JPH0755465B2 - 工業用ロボツト - Google Patents
工業用ロボツトInfo
- Publication number
- JPH0755465B2 JPH0755465B2 JP29676685A JP29676685A JPH0755465B2 JP H0755465 B2 JPH0755465 B2 JP H0755465B2 JP 29676685 A JP29676685 A JP 29676685A JP 29676685 A JP29676685 A JP 29676685A JP H0755465 B2 JPH0755465 B2 JP H0755465B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball screw
- screw shaft
- case
- nut
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H2025/2062—Arrangements for driving the actuator
- F16H2025/2096—Arrangements for driving the actuator using endless flexible members
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はクリーンルームなどで組立作業を行う工業用ロ
ボットに関するものである。
ボットに関するものである。
従来の技術 近年、工業用ロボットは、半導体製品製造工場など、ク
リーンな環境下での作業への適用が注目されている。そ
してこのような作業に対しては、垂直多関節型のロボッ
トを用いて関節部を蛇腹式のカバーで覆う方法や、特開
昭60-127996号公報に示されるようなロボット本体内部
を外気と遮断するように略密閉化してして内部を負圧吸
引する方法等が知られている。
リーンな環境下での作業への適用が注目されている。そ
してこのような作業に対しては、垂直多関節型のロボッ
トを用いて関節部を蛇腹式のカバーで覆う方法や、特開
昭60-127996号公報に示されるようなロボット本体内部
を外気と遮断するように略密閉化してして内部を負圧吸
引する方法等が知られている。
以下図面を参照しながら、従来の工業用直交型ロボット
を用いる例を説明する。第２図は、従来の工業用直交型
クリーンロボットの概略を示すものである。第２図にお
いて、１はボールネジ軸で、２はそのボールネジ軸１上
を摺動可能なボールネジナット、３は駆動モータで、４
は駆動モータ３の動力をボールネジ軸１に伝えるカップ
リングである。５はハウジング、６はガイドで、７はレ
ールでこの上でこのガイド６が摺動する。８は本体であ
る。
を用いる例を説明する。第２図は、従来の工業用直交型
クリーンロボットの概略を示すものである。第２図にお
いて、１はボールネジ軸で、２はそのボールネジ軸１上
を摺動可能なボールネジナット、３は駆動モータで、４
は駆動モータ３の動力をボールネジ軸１に伝えるカップ
リングである。５はハウジング、６はガイドで、７はレ
ールでこの上でこのガイド６が摺動する。８は本体であ
る。
以上のように構成された工業用ロボットについて以下そ
の動作を説明する。まず、駆動モータ３によりカップリ
ング４を介してボールネジ軸１に回転運動を伝える。ボ
ールネジ軸１の回転により、ボールネジナット２はハウ
ジング５のガイド６により回転しないのでボールネジ軸
１に沿って摺動する。また、ボールネジナット２ととも
にハウジング５が動くのでこの上に同じような構造を載
せることにより直交型ロボットが構成される。
の動作を説明する。まず、駆動モータ３によりカップリ
ング４を介してボールネジ軸１に回転運動を伝える。ボ
ールネジ軸１の回転により、ボールネジナット２はハウ
ジング５のガイド６により回転しないのでボールネジ軸
１に沿って摺動する。また、ボールネジナット２ととも
にハウジング５が動くのでこの上に同じような構造を載
せることにより直交型ロボットが構成される。
発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上述の垂直多関節型ロボットを用いる場
合、ロボット全体をカバーで覆うことは可能であるが、
一般に直交型ロボットに比べ価格が高くなるという問題
がある。また直交型ロボットを用いる場合には、開口部
が多いためにロボット全体をカバーで覆って外気と遮断
することは困難である。
合、ロボット全体をカバーで覆うことは可能であるが、
一般に直交型ロボットに比べ価格が高くなるという問題
がある。また直交型ロボットを用いる場合には、開口部
が多いためにロボット全体をカバーで覆って外気と遮断
することは困難である。
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の工業用ロボット
は、本体に固定して設けられたボールネジ軸と、このボ
ールネジ軸と螺合し、回転によりボールねじ軸の軸方向
に摺動可能なナット部と、このナット部を回転させる駆
