JP6110612B2 - 基板搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、シリコンウェハ、ガラスウェハ等の基板を搬送する基板搬送装置に関し、特に基板を搬送する２つのハンドを備える基板搬送装置に関する。

従来からマルチチャンバシステムという半導体処理設備が知られている。このマルチチャンバシステムは、複数の半導体処理室及びロードロック室を備えている。半導体処理室及びロードロック室は、ゲートを介して１つの搬送室にそれぞれ接続されており、搬送室には、搬送装置が配置されている。搬送装置は、ロードロック室及び半導体処理室からウェハを取って、そのウェハを次の半導体処理室の所定の基板載置位置まで搬送し、その基板載置位置に載置する。基板載置位置に搬送された半導体ウェハは、所定のプロセス処理が施され、更に搬送装置により次の基板載置位置に搬送される。搬送装置としては、例えば特許文献１に開示されているような２つのハンドを備えた搬送装置が知られている。

この搬送装置は、旋回リンクと、２つのハンド機構とを有している。旋回リンクは、旋回用駆動機構により回動される。旋回リンクには、ハンド機構のアームが回動可能に取り付けられている。ハンド機構のアームには、ハンド機構のハンドが回動可能に取り付けられている。２つのハンド機構のアームは、それぞれアーム用ベルト等を介して対応するハンド用駆動機構に接続されている。ハンド用駆動機構は、アーム用ベルトを動かして対応するアームを回動させるように構成されている。ハンド機構のハンドは、連動機構を介して対応するハンド機構のアームに接続されている。連動機構は、ハンド機構のアームの回動に連動してハンドを回転させるように構成されている。ハンド機構のハンドは、ウェハを保持可能に形成されている。

このように構成された搬送装置は、旋回用駆動機構により旋回リンクを回動させながら一方のハンド用駆動機構により当該ハンド用駆動機構に対応するハンド機構を当該ハンド機構のハンドがゲートの開口方向に略一致する方向を向くように回動させることで、ハンドに保持されたウェハを搬送する。これによって、ウェハやハンド機構のアームがゲートに接触することを避けることができる。

特開２０１１−１６１５５４号公報

しかし、特許文献１に記載の搬送装置は、一方のハンド機構の伸長を行っている間、一方のハンド機構のハンドがゲートの開口方向に略一致する方向を向くように旋回用駆動機構により旋回リンクを回動させているため、他方のハンド機構のハンドが他のゲートの開口方向に略一致する方向を向くように旋回用駆動機構により旋回リンクを回動させることができず、基板の搬送効率が低いという問題があった。なお、このような問題は、半導体ウェハに限らず、マルチチャンバシステムと同様の構造を有する基板処理システムで処理される、半導体ウェハ以外の基板についても生じる。

上記課題を解決するため、本発明に係る基板搬送装置は、旋回軸線を中心に回動可能な旋回部と、前記旋回軸線を含む対称面に対し対称に前記旋回部に設けられた第１ハンド機構及び第２ハンド機構と、前記第１及び第２のハンド機構を駆動する搬送装置駆動機構と、を備え、前記第１ハンド機構は、前記旋回部にその一端部が前記旋回軸線と平行な第１軸線を中心に回動可能に取り付けられた第１下アームと、前記第１下アームの他端部にその一端部が前記旋回軸線と平行な第２軸線を中心に回動可能に取り付けられた第１上アームと、その先端部が第１基板保持部であり、その基端部が前記第１上アームの他端部に前記旋回軸線と平行な第３軸線を中心に回動可能に取り付けられるとともに、前記第１上アームの回動に従動して回動する第１ハンドと、前記第１ハンドを前記第１上アームの回動に従動して回動させる第１従動機構と、を含み、且つ、前記第１下アーム、前記第１上アーム及び前記第１ハンドの回動によって、前記第１基板保持部が前記旋回軸線に近い収縮位置と第１基板保持部が前記収縮位置より前記旋回軸線から遠い伸長位置との間で前記第１基板保持部を移動可能に構成され、前記第２ハンド機構は、前記旋回部にその一端部が前記旋回軸線と平行な第４軸線を中心に回動可能に取り付けられた第２下アームと、前記第２下アームの他端部にその一端部が前記旋回軸線と平行な第５軸線を中心に回動可能に取り付けられた第２上アームと、その先端部が第２基板保持部であり、その基端部が前記第２上アームの他端部に前記旋回軸線と平行な第６軸線を中心に回動可能に取り付けられるとともに、前記第２上アームの回動に従動して回動する第２ハンドと、前記第２ハンドを前記第２上アームの回動に従動して回動させる第２従動機構と、を含み、且つ、前記第２下アーム、前記第２上アーム及び前記第２ハンドの回動によって、前記第２基板保持部が前記旋回軸線に近い収縮位置と第２基板保持部が前記収縮位置より前記旋回軸線から遠い伸長位置との間で前記第２基板保持部を前記第１基板保持部と同期して移動可能に構成され、前記搬送装置駆動機構は、前記旋回部を回動させる第１駆動部、前記第１下アーム及び前記第２下アームを連動して互いに逆方向に回動させる第２駆動部、並びに前記第１上アーム及び前記第２上アームを連動して互いに逆方向に回動させる第３駆動部を含み、前記第１及び第２の基板保持部の移動軌跡が前記旋回軸線から放射状に延びる直線又は当該直線と平行な直線に実質的に漸近する曲線を描いて前記第１及び第２の基板保持部が前記収縮位置から前記伸長位置に移動するように、前記第２駆動部が前記第１下アーム及び前記第２下アームを回動させると同時に前記第３駆動部が前記第１上アーム及び第２上アームを回動させるように構成されている。

この構成によれば、第１ハンド機構及び第２ハンド機構を同時に駆動させ、基板の搬送を行うことができるので、基板の搬送効率を向上させることができる。しかも、３軸で実現できる。また、伸長位置の近傍において、第１及び第２の基板保持部は、大略直線を描くように移動させることができるので、第１及び第２の基板保持部を基板処理室に挿入し易くすることができる。更に、基板搬送装置の構成を簡素化することができ、また、製造に有利、且つ、製造コストも安価となる。

また、本発明の基板搬送装置は、旋回軸線が延びる方向から見て等しい中心角を有するように２つの仮想の領域に分割した場合に、同一の処理を行う処理室が一方の領域に共に位置するように配置されている半導体処理設備に適用することができる。

第１基板保持部に保持された基板が前記対称面の一方の側の領域において移動するように前記第１基板保持部は動作するよう構成され、第２基板保持部に保持された基板が前記対称面の他方の側の領域において移動するように前記第２基板保持部は動作するよう構成されていてもよい。

この構成によれば、第１基板保持部及び第２基板保持部に保持された基板が干渉することを防止することができる。

前記第１従動機構は、前記第１ハンドを１．３５以上１．６５以下の減速比で前記第１上アームの回動に従動して回動させ、前記第２従動機構は、前記第２ハンドを１．３５以上１．６５以下の減速比で前記第２上アームの回動に従動して回動させてもよい。

この構成によれば、第１及び第２のハンド機構の何れか一方のハンド機構を避けるように他方のハンド機構のハンドが上アームの回動に従動して回動させることができる。

前記第１ハンドは、前記収縮位置において、第３軸線から第１基板保持部の中心に向かうに従い前記対称面から離れる姿勢を取り、前記第２ハンド部は、前記収縮位置において、第６軸線から第２基板保持部の中心に向かうに従い前記対称面から離れる姿勢を取ってもよい。

この構成によれば、初期姿勢をとる基板搬送装置の第１及び第２の基板保持部の何れか一方の基板保持部に保持されている基板が、他方の基板保持部に保持されている基板に干渉することを防止することができる。

本発明によれば、基板搬送装置の搬送効率を向上させることができる。

本発明の実施形態に係る基板搬送装置を備える半導体処理設備の構成例を示す平面図である。 図１の基板搬送装置を斜め上方から見た斜視図である。 図１の基板搬送装置の第１ハンド機構及びその周辺部分を鉛直な方向に切断したときの断面を拡大して示す拡大断面図である。 図１の基板搬送装置の第２ハンド機構及びその周辺部分を鉛垂直な方向に切断したときの断面を拡大して示す拡大断面図である。 図１の基板搬送装置の旋回部に設けられているギヤを模式的に示す平面図である。 第１及び第２のハンド機構の動作を示す平面図である。 図１の状態から第１及び第２のハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを近づけた状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図７の状態から第１及び第２のハンド機構をさらに伸ばしてチャンバの部屋にハンドを挿入した状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図８の状態から第１及び第２のハンド機構をさらに伸ばして基板載置位置までハンドを移動させた状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図１の状態から旋回して第１及び第２の基板保持部が別のチャンバを向くように位置させた状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図１０の状態から第１及び第２のハンド機構を伸ばしてゲートにハンドを近づけた状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図１１の状態から第１及び第２のハンド機構をさらに伸ばしてチャンバの部屋にハンドを挿入した状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図１２の状態から第１及び第２のハンド機構をさらに伸ばして基板載置位置の近くまでハンドを移動させた状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図１３の状態から第１及び第２のハンド機構をさらに伸ばして基板載置位置までハンドを移動させた状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図１４の状態から第１及び第２のハンド機構を収縮させて基板載置位置から基板を取り出した状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図１５の状態から第１及び第２のハンド機構を収縮させてゲートにハンドを近づけた状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図１６の状態から第１及び第２のハンド機構を収縮させて基板をゲートにくぐらせている状態の基板搬送装置を示す平面図である。 図１７の状態から第１及び第２のハンド機構を収縮させて初期姿勢に復帰した状態の基板搬送装置を示す平面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。

［半導体処理設備］
図１は、本発明の実施の形態に係る基板搬送装置１を備える半導体処理設備１００の構成例を示す平面図である。半導体処理設備１００は、基板処理システムの一例である。基板処理システムは、基板を処理する複数の処理室が搬送空間の周囲に配置され、当該搬送空間内に各処理室に対して基板を出し入れする搬送装置が配置されているようなシステムであればよい。 半導体処理設備１００は、図１に示すように、基板Ｐに熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理及び平坦化処理等の各種プロセス処理を施すための設備である。なお、本発明において、基板Ｐは、例えば半導体ウェハ、ガラスウェハ等であり、半導体ウェハとして、シリコンウェハ、サファイヤ（単結晶アルミナ）ウェハ、その他の各種のウェハが例示される。また、ガラスウェハとしては、例えば、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）用ガラス基板、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）用ガラス基板が例示される。

半導体処理設備１００は、基板搬送装置１の他、複数のチャンバ２、搬送チャンバ３及びゲート４を備えている。

複数のチャンバ２のそれぞれは、部屋５を有する。部屋５は、処理前の基板Ｐ及び処理後の基板Ｐの半導体処理設備１００への出し入れをおこなうための処理室（ロードロック室）、基板Ｐに各種プロセス処理を施すための処理室等である。部屋５には各種プロセス処理を施す際や待機させる際に基板Ｐを載置する基板載置位置６が予め定められている。なお、ロードロック室は半導体処理設備１００の外部から基板Ｐを出し入れするための開口及びゲート（図示せず）を備えている。そして、複数のチャンバ２の基板載置位置６は、それぞれ後述する基板搬送装置１の旋回軸線Ｌ１に対して放射状に配置されている。また、基板載置位置６には、図示しない基板支持部が設けられている。

搬送チャンバ３は、外形が平面視において多角形に形成され、その辺の数は、半導体処理設備１００が有するチャンバ２の数と同数又はそれ以上の数になっている。この各辺の部分に隣接するようにチャンバ２が配置されている。そして、搬送チャンバ３は、基板搬送装置１が配置されている搬送室７を有し、この搬送室７は平面視で大略円形状（又は正多角形状）に形成されている。搬送室７の内径は、初期姿勢をとる基板搬送装置１の旋回半径（詳細は後述）より若干大きく形成されており、旋回する初期姿勢の基板搬送装置１が搬送室７の内壁と干渉しないように構成されている。

ゲート４は、各部屋５と搬送室７との境界に設けられ、後述する基板搬送装置１の旋回軸線Ｌ１から放射状に延びる直線又はこの直線と平行な直線が延びる方向に開口している。そして、搬送室７から部屋５へはゲート４を介してアクセスするように構成されている。なお、チャンバ２の基板載置位置６は、平面視において、ゲート４から部屋５の奥行き方向に延びる直線上に位置決めされている。これによって、基板Ｐをゲート４から真っ直ぐ挿入することによって基板載置位置６に基板を位置させることができるようになっている。

基板搬送装置１は、基板載置位置６に基板Ｐを搬送し、また基板載置位置６から基板Ｐを搬出することができるように構成されている。

本実施の形態において、半導体処理設備１００は、例えば、６つの部屋５Ａ〜５Ｆを有する６つのチャンバ２Ａ〜２Ｆを備えている。そして、隣り合うチャンバ２Ａ，２Ｂの部屋５Ａ，５Ｂは、第１の処理を行う処理室であり、隣り合うチャンバ２Ｃ，２Ｄの部屋５Ｃ，５Ｄは、第２の処理を行う処理室であり、隣り合うチャンバ２Ｅ，２Ｆの部屋５Ｅ，５Ｆは、第３の処理を行う処理室である。このように、半導体処理設備１００の同一の処理を行う処理室は、後述する旋回軸線Ｌ１が延びる方向から見て等しい中心角を有するように２つの仮想の領域に分割した場合に、一方の領域に共に位置するように配置されている。また、この一方の領域に共に位置するチャンバ２Ａ，２Ｂの部屋５Ａ，５Ｂを半導体処理設備１００への処理前、処理後の基板Ｐの出し入れをおこなうためのロードロック室とすると、例えば対角線上にロードロック室が配置される場合と比べ、外部からこのロードロック室に基板Ｐの出し入れを行うための基板搬送装置を簡素に構成することができる。

