KR101041685B1 - 다축 진공 모터 조립체 - Google Patents

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KR101041685B1
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제프리 씨. 후드겐스
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어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
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Abstract

다축 진공 모터 조립체가 제공되며, 상기 다축 진공 모터 조립체는 제 1 회전자(104)와; 진공 챔버(108) 내부의 로봇 아암(110)의 제 1 축의 회전을 제어하고 진공 배리어(106)를 가로질러 상기 제 1 회전자(104)를 회전시키도록 연통되어 있는 제 1 고정자(102)와; 상기 제 1 회전자(104) 아래에 있는 제 2 회전자(122)와; 진공 챔버(108) 내부의 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 제어하고 상기 진공 배리어(106)를 가로질러 상기 제 2 회전자를 회전시키도록 연통되며, 상기 제 1 고정자 아래에 있는 제 2 고정자(120)와; 상기 로봇 아암(110)의 회전을 모니터링하는 제 1 피이드백 장치(118); 및 상기 로봇 아암(124)의 회전을 모니터링하는 제 2 피이드백 장치(132)를 포함한다.

Description

다축 진공 모터 조립체 {MULTI-AXIS VACUUM MOTOR ASSEMBLY}
본 발명은 반도체 소자의 제작에 관한 것이며, 특히 웨이퍼 핸들러에 사용되는 다축 진공 모터 조립체에 관한 것이다.
집적 회로(IC)들, D램(DRAM)들 등과 같은 반도체 소자의 제작에 있어서, 반도체 소자들이 제조되는 크고 얇은 (통상적으로 실리콘) 웨이퍼는 빈번하게 하나의 처리 챔버로부터 다른 처리 챔버로 이송되어야 한다. 이러한 웨이퍼의 이송은 청정 환경과 종종 대기 이하의 압력 하에서 수행되어야 한다. 이러한 목적을 위해, 한 장비 내의 처리 챔버 또는 한 장비로부터 다른 챔버나 장비로 웨이퍼를 이송하기 위한 다양한 기계 장치들(arrangements)이 고안되어 왔다.
다수의 웨이퍼가 청정실 조건 하에서 하나의 장소에서 다른 장소로 안전하고 효율적으로 운반될 수 있게 하기 위해 웨이퍼를 카세트 내측에 장전(load)하는 것이 일반적이다. 그 후 웨이퍼가 장전된 카세트는 소정의 가스압과 대기압이 설정될 수 있는 입/출력(I/O) 챔버("로드록 챔버")의 내측에 삽입될 수 있다. 웨이퍼는 각각의 카세트로부터 입출력 챔버로, 또는 이와는 반대로 하나씩 공급된다.
I/O 챔버가 다수의 처리 챔버에 근접 위치되어서 하나 이상의 웨이퍼가 동시에, 그리고 거의 동시에 처리될 수 있게 하는 것이 웨이퍼를 효율적으로 취급하는 관점에서 바람직하다. 이러한 목적을 위해서, 두 개 이상의 챔버들이 외부의 영향을 받지 않게 밀봉되어 있고 입/출력 챔버 및 처리 챔버들과 연통되어 있는 이송 챔버의 주변 위치에 배열된다. 이송 챔버의 내측에 자동 제어 웨이퍼 핸들링 메커니즘 또는 로봇이 배치되며, 이들은 입/출력 챔버로부터 공급되는 웨이퍼를 취하여 각각의 웨이퍼를 선택된 처리 챔버의 내측으로 이송시킨다. 한 챔버 내에서의 처리 후에, 웨이퍼는 로봇에 의해 챔버로부터 철수되어 다른 처리 챔버의 내측에 삽입되거나 입/출력 챔버로 복귀되고 최후에는 각각의 카세트로 복귀된다.