動部と、前記ナット部および前記駆動部を保持して前記
ボールネジに平行にボールネジの軸方向に移動可能に案
内され、かつ前記ボールネジが貫通可能な隙間を有して
前記ナット部及び前記駆動部を外気と遮断するケースで
覆ったハウジングと、前記ケース内の粉塵を吸引可能に
設けられた真空吸引源とを具備したものである。
は、本体に固定して設けられたボールネジ軸と、このボ
ールネジ軸と螺合し、回転によりボールねじ軸の軸方向
に摺動可能なナット部と、このナット部を回転させる駆
動部と、前記ナット部および前記駆動部を保持して前記
ボールネジに平行にボールネジの軸方向に移動可能に案
内され、かつ前記ボールネジが貫通可能な隙間を有して
前記ナット部及び前記駆動部を外気と遮断するケースで
覆ったハウジングと、前記ケース内の粉塵を吸引可能に
設けられた真空吸引源とを具備したものである。
作用 本発明は上記した構成により、ボールネジ軸を回転させ
ることなく駆動し、ケースの中に入っていないボールネ
ジ軸の部分は動かないので粉塵の発生もない。また、ボ
ールネジとボールナットの接触部分から発生する粉塵
は、ケース内部を真空吸引することにより、ナースとボ
ールネジとの隙間からケース内部に生じる空気の流れに
よってケース内部に吸引されるので、外部に発生するこ
とを防止することができる。
ることなく駆動し、ケースの中に入っていないボールネ
ジ軸の部分は動かないので粉塵の発生もない。また、ボ
ールネジとボールナットの接触部分から発生する粉塵
は、ケース内部を真空吸引することにより、ナースとボ
ールネジとの隙間からケース内部に生じる空気の流れに
よってケース内部に吸引されるので、外部に発生するこ
とを防止することができる。
実施例 以下本発明の一実施例の工業用直交型クリーンロボット
について、図面を参照しながら説明する。
について、図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の一実施例における工業用直交型クリー
ンロボットの概略図を示すものである。第１図におい
て、１は本体８に固定されたボールネジ軸で、２はボー
ルネジ軸１上を摺動可能なボールネジナットで、これは
駆動モータ３によりプーリ9a,9b,ベルト9cを介して回転
運動を伝えられるようになっている。５はハウジング
で、６はハウジング5,ケース10の回転を止めるためのガ
イドでレール７上を摺動可能となっている。11は真空吸
引源でケース10の中を真空吸引可能になっている。
ンロボットの概略図を示すものである。第１図におい
て、１は本体８に固定されたボールネジ軸で、２はボー
ルネジ軸１上を摺動可能なボールネジナットで、これは
駆動モータ３によりプーリ9a,9b,ベルト9cを介して回転
運動を伝えられるようになっている。５はハウジング
で、６はハウジング5,ケース10の回転を止めるためのガ
イドでレール７上を摺動可能となっている。11は真空吸
引源でケース10の中を真空吸引可能になっている。
以上のように構成された工業用直交型クリーンロボット
の動作について説明する。
の動作について説明する。
駆動モータ３の回転運動をプーリ9a,9b,ベルト9cでボー
ルネジナット２に伝える。これにより本体８に固定され
たボールネジ軸１上をボールネジナット２とともにハウ
ジング5,ケース10は直線運動する。なおかつケース10内
で発生する粉塵を真空吸引源11により吸引し、ケース10
の外部に出さないようにしている。
ルネジナット２に伝える。これにより本体８に固定され
たボールネジ軸１上をボールネジナット２とともにハウ
ジング5,ケース10は直線運動する。なおかつケース10内
で発生する粉塵を真空吸引源11により吸引し、ケース10
の外部に出さないようにしている。
以上のように本実施例によれば、ボールネジ軸を回転さ
せないでボールネジナットを回転させることによって移
動するケース内にないボールネジ軸からの回転による粉
塵を防止することができる。
せないでボールネジナットを回転させることによって移
動するケース内にないボールネジ軸からの回転による粉
塵を防止することができる。
なお実施例においてガイド６はブッシュ，レール、７は
シャフトとしてもよい。
シャフトとしてもよい。
さらに、ナット部，ボールネジ軸，ケース，駆動モータ
を１つのブロックとし、これを複数個段積みし、互いに
直交して構成することにより平面あるいは立体的に物品
の加工，保持等が可能となる。
を１つのブロックとし、これを複数個段積みし、互いに
直交して構成することにより平面あるいは立体的に物品
の加工，保持等が可能となる。
発明の効果 以上のように本発明は、ボールネジ軸を固定してボール
ネジナットを回転させることにより、従来ボールネジ軸
の回転により発生していた粉塵をなくすることができ、
また、ボールネジとボールナットの接触部分から発生す
る粉塵は、ケース内部を真空吸引することにより、ケー
スとボールネジとの隙間からケース内部に生じる空気の
流れによってケース内部に吸引されるので、外部に発生
することを防止することができ、クリーンルーム内での
作業に適用可能な直交型ロボットを提供することができ
る。