そして、６つの部屋５Ａ〜５Ｆは、それぞれ基板載置位置６Ａ〜６Ｆを有する。搬送室７は、平面視において略６角形に形成され、ゲート４Ａ〜４Ｆを介して６つの部屋５Ａ〜５Ｆに接続している。

［基板搬送装置の全体構成］
図２は、基板搬送装置１を斜め上方から見た斜視図である。図３は、基板搬送装置１の第１ハンド機構４０及びその周辺部分を鉛直な方向に切断したときの断面を拡大して示す拡大断面図である。図４は、基板搬送装置１の第２ハンド機構１４０及びその周辺部分を鉛直な方向に切断したときの断面を拡大して示す拡大断面図である。

基板搬送装置１は、図２〜４に示すように、旋回部２０と、第１ハンド機構４０と、第２ハンド機構１４０と、搬送装置駆動機構６０と、基板搬送装置１の動作を制御する制御器を備えている。更に、基板搬送装置１は、基板搬送装置１の各構成要素を所定の位置関係に配置する支持体を有している。ここで、所定の位置とは、本発明の基板搬送装置１の基板の搬送動作の実施に適した位置をいう。

［旋回部］
旋回部２０は、例えば、中空の円筒状部材で構成される。旋回部２０は、その中心軸が上下方向に延びる旋回軸線Ｌ１と一致するように後述する旋回軸６４の上端に固定され、旋回軸６４の回動によって、旋回軸線Ｌ１を中心に旋回するようになっている。

第１ハンド機構４０及び第２ハンド機構１４０は、図１に示すように、旋回軸線Ｌ１を含む対称面Ｓに対し対称に旋回部２０に設けられている。

［第１ハンド機構］
第１ハンド機構４０は、図２及び図３に示すように、第１下アーム４１と、第１上アーム４２と、第１ハンド４３と、第１従動機構４４とを有している。

第１下アーム４１は、例えば、中空の板状部材であり、平面視において大略短冊状に形成されている。図３に示すように、第１下アーム４１の旋回部側端部４１ａ（第１下アーム４１の一端部）の底面から下方に突出するように第１下アーム回動軸４５が形成されている。そして、第１下アーム回動軸４５は、旋回軸線Ｌ１と平行に延びる第１軸線Ｌ２を中心に回動可能に旋回部２０に取り付けられている。また、第１下アーム回動軸４５は、中空円筒状に形成され、その内部空間は、旋回部２０の本体部の内部空間及び第１下アーム４１の内部空間と連通している。第１下アーム回動軸４５の下端部には、第１下アーム回動用従動ギヤ４６が固定されている。この第１下アーム回動用従動ギヤ４６は、後述する下アーム駆動軸６５の下アーム回動用主動ギヤ６７と同じ高さ位置に位置するよう設けられ、下アーム回動用主動ギヤ６７と歯合している。第１下アーム４１内の上アーム側端部４１ｂ（第１下アーム４１の他端部）側には、上方に延びる第１上アーム支持軸４７が形成されている。第１上アーム支持軸４７は、軸線が旋回軸線Ｌ１と平行に延びる第２軸線Ｌ３に一致するように設けられている。第１上アーム支持軸４７の上端部には第１固定プーリー５５が固定されている。

そして、第１下アーム回動軸４５の内部に第１上アーム回動用軸４８が設けられている。第１上アーム回動用軸４８は、第１軸線Ｌ２を中心に回動可能に第１下アーム回動軸４５に取り付けられている。そして、第１上アーム回動用軸４８は、下端部が第１下アーム回動軸４５の下端よりも下方に突出し、この突出した部分に第１上アーム回動用従動ギヤ４９が固定されている。この第１上アーム回動用従動ギヤ４９は、後述する上アーム／ハンド駆動軸６６の上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ６９と同じ高さ位置に位置するよう設けられ、上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ６９と歯合している。また、第１上アーム回動用軸４８は、上端部が第１下アーム４１の内部空間に位置しており、この部分に第１上アーム回動用中間プーリー５０が固定されている。第１上アーム回動用従動ギヤ４９及び第１上アーム回動用中間プーリー５０は、それぞれその軸線が第１軸線Ｌ２と一致するように設けられている。

第１下アーム４１は、初期姿勢において、例えば、図１に示す姿勢（図６の実線も参照）を取るように構成されている。即ち、第１下アーム４１は、旋回部２０から放射状に延在している。

第１上アーム４２は、例えば、中空の板状部材であり、平面視において大略短冊状に形成されている。第１上アーム４２は、下アーム側端部４２ａ（第１上アーム４２の一端部）の底面に円筒状の第１上アーム回動用従動プーリー５１が固定されている。第１上アーム回動用中間プーリー５０及び第１上アーム回動用従動プーリー５１に第１伝動ベルト５２が巻回されている。第１上アーム回動用従動プーリー５１は、第１下アーム４１の第１上アーム支持軸４７に回動可能に取り付けられている。このように第１下アーム４１に取付けられた第１上アーム４２は、第２軸線Ｌ３を中心に回動可能に構成されている。第１上アーム４２内のハンド側端部４２ｂ（第１上アーム４２の他端部）には、上方に延びる第１ハンド支持軸５３が形成されている。第１ハンド支持軸５３は、軸線が旋回軸線Ｌ１と平行に延びる第３軸線Ｌ４に一致するように設けられている。

第１上アーム４２は、初期姿勢において、例えば、図１に示す姿勢（図６の実線も参照）を取るように構成されている。即ち、第１上アーム４２は、第１下アーム４１の上アーム側端部４１ｂから対称面Ｓに向かうように延在している。

第１ハンド４３は、例えば、板状の部材であり、基端部には、第１ハンド回動用軸５７が設けられている。第１ハンド回動用軸５７は、円筒状に形成され、第３軸線Ｌ４の周りに回動可能に且つ第１ハンド支持軸５３の外側に位置するように第１ハンド支持軸５３に嵌められて取り付けられている。第１ハンド回動用軸５７の外周には、第１ハンド用プーリー５４が嵌められて固定されている。第１ハンド用プーリー５４及び第１固定プーリー５５には、第２伝動ベルト５６が巻回されている。第１ハンド４３は、図２に示すように、二股状に形成され、基板Ｐを載置して保持できるように構成された第１基板保持部４３ａを先端部に備えている。第１基板保持部４３ａは、後述する第２基板保持部１４３ａと同一水平面上に位置している。なお、以下では第１基板保持部４３ａ及び後述する第２基板保持部１４３ａが向いている方向を前といい、この反対方向を後という。このようにして、第１上アーム４２に取付けられた第１ハンド４３は、第３軸線Ｌ４を中心に回動可能に構成されている。

