JP6829962B2 - Industrial robot - Google Patents

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Description

本発明は、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot that conveys an object to be conveyed in a vacuum.

従来、真空中で、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、本体部と共通アームと２個のアームと２個のハンドとを備えている。共通アームは、略Ｖ形状に形成されている。略Ｖ形状に形成される共通アームの中心部分は、本体部に回動可能に連結されている。また、略Ｖ形状に形成される共通アームの２個の先端側のそれぞれには、２個のアームのそれぞれの基端側が回動可能に連結されている。２個のアームのそれぞれの先端側には、２個のハンドのそれぞれが回動可能に連結されている。 Conventionally, an industrial robot that conveys a glass substrate for a liquid crystal display in a vacuum is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a main body, a common arm, two arms, and two hands. The common arm is formed in a substantially V shape. The central portion of the common arm formed in a substantially V shape is rotatably connected to the main body portion. Further, the base end side of each of the two arms is rotatably connected to each of the two tip ends of the common arm formed in a substantially V shape. Each of the two hands is rotatably connected to the tip side of each of the two arms.

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、２個のハンド、２個のアームおよび共通アームは、内部が真空となっているチャンバー（真空チャンバー）内に配置されている。この産業用ロボットの場合、連結された状態の２個のアームと共通アームとを真空チャンバー内に搬入することが困難であるため、連結される前の２個のアームと共通アームとを真空チャンバー内に個別に搬入した後、真空チャンバー内で、２個のアームと共通アームとを連結している。 In the industrial robot described in Patent Document 1, the two hands, the two arms, and the common arm are arranged in a chamber (vacuum chamber) in which the inside is evacuated. In the case of this industrial robot, since it is difficult to carry the two arms in a connected state and the common arm into the vacuum chamber, the two arms before being connected and the common arm are combined in the vacuum chamber. After being individually carried into the inside, the two arms and the common arm are connected in the vacuum chamber.

特開２０１３−１０３３３０号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-103330

近年、産業用ロボットで搬送されるガラス基板等の搬送対象物は大型化している。搬送対象物の大型化に伴って、産業用ロボットを大型化する必要があり、特許文献１に記載の産業用ロボットを大型化する場合には、共通アームも大型化する必要がある。しかしながら、特許文献１に記載の産業用ロボットの場合、真空チャンバー内で、２個のアームと共通アームとを連結しているため、共通アームが大型化して共通アームの重量が重くなると、アームと共通アームとを連結する際に、真空チャンバー内で共通アームを取り扱いにくくなる。また、共通アームが大型化すると、真空チャンバーに共通アームを搬入しにくくなる。 In recent years, objects to be transported such as glass substrates transported by industrial robots have become large in size. It is necessary to increase the size of the industrial robot as the object to be transported increases, and when the industrial robot described in Patent Document 1 is increased in size, the common arm also needs to be increased in size. However, in the case of the industrial robot described in Patent Document 1, since the two arms and the common arm are connected in the vacuum chamber, when the common arm becomes large and the weight of the common arm becomes heavy, the arm and the arm When connecting to the common arm, it becomes difficult to handle the common arm in the vacuum chamber. Further, when the common arm becomes large, it becomes difficult to carry the common arm into the vacuum chamber.

