KR101781808B1

KR101781808B1 - 전자 디바이스 제조시에 기판을 이송하기 위한 로봇 시스템, 장치 및 방법

Info

Publication number: KR101781808B1
Application number: KR1020117018755A
Authority: KR
Inventors: 이즈야 크레머맨; 제프리 씨. 허드겐스
Original assignee: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Priority date: 2009-01-11
Filing date: 2010-01-08
Publication date: 2017-10-23
Also published as: WO2010080983A2; TW201032970A; CN102326244B; US8784033B2; WO2010080983A3; KR20110104995A; US20140286741A1; US9457464B2; TWI515095B; KR20160105949A; JP2012514569A; KR101778519B1; JP5581338B2; CN102326244A; US20100178147A1

Abstract

기판 이송 시스템, 장치 및 방법이 개시된다. 시스템은 목적지에 인접한 위치로 붐 링키지를 회전시킴으로써 이어서 목적지에서 기판을 놓거나 픽업하기 위해서 로봇 조립체를 작동시킴으로써, 목적지에서 효과적으로 기판을 놓거나 픽업하도록 구성된다. 많은 다른 양상들이 제공된다.

Description

전자 디바이스 제조시에 기판을 이송하기 위한 로봇 시스템, 장치 및 방법{ROBOT SYSTEMS, APPARATUS AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING}

본원 발명은 모든 목적을 위해서 그 전체가 참조에 의해 본원에 통합되는 2009년 1월 11일자로 출원된 명칭이 "ROBOTS SYSTEMS, APPARATUS AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING" (Attorney Docket No. 13632/L)인 미국 가특허출원 제 61/143,804 호에 대한 우선권을 주장한다.

본원 발명은 전자 디바이스 제조에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 기판 이송을 위한 시스템, 장치 및 방법에 관한 것이다.

종래의 전자 디바이스 제조 시스템은 복수의 프로세스 챔버 및 로드록(load lock) 챔버를 포함할 수 있다. 이러한 챔버는, 복수의 챔버들이, 예를 들어, 이송 챔버 주위로 제공될 수 있는 클러스터 툴(cluster tool)에 포함될 수 있다. 이들 시스템 및 툴은 로봇을 이용할 수 있으며, 이러한 로봇은, 예를 들어, 다양한 챔버들과 로드록들 사이에서 기판을 이송하기 위하여 이송 챔버 내에 수용될 수 있다. 예를 들어, 로봇이 챔버로부터 챔버로, 로드록으로부터 챔버로, 챔버로부터 로드록으로 기판을 이송할 수 있다. 다양한 시스템 챔버들 사이에서의 효율적이고 정확한 기판의 이송은 시스템 처리량에 있어서, 그에 따라 전체 작업 비용을 줄이는데 있어서 중요할 수 있다.

따라서, 기판의 효율이고 정확한 이송을 위한 시스템, 장치 및 방법이 요구된다.

일 측면에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템이 제공된다. 시스템은 챔버; 상기 챔버 내에 수용되고 그리고 기판을 이송하도록 구성되는 로봇 장치를 포함하고, 상기 로봇 장치는 제 1 로봇 조립체 및 회전 축 주위로 회전하도록 구성되는 붐 링키지(boom linkage)를 구비하고, 상기 로봇 조립체는 상기 붐 링키지의 회전 축으로부터 오프셋된 제 1 방사상 위치에서 붐 링키지에 연결된 상부 아암, 상기 상부 아암에 연결되고 그리고 상기 상부 아암에 대해 회전하도록 구성되는 포어아암(forearm), 상기 포어아암에 연결되고 상기 포어아암에 대해 회전하도록 구성되는 리스트(wrist) 부재, 그리고 상기 리스트 부재에 포함된 엔드 이펙터(end effector)를 포함하고, 상기 엔드 이펙터는 기판을 이송하도록 구성된다.

하나의 측면에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판을 이동시키도록 구성되는 로봇 장치가 제공된다. 로봇 장치는 회전 축 주위로 회전하도록 구성되는 붐 링키지; 상기 회전 축으로부터 방사상으로 오프셋된 위치에서 붐 링키지 상에서의 회전을 위해 장착된 상부 아암; 상기 상부 아암의 아웃보드(outboard) 단부에 연결된 포어아암; 상기 포어아암의 아웃보드 단부에 연결된 리스트 부재; 그리고 상기 리스트 부재 상에 포함된 엔드 이펙터를 포함한다.

다른 측면에서, 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판을 이송하는 방법이 제공된다. 상기 방법은 상부 아암, 상기 상부 아암에 연결된 포어아암, 및 상기 포어아암에 연결된 리스트 부재를 포함하고 붐 링키지 상에 장착된 로봇 조립체를 제공하는 단계; 전달 위치에 인접한 위치까지 붐 링키지를 회전시키는 단계; 및 전달 위치로 기판을 놓는 것과 전달 위치로부터 기판을 픽업하는 것 중 적어도 하나를 수행하도록 로봇 조립체를 작동시키는 단계를 포함한다.

본원 발명의 이러한 측면들 및 다른 측면들에 따르는 여러 가지 다른 측면들이 제공된다. 본원 발명의 다른 측면들 및 특징들이 이하의 상세한 설명, 첨부된 청구항 및 첨부 도면들로부터 보다 명백하게 이해될 것이다.

도 1은 본원 발명에 따른 기판을 이송하도록 구성되는 로봇 장치를 포함하는 기판 프로세싱 시스템의 개략 평면도이다.
도 2a는 본원 발명에 따른 로봇 장치의 실시예의 개략 평면도이다.
도 2b는 본원 발명에 따른 도 2a의 로봇 장치의 실시예의 개략 측면도이다.
도 2c는 본원 발명에 따른 도 2a의 로봇 장치의 실시예의 개략 사시도이다.
도 3a는 본원 발명에 따른 듀얼 로봇 장치의 다른 실시예의 개략 평면도이다.
도 3b는 본원 발명에 따른 도 3a의 듀얼 로봇 장치의 실시예의 개략 측면도이다.
도 3c는 본원 발명에 따른 도 3a의 듀얼 로봇 장치의 실시예의 개략 사시도이다.
도 4a는 본원 발명에 따른 로봇 장치의 실시예의 개략 평면도이다.
도 4b는 본원 발명에 따른 도 4a의 로봇 장치의 실시예의 개략 측면도이다.
도 5a는 본원 발명에 따른 로봇 장치의 실시예의 개략 평면도이다.
도 5b는 본원 발명에 따른 도 5a의 로봇 장치의 실시예의 개략 사시도이다.
도 6a는 본원 발명에 따른 로봇 장치의 실시예의 개략 평면도이다.
도 6b는 본원 발명에 따른 도 6a의 로봇 장치의 실시예의 개략 측면도이다.
도 7a는 본원 발명에 따른 듀얼 로봇 장치의 실시예의 개략 평면도이다.
도 7b는 본원 발명에 따른 도 7a의 로봇 장치의 실시예의 개략 사시도이다.
도 8은 본원 발명에 따른 도 2a의 로봇 장치를 포함하는 기판 프로세싱 시스템의 다른 실시예의 개략 평면도이다.
도 9는 본원 발명에 따른 도 4a의 로봇 장치를 포함하는 기판 프로세싱 시스템의 다른 실시예의 개략 평면도이다.
도 10은 본원 발명의 실시예에 따른 로봇 장치를 작동하는 방법을 도시한 흐름도이다.
도 11은 본원 발명의 추가적인 실시예에 따른 로봇 장치를 작동시키는 방법을 도시한 흐름도이다.
도 12는 본원 발명에 따른 하나의 가능한 구동 시스템을 도시하는 로봇 장치의 부분적인 측단면도이다.
도 13은 본원 발명에 따른 듀얼 엔드 이펙터를 도시하는 다른 로봇 장치의 사시도이다.
도 14는 본원 발명의 실시예에 따른 듀얼 아암 로봇을 구동하도록 구성되는 다른 가능한 구동 시스템을 도시하는 로봇 장치의 부분적인 측단면도이다.

전자 디바이스 제조는 다양한 위치들 사이에서의 기판의 매우 정밀하고도 신속한 이송을 요구할 수 있다. 특히, 엔드 이펙터 장치가 로봇 장치의 아암의 단부에 부착될 수 있고, 기판 프로세싱 시스템의 챔버들로 그리고 챔버들로부터 엔드 이펙터 상에 놓인 기판을 이송하도록 구성될 수 있다. 아암이 길 때, 로봇 장치의 신속한 시작 및 정지가 엔드 이펙터의 진동을 유발할 수 있다는 점에서 로봇 메커니즘의 강성도(rigidity)가 문제가 될 수 있다. 따라서, 기판의 배치는 진동이 안정될 때까지 기다리는 것을 요구할 수 있다. 다시 말해서, 로봇 아암의 안정 시간이 관심사가 될 수 있다.

