JPH0411035Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0411035Y2
JPH0411035Y2 JP1985133477U JP13347785U JPH0411035Y2 JP H0411035 Y2 JPH0411035 Y2 JP H0411035Y2 JP 1985133477 U JP1985133477 U JP 1985133477U JP 13347785 U JP13347785 U JP 13347785U JP H0411035 Y2 JPH0411035 Y2 JP H0411035Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dust
exhaust
base
flexible
free room
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP1985133477U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6242985U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1985133477U priority Critical patent/JPH0411035Y2/ja
Publication of JPS6242985U publication Critical patent/JPS6242985U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0411035Y2 publication Critical patent/JPH0411035Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Description

【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この考案は無塵室用作業ロボツトに関するもの
である。
(従来の技術) 無塵室内に配置された直交座標系ロボツト等に
おいては、その摺動部から発生する微細塵が室内
に飛散することにより、無塵室内の空気が汚染さ
れることがあるが、これを防止するため本出願人
は先の出願(特願昭60−56214号)にて、第6図
に示すような無塵室用作業ロボツトを提案した。
この作業ロボツトは、無塵室内に配置されたベー
ス51と、このベース51上を往復動する移動ア
ーム52とを有するものであつて、上記ベース5
1にねじ軸54を回転可能に支持すると共に、こ
のねじ軸54をモータMによつて回転駆動し得る
ようにしてある。また上記ベース51にはねじ軸
54と略平行に1組みのレール55,55が設け
られ、これらレール55,55間にスライドベー
ス56が摺動自在に支持されている。このスライ
ドベース56の内部にはナツト57が設けられて
おり、このナツト57が上記ねじ軸54に螺着さ
れている。そして上記スライドベース56に上記
移動アーム52が取付けられ、上記モータMの回
転によるねじ軸54の回転で、スライドベース5
6を介して移動アーム52を往復駆動し得るよう
なされている。一方上記移動アーム52も、上記
ベース51と同様に、モータM、ねじ軸58、一
対のレール59,59、ナツト60及びスライド
ベース61をそれぞれ有するものであり、このス
ライドベース60に、図示しない治具等のアクチ
ユエータを取付け、これを平面内にて駆動するの
である。
そして上記ベース51と移動アーム52との両
者のスライドベース56,61の周囲、つまりね
じ軸54,58とナツト57,60との螺合部
分、及びスライドベース56,61とレール5
5,59との摺接部分をカバー62,63で覆う
ことによりそれぞれ排気室64,65を構成し、
この排気室64,65を排気ポンプPによつて無
塵室外へと排気し、上記各部分において発生する
微細塵を室外へと排出し得るようなされている。
なお図の場合、ベース51の排気室64と移動ア
ーム52の排気室65とは排気管66によつて連
結され、1台の排気ポンプPでもつて、両排気室
64,65を同時に排気し得るようなされてい
る。
(考案が解決しようとする問題点) ところで上記した無塵室用作業ロボツトにおい
ては、上記移動アーム52におけるモータMに対
して電力を供給するための配線ケーブル、アクチ
ユエータへエアを供給するためエア配管、上記し
た排気管66等の複数のケーブルや管路が設けら
れている訳であるが、上記移動アーム52の移動
によつてこれらケーブルや管路が互いに接触し、
その内部からの発塵によつて無塵室が汚染される
という問題が生じている。また配線ケーブルの移
動等により、その内部に収納されている心線が相
互に摺接することによつても微細塵が生じ、これ
によつても無塵室内が汚染されるという欠点があ
る。さらに、モータMに使用しているブラシがそ
の駆動時に摩耗し、この部分からも発塵を生じ、
無塵室内が汚染されるというのも上記従来の作業
ロボツトの欠点の1つである。
この考案は上記した従来の欠点を解決するため
になされたものであつて、その目的は、ケーブル
や配管からの発塵を室外へと排出することがで
