０．ボールネジ１１．ポール
ナツト１２．軸受１３，１４等塵埃発生部をおおい、略
密閉化していた。
第４図のように、カバー７とフランジ８と伸縮可能なカ
バー９で、サーボモータ１０．ボールネジ１１．ポール
ナツト１２．軸受１３，１４等塵埃発生部をおおい、略
密閉化していた。
しかし、この方法では、伸縮自在のカバー９捷わりでの
密閉性に問題があり、さらに、伸縮自在カバー９の摺動
部から新たに塵埃を飛散させるという問題があった。ま
た、伸縮自在カバー９を蛇腹式カバー（図示せず）にし
た例もあるが、蛇腹の伸縮により、極部的にポンプの役
目を果たし、内部の塵埃を外へ吹き出す問題があった。
密閉性に問題があり、さらに、伸縮自在カバー９の摺動
部から新たに塵埃を飛散させるという問題があった。ま
た、伸縮自在カバー９を蛇腹式カバー（図示せず）にし
た例もあるが、蛇腹の伸縮により、極部的にポンプの役
目を果たし、内部の塵埃を外へ吹き出す問題があった。
すなわち、ロボットの回転部、摺動部等の可動部におけ
る完全な密閉は事実」＝困難であり、また可動部を覆う
カバー自体が塵埃の発生源になるため、塵埃の飛散を防
ぐことは難しい。
る完全な密閉は事実」＝困難であり、また可動部を覆う
カバー自体が塵埃の発生源になるため、塵埃の飛散を防
ぐことは難しい。
発明の目的
本発明は、上記従来の欠点を解消するものであり、コン
パクトにロボットから出る塵埃の飛散を防止するもので
ある。
パクトにロボットから出る塵埃の飛散を防止するもので
ある。
発明の構成
本発明は、塵埃発生部と外気との通路に流体を供給する
ことにより、コンパクトにロボットから発生する塵埃の
飛散を防止することができる。
ことにより、コンパクトにロボットから発生する塵埃の
飛散を防止することができる。
実施例の説明
以下本発明の一実施例を第５図〜７図にもとづいて説明
する。
する。
第６図は、本発明の実施例における塵埃無発生ロボット
を構成する直進駆動ユニットの外観図である。捷た第６
図は、第６図の直進駆動ユニットの断面図である。
を構成する直進駆動ユニットの外観図である。捷た第６
図は、第６図の直進駆動ユニットの断面図である。
図において、１５はサーボモータ（図示せず）をおおう
カバー、１６はポールネジ部をおおうカバー、１７は可
動７ランジ、１８はカバー１６゜１６で形成された空気
通路、１８ａはこの空気通路１８と外気とを結ぶ空気通
路開口部、１９は給気パイプ、２０は排気パイプ、２１
は給気路、２２は排気路、２３は一条又は複数の給気孔
、２４は一条又は複数の排気孔、２５はポールネジ、２
６はポールネジナツト、２７．２８はその両端にてカバ
ー１６に固定されたガイドシャフト、２９゜３０はリニ
アスライドベアリングである。
カバー、１６はポールネジ部をおおうカバー、１７は可
動７ランジ、１８はカバー１６゜１６で形成された空気
通路、１８ａはこの空気通路１８と外気とを結ぶ空気通
路開口部、１９は給気パイプ、２０は排気パイプ、２１
は給気路、２２は排気路、２３は一条又は複数の給気孔
、２４は一条又は複数の排気孔、２５はポールネジ、２
６はポールネジナツト、２７．２８はその両端にてカバ
ー１６に固定されたガイドシャフト、２９゜３０はリニ
アスライドベアリングである。
ここで、給気パイプ１９．給気路２１．給気孔２３で給
気流路を形成し、排気パイプ２０．排気路２２．損気孔
２４で排気流路を形成する。給気流路にはフィルターを
通過した清浄な空気を供給し、排気流路からはポンプ等
により空気を吸入排気することにより、空気通路１８の
途中に、空気通路を遮断するように帯状の空気流すなわ
ちエアカーテンを形成することになる。
気流路を形成し、排気パイプ２０．排気路２２．損気孔
２４で排気流路を形成する。給気流路にはフィルターを
通過した清浄な空気を供給し、排気流路からはポンプ等
により空気を吸入排気することにより、空気通路１８の
途中に、空気通路を遮断するように帯状の空気流すなわ
ちエアカーテンを形成することになる。
以」二のように構成された塵埃無発生ロボットについて
、以下その動作を説明する。
、以下その動作を説明する。
捷ず、ロボットにおける塵埃は、歯車のかみ合い部、
＋Ｉｑｌｌ受、モータのブラシ部、オイルシール部等
の可動部から多く発生するが、本実施例では、ボールネ
ジ２２．ガイドシャフト２３． ２４． リＡ−７ ニアスライド軸受２５． ２６． ポールネジナツト
２７等が主な塵埃発生部となる。この塵埃発生部はカバ
ー１５．１６でおおわれており、塵埃は空気通路１８を
通って外へ飛散していく。
＋Ｉｑｌｌ受、モータのブラシ部、オイルシール部等
の可動部から多く発生するが、本実施例では、ボールネ
ジ２２．ガイドシャフト２３． ２４． リＡ−７ ニアスライド軸受２５． ２６． ポールネジナツト
２７等が主な塵埃発生部となる。この塵埃発生部はカバ
ー１５．１６でおおわれており、塵埃は空気通路１８を
通って外へ飛散していく。
ところが、前記の如く給気流路と排気流路とを設置する
ことによって、空気通路を遮断するようにエアカーテン
が形成され、その結果ロボット内部の塵埃は外にもれる
ことは々い。
ことによって、空気通路を遮断するようにエアカーテン
が形成され、その結果ロボット内部の塵埃は外にもれる
ことは々い。