ネジナットを回転させることにより、従来ボールネジ軸
の回転により発生していた粉塵をなくすることができ、
また、ボールネジとボールナットの接触部分から発生す
る粉塵は、ケース内部を真空吸引することにより、ケー
スとボールネジとの隙間からケース内部に生じる空気の
流れによってケース内部に吸引されるので、外部に発生
することを防止することができ、クリーンルーム内での
作業に適用可能な直交型ロボットを提供することができ
る。
第１図は本発明の一実施例における工業用ロボットの断
面図、第２図は従来の工業用直交型クリーンロボットの
断面図である。 １……ボールネジ軸、２……ボールネジナット、３……
駆動モータ、５……ハウジング、６……ガイド、８……
本体、10……ケース、11……真空吸引源。
面図、第２図は従来の工業用直交型クリーンロボットの
断面図である。 １……ボールネジ軸、２……ボールネジナット、３……
駆動モータ、５……ハウジング、６……ガイド、８……
本体、10……ケース、11……真空吸引源。
Claims (1)
- 【請求項１】本体に固定して設けられたボールネジ軸
と、このボールネジ軸と螺合し、回転によりボールネジ
軸の軸方向に摺動可能なナット部と、このナット部を回
転させる駆動部と、前記ナット部および前記駆動部を保
持して前記ボールネジに平行にボールネジの軸方向に移
動可能に案内され、かつ前記ボールネジが貫通可能な隙
間を有して前記ナット部及び前記駆動部を外気と遮断す
るケースで覆ったハウジングと、前記ケース内の粉塵を
吸引可能に設けられた真空吸引源とを具備した工業用ロ
ボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29676685A JPH0755465B2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 工業用ロボツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29676685A JPH0755465B2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 工業用ロボツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62157788A JPS62157788A (ja) | 1987-07-13 |
| JPH0755465B2 true JPH0755465B2 (ja) | 1995-06-14 |
Family
ID=17837850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29676685A Expired - Lifetime JPH0755465B2 (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | 工業用ロボツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755465B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2670157B2 (ja) * | 1989-10-19 | 1997-10-29 | 三菱重工業株式会社 | 制振装置 |
| JP2670156B2 (ja) * | 1989-10-19 | 1997-10-29 | 三菱重工業株式会社 | 制振装置 |
| JPH0590950U (ja) * | 1992-05-07 | 1993-12-10 | 株式会社スガイ | 基板表面処理装置 |
| JPH08216070A (ja) * | 1995-02-20 | 1996-08-27 | Seiko Seiki Co Ltd | ロボット |
| FR2852373B1 (fr) | 2003-03-14 | 2005-04-15 | Commissariat Energie Atomique | Transmission a vis, ecrou et cable |
| FR2852265B1 (fr) * | 2003-03-14 | 2006-02-24 | Commissariat Energie Atomique | Segment intermediaire de bras articule contenant une transmission a vis et ecrou |
| JP5295080B2 (ja) * | 2009-11-17 | 2013-09-18 | 三菱電機株式会社 | 送り装置 |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP29676685A patent/JPH0755465B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62157788A (ja) | 1987-07-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |