JP5568328B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
前記旋回用駆動機構及び前記2つのアーム用駆動モータの動作を制御する制御手段とを更に備え、前記制御手段は、前記アーム用駆動モータにより前記アーム及び前記ハンドを回動させて前記ハンド機構を伸張させながら前記旋回用駆動機構により前記旋回リンクを旋回させることで前記ハンドが向いている方向に該ハンドを直線的に移動させるように構成されていることが好ましい。
半導体処理設備2は、ウエハ3に熱処理、不純物導入処理、薄膜形成処理、リソグラフィー処理、洗浄処理及び平坦化処理等の各種プロセス処理を施すための設備である。なお、本発明において、ウエハ3は、例えば半導体ウエハ及びガラスウエハであり、半導体ウエハとしては、例えば、シリコンウエハ、サファイヤ(単結晶アルミナ)ウエハ、その他の各種のウエハ等がある。ガラスウエハとしては、例えば、FPD(Flat Panel Display)用ガラス基板、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)用ガラス基板等がある。
搬送装置1は、図2に示すように、固定ベース11と、旋回リンク12と、第1ハンド機構13と、第2ハンド機構14とを備えている。固定ベース11は、大略的に円筒状に形成されており、搬送チャンバ7の底面部に立設されている。固定ベース11内には図3及び4に示すような昇降機構15及び昇降ベース16が収容されている。なお、図3及び図4では固定ベース11の記載が省略されている。昇降機構15は、いわゆるボールねじ機構であり、ボールねじ軸15aとスライダ部15bとを有している。ボールねじ軸15aは、上下方向に延在し、固定ベース11に回動可能に支持されている。ボールねじ軸15aは、図示しない昇降モータにより回動駆動可能に構成されている。また、ボールねじ軸15aには、スライダ部15bが螺合されており、スライダ部15bには、筒状の昇降ベース16が一体的に設けられている。
搬送装置1では、制御器50が初期位置から第1回動用モータ31を動作させて第1駆動軸32を回動させると、第1ギヤ列34を介して第1中間プーリー35が回動する。第1中間プーリー35が回動することで、アーム用ベルト36によりアーム用プーリー22が回動し、第1ハンド機構13のアーム20が回動軸線L2を中心に回動する。アーム20が回動すると、ハンド用プーリー25が回動軸線L2を中心に回動する。このようにハンド用プーリー25が回動軸線L2を中心に回動すると、回動軸側プーリー27が回動軸23に固定されているためハンド用ベルト28がハンド用軸線L4を中心にハンド用プーリー25を回動させる。これにより、第1ハンド機構13のハンド21がハンド用軸線L4を中心に回動する。このように第1ハンド機構13のハンド21は、アーム20に連動して回動する。ハンド21は、アーム20が時計回りに回動すると反時計回りに回動し、逆にアーム20が反時計回りに回動すると時計回りに回動する。従って、第1ハンド機構13は、アーム20を時計回りに回動させると伸張し、逆にアーム20を反時計回りに回動させると屈曲する。
このように屈伸する第1ハンド機構13及び第2ハンド機構14は、初期姿勢において、各ハンド21及びそこに保持されたウエハ3が互いに当たらないようになっている。このような初期状態から各ハンド機構13,14のアーム20を前側に回動させると、ハンド21は、図6の一点鎖線、点線及び二点鎖線で示すように他方のハンド機構14(又は13)を避けるようにアーム21に連動して動くようになっている。このような退避動作は、回動軸側プーリー27とハンド用プーリー25との変速比(ギヤ比)、つまりアーム20に対するハンド21の減速比を調整することで実現している。減速比は、1.35以上1.65以下の範囲で設定されており、このような減速比になるように回動軸側プーリー27とハンド用プーリー25との変速比(ギヤ比))が設定されている。このような範囲内で減速比を設定すると、退避動作が実現できるだけでなく、後述するようにハンド21及びそこに保持されたウエハ3を略直線的に動かすことができる。このようにハンド21を直線的に動かすことで、ハンド21及びそこに保持されたウエハ3が搬送中にゲート8に干渉することを防ぐことができる。なお、本実施形態において、減速比が例えば、1.55になるように変速比(ギヤ比)が設定されている。以下では、半導体処理設備2における搬送装置1のハンド21の動きについて詳しく説明する。
以下では、搬送チャンバ7の左前方に設けられているプロセスチャンバ5F内の処理室4Fにウエハ3を搬送する場合について、図7乃至図12を参照しつつ説明する。まず、制御器50は、初期姿勢の搬送装置1の旋回リンク12を旋回させ、第1ハンド機構13及び第2ハンド機構14のハンド21の先端部を搬送先の処理室4F側に向ける(図7参照)。この際、旋回リンク12は、左右方向に延在している。