반도체 웨이퍼는 이들의 특성상 깨지거나 부서지기 쉽고 스크래치되기 쉽다. 그러므로, 반도체 웨이퍼들은 손상을 방지하도록 세심하게 처리된다. 웨이퍼를 취급하는 로봇 메커니즘은 깨지기 쉬운(brittle) 웨이퍼들의 에지의 부서짐(chipping) 또는 표면의 스크래칭없이, 웨이퍼를 단단히 유지한다. 로봇은 진동 또는 갑작스런 정지나 밀침 없이 웨이퍼를 부드럽게 이동시킨다. 로봇의 진동은 웨이퍼를 유지하는 로봇 블레이드와 웨이퍼 표면 사이의 마모를 유발할 수 있다. 그러한 진동에 의해 유발된 웨이퍼의 미세가루(dust) 또는 마모 입자들은 차례로, 다른 웨이퍼의 표면 오염을 유발할 수 있다. 그 결과, 로봇의 설계에는 로봇의 가동 부품들이 공전 운동이나 유격 없이 부드러운 작동을 보장할 수 있는 세심한 수단들이 필요하며, 그러한 수단들에 의해 웨이퍼 유지에 있어서의 정숙함은 물론, 처리 위치들 사이로 웨이퍼를 신속하고 정확하게 이동시킬 수 있어야 한다.
이송 챔버에 있어서의 공간적 제약으로 인해, 로봇을 구동시키는데 사용되는 모터 조립체의 높이를 감소시키는 것이 바람직하다. 또한, 웨이퍼 처리 장치의 생산성을 증가시키도록 다수의 웨이퍼를 독립적으로 처리할 수 있는 로봇을 제공하는 것이 바람직하다.
본 발명의 일면에 있어서, 제 1 다축 진공 모터 조립체가 제공된다. 제 1 다축 진공 모터 조립체는, 제 1 회전자; 진공 챔버 내부의 로봇 아암의 제 1 축의 회전을 제어하도록 진공 배리어를 가로질러 상기 제 1 회전자와 자기적으로 연결되도록 적응되는 제 1 고정자; 상기 제 1 회전자 아래에 있는 제 2 회전자; 제 1 고정자 아래에 있으며 진공 챔버 내부의 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 제어하도록 진공 배리어를 가로질러 상기 제 2 회전자와 자기적으로 연결되도록 적응되는 제 2 고정자; 상기 진공 배리어를 가로질러 수동형 자기 커플링을 통해 로봇 아암의 제 1 축의 회전을 모니터링하도록 적응되며 상기 진공 배리어의 대기 측에 위치되는 제 1 피이드백 장치; 및 상기 진공 배리어를 가로질러 수동형(passive) 자기 커플링을 통해 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 모니터링하도록 적응되며 상기 진공 배리어의 대기 측에 위치되는 제 2 피이드백 장치를 포함한다.
본 발명의 다른 일면에 있어서, 제 2 다축 진공 모터 조립체가 제공된다. 제 2 다축 진공 모터 조립체는, 제 1 회전자; 진공 챔버 내부의 로봇 아암의 제 1 축의 회전을 제어하고 진공 배리어를 가로질러 상기 제 1 회전자를 회전시키도록 전환(commutate)되게 적응되는 제 1 고정자; 상기 제 1 회전자 아래에 있는 제 2 회전자; 제 1 고정자 아래에 있으며 진공 챔버 내부의 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 제어하고 상기 진공 배리어를 가로질러 상기 제 2 회전자를 회전시키도록 전환되게 적응되는 제 2 고정자; 상기 로봇 아암의 제 1 축의 회전을 모니터링하도록 적응되는 제 1 피이드백 장치; 및 상기 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 모니터링하도록 적응되는 제 2 피이드백 장치를 포함한다.
상기 제 1 및 제 2 다축 진공 모터 조립체를 사용하여 로봇 아암을 작동시키는 방법을 포함하는, 다수의 다른 일면들이 제공된다. 본 발명의 또 다른 일면들과 특징들은 이후의 상세한 설명, 첨부된 청구범위 및 도면들로부터 더욱 명확해 질 것이다.
도 1은 본 발명에 따라 제공되는 예시적인 제 1 다축 진공 모터 조립체의 횡단면도이며,
도 2는 본 발명에 따라 제공되는 예시적인 제 2 다축 진공 모터 조립체의 횡단면도이다.