第１ハンド４３は、初期姿勢において、第３軸線Ｌ４から第１基板保持部４３ａの中心に向かうに従い対称面Ｓから離れるように延在している。これによって、第１基板保持部４３ａに保持された基板Ｐが後述する第２基板保持部１４３ａに保持された同一水平面上に位置する基板Ｐに干渉することを防止することができる。この初期姿勢における第１ハンド４３の第１基板保持部４３ａの位置が収縮位置を構成する。そして、後で詳述する第１ハンド機構４０の動作によって、第１基板保持部４３ａは、収縮位置と、収縮位置より旋回軸線Ｌ１から遠い伸長位置との間で移動可能に構成されている。この伸長位置は、半導体処理設備１００の各基板載置位置６に対応してそれぞれ設定される。

第１従動機構４４は、第１上アーム４２の回動に従動して第１ハンド４３を回動させる機構である。本実施の形態において、第１従動機構４４は、例えば、第１ハンド用プーリー５４と、第１固定プーリー５５と、第１ハンド用プーリー５４及び第１固定プーリー５５に巻回されている第２伝動ベルト５６とによって構成される。第１固定プーリー５５は、その軸線が第２軸線Ｌ３に一致するように第１上アーム支持軸４７に固定されている。したがって、第１上アーム４２の回動によって第２軸線Ｌ３を中心に第１ハンド支持軸５３が公転すると、第１ハンド支持軸５３に回動可能に取り付けられている第１ハンド回動用軸５７が第３軸線Ｌ４を中心に第１上アーム４２の回転方向とは反対方向に自転し、第１ハンド４３が第３軸線Ｌ４を中心に第１上アーム４２の回転方向とは反対方向に回転するようになっている。したがって、初期姿勢にある第１上アーム４２のハンド側端部４２ｂが前方に向かって移動するように第１上アーム４２が回動すると、これに従動して第１上アーム４２と第１ハンド４３とが第３軸線Ｌ４においてなす角度が大きくなるように（即ち伸長するように）第１ハンド４３が回動する。一方、第１上アーム４２のハンド側端部４２ｂが後方に移動するように第１上アーム４２を回動すると、これに従動して第１上アーム４２と第１ハンド４３とが第３軸線Ｌ４においてなす角度が小さくなるように（即ち収縮するように）第１ハンド４３が回動する。

そして、第１ハンド４３は、第２ハンド機構１４０を避けるように第１上アーム４２の回動に従動して回動するように構成されている。本実施の形態において、この動作は、第１ハンド用プーリー５４と第１固定プーリー５５との変速比、即ち、第１上アーム４２に対する第１ハンド４３の減速比を調整することで実現されている。この減速比は、１．３５以上１．６５以下の範囲で設定されており、このような範囲内で減速比を設定すると、第１ハンド４３は、第２ハンド機構１４０を避けるように第１上アーム４２の回動に従動して回動する。また、第１下アーム４１の回動動作と協働させることによって、第１基板保持部４３ａの移動軌跡が旋回軸線Ｌ１から放射状に延びる直線又はこの直線と平行な直線に実質的に漸近する予め規定された曲線を描くように第１基板保持部４３ａを移動させることができる（詳細は後述する）。本実施の形態において、この減速比は、１．５７に設定されている。

［第２ハンド機構］
第２ハンド機構１４０は、図２及び図４に示すように、第２下アーム１４１と、第２上アーム１４２と、第２ハンド１４３と、第２従動機構１４４とを有している。

第２下アーム１４１は、例えば、中空の板状部材であり、平面視において大略短冊状に形成されている。図４に示すように、第２下アーム１４１の旋回部側端部１４１ａ（第２下アーム１４１の一端部）の底面から下方に突出するように第２下アーム回動軸１４５が形成されている。そして、第２下アーム回動軸１４５は、旋回軸線Ｌ１と平行に延びる第４軸線Ｌ５を中心に回動可能に旋回部２０に取り付けられている。また、第２下アーム回動軸１４５は、中空円筒状に形成され、その内部空間は、旋回部２０の本体部の内部空間及び第２下アーム１４１の内部空間と連通している。第２下アーム回動軸１４５の下端部には、第２下アーム回動用従動ギヤ１４６が固定されている。この第２下アーム回動用従動ギヤ１４６は、後述する下アーム駆動軸６５の下アーム回動用主動ギヤ６７よりも高い高さ位置に位置するよう設けられ、下アーム回動用主動ギヤ６７とは第１反転用ギヤ６８を介して接続されている。これによって、下アーム回動用主動ギヤ６７の回転は第１反転用ギヤ６８を介して第２下アーム回動用従動ギヤ１４６に伝達される。第２下アーム１４１内の上アーム側端部１４１ｂ（第２下アーム１４１の他端部）側には、上方に延びる第２上アーム支持軸１４７が形成されている。第２上アーム支持軸１４７は、軸線が旋回軸線Ｌ１と平行に延びる第５軸線Ｌ６に一致するように設けられている。第２上アーム支持軸１４７の上端部には第２固定プーリー１５５が固定されている。

そして、第２下アーム回動軸１４５の内部に第２上アーム回動用軸１４８が設けられている。第２上アーム回動用軸１４８は、第４軸線Ｌ５を中心に回動可能に第２下アーム回動軸１４５に取り付けられている。そして、第２上アーム回動用軸１４８は、下端部が第２下アーム回動軸１４５の下端よりも下方に突出し、この突出した部分に第２上アーム回動用従動ギヤ１４９が固定されている。この第２上アーム回動用従動ギヤ１４９は、後述する上アーム／ハンド駆動軸６６の上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ６９よりも高い高さ位置に位置するよう設けられ、上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ６９とは、第２反転用ギヤ７０を介して接続されている。これによって、上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ６９の回転は第２反転用ギヤ７０を介して第２上アーム回動用従動ギヤ１４９に伝達される。また、第２上アーム回動用軸１４８は、上端部が第２下アーム１４１の内部空間に位置しており、この部分に第２上アーム回動用中間プーリー１５０が固定されている。第２上アーム回動用従動ギヤ１４９及び第２上アーム回動用中間プーリー１５０は、それぞれその軸線が第４軸線Ｌ５と一致するように設けられている。

第２下アーム１４１は、初期姿勢において、例えば、図１に示す姿勢（図６の実線も参照）を取るように構成されている。即ち、第２下アーム１４１は、旋回部２０から放射状に延在している。