減速比が1.0に設定された場合について説明する。まず、制御器50は、初期姿勢の搬送装置1の旋回リンク12を回動させ、第1ハンド機構13及び第2ハンド機構14のハンド21の先端部を搬送先の処理室4A側に向ける(図23参照)。その後、制御器50は、旋回用モータ18及び第2回動用モータ41を制御して第2ハンド機構14のハンド21を処理室4Aに挿入していく(図24及び図25参照)。第2ハンド機構14のハンド21は、ゲート8Aに挿入された時、略真直ぐな姿勢で挿入されているが、載置位置9Aの方へと進むにつれて徐々にその姿勢がゲート8Aに対して平面視で斜めに傾いていく。そのままハンド21を前進させていくと、やがてハンド21が搬送チャンバ7(正確にはゲート8Aの開口の向かって左側の部分)と接触する(図26参照)。このように、減速比を1.0に設定すると、ゲート8Aに挿入された後、第2ハンド機構14のハンド21は、その姿勢を傾けながら前進するので、搬送チャンバ7と接触してしまう。
本実施形態では、七角形の搬送チャンバ7を備える半導体処理装置2について説明したが、搬送チャンバ7の形状は、必ずしも前述するような形状に限定されない。搬送チャンバ7は、六角形及び八角形等の多角形、円形や楕円形であってもよく、その形状は問わない。プロセスチャンバ5についても同様である。搬送装置1の旋回ベース13、アーム20及びハンド21についても、上述するような動作が可能であれば形状は問わない。
3 ウエハ
12 旋回リンク
13 第1ハンド機構
14 第2ハンド機構
17 旋回用駆動機構
20 アーム
21 ハンド
22 アーム用プーリー
23 回動軸
24 ハンド用軸
25 ハンド用プーリー
26 連動機構
27 回動軸側プーリー
28 ハンド用ベルト
30 第1ハンド用駆動機構
32 第1駆動軸
35 第1中間プーリー
36 アーム用ベルト
40 第2ハンド用駆動機構
45 第2中間プーリー
46 アーム用ベルト
50 制御器
51 ベローズ
Claims (5)
- 予め定められた旋回軸線を中心に旋回可能に構成された1つの旋回リンクと、
ウエハを夫々保持可能で、前記旋回軸線に並行な2つの回動軸線を中心に夫々回動可能に前記旋回リンクに取り付けられた2つのハンド機構と、
前記2つのハンド機構を夫々回動駆動する2つのハンド駆動機構と、を備え、
前記ハンド機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに取り付けられ、前記ハンド駆動機構により回動されるアームと、前記回動軸線と平行なハンド用軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられた前記ウエハを保持するためのハンドと、前記アームの回動に連動して前記ハンドを回動させる連動機構と、を有し、
前記2つのハンド機構は、同一の構成を有して前記1つの旋回リンクに対称に配置され、
前記ハンド駆動機構は、前記ハンドを初期姿勢から前進させて前記初期姿勢に戻すように前記ハンド機構を回動駆動し、
前記初期姿勢は、2つの前記ハンドを前進させたときに各ハンドに保持されたウエハがぶつからないように設定され、
前記連動機構は、前記アームの回動に対する前記ハンドの回動の減速比が1.35以上1.65以下になるように構成されている、搬送装置。 - 前記連動機構は、前記回動軸線を中心に回動可能に前記旋回リンクに固定された回動軸線側プーリーと、前記ハンド軸線を中心に回動可能に前記アームに設けられたハンド軸線側プーリーと、該ハンド軸線側プーリーと前記回動軸線側プーリーとに巻き掛けられたハンド用ベルトと、を有し、
前記ハンドは、前記ハンド軸線側プーリーに固定され、
前記2つのハンド機構は、前記回動軸線側プーリーが同じ高さになるように配置されている、請求項1に記載の搬送装置。 - 前記ハンド駆動機構は、アーム用駆動モータと、前記アーム用駆動モータにより回動されるアーム用出力軸と、前記アーム用出力軸に連動して回動する中間プーリーと、前記アームに固定され、前記回動軸線を中心に回動可能なアーム用プーリーと、前記中間プーリーと前記アーム用プーリーとに巻き掛けられたアーム用ベルトと、を有し、
前記2つのハンド駆動機構の夫々の前記中間プーリーは、前記旋回リンクの内部空間に同じ高さで配置されている、請求項1又は2に記載の搬送装置。 - 前記2つのハンド駆動機構の夫々のアーム用出力軸のうち一方のアーム用出力軸は筒状に形成され、一方のアーム用出力軸に他方の前記アーム用出力軸が嵌挿されている、請求項3に記載の搬送装置。
- 前記旋回リンクを旋回駆動する旋回用駆動機構と、
前記旋回用駆動機構及び前記2つのアーム用駆動モータの動作を制御する制御手段とを更に備え、
前記制御手段は、前記アーム用駆動モータにより前記アーム及び前記ハンドを回動させて前記ハンド機構を伸張させながら前記旋回用駆動機構により前記旋回リンクを旋回させることで前記ハンドが向いている方向に該ハンドを直線的に移動させるように構成されている、請求項1乃至4の何れか1つに記載の搬送装置。
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