そこで、本発明の課題は、２個のアームの基端側が回動可能に連結される共通アームを備える産業用ロボットにおいて、共通アームが大型化しても、真空チャンバー内での共通アームの取り扱い、および、真空チャンバーへの共通アームの搬入を容易に行うことが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to handle a common arm in a vacuum chamber even if the common arm becomes large in an industrial robot provided with a common arm in which the base end sides of the two arms are rotatably connected. Another object of the present invention is to provide an industrial robot capable of easily carrying a common arm into a vacuum chamber.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物が搭載される２個のハンドと、２個のハンドのそれぞれが先端側に回動可能に連結される２個のアームと、２個のアームの基端側が回動可能に連結される共通アームと、共通アームが回動可能に連結される本体部とを備え、２個のアームのそれぞれと共通アームとの連結部である２個の関節部には、アームの基端側に固定される回動軸と、回動軸を回動可能に支持する軸受と、回動軸の外周側に配置されるシール部材とが配置され、共通アームは、本体部に連結される基端部と、軸受およびシール部材を保持する２個の先端部と、２個の先端部のそれぞれと基端部とを繋ぐ２個の連結部とを備え、基端部と２個の先端部と２個の連結部とは別体で形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention is an industrial robot that transports an object to be transported in a vacuum, in which two hands on which the object to be transported is mounted and each of the two hands are used. It is provided with two arms rotatably connected to the tip side, a common arm rotatably connected to the base end side of the two arms, and a main body portion rotatably connected to the common arm. The two joints, which are the connecting parts of each of the two arms and the common arm, have a rotating shaft fixed to the base end side of the arm and a bearing that rotatably supports the rotating shaft. , A seal member arranged on the outer peripheral side of the rotation shaft is arranged, and the common arm has a base end portion connected to the main body portion, two tip portions for holding the bearing and the seal member, and two common arms. It is characterized in that it includes two connecting portions connecting each of the tip portions and the base end portion, and the base end portion, the two tip portions, and the two connecting portions are formed separately.

本発明の産業用ロボットでは、共通アームは、本体部に連結される基端部と、軸受およびシール部材を保持する２個の先端部と、２個の先端部のそれぞれと基端部とを繋ぐ２個の連結部とを備えており、基端部と２個の先端部と２個の連結部とが別体で形成されている。そのため、本発明では、共通アームを、基端部と２個の先端部と２個の連結部とに分解した状態で、真空チャンバーの中に搬入することが可能になる。したがって、本発明では、共通アームが大型化しても、真空チャンバーへ共通アームを容易に搬入することが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, the common arm has a base end portion connected to the main body portion, two tip portions for holding the bearing and the sealing member, and each of the two tip portions and the base end portion. It is provided with two connecting portions to be connected, and the base end portion, the two tip portions, and the two connecting portions are formed as separate bodies. Therefore, in the present invention, the common arm can be carried into the vacuum chamber in a state of being disassembled into a base end portion, two tip portions, and two connecting portions. Therefore, in the present invention, even if the common arm becomes large, the common arm can be easily carried into the vacuum chamber.

また、本発明では、共通アームを、基端部と２個の先端部と２個の連結部とに分解した状態で、真空チャンバーの中に搬入することが可能になるため、共通アームが大型化して共通アームの重量が重くなっても、共通アーム全体の重量よりも軽い基端部と先端部と連結部とを真空チャンバー内で個別に取り扱うことが可能になる。したがって、本発明では、真空チャンバー内で共通アームを容易に取り扱うことが可能になる。 Further, in the present invention, the common arm can be carried into the vacuum chamber in a state of being disassembled into a base end portion, two tip portions, and two connecting portions, so that the common arm is large. Even if the weight of the common arm becomes heavier, the base end portion, the tip portion, and the connecting portion, which are lighter than the weight of the entire common arm, can be individually handled in the vacuum chamber. Therefore, in the present invention, the common arm can be easily handled in the vacuum chamber.

さらに、本発明では、回動軸を回動可能に支持する軸受と、回動軸の外周側に配置されるシール部材とが先端部に保持されているため、回動軸と軸受とシール部材とが予め組み込まれた先端部を真空チャンバーの中に搬入することが可能になる。したがって、本発明では、基端部と２個の先端部と２個の連結部とに分解した状態で共通アームを真空チャンバーの中に搬入する場合であっても、真空チャンバー内での共通アームの組立作業を容易に行うことが可能になる。 Further, in the present invention, since the bearing that rotatably supports the rotating shaft and the seal member arranged on the outer peripheral side of the rotating shaft are held at the tip portion, the rotating shaft, the bearing, and the sealing member It becomes possible to carry the tip portion in which the bearing is preliminarily incorporated into the vacuum chamber. Therefore, in the present invention, even when the common arm is carried into the vacuum chamber in a state of being disassembled into the base end portion, the two tip portions, and the two connecting portions, the common arm in the vacuum chamber is carried in. It becomes possible to easily perform the assembly work of.