본원 발명의 일 측면에 따른 전자 디바이스 제조시에 챔버들 사이에서 기판을 이송하는데 이용될 수 있는 하나의 로봇 장치는 붐 링키지를 포함하고, 붐 링키지는 기판이 놓여지거나 픽업되는 목적지(destination)에 인접한 위치까지 회전하도록 구성된다. 상부 아암, 포어아암 및 엔드 이펙터를 가지는 리스트 부재를 포함하는 다중(multi)-아암 로봇이 붐 링키지의 회전 축으로부터 이격된 위치에서 붐 링키지에 고정될 수 있다. 이어서, 다중-아암 로봇은 목적지로 또는 목적지로부터의 기판의 놓음 또는 픽업을 달성하도록 작동된다. 그 후에, 붐은 다중-아암 로봇에 의해서 다른 놓음 또는 픽업이 실시될 수 있는 제 2 목적지까지 회전될 수 있다. 따라서, 붐 링키지는 로봇 조립체가 초기에 목적지에 보다 근접하여 배치될 수 있도록 허용할 수 있기 때문에, 다중-아암 로봇 조립체의 아암의 전체 크기를 보다 작게 만들 수 있고 그에 따라 안정 시간을 가능한한 감소시킬 수 있다.

도 1 내지 도 14를 참조하여 본원 발명의 예시적인 실시예의 보다 상세한 사항들이 기술된다.

도 1은 본원 발명에 따른 기판 프로세싱 시스템(100)의 예시적인 실시예의 개략도이다. 기판 프로세싱 시스템(100)은 본원 발명의 다른 측면에 따른 로봇 장치(104)가 수용될 수 있는 이송 챔버(102)를 포함할 수 있다. 로봇 장치(104)는 목적지로 또는 목적지로부터 기판(105)을 놓거나 또는 픽업하도록 구성될 수 있다. 목적지는 이송 챔버(102)로 연결된 챔버일 수 있다. 예를 들어, 목적지는 이송 챔버(102)에 연결될 수 있는 하나 이상의 로드록 챔버(108) 및/또는 하나 이상의 프로세스 챔버(106)일 수 있다. 프로세스 챔버(106)는 증착, 산화, 질화, 에칭, 폴리싱, 세정, 리소그래피, 또는 이와 유사한 것과 같은 임의 수의 프로세스 단계들을 실행하도록 구성될 수 있다. 로드록 챔버(108)는 팩토리 인터페이스(factory interface; 138)와 인터페이스하도록 구성될 수 있으며, 로드 포트(142) 내에 독킹된 기판 캐리어(140)로부터 기판을 수용할 수 있다. 일부 실시예에서, 이송 챔버(102)는, 예를 들어, 진공하에서 작동될 수 있다.

이제 도 1 및 도 2a-2c를 참조하면, 로봇 장치(104)가 챔버(102)의 벽(102A)에 부착되도록 구성되는 베이스(107)를 포함할 수 있고, 여기에서 벽(102A)은 도 2b에서 점선으로 도시되어 있으며, 도시된 실시예의 붐 링키지(110)은 실질적으로 강성인 캔틸레버 비임(cantilever beam)이다. 붐 링키지(110)는 시계 방향 또는 반시계 회전 방향으로 회전 축(112) 주위로 회전하도록 구성될 수 있다. 회전은 종래의 가변 자기저항(reluctance) 또는 영구자석 전기 모터와 같은, 임의의 적합한 원동 파워 부재(111)에 의해서 제공될 수 있다. 붐 링키지(110)의 회전은 로봇 장치 제어부(119)로부터 원동 파워 부재(111)로의 적절한 명령에 의해서 제어될 수 있다.

로봇 조립체(116)는 회전 축(112)으로부터 이격된 위치에서 붐 링키지(110)의 아웃보드 단부(114)에 장착된다. 로봇 조립체(116)는, 예를 들어, 3-링크 SCARA (선택적인 유연 조립체 로봇 아암; selective compliance assembly robot arm) 로봇일 수 있다. 작동 중에, 붐 링키지(110)가 기판의 놓음 또는 픽업을 위해서 희망하는 목적지에 인접하게 위치되면, 로봇 조립체(116)가 목적지로 또는 목적지로부터 기판(105)을 놓거나 픽업하도록 작동될 수 있다.

이제 도 2a-2c를 참조하여, 도 1의 기판 프로세싱 시스템(100) 내에서 사용되도록 구성될 수 있는 로봇 장치(104)의 제 1 실시예가 설명된다. 전술한 바와 같이, 로봇 장치(104)는 베이스(107), 베이스(107)에 대해서 회전할 수 있는 붐 링키지(110), 그리고 붐 링키지(110)의 아웃보드 단부(114)에 부착될 수 있는 로봇 조립체(116)를 포함할 수 있다.

로봇 조립체(116)는 쇼울더 축(122) 주위로 붐 링키지(110) 및 베이스(118)에 대해서 X-Y 평면에서 회전하도록 구성될 수 있는, 상부 아암(120) 및 붐 링키지(110)에 부착되도록 구성되는 베이스(118)를 포함할 수 있다. 포어아암(126)이 상부 아암(120)의 아웃보드 단부에 위치된 엘보우(elbow) 축(124)에서 상부 아암(120)에 연결될 수 있다. 엘보우 축(124)은 쇼울더 축(122)으로부터 이격된다. 또한, 리스트 부재(130)는 리스트 축(128)에서 포어아암(126)의 아웃보드 단부에 연결될 수 있다. 리스트 축(128)은 엘보우 축(124)으로부터 이격될 수 있다. 리스트 부재(130)가 기판 프로세싱 시스템(100) 내에서 프로세싱되는 기판(105)을 이송하도록 구성되는 엔드 이펙터(132)(부분적으로 점선으로 도시됨)를 포함할 수 있다.

도 1의 도시된 실시예에서, 로봇 장치(104)는 이송 챔버(102)내에 위치되고 수용되는 것으로 도시된다. 그러나, 여기서 기술된 다른 로봇 장치 뿐만 아니라 로봇 장치(104)의 이러한 실시예는, 팩토리 인터페이스(138)와 같은 전자 디바이스 제조의 다른 영역에서 이용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이며, 여기서, 예를 들어, 로봇 장치는 프로세싱 시스템의 로드록 챔버(108) 및 로드 포트(142) 사이에서 기판 또는 기판 캐리어(140)를 이송할 수 있다.

도 3a-3c는 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 사용하도록 구성될 수 있는 로봇 장치(304)의 다른 실시예를 도시한다. 이러한 실시예의 로봇 장치(304)는 챔버의 벽(302A)(도 3b)에 부착되도록 구성되는 베이스(307), 회전 축(312) 주위로 회전하도록 구성될 수 있고 방사상 방향으로 회전 축(312)으로부터 외측으로 연장할 수 있는 강성 캔틸레버 비임일 수 있는 붐 링키지(310)를 포함할 수 있다. 로봇 장치(304)는 회전 축(312)으로부터 거리를 두고 이격된 아웃보드 단부(314)에서 붐 링키지(310)에 장착된 아암의 듀얼 세트를 포함하는 듀얼 로봇 조립체(316)를 더 포함할 수 있다. 이러한 실시예에서, 로봇 조립체(316)는 쇼울더 축(322) 주위로 각각 회전하도록 구성되는 2개의 상부 아암(320A, 320B)을 포함할 수 있다. 각각의 상부 아암(320A, 320B)은 각각의 아웃보드 단부에 위치된 엘보우 축(324A, 324B)을 포함할 수 있고 2개의 포어아암(326A, 326B)이 그것들의 각각의 엘보우 축(324A, 324B)에서 상부 아암(320A, 320B)에 연결될 수 있다. 포어아암(326A, 326B)은 X-Y 평면에서 그것들의 각각의 엘보우 축(324A, 324B) 주위로 회전하도록 구성될 수 있다. 포어아암(326A, 326B)은 2개의 리스트 부재(330A, 330B)가 연결될 수 있는 그것들의 각각의 아웃보드 단부에서 리스트 축(328A, 328B)을 각각 포함할 수 있다. 도 3a에서, 리스트 부재(330A, 330B)는 포개져 있는 것으로 도시되어 있다. 리스트 부재(330A, 330B)는 X-Y 평면에서 그것들의 각각의 리스트 축(328A, 328B) 주위로 회전하도록 구성될 수 있다. 엔드 이펙터(332A, 332B)가 리스트 부재(330A, 330B) 상에 포함될 수 있다. 엔드 이펙터(332A, 332B)는 독립적인 부재로서 리스트 부재(330A, 330B)에 부착될 수 있고 또는 리스트 부재(330A, 330B)와 일체형 유닛으로서 형성될 수 있다. 엔드 이펙터(332A, 332B) 및 엔드 이펙터(332A, 332B)에 의해서 이송되는 기판(105)이 도 3a에서 다른 것의 위에 배치된 상태로 도시되어 있다. 명료함을 위해서, 도 3c에서는 기판(105)을 도시하지 않았다. 붐 링키지(310), 상부 아암(320A, 320B), 포어아암(326A, 326B), 및 리스트 부재(330A, 330B)의 각각은, 예를 들어, 모터 하우징 내에 포함될 수 있는 가변 자기저항 또는 영구자석 전기 모터와 같은 원동 파워 부재(311)에 의해서 원격적으로 구동될 수 있다.