第２上アーム１４２は、例えば、中空の板状部材であり、平面視において大略短冊状に形成されている。第２上アーム１４２は、下アーム側端部１４２ａ（第２上アーム１４２の一端部）の底面に円筒状の第２上アーム回動用従動プーリー１５１が固定されている。第２上アーム回動用中間プーリー１５０及び第２上アーム回動用従動プーリー１５１に第３伝動ベルト１５２が巻回されている。第２上アーム回動用従動プーリー１５１は、第２下アーム１４１の第２上アーム支持軸１４７に回動可能に取り付けられている。このように第２下アーム１４１に取付けられた第２上アーム１４２は、第５軸線Ｌ６を中心に回動可能に構成されている。第２上アーム１４２内のハンド側端部１４２ｂ（第２上アーム１４２の他端部）には、上方に延びる第２ハンド支持軸１５３が形成されている。第２ハンド支持軸１５３は、軸線が旋回軸線Ｌ１と平行に延びる第６軸線Ｌ７に一致するように設けられている。

第２上アーム１４２は、初期姿勢において、例えば、図１に示す姿勢（図６の実線も参照）を取るように構成されている。即ち、第２上アーム１４２は、第２下アーム１４１の上アーム側端部１４１ｂから対称面Ｓに向かうように延在している。

第２ハンド１４３は、例えば、板状の部材であり、基端部には、第２ハンド回動用軸１５７が設けられている。第２ハンド回動用軸１５７は、円筒状に形成され、第６軸線Ｌ７の周りに回動可能に且つ第２ハンド支持軸１５３の外側に位置するように第２ハンド支持軸１５３に嵌められて取り付けられている。第２ハンド回動用軸１５７の外周には、第２ハンド用プーリー１５４が嵌められて固定されている。第２ハンド用プーリー１５４及び第２固定プーリー１５５には、第４伝動ベルト１５６が巻回されている。第２ハンド１４３は、図２に示すように、二股状に形成され、基板Ｐを載置して保持できるように構成された第２基板保持部１４３ａを先端部に備えている。上述の通り、第２基板保持部１４３ａは、第１基板保持部４３ａと同一水平面上に位置している。このようにして、第２上アーム１４２に取付けられた第２ハンド１４３は、第６軸線Ｌ７を中心に回動可能に構成されている。

第２ハンド１４３は、初期姿勢において、第６軸線Ｌ７から第２基板保持部１４３ａの中心に向かうに従い対称面Ｓから離れるように延在している。これによって、第２基板保持部１４３ａに保持された基板Ｐが第１基板保持部４３ａに保持された同一水平面上に位置する基板Ｐに干渉することを防止することができる。この初期姿勢における第２ハンド１４３の第２基板保持部１４３ａの位置が収縮位置を構成する。第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａは、これらに基板Ｐに保持させた上で収縮位置に位置させたときに、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持させた互いに同一水平面上に位置する基板Ｐが重なったり干渉したりすることがないように位置決めされている。そして、後で詳述する第２ハンド機構１４０の動作によって、第２基板保持部１４３ａは、収縮位置と、収縮位置より旋回軸線から遠い伸長位置との間で移動可能に構成されている。この伸長位置は、半導体処理設備１００の各基板載置位置６に対応してそれぞれ設定される。

第２従動機構１４４は、第２上アーム１４２の回動に従動して第２ハンド１４３を回動させる機構である。本実施の形態において、第２従動機構１４４は、例えば、第２ハンド用プーリー１５４と、第２固定プーリー１５５と、第２ハンド用プーリー１５４及び第２固定プーリー１５５に巻回されている第４伝動ベルト１５６とによって構成される。第１固定プーリー５５は、軸線が第５軸線Ｌ６に一致するように第２上アーム支持軸１４７に固定されている。したがって、第２上アーム１４２の回動によって第５軸線Ｌ６を中心に第２ハンド支持軸１５３が公転すると、第２ハンド支持軸１５３に回動可能に取り付けられている第２ハンド回動用軸１５７が第６軸線Ｌ７を中心に第２上アーム１４２の回転方向とは反対方向に自転し、第２ハンド１４３が第６軸線Ｌ７を中心に第２上アーム１４２の回転方向とは反対方向に回転するようになっている。したがって、初期姿勢にある第２上アーム１４２のハンド側端部１４２ｂが前方に向かって移動するように第２上アーム１４２が回動すると、これに従動して第２上アーム１４２と第２ハンド１４３とが第６軸線Ｌ７においてなす角度が大きくなるように（即ち伸長するように）第２ハンド１４３が回動する。一方、第２上アーム１４２のハンド側端部１４２ｂが後方に移動するように第２上アーム１４２を回動すると、これに従動して第２上アーム１４２と第２ハンド１４３とが第６軸線Ｌ７においてなす角度が小さくなるように（即ち収縮するように）第２ハンド１４３が回動する。

そして、第２ハンド１４３は、第１ハンド機構４０を避けるように第２上アーム１４２の回動に従動して回動するように構成されている。本実施の形態において、この動作は、第２ハンド用プーリー１５４と第２固定プーリー１５５との変速比、即ち、第２上アーム１４２に対する第２ハンド１４３の減速比を調整することで実現されている。この減速比は、１．３５以上１．６５以下の範囲で設定されており、このような範囲内で減速比を設定すると、第２ハンド１４３は、第１ハンド機構４０を避けるように第２上アーム１４２の回動に従動して回動する。また、第２下アーム１４１の回動動作と協働させることによって、第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が旋回軸線Ｌ１から放射状に延びる直線又はこの直線と平行な直線に実質的に漸近する予め規定された曲線を描くように第１基板保持部４３ａを移動させることができる（詳細は後述する）。本実施の形態において、この減速比は、第１ハンド機構４０と同一の１．５７に設定されている。

［搬送装置駆動機構］
図５は、旋回部２０に設けられているギヤを模式的に示す平面図である。

図４に示すように、搬送装置駆動機構６０は、支持体（図示せず）に支持されている第１乃至第３の駆動部６１〜６３を備えている。

第１駆動部６１は、旋回軸６４及びこれを回転駆動させるアクチュエータ（図示せず）を備えている。

旋回軸６４は、図３に示すように、旋回軸線Ｌ１を中心に回動可能に設けられている。旋回軸６４は中空円筒状に形成されている。上述の通り、旋回軸６４の上端は、旋回部２０に固定されており、旋回部２０と共に回転するようになっている。このように、第１駆動部６１の動作によって、旋回部２０及びこれに支持されている第１ハンド機構４０及び第２ハンド機構１４０は旋回するようになっている。

第２駆動部６２は、下アーム駆動軸６５及びこれを回転駆動させるアクチュエータ（図示せず）を備えている。

下アーム駆動軸６５は、図３及び４に示すように、旋回軸６４に挿通されており、旋回軸線Ｌ１を中心に回動可能に設けられている。下アーム駆動軸６５は、丸棒状に形成されている。下アーム駆動軸６５の上端は旋回軸６４及び後述する上アーム／ハンド駆動軸６６から上方に突出している。下アーム駆動軸６５の上端には、下アーム回動用主動ギヤ６７が設けられている。上述の通り、下アーム回動用主動ギヤ６７は、図５にも示すように、第１下アーム回動用従動ギヤ４６と歯合している。また、下アーム回動用主動ギヤ６７は、第１反転用ギヤ６８を介して第２下アーム回動用従動ギヤ１４６と歯合している。