き、そのため無塵室内を高い清浄度に維持するこ
とのできる無塵室用作業ロボツトを提供すること
にある。
(問題点を解決するための手段) そこでこの考案の無塵室用作業ロボツトにおい
ては、無塵室内に配置されたベース1と、このベ
ース1に支持されて移動する移動アーム2と、移
動アーム2に取着された駆動源8とを有し、上記
駆動源8の周囲をカバー13によつて略密閉状に
覆うことにより排気室15を形成すると共に、こ
の排気室15内を排気するための可撓排気管を設
け、上記排気室15内を上記可撓排気管を介して
排気手段18により無塵室外へ排気する無塵室用
作業ロボツトであつて、上記可撓排気管は、複数
の可撓排気管16a,16bを軸方向とは略直交
する方向に並設すると共に、各可撓排気管16
a,16bの相接触する側部を互いに接合するこ
とによつて構成し、上記各可撓排気管16a,1
6b内に、配線ケーブル19、エア配管20等の
線管材を分配して収納してある。
(作用) 上記した無塵室用作業ロボツトにおいては、駆
動源8をカバー13により略密閉状に覆うことに
よりその周囲に排気室15を構成し、この排気室
15を室外へと排気するようにしてあるので、摩
耗したブラシや気化した潤滑剤等の、駆動源8の
駆動に起因する微細塵が室内に放出されるのを防
止することができる。また各可撓排気管16a,
16bの内部に、配線ケーブル19、エア配管2
0等を収納してあるので、ケーブルや管路が互い
に接触することによる発塵を防止でき、この点に
おいても室内の清浄度を維持し得ることとなる。
しかも上記可撓排気管16a,16bは、並設方
向に直交する方向に対しては撓み易いものの、並
設方向に対しては、その剛性が大であることから
撓みにくくなり、この結果、移動アーム2の移動
方向に撓み易くしてその移動抵抗を減少すること
が可能であるのに加えて、さらに移動方向の側方
に対しては撓みを抑制、つまり倒れによる他の部
材との接触を防止して、この接触に起因する発塵
を防止することも可能になる。
(実施例) 次にこの考案の無塵室用作業ロボツトの具体的
な実施例について、図面を参照しつつ詳細に説明
する。
第1図及び第2図に示すように、この作業ロボ
ツトは、無塵室内1に配置されたベース1と、該
ベース1上を往復動する移動アーム2とを有して
いる。上記ベース1にはモータ3によつて回転駆
動されるねじ軸4が回転可能に支持されると共
に、さらにこのベース1にはねじ軸4に略平行に
レール5,5が設置されている。このレール5,
5には摺動自在にスライドベース6が支持され、
上記移動アーム2がこのスライドベース6に取付
けられている。このスライドベース6は、その内
部にナツト7を有し、このナツト7が上記ねじ軸
4に螺着されている。つまり上記モータ3によつ
てねじ軸4を回転駆動し、これにより上記移動ア
ーム2をX方向に往復駆動し得るようなされてい
るのである。一方上記移動アーム2も、上記ベー
ス1と同様に、モータ8によつて回転駆動される
ねじ軸9と、スライドベース10を摺動自在に支
持する一対のレール11,11とを有しており、
スライドベース10の内部に設けたナツト10a
が上記ねじ軸9に螺合され、上記モータ8によつ
てベース10をY方向に往復駆動し得るようなさ
れている。なおこのスライドベース10は、図示
しないが、治具等のアクチユエータの取着される
部分である。
そして上記ベース1と移動アーム2との両モー
タ3,8はそれぞれ箱状のカバー12,13によ
つて密閉状に覆われており、その周囲に排気室1
4,15が構成されている。上記両排気室14,
15は、可撓性を有する一組の排気管16a,1
6bによつて連結されており、またベース1側の
排気室14には、導出管17が接続されている。
また上記導出管17は、排気手段としての排気ポ
ンプ18に接続され、この排気ポンプ18によつ
て、導出管17、ベース1側の排気室14、排気
管16a,16b及び移動アーム2側の排気室1
5の各内部を排気し得るようなされている。
上記ベース1側の排気室14内には、配線ケー
ブル19とエア配管20とが導入されているが、
これら配線ケーブル19とエア配管20とはいず
れも上記排気管16a,16bの内部を経由して
上記移動アーム2側の排気室15内へと導入され
ている。この場合、排気管16a,16bは、第
3図に示すように、両者が互いにその側部におい
て接合された構造のものを用いており、一方の排
気管16a内には配線ケーブル19が、また他方
の排気管16b内にはエア配管20がそれぞれ収
納されている。また上記移動アーム2側の排気室
15においては、第4図に示すように、一部の配
線19aがモータ8に接続され、残りの配線19
bとエア配管20とがアクチユエータ側へと導出
されているが、この導出部においても上記と同様
な構造を有する排気管21が使用されている。同
図における22,23はそれぞれカプラである。
上記した無塵室用作業ロボツトにおいては、モ
ータ3,8の周囲に構成された各排気室14,1
5内が、排気ポンプ18によつて室外へと排気さ
れることになるので、モータ3,8の駆動中に、
モータ3,8からブラシ摩耗による微粉末が放出
されても、これらの微細塵は上記ポンプ18によ
つて室外へと放出されることになり、室内の汚染
源となるのを防止することが可能となる。またこ