도 4a-4b는 전자 디바이스 프로세싱 시스템에서 사용하도록 구성될 수 있는 로봇 장치(404)의 다른 실시예를 도시한다. 이러한 로봇 장치(404)는, 예를 들어, 한번에 2개의 챔버에 대해서 서비스할 수 있다. 이러한 실시예에서의 로봇 장치(404)는, 예를 들어, 이송 챔버의 벽과 같은, 챔버의 벽(402A)(도 4b)에 부착되도록 구성되는 중앙-배치형 베이스(407), 및 회전 축(412)으로부터 반대편 방사상 방향들로 외측으로 연장하는 다중 강성 캔틸레버 비임을 포함할 수 있는 붐 링키지(410)를 포함할 수 있다. 붐 링키지(410)는 베이스(407)에 대해서 회전 축(412) 주위로 회전하도록 구성될 수 있고, 붐 링키지(410)의 제 1 단부(415) 및 제 2 단부(417) 모두에 장착된 로봇 조립체(416A, 416B)를 포함할 수 있으며, 여기서 각각의 로봇 조립체(416A, 416B)는 회전 축(412)으로부터 거리를 두고 이격되고 여기서 제 1 단부(415)는 제 2 단부(417)에 반대편에 있고 그리고 회전 축(412)의 반대편 쪽에서 간격을 둔다.

이러한 실시예에서, 각 로봇 조립체(416A, 416B)가 X-Y 평면에서 그것들의 각각의 쇼울더 축(422A, 422B) 주위로 회전하도록 구성되는 상부 아암(420A, 420B)을 포함할 수 있다. 상부 아암(420A, 420B)은 상부 아암(420A, 420B)의 그것들의 각각의 아웃보드 단부에 위치된 엘보우 축(424A, 424B), 그리고 그것들의 각각의 엘보우 축(424A, 424B)에서 상부 아암(420A, 420B)에 연결된 2개의 포어아암(426A, 426B)을 포함할 수 있다. 포어아암(426A, 426B)은 리스트 부재(430A, 430B)가 부착되는 리스트 축(428A, 428B)을 각각 포함할 수 있다. 리스트 부재(430A, 430B)는 X-Y 평면에서 리스트 축(428A, 428B) 주위로 회전하도록 구성된다. 엔드 이펙터(432A, 432B)는 리스트 부재(430A, 430B) 상에 포함될 수 있을 것이다. 엔드 이펙터(432A, 432B)는 독립적인 부재로서 리스트 부재(430A, 430B)에 부착될 수 있고 또는 리스트 부재(430A, 430B)와 일체형 유닛으로 형성될 수 있다. 엔드 이펙터(432A, 432B)는 각각 기판(105)을 이송하도록 구성될 수 있다. 붐 링키지(410), 상부 아암(420A, 420B), 포어아암(426A, 426B), 및 리스트 부재(430A, 430B)는, 예를 들어, 모터 하우징 내에 포함될 수 있는 가변 자기저항 또는 영구자석 전기 모터와 같은 원동 파워 부재(411)에 의해서 원격적으로 구동될 수 있다.

도 5a 및 도 5b는 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 이용될 수 있는 로봇 장치(504)의 다른 실시예를 도시한다. 도 5a 및 도 5b의 로봇 장치(504)는, 붐 링키지(510)가 회전 축(512)으로부터 X-Y 평면에서 방사상 외측으로 연장할 수 있는 캔틸레버형 부분을 포함한다는 것을 제외하고 도 4a 및 도 4b를 참조하여 설명된 실시예와 동일하지만, 그러나, 그에 따라, 평면도에서 볼 때, 각각의 로봇 조립체(516A, 516B)의 각각의 쇼울더 축(522A, 522B)을 통과하는 라인(523)이 회전 축(512)으로부터 거리(525) 만큼 오프셋될 수 있다. 붐 링키지(510)의 이러한 구성은, 예를 들어, 도 9에 도시된 6개의 프로세스 챔버 시스템과 같은 비국부화(nonfocalized) 기판 프로세싱 시스템에서 사용하기에 유리할 수 있다. 부메랑-형상의 붐 링키지(510)를 이용하는 것은 로봇 조립체(516A, 516B)가 그것들이 서비스하는 챔버로 보다 더 근접하여 이동되는 것을 허용한다. 따라서, 로봇 아암이 보다 더 짧게 제조될 수 있다. 일부 실시예에서, 축들(552A, 512 및 522B)을 연결함으로써 형성되는 끼인 각은 180 도 미만, 약 150 도 미만, 또는 심지어 약 120 도 미만이 된다.

도 6a 및 도 6b는 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 이용될 수 있는 로봇 장치(604)의 또 다른 실시예를 도시한다. 이전의 실시예에서와 같이, 장치(604)는 챔버의 벽(602A)(도 6b)에 부착하도록 구성되는 베이스(607), 붐 링키지(610)를 포함할 수 있으며, 상기 붐 링키지는 붐 링키지(610)의 회전 축(612)으로부터 반대편 방사상 방향들로서 외측으로 연장하는 다중 캔틸레버 비임을 포함할 수 있다. 붐 링키지(610)는 베이스(607)에 대해서 회전 축(612) 주위로 회전하도록 구성될 수 있고, 붐 링키지(610)의 제 1 단부(615) 및 제 2 단부(617) 모두에 장착된 로봇 조립체(616A, 616B)를 포함할 수 있으며; 조립체(616A, 616B)의 각각은 회전 축(612)으로부터 거리를 두고 이격된 위치에 장착된다. 로봇 조립체(616A, 616B)는 도 3a-3c를 참조하여 설명된 것과 동일한 듀얼 로봇 조립체이고, 여기서 다시 반복되지 않을 것이다. 이전 실시예들에서와 같이, 붐 링키지(610) 및 로봇 조립체(616A, 616B)의 각각은, 예를 들어, 모터 하우징 내에 포함될 수 있는 가변 자기저항 또는 영구자석 전기 모터와 같은 원동 파워 부재(611)에 의해서 원격적으로 구동될 수 있다.

도 7a 및 도 7b는 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 이용될 수 있는 로봇 장치(704)의 또 다른 실시예를 도시한다. 전술한 실시예에서와 같이, 장치(704)는 베이스(707) 및 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 일반적으로 반대편 방사상 방향들로 외측으로 연장하는 다중 캔틸레버 비임(710A, 710B)을 포함할 수 있는, 붐 링키지(710)를 포함할 수 있다. 붐 링키지(710)는 일반적으로 부메랑 형상을 가질 수 있고 회전 축(712) 주위로 회전하도록 구성될 수 있다. 로봇 조립체(716A, 716B)는 붐 링키지(710)의 제 1 단부(715) 및 제 2 단부(717)에 장착될 수 있다. 로봇 조립체(716A, 716B)는 도 3a-3c를 참조하여 설명한 것과 동일한 듀얼 로봇 조립체일 수 있고, 여기서 다시 반복되지 않을 것이다.

이전의 실시예에서와 같이, 붐 링키지(710) 및 로봇 조립체(716A, 716B)의 각각은, 예를 들어, 모터 하우징 내에 포함될 수 있는 가변 자기저항 또는 영구자석 전기 모터와 같은 원동 파워 부재(711)에 의해서 원격적으로 구동될 수 있다. 특히, 붐 링키지(710) 및 로봇 조립체(716A, 716B)는 붐 링키지(710) 및 로봇 조립체(716A, 716B)가 수용된 챔버의 외부로부터 구동될 수 있을 것이다. 이러한 도시된 실시예에서, 붐 링키지(710)가, 예를 들어, 도 9에 도시된 6개의 프로세스 챔버 시스템과 같은 비국부화 기판 프로세싱 시스템에서 사용하기에 유리할 수 있다. 부메랑-형상의 붐 링키지(710)를 이용하는 것은, 로봇 조립체(716A, 716B)가 그것들이 서비스하는 챔버에 매우 근접하여 이동되는 것을 허용한다. 듀얼 로봇 장치의 경우에, 가능한한 붐 링키지(710)를 회전시킬 필요가 없이 완전한 기판 교환이 목적지에서 이루어질 수 있다. 그러나, 붐 링키지(710)가 서비스되는 챔버에 매우 근접하여 로봇 조립체(716A, 716B)를 이동시킨다면, 로봇 조립체(716A, 716B)의 전체 크기가 통상적인 시스템 보다 상대적으로 작게 제조될 수 있을 것이다.