이후, 이송 챔버 및 다른 챔버의 내부에 사용될 수 있는 다축 모터 조립체가 설명된다. 개선된 설계에 의해 피이드백 장치 및/또는 모터 부품들이 네스트화(nested)될 수 있어서 이송 챔버 아래의 적층 높이가 감소될 수 있다. 또한, 감지 기능들이 진공 배리어를 걸쳐 전달될 필요가 없다.
도 1은 본 발명에 따라 제공되는 예시적인 제 1 다축 진공 모터 조립체(100)의 횡단면도이다. 이후에 설명하는 바와 같이, 제 1 다축 진공 모터 조립체(100)는 진공 챔버 내의 로봇을 구동시키기 위해 진공 배리어에 걸쳐서 자기 커플링을 사용한다. 피이드백 장치 및 모터 부품들은 수직 방향의 밀집도(compactness)를 위해 네스트화되며(nested) 진공 챔버의 외측에 있다.
도 1의 제 1 다축 진공 모터 조립체(100)는 진공 챔버(108)의 진공 배리어(106)에 걸쳐서 제 1 회전자(104)(회전자 1)를 구동시키기 위한 제 1 고정자(102)(모터 1(고정자))를 포함한다. 제 1 고정자(102)는 제 1 회전자(104)를 구동시키기 위한 능동형 자기 커플링으로서의 역할을 할 수 있다. 즉, (예를 들어, 고정자의 권선들로 전류의 적절한 인가를 통해) 제 1 고정자(102)의 전환(commutation)은 진공 배리어(106)에 걸친 제 1 회전자(104)의 회전을 제어한다.
제 1 고정자(102)는 대기측에서 진공 배리어(106)에 고정될 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 고정자(102)는 정적이며 진공 배리어(106)에 고정될 수 있어서 제 1 고정자(102)와 진공 배리어(106) 사이에 에어 갭이 존재하지 않으며, 그에 따라 최대의 자기 효율을 허용한다. 다른 구성도 가능하다.
제 1 회전자-고정자 쌍(102,104)은 예를 들어, 종래의 무브러쉬 DC 모터 또는 다른 적합한 모터 구성의 일부를 포함할 수 있다.
제 1 회전자(104)는 제 1 허브(112)를 경유하여 로봇 아암(110)(예를 들어, 개구리 뒷다리형 아암 또는 다른 로봇)의 제 1 축에 연결된다. 또한, 상기 제 1 허브(112)에는 제 1 수동형 회전 자기 커플링(114)(M1)이 연결된다. 제 1 회전 자기 커플링(114)은 진공 배리어(106)에 걸쳐서 제 2 수동형 회전 자기 커플링(116)(Mag 1)에 자기적으로 연결된다. 제 2 회전 자기 커플링(116)은 제 1 피이드백 장치(118)(인코더 1)에 연결된다. 상기 피이드백 장치가 대기중에 진공 챔버(108)의 외측에 있기 때문에, 피이드백 장치(118)로서 사용가능한 장치 기술에 관한 제한이 거의 없다. 예를 들어, 피이드백 장치(118)는 리졸버(resolver), 광 인코더, 자기 인코더, 또는 (예를 들어, 진공 로봇의 위치설정 및/또는 전환에 유용한) 다른 적합한 장치일 수 있다.
제 1 피이드백 장치(118)는 다축 진공 모터 조립체(100)에 의해 구동되는 (분리 도시 않은)로봇의 작동을 제어하도록 적응되는 제어기(119)와 연결되어 제 1 로봇 아암(110)에 관한 위치 정보를 통신할 수 있다. 예를 들어, 제 1 피이드백 장치(118)는 제어기(119)에 하드와이어되거나 제어기와 무선으로 통신할 수 있다.