のように各排気室14,15が排気される結果、
モータ3,8の周囲には気流が存在することとな
り、この気流によつてモータ3,8を有効に冷却
し得ることになる。しかも上記のようにまた各排
気管16a,16bの内部に、配線ケーブル1
9、エア配管20等を収納してあるので、これら
相互間の干渉による発塵を防止し得ることにな
る。またこれらを集約することにより、室内を移
動する部分が減少することになる訳であるが、こ
の結果、部材の移動に伴う室内の気流の分布の乱
れを防止し、このため汚染物質が作業面上に沈着
するのを防止し得ることになる。さらに排気管1
6aと他の排気管16bを上記のような構造とし
た場合には、太径の1本の排気管内に配線ケーブ
ル19とエア配管20とを挿通させるような場合
に比較して、一方向に対しては撓み易くなつて移
動時の抵抗を減少でき、これとは直交する他方向
に対しては充分な剛性を有するという、ロボツト
用配線としては好ましい特性を有するものとな
る。すなわち移動アーム2の移動方向に撓み易く
してその移動抵抗を減少することが可能であるの
に加えて、さらに移動方向の側方に対しては撓み
を抑制、つまり倒れによる他の部材との接触を防
止して、この接触に起因する発塵を防止すること
も可能になるためである。なお第3図のような構
造を採用した場合には、配線ケーブル19やエア
配管20からの発塵がもし仮に生じた場合にで
も、これらを室外へ排出することができるので、
室内の清浄度はより一層優れたものとなる。
第5図には作業用ロボツトの変更例を示す。こ
れは、前記した従来例と同様に各スライドベース
6,10の周囲をカバー24,25にて覆うこと
により、さらに別の排気室26,27を構成し、
各排気室14,15,26,27を互いに連通さ
せると共に、これらを1台の排気ポンプ18で排
気するようにしたものであるが、このような構造
を採用することにより、室内の汚染をより一層低
減することが可能となる。なお他の部分の構造は
上記実施例と同様であるために、同一の部分を同
一の符合で示し、その説明を省略する。
なお上記各実施例においては、モータ等の駆動
源に駆動力を供給するために駆動力供給路とし
て、配線ケーブル19やエア配管20を示した
が、これ以外にも、例えば油圧配管等を使用する
ことがある。また上記においては直交座標系のロ
ボツトを例に説明したが、円筒座標系の多関節系
ロボツトにおいても上記と略同様に実施可能であ
る。
(考案の効果) この考案の無塵室用作業ロボツトにおいては、
上記のようにモータ等の駆動源の周囲に排気室を
構成し、排気管を介して上記排気室を無塵室外へ
と排気するようにしてあるので、駆動源からのブ
ラシ摩耗による微粉末や気化潤滑剤等の発塵を無
塵室外へと放出でき、該室内の清浄度を維持する
ことが可能である。また各可撓排気管の内部に、
配線ケーブル、エア配管等を収納してあるので、
これら相互間の干渉による発塵を防止でき、この
点においても無塵室内の清浄度を維持することが
可能である。しかも移動アームの移動方向に撓み
易くしてその移動抵抗を減少することが可能であ
るのに加えて、さらに移動方向の側方に対しては
撓みを抑制、つまり倒れによる他の部材との接触
を防止して、この接触に起因する発塵を防止する
ことも可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の無塵室用作業ロボツトの一
実施例を示す横断面図、第2図はこの考案の無塵
室用作業ロボツトの外観の斜視図、第3図は排気
管の形状を示す横断面図、第4図は駆動部の状態
を示す横断面図、第5図は他の実施例を示す横断
面図、第6図は従来例を示す断面図である。 1……ベース、2……移動アーム、8……モー
タ、13……カバー、15……排気室、16a,
16b……排気管、18……排気ポンプ、19…
…配線ケーブル、20……エア配管。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 無塵室内に配置されたベース1と、このベース
    1に支持されて移動する移動アーム2と、移動ア
    ーム2に取着された駆動源8とを有し、上記駆動
    源8の周囲をカバー13によつて略密閉状に覆う
    ことにより排気室15内を形成すると共に、この
    排気室15内を排気するための可撓排気管を設
    け、上記排気室15内を上記可撓排気管を介して
    排気手段18により無塵室外へ排気する無塵室用
    作業ロボツトであつて、上記可撓排気管は、複数
    の可撓排気管16a,16bを軸方向とは略直交
    する方向に並設すると共に、各可撓排気管16
    a,16bの相接触する側部を互いに接合するこ
    とによつて構成し、上記各可撓排気管16a,1
    6b内に、配線ケーブル19、エア配管20等の
    線管材を分配して収納したことを特徴とする無塵
    室用作業ロボツト。
JP1985133477U 1985-08-30 1985-08-30 Expired JPH0411035Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1985133477U JPH0411035Y2 (ja) 1985-08-30 1985-08-30