그에 따라, 이러한 작동 중에, 제 1 단부(715)에 장착되는 로봇 조립체(716A)를 가지는 붐 링키지(710)가 먼저 회전 축(712) 주위로 회전되어 붐 링키지(710)의 제 1 단부(715)를 제 1 목적지에 근접하게 배치할 것이고, 다시 말해서 로봇 조립체(716A)가 목적지에 용이하게 접근할 수 있는 위치에 배치할 것이다. 이어서, 로봇 조립체(716A)는; 먼저 로봇 조립체(716A)의 하나의 엔드 이펙터(732A)를 이용하여 목적지로부터 기판을 픽업하고, 그리고 로봇 조립체(716A)의 다른 엔드 이펙터(732AA)를 이용하여 기판을 배치하도록 작동될 수 있다. 그 후에, 붐 링키지(710)의 제 2 단부(717)는 로봇 조립체(716B)가 제 1 조립체(716A)에 대해서 설명한 바와 동일한 방식으로 제 2 목적지에서 엔드 이펙터(732B, 732BB)와의 다른 완전한 기판 교환을 실행할 수 있는 제 2 목적지에 근접하여 회전될 수 있다. 물론, 이러한 실시예의 붐 링키지(710) 내의 오프셋 때문에, 완전한 교환은 붐 링키지(710)의 어떠한 추가적인 회전도 요구하지 않을 수 있고 또는 가능한한 적은 양의 추가적인 회전만을 요구할 수 있다. 예를 들어, 붐 링키지(710)는 로봇 조립체(716A, 716B) 모두가 기판 교환을 위해서 2개의 목적지에 용이하게 도달할 수 있는 중간 위치로 회전될 수 있다. 교환은 순차적으로 또는 동시에 이루어질 수 있다.

도 8은 본원 발명에 따른 기판 프로세싱 시스템(800)의 다른 예시적인 실시예의 개략도이다. 기판 프로세싱 시스템(800)은 로봇 장치(804)가 수용될 수 있는 이송 챔버(102)를 포함할 수 있다. 로봇 장치(804)는 시스템(800)의 목적지로 또는 목적지로부터 기판(105)을 놓거나 또는 픽업하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 목적지는 이송 챔버(102)에 연결되는 챔버일 수 있고 또는 챔버 자체의 내부일 수 있다. 예를 들어, 목적지는 이송 챔버(102)에 연결될 수 있는 하나 이상의 로드록 챔버(108) 및/또는 하나 이상의 프로세스 챔버(106)일 수 있다. 일부 실시예에서, 이송 챔버(102)는, 예를 들어, 진공에서 작동될 수 있다. 작동 중에, 장치(804)의 붐 링키지(810)가, 전기 모터와 같은 적절한 원동 파워 부재에 의해서 회전 축(812) 주위로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전될 수 있다. 이는, 로봇 조립체(816)가, 프로세스 챔버(106)와 같은 챔버로 또는 챔버로부터 기판(105)을 용이하게 놓거나 또는 픽업할 수 있도록, 붐 링키지(810)를 목적지에 인접하여 위치시킬 수 있다.

도 9는 본원 발명에 따른 기판 프로세싱 시스템(900)의 다른 예시적인 실시예의 개략도이다. 기판 프로세싱 시스템(900)은 로봇 장치(904)가 수용될 수 있는 이송 챔버(102)를 포함할 수 있다. 로봇 장치(904)는 도 4a-4b에 도시된 로봇 장치(404)와 동일할 수 있고 로봇 장치(904)의 세부사항은 여기서 반복되지 않을 것이다. 로봇 장치(904)는 복수의 목적지로 및/또는 목적지로부터 복수의 기판(105)을 놓거나 또는 픽업하도록 구성될 수 있다. 또한, 복수의 기판(105)의 놓음 또는 픽업은 순차적으로 또는 실질적으로 동시에 이루어질 수 있다. 목적지들은 이송 챔버(102)에 연결된 챔버들일 수 있다. 예를 들어, 목적지는 이송 챔버(102)에 연결될 수 있는 하나 이상의 로드록 챔버(108) 및/또는 하나 이상의 프로세스 챔버(106)일 수 있다. 일부 실시예에서, 이송 챔버(102)는, 예를 들어, 진공에서 작동될 수 있다. 작동 중에, 로봇 장치(904)의 붐 링키지(910)가, 전기 모터와 같은 적합한 원동 파워 부재(도시하지 않음)에 의해서 회전 축(912) 주위로 시계방향 또는 반시계방향으로 회전될 수 있다. 이는, 로봇 조립체(916A, 916B)가 프로세스 챔버(106)와 같은 챔버로 또는 챔버로부터 기판(105)을 용이하게 놓거나 또는 픽업할 수 있도록, 붐 링키지(910)의 각 단부를 목적지에 인접하게 위치시킬 수 있다. 인식할 수 있는 바와 같이, 여기에 설명된 로봇 장치의 임의의 다른 실시예가 도 1, 8 및 9에 도시된 바와 같이 기판 프로세싱 시스템 내에 포함될 수 있다.

본원 발명에 따른 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내의 기판 이송 방법(1000)이 도 10에 도시되어 있다. 방법(1000)은 단계(1002)에서 붐 링키지에 장착된 로봇 조립체를 포함하는 로봇 장치를 제공하는 단계; 단계(1004)에서 전달 목적지에 인접한 위치로 붐 링키지를 회전시키는 단계; 그리고 단계(1006)에서 전달 목적지로 기판을 놓는 것, 그리고 전달 목적지로부터 기판을 픽업하는 것으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 수행하도록 로봇 조립체를 작동시키는 단계를 포함할 것이다. 물론, 도 3a-3c에 도시된 바와 같은 듀얼 로봇 장치가 붐 링키지 상에 장착되는 경우에, 기판의 놓음 또는 픽업은 목적지에서 달성될 수 있다. 놓음 및/또는 픽업이 달성된 후에, 로봇 조립체가 목적지로부터 중립 위치로 후퇴될 수 있고, 이후 붐 링키지는, 예를 들어, 다른 프로세스 챔버 또는 로드록 챔버와 같은 제 2 목적지에 인접한 제 2 위치까지 회전될 수 있으며, 여기서 단계(1006)의 프로세스가 반복될 수 있다. 일부 실시예에서, 붐은 놓음 또는 픽업 작업을 보조하기 위해서 로봇 조립체의 전진 작동 중에 목적지 쪽으로 추가적으로 회전될 수 있다.

붐 링키지가, 도 9에 도시된 바와 같이 장착된 2개의 로봇 조립체를 포함하는 경우에, 도 11을 참조하여 가장 잘 설명된 방법이 이용될 수 있다. 방법(1100)은 단계(1102)에서 붐 링키지의 제 1 및 제 2 단부의 각각에 장착된 로봇 조립체를 포함하는 로봇 장치를 제공하는 단계; 단계(1104)에서 제 1 전달 목적지에 인접한 위치로 붐 링키지의 제 1 단부를 회전시키는 단계; 그리고 단계(1106)에서 제 1 전달 목적지로 기판을 놓는 것, 그리고 제 1 전달 목적지로부터 기판을 픽업하는 것으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 수행하기 위해서 로봇 조립체를 작동시키는 단계를 포함할 수 있다. 놓음 및/또는 픽업이 제 1 목적지에서 달성된 후에, 로봇 조립체가 제 1 목적지로부터 중립 위치로 후퇴될 수 있고, 단계(1108)에서 붐 링키지의 제 2 단부는, 예를 들어, 다른 프로세스 챔버 또는 로드록 챔버에 인접한 것과 같은 제 2 목적지에 인접한 제 2 위치로 회전될 수 있다. 이어서, 단계(1110)에서 제 2 전달 목적지로 기판을 놓는 것, 그리고 제 2 전달 목적지로부터 기판을 픽업하는 것으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 수행하도록 제 2 단부에 장착된 로봇 조립체가 작동될 수 있다. 그 후에, 붐 링키지가 다른 목적지로 회전될 수 있으며 단계(1106)의 프로세스가 반복될 수 있다.

도 12는 로봇 장치(1204)의 다양한 컴포넌트들을 구동하기 위한 예시적인 구동 시스템(1215)을 도시한다. 첫 번째로, 구동 시스템(1215)이 회전 축(1212) 주위로 붐 링키지(1210)를 회전시키도록 구성되는 구동 컴포넌트를 포함할 수 있다. 파일럿(pilot; 1213)이 붐 링키지(1210)로부터 연장할 수 있고 적절한 베어링에 의해서 지지될 수 있으며 여기서 파일럿(1213)은 회전 축(1212) 주위로 원동 파워 부재(1211)의 컴포넌트 모터(component motor)(1211A)에 의해서 회전하도록 구성된다. 모터 컴포넌트(1211A)는, 예를 들어, 회전자 및 고정자를 포함하는 전기 모터일 수 있다.