전술한 바와 같이 모터 부품 및 피이드백 장치는 제 2 피이드백 장치, 모터 고정자 드라이브, 및 자기 커플링 시스템과 네스트화된다(nested). 도 1에 도시한 바와 같이, 예시적인 제 1 다축 진공 모터 조립체(100)는 진공 배리어(106)에 걸쳐서 제 2 회전자(122)(회전자 2)를 구동시키기 위한 모터 고정자일 수 있는 제 2 고정자(120)(모터 2(고정자))를 포함한다. 제 2 고정자(120)는 제 2 회전자(122)를 구동시키기 위한 능동형 자기 커플링으로서의 역할을 할 수 있다. 즉, (예를 들어, 고정자의 권선들로 전류의 적절한 인가를 통한) 제 2 고정자(120)의 전환은 진공 배리어(106)에 걸친 제 2 회전자(122)의 회전을 제어한다.
제 2 고정자(120)는 대기측에서 진공 배리어(106)에 고정될 수 있다. 일 실시예에서, 제 2 고정자(120)는 정적이며 진공 배리어(106)에 고정될 수 있어서 제 2 고정자(120)와 진공 배리어(106) 사이에 에어 갭이 존재하지 않으며, 그에 따라 최대의 자기 효율을 허용한다. 다른 구성도 가능하다.
제 2 회전자-고정자 쌍(120,122)은 예를 들어, 종래의 무브러쉬 DC 모터 또는 다른 적합한 모터 구성을 포함한다.
제 2 회전자(122)는 제 2 허브(126)를 경유하여 로봇 아암(124)(예를 들어, 개구리 뒷다리형 아암 또는 다른 로봇)의 제 2 축에 연결된다. 또한, 상기 제 2 허브(126)에는 제 3 수동형 회전 자기 커플링(128)(M2)이 연결된다. 제 3 회전 자기 커플링(128)은 진공 배리어(106)에 걸쳐서 제 4 수동형 회전 자기 커플링(130)에 자기적으로 연결된다. 제 3 회전 자기 커플링(128)은 제 2 피이드백 장치(132; 인코더 2)에 연결된다. 제 1 피이드백 장치(118)에서와 같이, 제 2 피이드백 장치(132)는 리졸버(resolver), 광 인코더, 자기 인코더, 또는 다른 적합한 피이드백 장치일 수 있다.
제 2 피이드백 장치(132)는 다축 진공 모터 조립체(100)에 의해 구동되는 (별도로 도시되지 않은) 로봇의 작동을 제어하도록 적응되는 제어기(119)에 연결되어 제 2 로봇 아암(124)에 대한 위치 정보를 제어기(119)와 통신할 수 있다. 예를 들어, 제 2 피이드백 장치(132)는 제어기(119)에 하드와이어되거나 또는 제어기와 무선으로 통신할 수 있다. 전술한 하드와이어 실시예에서, 제 1 및/또는 제 2 피이드백 장치들(138,132)은 와이어가 제어기(119)나 다른 적합한 장소를 통과할 수 있게 하는 중공 구멍(hollow bore)을 포함할 수 있다.
서로에 대해 이동 및/또는 회전하는 부품들 사이에는 베어링이 제공될 수 있다는 것이 주목된다. 예를 들어, 도 1에 도시한 바와 같이, 제 1 고정자(102)와 제 2 회전 자기 커플링(116) 사이, 제 2 고정자(120)와 제 4 회전 자기 커플링(130) 사이, 제 1 허브(112)와 제 2 허브(126) 사이, 제 2 허브(126)와 다축 진공 모터 조립체(100)의 하우징 사이 등에 베어링이 제공될 수 있다.
도 1에도 도시한 바와 같이, 다축 진공 모터 조립체(100)는 다축 진공 모터 조립체(100) 내의 다수의 부품들 사이로 접근할 수 있도록 이동될 수 있는 커버 또는 리드(134)를 포함할 수 있다. 커버(134)는 O형 링과 같은 적합한 시일링 부재(136)를 사용하여 진공 시일될 수 있다. 시일링 부재(138)는 진공 챔버(108)에 대한 다축 진공 모터 조립체(100)의 외측 하우징(132)을 시일하도록 유사하게 사용될 수 있다.