本発明において、たとえば、関節部には、回動軸を出力軸とする減速機が配置され、減速機のケース体は、先端部に固定され、軸受およびシール部材は、ケース体を介して先端部に保持されている。この場合には、減速機が予め組み込まれた先端部を真空チャンバーの中に搬入することが可能になる。したがって、関節部に減速機が配置されていても、真空チャンバー内での共通アームの組立作業を容易に行うことが可能になる。 In the present invention, for example, a speed reducer having a rotation shaft as an output shaft is arranged at the joint portion, the case body of the speed reducer is fixed to the tip portion, and the bearing and the seal member are tipped via the case body. It is held in the department. In this case, the tip portion in which the speed reducer is incorporated in advance can be carried into the vacuum chamber. Therefore, even if the speed reducer is arranged at the joint portion, the assembly work of the common arm in the vacuum chamber can be easily performed.

本発明において、産業用ロボットは、回動軸を回動させるために関節部に配置されるプーリと、先端部に保持されるモータと、モータの出力軸に固定される駆動側プーリと、プーリと駆動側プーリとの間に架け渡されるベルトとを備えることが好ましい。このように構成すると、回動軸、軸受およびシール部材に加えてモータおよびベルト等が予め組み込まれた先端部を真空チャンバーの中に搬入することが可能になる。したがって、真空チャンバー内での共通アームの組立作業をより容易に行うことが可能になる。 In the present invention, the industrial robot includes a pulley arranged at a joint portion for rotating a rotation shaft, a motor held at a tip portion, a drive side pulley fixed to an output shaft of the motor, and a pulley. It is preferable to provide a belt that is bridged between the drive side pulley and the drive side pulley. With this configuration, it is possible to carry the tip portion in which the motor, belt, etc. are preliminarily incorporated in addition to the rotating shaft, bearing, and sealing member into the vacuum chamber. Therefore, the assembly work of the common arm in the vacuum chamber can be performed more easily.

本発明において、連結部は、筒状に形成されるパイプであることが好ましい。このように構成すると、連結部の剛性を確保しつつ、連結部を軽量化することが可能になる。また、連結部を軽量化することが可能になるため、共通アームが大型化しても共通アームの重量を軽減することが可能になる。また、このように構成すると、連結部のコストを低減することが可能になる。 In the present invention, the connecting portion is preferably a pipe formed in a tubular shape. With this configuration, it is possible to reduce the weight of the connecting portion while ensuring the rigidity of the connecting portion. Further, since the weight of the connecting portion can be reduced, the weight of the common arm can be reduced even if the common arm is enlarged. Further, with such a configuration, it is possible to reduce the cost of the connecting portion.

本発明において、連結部の両端には、連結部の径方向の外側に広がる鍔部が形成され、連結部の一端は、ネジによって基端部に固定され、連結部の他端は、ネジによって先端部に固定されていることが好ましい。このように構成すると、基端部と先端部と連結部とをネジによって互いに固定することで、共通アームを組み立てることができるため、真空チャンバー内での共通アームの組立作業がより容易になる。 In the present invention, flanges extending outward in the radial direction of the connecting portion are formed at both ends of the connecting portion, one end of the connecting portion is fixed to the base end portion by a screw, and the other end of the connecting portion is fixed by a screw. It is preferably fixed to the tip. With this configuration, the common arm can be assembled by fixing the base end portion, the tip end portion, and the connecting portion to each other with screws, so that the assembly work of the common arm in the vacuum chamber becomes easier.

本発明において、たとえば、共通アームは、中空状に形成され、共通アームの内部は、大気圧となっている。 In the present invention, for example, the common arm is formed in a hollow shape, and the inside of the common arm is at atmospheric pressure.