このように、第２下アーム回動用従動ギヤ１４６は、第１反転用ギヤ６８を介して下アーム回動用主動ギヤ６７と歯合しているので、下アーム駆動軸６５の回動によって、第１下アーム回動用従動ギヤ４６とは反対方向に回動するようになっている。そして、第２駆動部６２の動作によって、第１軸線Ｌ２及び第４軸線Ｌ５を中心に第１下アーム４１及び第２下アーム１４１が同期して回動するようになっている。

第３駆動部６３は、上アーム／ハンド駆動軸６６及びこれを回転駆動させるアクチュエータ（図示せず）を備えている。

上アーム／ハンド駆動軸６６は、旋回軸６４に挿通されており、旋回軸線Ｌ１を中心に回動可能に設けられている。上アーム／ハンド駆動軸６６は、中空円筒状に形成され、下アーム駆動軸６５が挿通されている。即ち、下アーム駆動軸６５及び上アーム／ハンド駆動軸６６は、旋回軸６４の内部に入れ子状に設けられている。上アーム／ハンド駆動軸６６の上端は、旋回軸６４から上方に突出している一方、下アーム駆動軸６５の上端よりも下方に位置している。上アーム／ハンド駆動軸６６の上端には、上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ６９が設けられている。上述の通り、上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ６９は、図５にも示すように、第１上アーム回動用従動ギヤ４９と歯合している。また、上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ６９は、第２反転用ギヤ７０を介して第２上アーム回動用従動ギヤ１４９と歯合している。

このように、第２上アーム回動用従動ギヤ１４９は、第２反転用ギヤ７０を介して上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ６９と歯合しているので、上アーム／ハンド駆動軸６６の回動によって、第１上アーム回動用従動ギヤ４９とは反対方向に回動するようになっている。

そして、第１上アーム回動用従動ギヤ４９及び第２上アーム回動用従動ギヤ１４９の回動によって、第１上アーム回動用軸４８及び第２上アーム回動用軸１４８が回動する。また、第１上アーム回動用軸４８及び第２上アーム回動用軸１４８の回動によって、第１上アーム回動用中間プーリー５０及び第２上アーム回動用中間プーリー１５０が回動する。更に、第１上アーム回動用中間プーリー５０及び第２上アーム回動用中間プーリー１５０の回動によって、第１伝動ベルト５２及び第３伝動ベルト１５２を介して第１上アーム回動用従動プーリー５１及び第２上アーム回動用従動プーリー１５１が回動する。その結果、第１上アーム４２及び第２上アーム１４２が回動する。即ち、第３駆動部６３の動作によって、第２軸線Ｌ３及び第５軸線Ｌ６を中心に第１上アーム４２及び第２上アーム１４２が同期して回動するようになっている。

また、第２軸線Ｌ３及び第５軸線Ｌ６を中心に第１上アーム４２及び第２上アーム１４２が回動することによって、第１従動機構４４及び第２従動機構１４４が第１ハンド４３及び第２ハンド１４３が同期して回動するようになっている。これによって、基板搬送装置１は、第１ハンド機構４０及び第２ハンド機構１４０によって、２枚の基板Ｐを同時にそれぞれの基板載置位置に搬入することができ、また、２枚の基板Ｐを同時にそれぞれの基板載置位置から搬出することができる（詳細は後述）。

このように、基板搬送装置１は、第１駆動部６１，第２駆動部６２及び第３駆動部６３の３つの駆動部によって駆動されるため、基板搬送装置１の構成を簡素化することができ、また、製造に有利、且つ、製造コストも安価となる。

［昇降機構］
なお、本実施の形態において、基板搬送装置１は、図示しない昇降機構を備えている。昇降機構は、例えば周知のボールねじ機構及びこれを駆動するアクチュエータを備え、例えば、旋回部２０，第１ハンド機構４０，第２ハンド機構１４０を一体的に昇降させる。これによって、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを上昇位置と下降位置との間で昇降させることができる。下降位置の高さ位置は、基板載置位置６に設けられている基板支持部の高さ位置よりも下方に設定されている。また、上昇位置の高さ位置は、基板載置位置６に設けられている基板支持部の高さ位置よりも上方に設定されている。よって、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを基板載置位置６において下降位置から上昇位置に上昇させることによって、基板支持部に載置されている基板Ｐを持ち上げて第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持させることができるようになっている。また、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを基板載置位置６において上昇位置から下降位置に下降させることによって、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持されている基板Ｐを基板載置位置６の基板支持部に載置することができるようになっている。

［制御部］
基板搬送装置１が備える制御器は、例えば、ＣＰＵ等の演算器を有する制御部と、ＲＯＭ及びＲＡＭ等のメモリを有する記憶部とを備えている。制御部は、集中制御する単独の制御器で構成されていてもよく、互いに協働して分散制御する複数の制御器で構成されてもよい。制御部は、第１乃至第３の駆動部６１〜６３のアクチュエータ及び昇降機構のアクチュエータのそれぞれの動作を制御し、それによって基板搬送装置１の動作を制御する。記憶部には所定の制御プログラムが記憶されていて、制御部がこれらの制御プログラムを読み出して実行することにより、基板搬送装置１の動作が制御される。

［第１及び第２のハンド機構の動作例］
次に、基板搬送装置１の動作例を説明する。

図６は、第１ハンド機構４０及び第２ハンド機構１４０の動作を示す平面図である。

（伸長動作）
まず、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを収縮位置から伸長位置に移動させる伸長動作について以下説明する。

まず、制御部は、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が旋回軸線Ｌ１から放射状に延びる直線Ｌａ，Ｌｂ又はこの直線と平行な直線に実質的に漸近する予め規定された曲線（以下、単に規定漸近曲線という）を描くように第２駆動部６２及び第３駆動部６３のアクチュエータを駆動させる。なお、上記移動軌跡が旋回軸線Ｌ１から放射状に延びる直線又は当該直線と平行な直線は、チャンバ２の基板載置位置６を通る線である。したがって、前記規定漸近曲線は、各基板載置位置に応じて予め規定される。

本実施の形態において、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が規定漸近曲線を描くように第２駆動部６２及び第３駆動部６３を動作させるための動作設定データは、予め記憶部に記憶されている。そして、制御部は、この動作設定データに基づいて第２駆動部６２及び第３駆動部６３のアクチュエータを制御している。

これによって、収縮位置に位置する第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａは、それぞれ対応する伸長位置に位置する。

そして、制御部は、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が規定漸近曲線を描くように第２駆動部６２及び第３駆動部６３を駆動させているので、伸長位置の近傍においては、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａは、大略直線を描くように移動する。これによって、詳細は後述するように第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持された基板Ｐが搬送中にゲート４に干渉することを防ぐことができる。