또한, 구동 시스템(1215)은 쇼울더 축(1222) 주위로 상부 아암(1220)을 회전하도록 구성되는 구동 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 구동 컴포넌트들은 구동 풀리(1225)와 연결된 구동 샤프트(1233), 금속 벨트(1227), 및 제 2 파일럿(1231)에 의해서 상부 아암(1220)에 연결된 피구동 풀리(1229)를 포함할 수 있다. 모터 컴포넌트(1211C)의 회전은 샤프트(1233) 및 구동 풀리(1225)의 회전을 유발하고 피구동 풀리(1229)를 구동시키며 그에 의해 파일럿(1231) 및 부착된 상부 아암(1220)을 쇼울더 축(1222) 주위로 회전시킨다. 모터 컴포넌트(1211C)는, 예를 들어, 회전자 및 고정자를 포함하는 전기 모터일 수 있다.

유사하게, 구동 시스템(1215)이 엘보우 축(1224) 주위로 포어아암(1226)을 회전시키도록 구성되는 구동 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 구동 컴포넌트들은, 제 2 구동 풀리(1235)에 연결된 제2 구동 샤프트(1223), 금속 벨트(1237), 및 상부 아암(1220) 및 포어아암(1226)에 위치된 종래의 SCARA 벨트 및 풀리에 연결될 수 있는, 제 3 샤프트(1241)에 의해서 리스트 부재(1230) 및 포어아암(1226)에 연결된 제2 피구동 풀리(1239)를 포함할 수 있다. 모터 컴포넌트(1211B)의 회전은 제 2 구동 샤프트(1223) 및 구동 풀리(1235)의 회전을 유발하고 제 2 피구동 풀리(1239)를 구동시키며 그에 의해 제 3 샤프트(1241)를 회전시킨다. 제 3 샤프트(1241)의 회전은 엘보우 축(1224) 주위로 포어아암(1226)을 회전시키고, 또한 리스트 축(1228) 주위로 리스트 부재(1230)를 회전시킨다. 또한, 모터 컴포넌트(1211B)는, 예를 들어, 회전자 및 고정자를 포함하는 전기 모터일 수 있다. 적절한 종래의 회전 인코더(도시하지 않음)가 요구되는 바와 같이 붐(1210) 및 상부 아암(1220) 및 포어아암(1226)을 위치시키기 위해 이용될 수 있다. 추가적인 포개어지는(nested) 샤프트들 및 풀리들이 듀얼 엔드 이펙터 및 듀얼 로봇 장치를 갖는 구동 로봇 장치에 부가될 수 있다. 또한, 이하에서 추가로 논의되는 바와 같이, 축(1228) 주위로 독립적인 요(yaw) 운동을 제공하도록 리스트 부재의 독립적인 회전이 제공될 수 있다.

명확한 바와 같이, 이와 같은 구동 시스템(1215)은 도 2a-2c의 로봇 장치(1204)를 구동하기 위해서 사용될 수 있으며, 그리고 전술한 컴포넌트들의 정확한 거울상 사본을 생성하고 그리고 그것들을 중심선(1212)의 좌측으로 연장시키는 것을 통해서, 도 4a-4b 그리고 도 5a 및 5b의 실시예들의 로봇 장치를 구동하도록 변형될 수 있다. 이들 거울형 컴포넌트들은 그것들의 각각의 벨트들을 풀리(1225 및 1235)에 인접한 동일한 풀리에 연결할 것이다. 이러한 방식에서, '1211C'와 같은 단일 모터 컴포넌트는 붐의 다른 단부(예를 들어, 415) 상의 방사상 붐 연장부에 부착된 대응 상부 아암(반대 방향으로) 및 상부 아암(1220)의 회전을 유발할 수 있다. 유사하게, 모터 컴포넌트(1211B)는 붐의 다른 단부(예를 들어, 410) 상의 붐 연장부에 부착된 대응 포어아암의 회전(반대 방향으로) 및 포어아암(1426)의 회전을 유발할 수 있다.

도 13은 전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 이용될 수 있는 로봇 장치(1304)의 또 다른 실시예를 도시한다. 앞선 실시예에서와 같이, 로봇 장치(1304)는 붐 링키지(1310)의 회전 축(1312)으로부터 반대편 방사상 방향으로 외측으로 연장하는 다중 캔틸레버 비임(1310A, 1310B)을 포함할 수 있는 붐 링키지(1310)를 포함할 수 있다. 붐 링키지(1310)는 회전 축(1312) 주위로 회전하도록 구성될 수 있고, 붐 링키지(1310)의 제 1 단부(1315) 및 제 2 단부(1317) 모두에 장착된 로봇 조립체(1316A, 1316B)를 포함할 수 있다. 로봇 조립체(1316A, 1316B)는, 하나가 아닌 2개의 엔드 이펙터(1332A, 1332AA, 그리고 1332B 및 1332BB)가 각각의 포어아암(1326A, 1326B)에 부착될 수 있다는 것을 제외하고, 도 4a-4b를 참조하여 설명한 것과 동일한 듀얼 로봇 조립체이다. 앞서 실시예에서와 같이, 붐 링키지(1310), 및 로봇 조립체(1316A, 1316B)의 각각은, 예를 들어, 모터 하우징 내에 포함될 수 있는 가변 자기저항 또는 영구자석 전기 모터와 같은 원동 파워 부재(1311)에 의해서 원격적으로 구동될 수 있다. 기판(도시하지 않음)의 픽업 및/또는 배치 시에 포어아암(1326B)의 회전이 유발됨에 따라, 엔드 이펙터(1332B 및 1332BB)가 서로에 대해서 고정된 배향으로 유지될 수 있고, 다시 말해서, 그들이 정렬되어 유지될 수 있다. 유사하게, 기판(도시하지 않음)의 픽업 및/또는 배치 시에 포어아암(1326A)의 회전이 유발됨에 따라, 엔드 이펙터(1332A 및 1332AA)가 서로에 대해서 고정된 배향으로 유지될 수 있다.

도 14는 로봇 장치(1404)의 다양한 컴포넌트들을 구동하도록 구성되는 예시적인 구동 시스템(1415)을 도시한다. 이러한 타입의 구동 시스템(1415)은, 예를 들어, 도 3a-3c, 6a-6b, 및 7a-7b를 참조하여 설명한 실시예와 함께 사용될 수 있다. 도 12의 구동 시스템과 비교할 때, 추가적인 구동 컴포넌트 및 추가적인 모터 컴포넌트가 부가된다. 첫 번째로, 구동 시스템(1415)은 회전 축(1412) 주위로 붐 링키지(1410)를 회전시키도록 구성되는 구동 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 파일럿(1413)은 붐 링키지(1410)로부터 연장될 수 있고, 적절한 베어링에 의해서 지지될 수 있으며, 여기서 파일럿(1413)은 회전 축(1412) 주위로 원동 파워 부재(1411)의 컴포넌트 모터(1411A)에 의해서 회전하도록 구성된다. 모터 컴포넌트(1411A)는, 예를 들어, 고정자 및 회전자를 포함하는 전기 모터일 수 있다. 그러나, 임의의 적절한 모터가 이용될 수 있다.

또한, 구동 시스템(1415)은 쇼울더 축(1422) 주위로 제 1 상부 아암(1420A)을 회전시키도록 구성되는 구동 컴포넌트를 포함할 수 있다. 구동 컴포넌트들은 구동 풀리(1425)에 연결된 구동 샤프트(1433), 금속 벨트(1427), 및 제 2 파일럿(1431)에 의해서 제 1 상부 아암(1420A)에 연결된 피구동 풀리(1429)를 포함할 수 있다. 모터 컴포넌트(1411B)의 회전은 샤프트(1433) 및 구동 풀리(1425)의 회전을 유발하고, 피구동 풀리(1429)를 구동시키며 그에 의해 파일럿(1431) 및 부착된 제 1 상부 아암(1420A)을 쇼울더 축(1422) 주위로 회전시킨다. 모터 컴포넌트(1411B)는, 예를 들어, 고정자 및 회전자를 포함하는 전기 모터일 수 있다. 그러나, 임의의 적절한 모터가 이용될 수 있다.

제 1 상부 아암(1420A)과 유사하게, 구동 시스템(1415)은 쇼울더 축(1422) 주위로 제 2 상부 아암(1420B)을 회전시키도록 구성되는 구동 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 구동 컴포넌트들은 구동 풀리(1436)에 연결된 구동 샤프트(1434), 금속 벨트(1437), 및 제 2 상부 아암(1420B)에 연결된 피구동 풀리(1438)를 포함할 수 있다. 모터 컴포넌트(1411D)의 회전은 샤프트(1434) 및 구동 풀리(1436)의 회전을 유발하고, 피구동 풀리(1438)를 구동시키며 그에 의해 제 2 상부 아암(1420B)을 쇼울더 축(1422) 주위로 회전시킨다. 모터 컴포넌트(1411D)는, 예를 들어, 고정자 및 회전자를 포함하는 전기 모터일 수 있다. 그러나, 임의의 적절한 모터가 이용될 수 있다.