以上のように、本発明では、２個のアームの基端側が回動可能に連結される共通アームを備える産業用ロボットにおいて、共通アームが大型化しても、真空チャンバー内での共通アームの取り扱い、および、真空チャンバーへの共通アームの搬入を容易に行うことが可能になる。 As described above, in the present invention, in the industrial robot provided with the common arm in which the base end side of the two arms is rotatably connected, the common arm is handled in the vacuum chamber even if the common arm becomes large. , And the common arm can be easily carried into the vacuum chamber.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot which concerns on embodiment of this invention. 図１に示す産業用ロボットの側面図である。It is a side view of the industrial robot shown in FIG. 図２のＥ部の概略構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the schematic structure of part E of FIG. 図２のＦ部の概略構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the schematic structure of part F of FIG. 図３のＧ部の拡大図である。It is an enlarged view of the part G of FIG. 図４のＨ部の拡大図である。It is an enlarged view of the H part of FIG. （Ａ）は、図１に示す共通アームのＪ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図１に示す共通アームのＫ部の拡大図である。(A) is an enlarged view of the J portion of the common arm shown in FIG. 1, and (B) is an enlarged view of the K portion of the common arm shown in FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図２のＥ部の概略構成を説明するための断面図である。図４は、図２のＦ部の概略構成を説明するための断面図である。 (Overall configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view of the industrial robot 1 according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the schematic configuration of the E portion of FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the schematic configuration of the F portion of FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、特に大型の基板２の搬送に適した大型のロボットである。また、ロボット１は、真空中で基板２を搬送する。ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド４、５と、２個のハンド４、５のそれぞれが先端側に回動可能に連結される２個のアーム６、７と、２個のアーム６、７の基端側が回動可能に連結される共通アーム８と、共通アーム８が回動可能に連結される本体部９とを備えている。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as “robot 1”) of the present embodiment is a robot for transporting a glass substrate 2 (hereinafter referred to as “board 2”) for a liquid crystal display, which is an object to be transported. is there. The robot 1 is a large robot particularly suitable for transporting a large substrate 2. Further, the robot 1 conveys the substrate 2 in a vacuum. The robot 1 includes two hands 4 and 5 on which the substrate 2 is mounted, and two arms 6 and 7 and two arms 6 and 7 in which each of the two hands 4 and 5 is rotatably connected to the tip side. A common arm 8 to which the base end side of the arms 6 and 7 is rotatably connected and a main body 9 to which the common arm 8 is rotatably connected are provided.

図２に示すように、ハンド４は、アーム６の先端側に回動可能に連結されている。ハンド５は、アーム７の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４は、ハンド５よりも下側に配置されている。アーム６は、ハンド４よりも下側に配置されている。アーム７は、ハンド５よりも上側に配置されている。共通アーム８は、アーム６よりも下側に配置されている。また、共通アーム８は、本体部９よりも上側に配置されている。 As shown in FIG. 2, the hand 4 is rotatably connected to the tip end side of the arm 6. The hand 5 is rotatably connected to the tip end side of the arm 7. The hand 4 is arranged below the hand 5. The arm 6 is arranged below the hand 4. The arm 7 is arranged above the hand 5. The common arm 8 is arranged below the arm 6. Further, the common arm 8 is arranged above the main body portion 9.

本体部９は、上下方向を回動の軸方向として共通アーム８を回動させる回動軸（図示省略）と、この回動軸を回動させる回動機構（図示省略）と、この回動機構と一緒に共通アーム８を昇降させる昇降機構（図示省略）と、回動機構や昇降機構が収容されるケース体とを備えている。このケース体は、有底円筒状に形成されるケース本体１１と、ケース本体１１の上端の開口を覆う蓋体１２とから構成されている。蓋体１２の中心には、共通アーム８を回動させる回動軸が配置される貫通孔が形成されている。また、蓋体１２には、ケース本体１１の径方向の外側に広がる鍔部１２ａが形成されている。 The main body 9 has a rotation shaft (not shown) that rotates the common arm 8 with the vertical direction as the axial direction of rotation, a rotation mechanism (not shown) that rotates the rotation shaft, and this rotation. It includes an elevating mechanism (not shown) that elevates and lowers the common arm 8 together with the mechanism, and a case body that houses the rotating mechanism and the elevating mechanism. This case body is composed of a case body 11 formed in a bottomed cylindrical shape and a lid body 12 that covers an opening at the upper end of the case body 11. At the center of the lid body 12, a through hole is formed in which a rotation shaft for rotating the common arm 8 is arranged. Further, the lid body 12 is formed with a collar portion 12a that extends outward in the radial direction of the case body 11.

