JP6829962B2 - 産業用ロボット - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット1の平面図である。図2は、図1に示す産業用ロボット1の側面図である。図3は、図2のE部の概略構成を説明するための断面図である。図4は、図2のF部の概略構成を説明するための断面図である。
図5は、図3のG部の拡大図である。図6は、図4のH部の拡大図である。図7(A)は、図1に示す共通アーム8のJ部の拡大図であり、図7(B)は、図1に示す共通アーム8のK部の拡大図である。
以上説明したように、本形態では、本体部9に連結される基端部22と、アーム6、7の基端側のそれぞれが連結される2個の先端部23、24と、2個の先端部23、24のそれぞれと基端部22とを繋ぐ2個の連結部25、26とによって共通アーム8が構成されており、基端部22と先端部23、24と連結部25、26とが別体で形成されている。そのため、本形態では、共通アーム8を、基端部22と先端部23、24と連結部25、26とに分解した状態で、真空チャンバー13の中に搬入することが可能になる。したがって、本形態では、共通アーム8が大型化しても、真空チャンバー13へ共通アーム8を容易に搬入することが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
2 基板(ガラス基板、搬送対象物)
4、5 ハンド
6、7 アーム
8 共通アーム
9 本体部
16、17 関節部
22 基端部
23、24 先端部
25、26 連結部
25a、26a 鍔部
30 モータ
31 減速機
32 回動軸
33 軸受
34 磁性流体シール(シール部材)
36 プーリ
44 ケース体
46 プーリ(駆動側プーリ)
47 ベルト
Claims (6)
- 真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物が搭載される2個のハンドと、2個の前記ハンドのそれぞれが先端側に回動可能に連結される2個のアームと、2個の前記アームの基端側が回動可能に連結される共通アームと、前記共通アームが回動可能に連結される本体部とを備え、
2個の前記アームのそれぞれと前記共通アームとの連結部である2個の関節部には、前記アームの基端側に固定される回動軸と、前記回動軸を回動可能に支持する軸受と、前記回動軸の外周側に配置されるシール部材とが配置され、
前記共通アームは、前記本体部に連結される基端部と、前記軸受および前記シール部材を保持する2個の先端部と、2個の前記先端部のそれぞれと前記基端部とを繋ぐ2個の連結部とを備え、
前記基端部と2個の前記先端部と2個の前記連結部とは別体で形成されていることを特徴とする産業用ロボット。 - 前記関節部には、前記回動軸を出力軸とする減速機が配置され、
前記減速機のケース体は、前記先端部に固定され、
前記軸受および前記シール部材は、前記ケース体を介して前記先端部に保持されていることを特徴とする請求項1記載の産業用ロボット。 - 前記回動軸を回動させるために前記関節部に配置されるプーリと、前記先端部に保持されるモータと、前記モータの出力軸に固定される駆動側プーリと、前記プーリと前記駆動側プーリとの間に架け渡されるベルトとを備えることを特徴とする請求項1または2記載の産業用ロボット。
- 前記連結部は、筒状に形成されるパイプであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の産業用ロボット。
- 前記連結部の両端には、前記連結部の径方向の外側に広がる鍔部が形成され、
前記連結部の一端は、ネジによって前記基端部に固定され、前記連結部の他端は、ネジによって前記先端部に固定されていることを特徴とする請求項4記載の産業用ロボット。 - 前記共通アームは、中空状に形成され、
前記共通アームの内部は、大気圧となっていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の産業用ロボット。
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