도 2는 본 발명에 따라 제공되는 예시적인 제 2 다축 진공 모터 조립체(200)의 횡단면도이다. 제 2 다축 진공 모터 조립체(200)는 제 1 다축 진공 모터 조립체와 유사하다. 그러나, 제 2 다축 진공 모터 조립체(200)에서 제 2 수동형 회전 자기 커플링(116)(Mag 1)이 제 1 회전 샤프트(202)를 경유하여 제 1 피이드백 장치(118)에 연결되며, 제 4 수동형 회전 자기 커플링(130)(Mag 2)이 제 2 회전 샤프트(204)를 경유하여 제 2 피이드백 장치(132)에 연결된다.
도시된 실시예에서, 제 1 회전 샤프트(202) 및 제 2 회전 샤프트(204)는 (다른 구성도 사용될 수 있지만) 동축이다. 즉, 본 예시적인 실시예에서, 제 1 회전 샤프트(202)는 제 2 회전 샤프트(204) 내에 포함된다. 이러한 설계는 도 1의 제 1 다축 모터 조립체(100)와 유사한 밀집도를 가능하게 한다. 그러나, 제 1 및 제 2 피이드백 장치(118,132)가 모터 부품 아래에 위치될 수 있다. 그러한 실시예에서, 제 1 및/또는 제 2 피이드백 장치(118,132)는 샤프트(202 및/또는 204)가 연장될 수 있는 중공 구멍(도시 않음)을 포함할 수 있다.
본 발명의 다축 진공 모터 조립체는 이송 챔버(진공 챔버(108)) 하에서 또는 내에서 요구되는 공간을 감소시킬 수 있는 더욱 밀집된(compact) 설계를 제공한다. 또한, 감지 기능들은 진공 배리어(106)를 가로질러 전달되지 않아도 된다. 오히려, 본 발명은 제 1 회전자(104) 및/또는 제 2 회전자(122)의 각도 위치를 진공 배리어(106)의 대기측 및 진공 챔버(108)의 외측에 위치된 피이드백 장치(118,132)로 유도하기 위해 자기 커플링 원리를 사용할 수 있다.
(예를 들어, 스풀 부품 등에 의해 분리된 4개의 축과 같은) 임의의 숫자의 동축상에 있는 축이 사용될 수 있음에 주목해야 한다. 예를 들어, 다축 진공 모터 조립체(100 및/또는 200)는 모든 내용이 본원 발명에 참조된 미국 특허 제 6,379,095호 및 6,582,175호에 설명된 다수 웨이퍼 핸들링 로봇(예를 들어, 동시에 두 개, 네 개 또는 그 이상의 기판을 이송할 수 있는 다수의 웨이퍼 처리 로봇)에 사용될 수 있다.
또한, 도 1 및/또는 도 2에 도시된 회전자-고정자 위치들은 (예를 들어, 회전자(104,122)가 진공 챔버의 외측에 위치되고 로봇 아암이 회전자에 의해 구동되도록) 역전될 수 있다.
다축 진공 모터 조립체(100 및/또는 200)의 사용을 통해서, 개구리 뒷다리형 로봇, SCARA 로봇 등과 같은 로봇이 제어될 수 있다. 예를 들어, 로봇 아암의 제 1 축과 제 2 축을 회전시키도록 제 1 고정자 및 제 2 고정자를 사용함으로써, 로봇 아암은 전진, 후퇴 및/또는 회전될 수 있다. 특히, 제 1 고정자와 제 2 고정자의 연통으로 로봇 아암의 제 1 및 제 2 축이 전진, 후퇴 및/또는 회전될 수 있다.
이와 같이, 본 발명이 예시적인 실시예와 관련하여 설명되었지만, 이후의 청구의 범위에 정의된 바와 같은, 본 발명의 사상과 범주 내에 다른 실시예들이 있을 수 있다고 이해해야 한다.