上述のように、ロボット１は、真空中で基板２を搬送するためのロボットである。図２に示すように、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも上側の部分は、真空チャンバー１３の中に配置されている。すなわち、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。 As described above, the robot 1 is a robot for transporting the substrate 2 in a vacuum. As shown in FIG. 2, a portion of the robot 1 above the lower surface of the collar portion 12a is arranged in the vacuum chamber 13. That is, the portion of the robot 1 above the lower surface of the flange portion 12a is arranged in the vacuum region VR (in vacuum). On the other hand, the portion of the robot 1 below the lower surface of the collar portion 12a is arranged in the atmospheric region AR (in the atmosphere).

ハンド４、５は、基板２が搭載される複数のフォーク部１５を備えている。アーム６、７は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となるとともに上下方向の厚さが薄いブロック状に形成されている。アーム６の長さとアーム７の長さとは等しくなっている。また、アーム６、７は、中空状に形成されている。中空状に形成されるアーム６、７の内部は真空となっている。共通アーム８は、略Ｖ形状に形成されている。略Ｖ形状に形成される共通アーム８の中心部分は、本体部９に回動可能に連結されている。また、略Ｖ形状に形成される共通アーム８の一方の先端側にアーム６が回動可能に連結され、共通アーム８の他方の先端側にアーム７が回動可能に連結されている。 The hands 4 and 5 include a plurality of fork portions 15 on which the substrate 2 is mounted. The arms 6 and 7 have an elongated oval shape when viewed from the vertical direction, and are formed in a block shape having a thin vertical thickness. The length of the arm 6 and the length of the arm 7 are equal. Further, the arms 6 and 7 are formed in a hollow shape. The inside of the arms 6 and 7 formed in a hollow shape is a vacuum. The common arm 8 is formed in a substantially V shape. The central portion of the common arm 8 formed in a substantially V shape is rotatably connected to the main body portion 9. Further, the arm 6 is rotatably connected to one tip side of the common arm 8 formed in a substantially V shape, and the arm 7 is rotatably connected to the other tip side of the common arm 8.

アーム６と共通アーム８との連結部は、関節部１６となっている。アーム７と共通アーム８との連結部は、関節部１７となっている。また、ロボット１は、アーム６に対してハンド４を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム６を回動させる駆動機構１８（図３参照）と、アーム７に対してハンド５を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム７を回動させる駆動機構１９（図４参照）とを備えている。以下、共通アーム８の具体的な構成および駆動機構１８、１９の構成について説明する。 The connecting portion between the arm 6 and the common arm 8 is a joint portion 16. The connecting portion between the arm 7 and the common arm 8 is a joint portion 17. Further, the robot 1 rotates the hand 4 with respect to the arm 6 and the drive mechanism 18 (see FIG. 3) that rotates the arm 6 with respect to the common arm 8 and the hand 5 with respect to the arm 7. It is provided with a drive mechanism 19 (see FIG. 4) that rotates the arm 7 with respect to the common arm 8. Hereinafter, the specific configuration of the common arm 8 and the configurations of the drive mechanisms 18 and 19 will be described.

（共通アームおよび駆動機構の構成）
図５は、図３のＧ部の拡大図である。図６は、図４のＨ部の拡大図である。図７（Ａ）は、図１に示す共通アーム８のＪ部の拡大図であり、図７（Ｂ）は、図１に示す共通アーム８のＫ部の拡大図である。 (Composition of common arm and drive mechanism)
FIG. 5 is an enlarged view of the G portion of FIG. FIG. 6 is an enlarged view of the H portion of FIG. 7 (A) is an enlarged view of the J portion of the common arm 8 shown in FIG. 1, and FIG. 7 (B) is an enlarged view of the K portion of the common arm 8 shown in FIG.