추가적으로, 구동 시스템(1415)은 각각 엘보우 축(1440A, 1440B) 주위로 제 1 포어아암(1426A) 및 제 2 포어아암(1426B)을 회전시키도록 구성되는 구동 컴포넌트들을 포함할 수 있다. 구동 컴포넌트들은 구동 풀리(1239)에 연결된 구동 샤프트(1224), 금속 벨트(1241), 및 제 1 포어아암(1426A) 및 제 2 포어아암(1426B)에 커플링된 피구동 풀리(1442)를 포함할 수 있다. 모터 컴포넌트(1411C)의 활성화는 포어아암(1420A, 1420B)을 서로에 대해 반대 방향으로 회전하는 것을 유발할 수 있다.

구동 풀리(1443A, 1443B), 금속 벨트(1444A, 1444B) 및 피구동 풀리(1445A, 1445B)에 의해서, 리스트 부재(1230A, 1430B)는 제 1 및 제 2 상부 아암(1420A, 1420B)에 각각 연결될 수 있다. 그에 따라, 리스트 부재(1430A, 1430B)가 포개져 위치되고(도 3a-3c에 도시된 바와 같음), 모터 컴포넌트(1411C)의 활성화는 구동 샤프트(1423) 및 구동 풀리(1439)의 회전을 유발하고, 피구동 풀리(1442)를 구동시키며 그에 의해 포어아암(1426A, 1426B)을 회전시킨다. 따라서, 리스트 부재(1430A, 1430B)는 도시된 단면의 평면 내외로 병진운동 모드로 반대 방향들로 이동한다. 또한, 모터 컴포넌트(1411C)는, 예를 들어, 회전자 및 고정자를 포함하는 전기 모터일 수 있다. 그러나, 임의의 적절한 모터가 이용될 수 있다. 적절한 종래의 회전 인코더(도시하지 않음)가 요구되는 바와 같이 붐(1410) 및 상부 아암(1420A, 1420B) 그리고 포어아암(1426A, 1426B)을 위치시키기 위해 이용될 수 있다.

전술한 조립체들 중 임의의 조립체가 리스트 부재들이 요(yaw)를 제어할 수 있는 부가적인 능력을 포함할 수 있다. PCT 특허 출원 제 PCT/US2010/XXXXXX 와 공동-출원되고 "SYSTEMS, APPARATUS AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING"라는 명칭을 가지는 미국 가특허 출원 제 61/143,808은 로봇의 리스트 부재의 독립적인 회전을 제공하도록 구성되는 구동 시스템을 기술하고 있다.

명확한 바와 같이, 이 구동 시스템(1415)은 도 3a-3c의 로봇 장치에서 사용될 수 있으나, 전술한 컴포넌트들의 정확한 거울상 사본을 생성하고 그리고 그것들을 중심선(1412)의 좌측으로 연장시키는 것을 통해서, 도 6a-6b 그리고 도 7a 및 7b의 실시예들의 조립체를 구동하도록 변형될 수 있다. 이들 거울형 컴포넌트들은 그것들의 각각의 벨트들을 풀리(1425, 1439, 및 1436)와 동일한 풀리에 연결시킬 것이며, 이는 이들 풀리에 또는 그 일부에 인접하여 정렬될 수 있다. 이러한 방식에서, '1411D'와 같은 단일 모터 컴포넌트는 상부 아암(1420B) 및 붐의 다른 단부(예를 들어, 610, 710)상의 붐 연장부에 부착된 대응하는 상부 아암(반대 방향으로)의 회전을 유발할 수 있다. 유사하게, 모터 컴포넌트(1411B)는 상부 아암(1420A)의 회전 및 붐의 다른 단부 상의 붐(710A)에 부착된 대응하는 상부 아암의 회전(반대 방향으로)을 유발할 수 있다. 또한, '1411C'와 같은 단일 모터 컴포넌트의 회전은 포어아암(1426A, 1426B) 및 붐의 다른 단부(예를 들어, 610, 710) 상의 붐 연장부에 부착된 대응하는 포어아암의 회전을 유발할 수 있다.

전술한 설명은 단지 본원 발명의 예시적인 실시예만을 개시한다. 본원 발명의 범위에 포함되는 상기-개시된 장치 및 방법의 변형은 당업자에게 용이하게 명백할 것이다.

따라서, 본원 발명의 예시적인 실시예들과 관련하여 본원 발명이 개시되었지만, 이하의 청구항들에 의해서 규정된 바와 같은 본원 발명의 사상 및 범위 내에 다른 실시예들이 포함될 수 있다는 것이 이해될 것이다.