（収縮動作）
次に、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを伸長位置から収縮位置に移動させる収縮動作について以下説明する。

まず、制御部は、伸長動作時における規定漸近曲線を描くように第２駆動部６２及び第３駆動部６３のアクチュエータを駆動させる。本実施の形態において、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が規定漸近曲線を描くように第２駆動部６２及び第３駆動部６３を動作させるためのデータは、伸長動作時と同様に予め記憶部に記憶されている。そして、制御部は、このデータに基づいて第２駆動部６２及び第３駆動部６３のアクチュエータを制御している。

これによって、伸長位置に位置する第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａは、それぞれ対応する収縮位置に位置する。

そして、制御部は、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が上記伸長動作時における規定漸近曲線と同じ規定漸近曲線を描くように第２駆動部６２及び第３駆動部６３のアクチュエータを駆動させているので、伸長位置の近傍においては、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａは、大略直線を描くように移動する。これによって、詳細は後述するように第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持された基板Ｐが搬送中にゲート４に干渉することを防ぐことができる。

そして、上記伸長動作及び収縮動作の何れにおいても、制御部は、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持された基板Ｐがそれぞれ対称面Ｓの第１ハンド機構４０が位置する側の領域及び第２ハンド機構１４０が位置する側の領域において移動するように第２駆動部６２及び第３駆動部６３のアクチュエータを駆動させている。これによって、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持された基板が干渉することを防止することができる。

なお、上記では、制御部は、予め記憶部に記憶されたデータを基に、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が規定漸近曲線を描くように第２駆動部６２及び第３駆動部６３のアクチュエータを駆動させているが、これに代えて、第２駆動部６２及び第３駆動部６３の何れか一方の駆動部を駆動させ、これに従動させて、他方の駆動部を第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が規定漸近曲線を描くように駆動させてもよい。

［半導体処理設備の動作例］
次に、半導体処理設備１００の動作例を説明する。

まず、チャンバ２Ａ，２Ｂ内の基板載置位置６Ａ，６Ｂに基板Ｐを搬入する場合について、図１及び図７乃至図９を参照しつつ説明する。

まず、制御部は、昇降機構によって基板Ｐを保持している第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを上昇位置に位置させる。

次に、制御部は、旋回軸６４を回動して初期姿勢の基板搬送装置１の旋回部２０を旋回させ、第１ハンド機構４０の第１基板保持部４３ａ及び第２ハンド機構１４０の第２基板保持部１４３ａが搬入先のチャンバ２Ａ，２Ｂの側に向くように位置させる（図１参照）。

次に、制御部は、下アーム駆動軸６５及び上アーム/ハンド駆動軸６６を回動して、収縮位置に位置する第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを基板載置位置６Ａ，Ｂに対応する伸長位置に向かって伸ばしていく。この際、制御部は、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が基板載置位置６Ａ，６Ｂに対応する規定漸近曲線を描くように下アーム駆動軸６５及び上アーム/ハンド駆動軸６６の回動を制御し、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａをそれぞれ収縮位置から伸長位置に向かって移動させているため、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持された基板Ｐがゲート４Ａ，４Ｂに近づくと（図７参照）、基板Ｐがゲート４Ａ，４Ｂに当たらないように、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａは、それぞれゲート４Ａ，４Ｂの中心付近に略真直ぐな状態で挿入される。

そして、挿入後も、制御部は、下アーム駆動軸６５及び上アーム／ハンド駆動軸６６の回動速度を調整しながら第１ハンド機構４０を伸長させ、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持された基板Ｐをそれぞれ基板載置位置６Ａ，６Ｂに向かって略一直線に移動させる（図８参照）。

その後、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持された基板Ｐが基板載置位置６Ａ，６Ｂに対応する伸長位置に達すると（図９参照）、制御部は、下アーム駆動軸６５及び上アーム／ハンド駆動軸６６の回動を停止させる。

次に、制御部は、昇降機構によって第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを上昇位置から下降位置に下降させ、各基板Ｐをそれぞれ基板載置位置６Ａ，６Ｂの基板支持部に載置する。これによって、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持された２枚の基板Ｐは、それぞれ基板載置位置６Ａ，６Ｂに同時に搬入される。そして、載置後、制御部は、下アーム駆動軸６５及び上アーム/ハンド駆動軸６６を回動させて第１ハンド機構４０及び第２ハンド機構１４０を収縮させ、移動してきた軌道をたどって第１ハンド４３を後退させ、初期姿勢に戻す。

次に、チャンバ２Ｃ，２Ｄ内の基板載置位置６Ｃ，６Ｄに載置されている基板Ｐを搬出する場合について、図１０及び図１８を参照しつつ説明する。

まず、制御部は、昇降機構によって第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを下降位置に位置させる。

次に、制御部は、旋回軸６４を回動して初期姿勢の基板搬送装置１の旋回部２０を旋回させ、第１ハンド機構４０の第１基板保持部４３ａ及び第２ハンド機構１４０の第２基板保持部１４３ａが搬入先のチャンバ２Ｃ，２Ｄを向くように位置させる（図１０参照）。

次に、制御部は、下アーム駆動軸６５及び上アーム/ハンド駆動軸６６を回動して、収縮位置に位置する第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを基板載置位置６Ｃ，６Ｄに対応する伸長位置に向かって伸ばしていく（図１１〜１３参照）。この際、制御部は、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａの移動軌跡が基板載置位置６Ｃ，６Ｄに対応する規定漸近曲線を描くように下アーム駆動軸６５及び上アーム/ハンド駆動軸６６の回動を制御し、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａをそれぞれ収縮位置から基板載置位置６Ｃ，６Ｄに対応する伸長位置に向かって移動させる。

そして、第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａが基板載置位置６Ｃ，６Ｄに対応する伸長位置に達すると（図１４参照）、制御部は、下アーム駆動軸６５及び上アーム／ハンド駆動軸６６の回動を停止させる。

次に、制御部は、昇降機構によって第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａを下降位置から上昇位置に上昇させ、基板支持部に載置されている基板Ｐを持ち上げて第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持させる。そして、制御部は、下アーム駆動軸６５及び上アーム/ハンド駆動軸６６を回動させて第１ハンド機構４０及び第２ハンド機構１４０を収縮させ、移動してきた軌道をたどって第１ハンド４３を後退させ、初期姿勢に戻す（図１５〜１８参照）。これによって、基板載置位置６Ｃ，６Ｄに載置された２枚の基板Ｐは、それぞれ第１基板保持部４３ａ及び第２基板保持部１４３ａに保持されて同時に搬出される。

以上に説明したように、本発明の基板搬送装置１は、第１ハンド機構４０及び第２ハンド機構１４０を同時に駆動させ、チャンバ２の基板載置位置６に対する基板Ｐの搬入及び搬出を行うことができるので、基板搬送装置１の基板の搬送効率を向上させることができる。