Claims (23)

  1. 다축 진공 모터 조립체로서,
    제 1 회전자;
    진공 챔버 내부에서 로봇 아암의 제 1 축의 회전을 제어하도록 진공 배리어를 가로질러(across) 상기 제 1 회전자와 자기적으로 연결되도록 적응되는 제 1 고정자;
    상기 제 1 회전자 아래에 있는 제 2 회전자;
    상기 제 1 고정자 아래에 있으며 상기 진공 챔버 내부에서 상기 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 제어하도록 상기 진공 배리어를 가로질러 상기 제 2 회전자와 자기적으로 연결되도록 적응되는 제 2 고정자;
    상기 진공 배리어의 대기 측(atmospheric side)에 위치되며, 상기 제 1 고정자와 네스트화되며(nested), 상기 진공 배리어를 가로질러 제 1 수동형 자기 커플링을 통해 상기 로봇 아암의 상기 제 1 축의 회전을 모니터하도록 적응되는 제 1 피이드백 장치 ―상기 제 1 수동형 자기 커플링은 상기 진공 챔버 내에서의 제 1 수동형 회전 자기 커플링 및 상기 제 1 피이드백 장치와 연결되는 제 2 수동형 회전 자기 커플링을 포함함―; 및
    상기 진공 배리어의 대기 측에 위치되며, 상기 제 2 고정자와 네스트화되며, 상기 진공 배리어를 가로질러 제 2 수동형 자기 커플링을 통해 상기 로봇 아암의 상기 제 2 축의 회전을 모니터하도록 적응되는 제 2 피이드백 장치 ―상기 제 2 수동형 자기 커플링은 상기 진공 챔버 내에서의 제 3 수동형 회전 자기 커플링 및 상기 제 2 피이드백 장치와 연결되는 제 4 수동형 회전 자기 커플링을 포함함―
    를 포함하는, 다축 진공 모터 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자 및 제 2 고정자는 상기 진공 배리어의 상기 대기 측에 위치되는, 다축 진공 모터 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자 및 제 2 고정자는 수직으로 정렬되는, 다축 진공 모터 조립체.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자 및 제 2 고정자는 상기 제 1 및 제 2 고정자들 그리고 상기 진공 배리어 사이에 실질적으로 에어 갭이 없이 상기 진공 배리어에 직접 부착되는, 다축 진공 모터 조립체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자의 전환(commutation)은 상기 진공 배리어에 걸친 상기 제 1 회전자의 회전을 제어하는, 다축 진공 모터 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 고정자의 전환은 상기 진공 배리어에 걸친 상기 제 2 회전자의 회전을 제어하는, 다축 진공 모터 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자 및 제 1 회전자는 동일한 수평면 상에 있는, 다축 진공 모터 조립체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자, 제 2 고정자, 제 1 피이드백 장치 및 제 2 피이드백 장치는 상기 진공 챔버의 바닥부 아래로 연장되지 않도록 배열되는, 다축 진공 모터 조립체.