Claims

전자 디바이스 프로세싱 시스템(900)으로서:
챔버(102); 및
상기 챔버(102) 내부에 수용되고 그리고 하나 이상의 기판(105)을 이송하도록 구성된 로봇 장치로서, 상기 로봇 장치(704)는 강성의 캔틸레버인 붐 링키지(boom linkage, 710)와 제 1 로봇 조립체(716A) 및 제 2 로봇 조립체(716B)를 구비하고, 상기 붐 링키지(710)는 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)을 중심으로 회전하도록 구성된, 로봇 장치(704);를 포함하고,
상기 붐 링키지(710)는,
상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 두 방향으로 연장하는 제 1 및 제 2 캔틸레버 비임(710A, 710B)을 포함하고,
상기 제 1 로봇 조립체(716A)는 상기 제 1 캔틸레버 비임(710A)에 장착되며, 상기 제 2 로봇 조립체(716B)는 상기 제 2 캔틸레버 비임(710B)에 장착되고, 상기 제 1 로봇 조립체(716A)의 쇼울더 축(1422)과 상기 제 2 로봇 조립체(716B)의 쇼울더 축(1422) 사이에서 연장하는 라인이 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되며,
상기 제 1 로봇 조립체(716A)는,
상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋된 제 1 방사상 위치에서 상기 붐 링키지(710)에 연결되고, 쇼울더 축(1422)을 중심으로 상기 붐 링키지(710)에 대해 X-Y 평면에서 회전되도록 구성된, 상부 아암(1420A, 1420B)들;
상기 쇼울더 축(1422)으로부터 이격된 각각의 엘보우 축(1440A, 1440B)에서 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)에 대해서 회전하도록 구성되고, 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)에 연결된, 포어아암(forearms, 1426A, 1426B)들;
병진운동 모드에서 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B)의 반대 방향들로의 이동을 야기하도록, 엘보우 축(1440A, 1440B)들로부터 이격된 리스트 축들에서 각각의 포어아암(1426A, 1426B)에 대해 X-Y 평면에서 회전하도록 구성되고, 각각의 포어아암(1426A, 1426B)에 연결된, 리스트 부재(wrist members, 1430A, 1430B)들; 및
개별 리스트 부재(1430A, 1430B)들 중 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B) 상에 포함되는 하나 이상의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB)로서, 상기 하나 이상의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB)는 상기 하나 이상의 기판(105)을 운반하도록 구성되고, 각각의 리스트 부재를 위한 각각의 리스트 축은 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되어 위치되는, 하나 이상의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB);
를 더 포함하고,
상기 로봇 장치(704)는 상기 챔버(102)의 외부에 위치된 모터 컴포넌트들을 구비한 구동 시스템(1415)에 부착되며,
상기 구동 시스템(1415)은,
제 1 모터 컴포넌트(1411A)를 포함하고, 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)을 중심으로 상기 붐 링키지(710)를 회전시키도록 구성된, 구동 컴포넌트들(1413);
상기 쇼울더 축(1422)을 중심으로 상기 제 1 로봇 조립체(716A)의 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)을 회전시키도록 구성된 구동 컴포넌트들로서, 각각의 구동 컴포넌트는 구동 풀리(1425, 1436)에 연결된 구동 샤프트(1433, 1434)와, 벨트(1427, 1437)와, 각각의 파일럿 및 각각의 모터 컴포넌트(1411B, 1411D)에 의해 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)에 연결된 피구동 풀리(1429, 1438)를 포함하고, 상기 구동 컴포넌트들은 각각의 모터 컴포넌트(1411B, 1411D)의 회전이 각각의 구동 샤프트(1433, 1434) 및 각각의 구동 풀리(1425, 1436)의 회전을 야기하고 각각의 피구동 풀리(1429, 1438)를 구동시켜 상기 쇼울더 축(1422)을 중심으로 각각의 파일럿 및 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)을 회전시키도록 구성된, 구동 컴포넌트들; 및
상기 각각의 엘보우 축(1440A, 1440B)을 중심으로 각각의 포어아암(1426A, 1426B)을 회전시키도록 구성된 구동 컴포넌트들로서, 제 2 구동 풀리(1439)에 연결된 제 2 구동 샤프트(1423)와, 제 2 벨트(1441)와, 제 3 샤프트에 의해 각각의 포어아암(1426A, 1426B) 및 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B)에 연결된 제 2 피구동 풀리(1442)를 포함하고, 제 3 모터 컴포넌트(1411C)의 회전이 상기 제 2 구동 샤프트(1423) 및 상기 제 2 구동 풀리(1439)의 회전을 야기하고 상기 제 2 피구동 풀리(1442)를 구동시켜 상기 제 3 샤프트를 회전시키도록 구성되며, 상기 제 3 샤프트는 상기 포어아암(1426A, 1426B)들을 상기 각각의 엘보우 축(1440A, 1440B)을 중심으로 회전시키고 상기 리스트 부재(1430A, 1430B)들을 상기 각각의 리스트 축을 중심으로 회전시켜 상기 리스트 부재(1430A, 1430B)들이 상기 병진운동 모드에서 반대 방향들로 이동할 수 있게 하는, 구동 컴포넌트들;
을 포함하는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900).
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 캔틸레버 비임(710A, 710B)은 강성인,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900).
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 로봇 조립체(716B)는:
상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋된 제 2 방사상 위치에서 상기 붐 링키지(710)에 연결된 상부 아암(1420A, 1420B)들;
각각의 상부 아암(1420A, 1420B)에 연결되고, 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)에 대해서 회전하도록 구성된 포어아암(1426A, 1426B)들;
각각의 포어아암(1426A, 1426B)에 연결되고, 각각의 포어아암(1426A, 1426B)에 대해서 회전하도록 구성된 리스트 부재(1430A, 1430B)들; 및
상기 리스트 부재(1430A, 1430B)들 중 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B) 상에 포함되는 하나 이상의 엔드 이펙터(732B, 732BB)로서, 상기 하나 이상의 엔드 이펙터(732B, 732BB)는 상기 하나 이상의 기판(105)을 운반하도록 구성된, 하나 이상의 엔드 이펙터(732B, 732BB);
를 포함하는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900).
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 로봇 조립체(716A)는 2개의 엔드 이펙터(732A, 732AA)를 포함하는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900).
제 1 항에 있어서,
상기 챔버(102)는 하나 이상의 프로세스 챔버(106) 및 상기 하나 이상의 프로세스 챔버(106)에 연결된 하나 이상의 로드록 챔버(108)를 구비하는 이송 챔버인,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900).
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 로봇 조립체(716B)는 2개의 엔드 이펙터(732B, 732BB)를 포함하는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900).
전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판을 이동시키도록 구성되는 로봇 장치(704)로서:
강성의 캔틸레버인 붐 링키지(710)로서, 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)을 중심으로 회전되도록 구성된, 붐 링키지(710)를 포함하고,
상기 붐 링키지(710)는,
상기 회전 축으로부터 두 방향으로 연장하는 제 1 및 제 2 캔틸레버 비임(710A, 710B)을 포함하고,
상기 제 1 캔틸레버 비임(710A)에 제 1 로봇 조립체(716A)가 장착되며, 상기 제 2 캔틸레버 비임(710B)에 제 2 로봇 조립체(716B)가 장착되고, 상기 제 1 로봇 조립체(716A)의 쇼울더 축(1422)과 상기 제 2 로봇 조립체(716B)의 쇼울더 축(1422) 사이에서 연장하는 라인이 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되며,
상기 제 1 로봇 조립체(716A) 및 상기 제 2 로봇 조립체(716B)는 각각,
상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 방사상으로 오프셋된 위치에서 상기 붐 링키지(710) 상에서 회전하도록 장착되고, 쇼울더 축(1422)을 중심으로 상기 붐 링키지(710)에 대해 X-Y 평면에서 회전되도록 구성된, 상부 아암(1420A, 1420B)들;
상기 쇼울더 축(1422)으로부터 이격된 엘보우 축(1440A, 1440B)들에서 개별 상부 아암(1420A, 1420B)들 중 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)의 아웃보드(outboard) 단부에 연결된, 포어아암(1426A, 1426B)들;
각각의 엘보우 축(1440A, 1440B)으로부터 이격된 리스트 축들에서 상기 포어아암(1426A, 1426B)들에 대해 X-Y 평면에서 회전하도록 구성되고, 상기 포어아암(1426A, 1426B)들 중 각각의 포어아암(1426A, 1426B)의 아웃보드 단부에 연결된 리스트 부재(1430A, 1430B)들로서, 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B)를 위한 상기 리스트 축은 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되어 위치된, 리스트 부재(1430A, 1430B)들; 및
각각의 리스트 부재(1430A, 1430B) 상에 포함되는 하나 이상의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB);
를 더 포함하고,
상기 제 1 및 제 2 로봇 조립체(716A, 716B)는, 상기 제 1 및 제 2 로봇 조립체(716A, 716B)를 내부에 수용한 챔버(102)의 외부에 위치된 모터 컴포넌트(1411A-1411D)들을 구비한 구동 시스템(1415)에 부착되며,
상기 구동 시스템(1415)은,
모터 컴포넌트(1411A)를 포함하고, 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)을 중심으로 상기 붐 링키지(710)를 회전시키도록 구성된, 구동 컴포넌트들;
상기 쇼울더 축(1422)을 중심으로 상기 상부 아암(1420A, 1420B)들을 회전시키도록 구성된 구동 컴포넌트들로서, 각각의 개별 구동 컴포넌트는 구동 풀리(1425, 1436)에 연결된 구동 샤프트(1433, 1434)와, 벨트(1427, 1437)와, 각각의 파일럿 및 각각의 모터 컴포넌트(1411B, 1411D)에 의해 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)에 연결된 피구동 풀리(1429, 1438)를 포함하고, 각각의 모터 컴포넌트(1411B, 1411D)의 회전이 각각의 구동 샤프트(1433, 1434) 및 각각의 구동 풀리(1425, 1436)의 회전을 야기하고 각각의 피구동 풀리(1429, 1438)를 구동시켜 상기 쇼울더 축(1422)을 중심으로 각각의 파일럿 및 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)을 회전시키는, 구동 컴포넌트들; 및