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1985133477U JPH0411035Y2 (ja) 1985-08-30 1985-08-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6242985U JPS6242985U (ja) 1987-03-14
JPH0411035Y2 true JPH0411035Y2 (ja) 1992-03-18

Family

ID=31033831

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1985133477U Expired JPH0411035Y2 (ja) 1985-08-30 1985-08-30

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0411035Y2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2600221B2 (ja) * 1987-12-02 1997-04-16 松下電器産業株式会社 産業用ロボット

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH035439Y2 (ja) * 1985-06-04 1991-02-12

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6242985U (ja) 1987-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0169554A1 (en) Industrial robot
JP3999712B2 (ja) 多関節ロボット
US11117252B2 (en) Robot
WO1997010078A1 (en) Multi-stage telescoping structure
US20180236671A1 (en) Robot
US4972731A (en) Robot for clean room use having contaminant particle-removal system incorporated therein
JP2018140456A (ja) スカラロボット
JP2006525130A (ja) 産業用ロボット
JPH0411035Y2 (ja)
JP6688204B2 (ja) リンク式多関節ロボット
JP4753092B2 (ja) 防塵機構を備えた基板搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置
US20020182036A1 (en) Semiconductor wafer handling robot for linear transfer chamber
JPH0358873B2 (ja)
JPH0448A (ja) 運動機構
JPH035439Y2 (ja)
JP7504011B2 (ja) ロボットシステム
JPH0585318B2 (ja)
JPH0755465B2 (ja) 工業用ロボツト
JPH0411033Y2 (ja)
JPS61288990A (ja) 産業用ロボツト
JPH08168980A (ja) 産業用ロボット
JPH02145235A (ja) 作業機構の直線搬送装置
JPS62124896A (ja) 産業用ロボツト
JPH0516998B2 (ja)
JPS6133891A (ja) 工業用ロボツト