  9. 다축 진공 모터 조립체로서,
    제 1 회전자;
    진공 챔버 내부에서 로봇 아암의 제 1 축의 회전을 제어하고 진공 배리어를 가로질러 상기 제 1 회전자를 회전시키도록 전환(commutate)되게 적응되는 제 1 고정자;
    상기 제 1 회전자 아래에 있는 제 2 회전자;
    상기 제 1 고정자 아래에 있으며 상기 진공 챔버의 내부에서 상기 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 제어하고 상기 진공 배리어를 가로질러 상기 제 2 회전자를 회전시키도록 전환되게 적응되는 제 2 고정자;
    제 1 수동형 회전 자기 커플링;
    상기 진공 배리어를 가로질러 상기 제 1 수동형 회전 자기 커플링에 자기적으로 연결되는 제 2 수동형 회전 자기 커플링;
    상기 제 1 고정자와 네스트화(nested)되며 상기 로봇 아암의 상기 제 1 축의 회전을 모니터링하도록 적응되는 제 1 피이드백 장치 ―상기 제 1 피이드백 장치는 상기 제 2 수동형 회전 자기 커플링과 연결됨―;
    제 3 수동형 회전 자기 커플링;
    상기 진공 배리어를 가로질러 상기 제 3 수동형 회전 자기 커플링에 자기적으로 연결되는 제 4 수동형 회전 자기 커플링;
    상기 제 2 고정자와 네스트화(nested)되며 상기 로봇 아암의 상기 제 2 축의 회전을 모니터링하도록 적응되는 제 2 피이드백 장치 ―상기 제 2 피이드백 장치는 상기 제 4 수동형 회전 자기 커플링과 연결됨―
    포함하는, 다축 진공 모터 조립체.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자 및 제 2 고정자는 상기 진공 배리어의 대기 측에 위치되는, 다축 진공 모터 조립체.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자 및 제 2 고정자는 수직으로 정렬되는, 다축 진공 모터 조립체.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자 및 제 2 고정자는 상기 제 1 및 제 2 고정자들 그리고 상기 진공 배리어 사이에 실질적으로 에어 갭이 없이 상기 진공 배리어에 직접 부착되는, 다축 진공 모터 조립체.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자 및 제 1 회전자는 동일한 수평면 상에 있는, 다축 진공 모터 조립체.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 고정자, 제 2 고정자, 제 1 피이드백 장치 및 제 2 피이드백 장치는 상기 진공 챔버의 바닥부 아래로 연장되지 않도록 배열되는, 다축 진공 모터 조립체.
  15. 다축 진공 모터 조립체로서,
    제 1 회전자;
    진공 챔버 내부에서 로봇 아암의 제 1 축의 회전을 제어하도록 진공 배리어를 가로질러 상기 제 1 회전자와 자기적으로 연결되게 적응되는 제 1 고정자;
    상기 제 1 회전자 아래에 있는 제 2 회전자;
    상기 진공 챔버 내부에서 상기 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 제어하도록 진공 배리어를 가로질러 상기 제 2 회전자와 자기적으로 연결되게 적응되는 제 2 고정자;
    상기 진공 배리어를 가로질러 제 1 수동형 자기 커플링을 통해 상기 로봇 아암의 상기 제 1 축의 회전을 모니터링하도록 적응되며 상기 진공 배리어의 대기 측에 위치되는 제 1 피이드백 장치 ―상기 제 1 수동형 자기 커플링은 상기 진공 챔버내의 제 1 수동형 회전 자기 커플링 및 상기 제 1 피이드백 장치에 연결된 상기 대기 측상의 제 2 수동형 회전 자기 커플링을 포함함―; 및
    상기 진공 배리어를 가로질러 제 2 수동형 자기 커플링을 통해 상기 로봇 아암의 상기 제 2 축의 회전을 모니터링하도록 적응되며 상기 진공 배리어의 대기 측에 위치되는 제 2 피이드백 장치 ―상기 제 2 수동형 자기 커플링은 상기 진공 챔버내의 제 3 수동형 회전 자기 커플링 및 상기 제 1 피이드백 장치에 연결된 상기 대기 측상의 제 4 수동형 회전 자기 커플링을 포함함―
    을 포함하며, 상기 제 1 고정자는 상기 제 1 회전자와 관련하여 방사상 안쪽방향에 배치되며, 상기 제 1 피이드백 장치는 상기 제 1 고정자와 관련하여 방사상 안쪽방향에 배치되며, 상기 제 2 고정자는 상기 제 2 회전자와 관련하여 방사상 안쪽방향에 배치되며, 상기 제 2 피이드백 장치는 상기 제 2 고정자와 관련하여 방사상 안쪽방향에 배치되는, 다축 진공 모터 조립체.