상기 엘보우 축(1440A, 1440B)들을 중심으로 각각의 포어아암(1426A, 1426B)을 회전시키도록 구성된 구동 컴포넌트들로서, 제 2 구동 풀리(1439)에 연결된 제 2 구동 샤프트(1423)와, 제 2 벨트(1441)와, 각각의 포어아암(1426A, 1426B) 및 상기 리스트 부재(1430A, 1430B)들에 연결된 제 2 피구동 풀리(1442)를 포함하고, 제 3 모터 컴포넌트(1411C)의 회전이 각각의 포어아암(1426A, 1426B)의 상기 엘보우 축(1440A, 1440B)들을 중심으로 한 회전 및 상기 리스트 부재(1430A, 1430B)들의 리스트 축들을 중심으로 한 회전을 야기하며, 상기 리스트 부재(1430A, 1430B)들이 병진운동 모드에서 반대 방향들로 이동할 수 있도록 구성된, 구동 컴포넌트들;
을 포함하는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템 내에서 기판을 이동시키도록 구성되는 로봇 장치(704).
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900) 내에서 하나 이상의 기판(105)을 이송하는 방법으로서:
붐 링키지(710) 상에 장착된 제 1 로봇 조립체(716A)를 제공하는 단계;
전달 위치(106 또는 108)에 인접한 위치로 상기 붐 링키지(710)를 회전시키는 단계; 및
상기 전달 위치(106 또는 108)로 상기 하나 이상의 기판(105)을 놓는(put) 것 및 상기 전달 위치(106 또는 108)로부터 상기 하나 이상의 기판(105)을 집는(pick) 것 중 하나 이상을 수행하도록 제 1 로봇 조립체(716A) 및 제 2 로봇 조립체(716B)를 작동시키는 단계;를 포함하고,
상기 붐 링키지(710) 상에 장착된 제 1 로봇 조립체(716A)를 제공하는 단계에서 상기 붐 링키지(710)는,
상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 두 방향으로 연장하는 강성의 제 1 및 제 2 캔틸레버 비임(710A, 710B)을 포함하고,
상기 제 1 로봇 조립체(716A)는 상기 제 1 캔틸레버 비임(710A)에 장착되며, 상기 제 2 로봇 조립체(716B)는 상기 제 2 캔틸레버 비임(710B)에 장착되고, 상기 제 1 로봇 조립체(716A)의 쇼울더 축(1422)과 상기 제 2 로봇 조립체(716B)의 쇼울더 축(1422) 사이에서 연장하는 라인이 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되며,
상기 제 1 로봇 조립체(716A) 및 상기 제 2 로봇 조립체(716B)는 각각 상부 아암(1420A, 1420B)들, 상기 상부 아암(1420A, 1420B)들 중 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)에 연결된 포어아암(1426A, 1426B) 및 포어아암(1426A, 1426B)들에 연결된 리스트 부재(1430A, 1430B)들을 포함하고,
상기 붐 링키지(710), 상기 제 1 로봇 조립체(716A), 및 상기 제 2 로봇 조립체(716B)를 포함하는 로봇 조립체는 상기 로봇 조립체를 내부에 수용한 챔버의 외부에 위치된 모터 컴포넌트들을 구비한 구동 시스템(1415)에 부착되며,
상기 구동 시스템(1415)은,
모터 컴포넌트(1411A)를 포함하고, 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)을 중심으로 상기 붐 링키지(710)를 회전시키도록 구성된, 구동 컴포넌트들;
상기 쇼울더 축(1422)을 중심으로 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)을 회전시키도록 구성된 구동 컴포넌트들로서, 각각의 구동 컴포넌트는 구동 풀리(1425, 1436)에 연결된 구동 샤프트(1424, 1434)와, 벨트(1427, 1437)와, 각각의 파일럿 및 각각의 모터 컴포넌트(1411B, 1411D)에 의해 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)에 연결된 피구동 풀리(1429, 1438)를 포함하고, 상기 모터 컴포넌트(1411B, 1411D)의 회전이 각각의 구동 샤프트(1424, 1434) 및 각각의 구동 풀리(1425, 1436)의 회전을 야기하고 각각의 피구동 풀리(1429, 1438)를 구동시켜 상기 쇼울더 축(1422)을 중심으로 각각의 파일럿 및 각각의 상부 아암(1420A, 1420B)을 회전시키는, 구동 컴포넌트들; 및
엘보우 축(1440A, 1440B)들을 중심으로 각각의 포어아암(1426A, 1426B)을 회전시키도록 구성된 구동 컴포넌트들로서, 제 2 구동 풀리(1439)에 연결된 제 2 구동 샤프트(1423)와, 제 2 벨트(1441)와, 각각의 포어아암(1426A, 1426B) 및 상기 리스트 부재(1430A, 1430B)들에 연결된 제 2 피구동 풀리(1442)를 포함하고, 제 3 모터 컴포넌트(1411C)의 회전이 상기 제 2 구동 샤프트(1423) 및 상기 제 2 구동 풀리(1439)의 회전을 야기하고 상기 제 2 피구동 풀리(1442)를 구동시켜 각각의 포어아암(1426A, 1426B)을 상기 엘보우 축(1440A, 1440B)들을 중심으로 회전시키고 상기 리스트 부재(1430A, 1430B)들을 리스트 축들을 중심으로 회전시키며, 상기 리스트 부재(1430A, 1430B)들이 병진운동 모드에서 반대 방향들로 이동하도록 구성되고, 상기 리스트 축은 상기 엘보우 축(1440A, 1440B)으로부터 이격되며, 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B)를 위한 리스트 축들은 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되어 위치되는, 구동 컴포넌트들;
을 포함하는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900) 내에서 하나 이상의 기판(105)을 이송하는 방법.
제 8 항에 있어서,
상기 제 1 로봇 조립체(716A) 및 제 2 로봇 조립체(716B)를 작동시키는 단계는 적어도 상기 제 1 로봇 조립체(716A) 및 상기 제 2 로봇 조립체(716B)의 상부 아암(1420A, 1420B) 및 포어아암(1426A, 1426B)을 회전시키는 단계를 포함하는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900) 내에서 하나 이상의 기판(105)을 이송하는 방법.
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900)으로서:
챔버(102); 및
상기 챔버(102) 내부에 수용되고 그리고 하나 이상의 기판(105)을 이송하도록 구성된 로봇 장치(704);를 포함하고,
상기 로봇 장치(704)는 붐 링키지(710)를 구비하고, 상기 붐 링키지(710)는 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 반대하는 방사상 방향들로 외측으로 연장하는 강성의 제 1 캔틸레버 비임(710A) 및 강성의 제 2 캔틸레버 비임(710B)을 포함하며, 상기 붐 링키지(710)는 부메랑 형상을 갖고 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)을 중심으로 회전하도록 구성되며, 상기 붐 링키지(710)는 제 1 듀얼 로봇 조립체(716A) 및 제 2 듀얼 로봇 조립체(716B)를 포함하고, 각각의 듀얼 로봇 조립체(716A, 716B)는 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 거리를 두고 이격된 상기 붐 링키지(710)의 각각의 아웃보드 단부에서 상기 붐 링키지(710) 상에 장착된 아암의 듀얼 세트를 포함하며, 2개의 로봇 조립체(716A, 716B)들은 상기 붐 링키지(710)의 2개의 다른 아웃보드 단부들에서 상기 붐 링키지(710) 상에 장착되고, 상기 제 1 듀얼 로봇 조립체(716A)의 쇼울더 축(1422)과 상기 제 2 듀얼 로봇 조립체(716B)의 쇼울더 축(1422) 사이에서 연장하는 라인이 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되며,
상기 아암의 듀얼 세트의 각각은,
각각 상기 쇼울더 축(1422)을 중심으로 회전하도록 구성된 2개의 상부 아암(1420A, 1420B)들;
각각의 엘보우 축(1440A, 1440B)에서 상기 상부 아암(1420A, 1420B)들에 연결되고, X-Y 평면에서 상기 각각의 엘보우 축(1440A, 1440B)을 중심으로 회전하도록 구성된, 2개의 포어아암(1426A, 1426B)들로서, 각각의 포어아암(1426A, 1426B)은 리스트 부재(1430A, 1430B)가 연결되는 아웃보드 단부에서 리스트 축을 포함하고, 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B)는 X-Y 평면에서 리스트 축을 중심으로 회전하도록 구성되어, 2개의 리스트 부재(1430A, 1430B)들이 병진운동 모드에서 반대 방향들로 이동하게 되며, 상기 리스트 축은 상기 엘보우 축(1440A, 1440B)으로부터 이격되고, 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B)를 위한 리스트 축은 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되어 위치되는, 2개의 포어아암(1426A, 1426B)들; 및
상기 2개의 리스트 부재(1430A, 1430B)들 중 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B) 상에 포함되는 하나 이상의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB)로서, 각각의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB)는 상기 하나 이상의 기판(105)을 이송하도록 구성된, 하나 이상의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB);
를 포함하는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900).
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900)으로서:
챔버(102); 및
상기 챔버(102) 내부에 수용되고 하나 이상의 기판(105)을 이송하도록 구성된 로봇 장치(704)를 포함하고,
상기 로봇 장치(704)는 붐 링키지(710)를 구비하고, 상기 붐 링키지(710)는 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 반대하는 방사상 방향들로 외측으로 각각 연장하는 강성의 제 1 캔틸레버 비임(710A) 및 강성의 제 2 캔틸레버 비임(710B)을 포함하며, 상기 붐 링키지(710)는 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)을 중심으로 회전하도록 구성되며, 상기 붐 링키지(710)는 제 1 듀얼 로봇 조립체(716A) 및 제 2 듀얼 로봇 조립체(716B)를 포함하고, 각각의 듀얼 로봇 조립체(716A, 716B)는 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 거리를 두고 이격된 상기 붐 링키지(710)의 각각의 아웃보드 단부에서 상기 붐 링키지(710) 상에 장착된 아암의 듀얼 세트를 포함하며, 상기 제 1 듀얼 로봇 조립체(716A)의 쇼울더 축(1422)과 상기 제 2 듀얼 로봇 조립체(716B)의 쇼울더 축(1422) 사이에서 연장하는 라인이 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되며,
상기 아암의 듀얼 세트의 각각은,
각각 상기 쇼울더 축(1422)을 중심으로 회전하도록 구성된 2개의 상부 아암(1420A, 1420B)들;
각각의 엘보우 축(1440A, 1440B)에서 상기 상부 아암(1420A, 1420B)들에 연결되고, X-Y 평면에서 상기 각각의 엘보우 축(1440A, 1440B)을 중심으로 회전하도록 구성된, 2개의 포어아암(1426A, 1426B)들로서, 각각의 포어아암(1426A, 1426B)은 리스트 부재(1430A, 1430B)가 연결되는 아웃보드 단부에서 리스트 축을 포함하고, 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B)는 X-Y 평면에서 리스트 축을 중심으로 회전하도록 구성되어, 2개의 리스트 부재(1430A, 1430B)들이 병진운동 모드에서 반대 방향들로 이동하게 되며, 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B)를 위한 리스트 축들은 상기 붐 링키지(710)의 회전 축(712)으로부터 오프셋되어 위치되는, 2개의 포어아암(1426A, 1426B)들; 및
상기 2개의 리스트 부재(1430A, 1430B)들 중 각각의 리스트 부재(1430A, 1430B) 상에 포함되는 하나 이상의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB)로서, 상기 하나 이상의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB)는 상기 하나 이상의 기판(105)을 이송하도록 구성된, 하나 이상의 엔드 이펙터(732A, 732AA, 732B, 732BB);
를 포함하는,
전자 디바이스 프로세싱 시스템(900).
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