第７図は、前記直進駆動ユニットで構成された３自由度
直交型ロボットの外観図である。３１は横方向駆動ユニ
ット、３２は上下方向駆動ユニット、３３は前後方向駆
動ユニットである。３４゜３５は配線ケーブル、３５，
３６．３７は２本対になって給排気パイプである。
直交型ロボットの外観図である。３１は横方向駆動ユニ
ット、３２は上下方向駆動ユニット、３３は前後方向駆
動ユニットである。３４゜３５は配線ケーブル、３５，
３６．３７は２本対になって給排気パイプである。
発明の効果
以上、本発明は塵埃発生部をカバーでおおい、塵埃発生
部と外気とを結ぶ空気通路の途中にあって、前記空気道
を遮断するように空気流（エアカーテン）を構成するこ
とにより、コンパクトに比較的簡単にロボットから発生
する塵埃の飛散を防市することができる。
部と外気とを結ぶ空気通路の途中にあって、前記空気道
を遮断するように空気流（エアカーテン）を構成するこ
とにより、コンパクトに比較的簡単にロボットから発生
する塵埃の飛散を防市することができる。
第１図は直交型ロボットの斜視図、第２図は１自由度直
線駆動部の斜視図、第３図は塵埃飛散の防市を行なった
従来の工業用ロボットの斜視図、第４図は同断面図、第
６図は本発明の一実施例における工業用ロボットの斜視
図、第６図は同断面図、第７図は３自由度直交ロボット
の斜視図である。 １５．１６・・・・・・カバー、１７ ・・・・可動フ
ランジ、１８・・・・・空気通路、１９・・・・給気パ
イプ、２Ｑ・・・・・・排気パイプ、２１・・・・・給
気路、２２・・・・・・排気路、２３・・・給気孔、２
４・・・排気孔、２６・・・・・・ボールネジ、２６・
・・・・・ポールネジナツト、２７．２８・・・ ・ガ
イドシャフト、２９，３０・・・・リニアスライドベア
リング。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名＠２
図 第３図 ＠５図 第６図
線駆動部の斜視図、第３図は塵埃飛散の防市を行なった
従来の工業用ロボットの斜視図、第４図は同断面図、第
６図は本発明の一実施例における工業用ロボットの斜視
図、第６図は同断面図、第７図は３自由度直交ロボット
の斜視図である。 １５．１６・・・・・・カバー、１７ ・・・・可動フ
ランジ、１８・・・・・空気通路、１９・・・・給気パ
イプ、２Ｑ・・・・・・排気パイプ、２１・・・・・給
気路、２２・・・・・・排気路、２３・・・給気孔、２
４・・・排気孔、２６・・・・・・ボールネジ、２６・
・・・・・ポールネジナツト、２７．２８・・・ ・ガ
イドシャフト、２９，３０・・・・リニアスライドベア
リング。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名＠２
図 第３図 ＠５図 第６図
Claims (1)
- 回転もしくは直進運動可能な工業用ロボットであって、
塵埃が発生可能な塵埃発生部をおおい、かつこの塵埃発
生部が外気と一部を残して隔壁可能なようカバーを設け
、塵埃発生部と外気との通路に流体を供給することによ
り、前記塵埃発生部からの塵埃が外気に出るのを遮断す
るよう構成された工業用ロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15585084A JPS6133888A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 工業用ロボツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15585084A JPS6133888A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 工業用ロボツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6133888A true JPS6133888A (ja) | 1986-02-17 |
Family
ID=15614865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15585084A Pending JPS6133888A (ja) | 1984-07-26 | 1984-07-26 | 工業用ロボツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6133888A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007260599A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
-
1984
- 1984-07-26 JP JP15585084A patent/JPS6133888A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007260599A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
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