また、本発明の基板搬送装置１は、旋回軸線Ｌ１が延びる方向から見て等しい中心角を有するように２つの仮想の領域に分割した場合に、同一の処理を行う処理室が一方の領域に共に位置するよう配置されている半導体処理設備１００に適用することができる。

本件発明は、基板を処理する設備における搬送装置に適用することができる。

１ 基板搬送装置
２ チャンバ
３ 搬送チャンバ
４ ゲート
５ 部屋
６ 基板載置位置
７ 搬送室
１０ 昇降機構
２０ 旋回部
４０ 第１ハンド機構
４１ 第１下アーム
４１ａ （第１下アームの）旋回部側端部
４１ｂ （第１下アームの）上アーム側端部
４２ 第１上アーム
４２ａ （第１上アームの）下アーム側端部
４２ｂ （第１上アームの）ハンド側端部
４３ 第１ハンド
４３ａ 第１基板保持部
４４ 第１従動機構
４５ 第１下アーム回動軸
４６ 第１下アーム回動用従動ギヤ
４７ 第１上アーム支持軸
４８ 第１上アーム回動用軸
４９ 第１上アーム回動用従動ギヤ
５０ 第１上アーム回動用中間プーリー
５１ 第１上アーム回動用従動プーリー
５２ 第１伝動ベルト
５３ 第１ハンド支持軸
５４ 第１ハンド用プーリー
５５ 第１固定プーリー
５６ 第２伝動ベルト
５７ 第１ハンド回動用軸
６０ 搬送装置駆動機構
６１ 第１駆動部
６２ 第２駆動部
６３ 第３駆動部
６４ 旋回軸
６５ 下アーム駆動軸
６６ 上アーム／ハンド駆動軸
６７ 下アーム回動用主動ギヤ
６８ 第１反転用ギヤ
６９ 上アーム／ハンド駆動用主動ギヤ
７０ 第２反転用ギヤ
１００ 半導体処理設備
１４０ 第２ハンド機構
１４１ 第２下アーム
１４１ａ （第２下アームの）旋回部側端部
１４１ｂ （第２下アームの）上アーム側端部
１４２ 第２上アーム
１４２ａ （第２上アームの）下アーム側端部
１４２ｂ （第２上アームの）ハンド側端部
１４３ 第２ハンド
１４３ａ 第２基板保持部
１４４ 第２従動機構
１４５ 第２下アーム回動軸
１４６ 第２下アーム回動用従動ギヤ
１４７ 第２上アーム支持軸
１４８ 第２上アーム回動用軸
１４９ 第２上アーム回動用従動ギヤ
１５０ 第２上アーム回動用中間プーリー
１５１ 第２上アーム回動用従動プーリー
１５２ 第３伝動ベルト
１５３ 第２ハンド支持軸
１５４ 第２ハンド用プーリー
１５５ 第２固定プーリー
１５６ 第４伝動ベルト
１５７ 第２ハンド回動用軸

Claims (4)

1. 旋回軸線を中心に回動可能な旋回部と、
   前記旋回軸線を含む対称面に対し対称に前記旋回部に設けられた第１ハンド機構及び第２ハンド機構と、
   前記第１及び第２のハンド機構を駆動する搬送装置駆動機構と、を備え、
   前記第１ハンド機構は、前記旋回部にその一端部が前記旋回軸線と平行な第１軸線を中心に回動可能に取り付けられた第１下アームと、前記第１下アームの他端部にその一端部が前記旋回軸線と平行な第２軸線を中心に回動可能に取り付けられた第１上アームと、その先端部が第１基板保持部であり、その基端部が前記第１上アームの他端部に前記旋回軸線と平行な第３軸線を中心に回動可能に取り付けられるとともに、前記第１上アームの回動に従動して回動する第１ハンドと、前記第１ハンドを前記第１上アームの回動に従動して回動させる第１従動機構と、を含み、且つ、前記第１下アーム、前記第１上アーム及び前記第１ハンドの回動によって、前記第１基板保持部が前記旋回軸線に近い収縮位置と第１基板保持部が前記収縮位置より前記旋回軸線から遠い伸長位置との間で前記第１基板保持部を移動可能に構成され、
   前記第２ハンド機構は、前記旋回部にその一端部が前記旋回軸線と平行な第４軸線を中心に回動可能に取り付けられた第２下アームと、前記第２下アームの他端部にその一端部が前記旋回軸線と平行な第５軸線を中心に回動可能に取り付けられた第２上アームと、その先端部が第２基板保持部であり、その基端部が前記第２上アームの他端部に前記旋回軸線と平行な第６軸線を中心に回動可能に取り付けられるとともに、前記第２上アームの回動に従動して回動する第２ハンドと、前記第２ハンドを前記第２上アームの回動に従動して回動させる第２従動機構と、を含み、且つ、前記第２下アーム、前記第２上アーム及び前記第２ハンドの回動によって、前記第２基板保持部が前記旋回軸線に近い収縮位置と第２基板保持部が前記収縮位置より前記旋回軸線から遠い伸長位置との間で前記第２基板保持部を前記第１基板保持部と同期して移動可能に構成され、
   前記搬送装置駆動機構は、前記旋回部を回動させる第１駆動部、前記第１下アーム及び前記第２下アームを連動して互いに逆方向に回動させる第２駆動部、並びに前記第１上アーム及び前記第２上アームを連動して互いに逆方向に回動させる第３駆動部を含み、
   前記第１及び第２の基板保持部の移動軌跡が前記旋回軸線から放射状に延びる直線又は当該直線と平行な直線に実質的に漸近する曲線を描いて前記第１及び第２の基板保持部が前記収縮位置から前記伸長位置に移動するように、前記第２駆動部が前記第１下アーム及び前記第２下アームを回動させると同時に前記第３駆動部が前記第１上アーム及び第２上アームを回動させる、基板搬送装置。
2. 第１基板保持部に保持された基板が前記対称面の一方の側の領域において移動するように前記第１基板保持部は動作するよう構成され、
   第２基板保持部に保持された基板が前記対称面の他方の側の領域において移動するように前記第２基板保持部は動作するよう構成されている、請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 前記第１従動機構は、前記第１ハンドを１．３５以上１．６５以下の減速比で前記第１上アームの回動に従動して回動させ、
   前記第２従動機構は、前記第２ハンドを１．３５以上１．６５以下の減速比で前記第２上アームの回動に従動して回動させる、請求項１又は２に記載の基板搬送装置。
4. 前記第１ハンドは、前記収縮位置において、第３軸線から第１基板保持部の中心に向かうに従い前記対称面から離れる姿勢を取り、
   前記第２ハンド部は、前記収縮位置において、第６軸線から第２基板保持部の中心に向かうに従い前記対称面から離れる姿勢を取る、請求項１乃至３の何れかに記載の基板搬送装置。

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