  16. 다축 진공 모터 조립체로서,
    제 1 회전자;
    진공 챔버내에서 로봇 아암의 제 1 축의 회전을 제어하기 위해 진공 배리어에 걸쳐 상기 제 1 회전자와 자기적으로 결합되도록 적응되는 제 1 고정자;
    상기 제 1 회전자 아래의 제 2 회전자;
    상기 제 1 고정자 아래에 있으며 상기 진공 챔버내에서 상기 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 제어하기 위해 상기 진공 배리어에 걸쳐 상기 제 2 회전자와 자기적으로 결합되게 적응되는 제 2 고정자;
    상기 진공 배리어에 걸쳐 수동형 자기 커플링을 통해 상기 로봇 아암의 상기 제 1 축의 회전을 모니터링하도록 적응된 제 1 피이드백 장치; 및
    상기 진공 배리어에 걸쳐 수동형 자기 커플링을 통해 상기 로봇 아암의 상기 제 2 축의 회전을 모니터링하도록 적응된 제 2 피이드백 장치;
    를 포함하며, 상기 제 1 고정자는 상기 제 1 회전자와 관련하여 방사상 안쪽방향으로 배치되며, 상기 제 1 회전자는 제 1 허브에 부착되며, 상기 제 1 허브는 상기 로봇 아암에 부착되며, 제 1 허브 최소폭은 제 1 허브 최대 높이의 2배 이상이며,
    상기 제 2 고정자는 상기 제 2 회전자의 방사상 안쪽방향에 배치되며, 상기 제 2 회전자는 제 2 허브에 부착되며, 상기 제 2 허브는 상기 로봇 아암에 부착되며, 상기 제 2 허브 최소폭은 제 2 허브 최대 높이의 2배 이상인, 다축 진공 모터 조립체.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 허브 최소폭은 상기 제 2 허브 최소폭과 실질적으로 같은, 다축 진공 모터 조립체.
  18. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 허브 최대 높이는 상기 제 2 허브 최대 높이와 실질적으로 같은, 다축 진공 모터 조립체.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 제 1 허브 최소폭은 상기 제 1 허브 최대 높이 플러스 상기 제 2 허브 최대 높이 보다 큰, 다축 진공 모터 조립체.
  20. 다축 진공 모터 조립체로서,
    진공 배리어 및 커버를 포함하는 외부 하우징 ―상기 커버는 기밀 시일(airtight seal)을 형성하기 위해 상기 진공 배리어에 제거가능하게 부착될 수 있음―;
    제 1 회전자;
    진공 챔버 내에서 로봇 아암의 제 1 축의 회전을 제어하기 위해 진공 배리어에 걸쳐 상기 제 1 회전자와 자기적으로 결합되도록 적응되는 제 1 고정자;
    상기 제 1 회전자 아래의 제 2 회전자;
    상기 제 1 고정자 아래에 있으며 상기 진공 챔버 내에서 상기 로봇 아암의 제 2 축의 회전을 제어하기 위해 상기 진공 배리어에 걸쳐 상기 제 2 회전자와 자기적으로 결합되도록 적응되는 제 2 고정자;
    상기 진공 배리어에 걸쳐 수동형 자기 커플링을 통해 상기 로봇 아암의 상기 제 1 축의 회전을 모니터하도록 적응되는 제 1 피이드백 장치; 및
    상기 진공 배리어에 걸쳐 수동형 자기 커플링을 통해 상기 로봇 아암의 상기 제 2 축의 회전을 모니터하도록 적응되는 제 2 피이드백 장치
    를 포함하며,
    상기 제 1 고정자, 상기 제 1 피이드백 장치, 상기 제 2 고정자, 및 사익 제 2 피이드백 장치는 상기 진공 배리어 내에 배치되며,
    상기 제 1 회전자 및 상기 제 2 회전자는 상기 진공 배리어 외측에 배치되며,
    상기 커버는 상기 제 1 고정자, 상기 제 1 피이드백 장치, 상기 제 2 고정자 및 상기 제 2 피이드백 장치에 대한 액세스를 얻기 위해(to gain) 제거될 수 있는, 다축 진공 모터 조립체.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 커버는 제 1 시일링 부재를 포함하며, 상기 외부 하우징은 진공 챔버에 부착될 때 기밀 시일(airtight seal)을 형성할 수 있는 제 2 시일링 부재를 포함하는, 다축 진공 모터 조립체.
  22. 삭제
  23. 삭제
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