共通アーム８は、本体部９に連結される基端部２２と、アーム６、７の基端側のそれぞれが連結される２個の先端部２３、２４と、２個の先端部２３、２４のそれぞれと基端部２２とを繋ぐ２個の連結部２５、２６とを備えている。本形態では、基端部２２と２個の先端部２３、２４と２個の連結部２５、２６とによって共通アーム８が構成されている。先端部２３には、アーム６の基端側が連結され、先端部２４には、アーム７の基端側が連結されている。連結部２５は、基端部２２と先端部２３とを繋ぎ、連結部２６は、基端部２２と先端部２４とを繋いでいる。 The common arm 8 has a base end portion 22 connected to the main body portion 9, two tip portions 23 and 24 to which the base end sides of the arms 6 and 7 are connected to each other, and two tip portions 23 and 24. It is provided with two connecting portions 25 and 26 for connecting each of the above and the base end portion 22. In this embodiment, the common arm 8 is composed of the base end portion 22, the two tip portions 23, 24, and the two connecting portions 25, 26. The base end side of the arm 6 is connected to the tip end portion 23, and the base end side of the arm 7 is connected to the tip end portion 24. The connecting portion 25 connects the base end portion 22 and the tip end portion 23, and the connecting portion 26 connects the base end portion 22 and the tip end portion 24.

基端部２２と２個の先端部２３、２４と２個の連結部２５、２６とは別体で形成されており、基端部２２と２個の先端部２３、２４と２個の連結部２５、２６とが固定されて一体化されることで共通アーム８が構成されている。基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とは、アルミニウム合金で形成されている。また、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とは、中空状に形成されている。すなわち、共通アーム８は、中空状に形成されている。共通アーム８の内部は、大気圧となっている。なお、基端部２２、先端部２３、２４および連結部２５、２６とは、ステンレス鋼で形成されていても良い。 The base end portion 22 and the two tip portions 23, 24 and the two connecting portions 25, 26 are formed separately, and the base end portion 22 and the two tip portions 23, 24 and the two connecting portions are connected. The common arm 8 is formed by fixing and integrating the portions 25 and 26. The base end portion 22, the tip portions 23, 24, and the connecting portions 25, 26 are formed of an aluminum alloy. Further, the base end portion 22, the tip ends 23 and 24, and the connecting portions 25 and 26 are formed in a hollow shape. That is, the common arm 8 is formed in a hollow shape. The inside of the common arm 8 is atmospheric pressure. The base end portion 22, the tip end portions 23, 24 and the connecting portions 25, 26 may be made of stainless steel.

基端部２２は、上下方向から見たときの形状が略五角形状となるブロック状に形成されており、図７（Ａ）に示すように、基端部２２の側面は、円弧状の曲面部を介して一端同士が繋がる２個の第１側面２２ａと、２個の第１側面２２ａのそれぞれの他端に一端が繋がる２個の第２側面２２ｂと、２個の第２側面２２ｂの他端同士を繋ぐ第３側面２２ｃとから構成されている。基端部２２の下面の中心には、本体部９の回動軸の上端が固定されている。 The base end portion 22 is formed in a block shape having a substantially pentagonal shape when viewed from the vertical direction, and as shown in FIG. 7A, the side surface of the base end portion 22 is an arcuate curved surface. Two first side surfaces 22a whose ends are connected to each other via a portion, two second side surfaces 22b whose one end is connected to the other ends of each of the two first side surfaces 22a, and two second side surfaces 22b. It is composed of a third side surface 22c that connects the other ends. The upper end of the rotation shaft of the main body 9 is fixed to the center of the lower surface of the base end 22.

先端部２３、２４は、上下方向から見たときの形状が略長方形状となるブロック状に形成されている。先端部２３の上面には、駆動機構１８を構成する後述の減速機３１の一部分が配置される開口部が形成され、先端部２４の上面には、駆動機構１９を構成する後述の減速機３１の一部分が配置される開口部が形成されている。連結部２５、２６は、筒状に形成されるパイプである。本形態の連結部２５、２６は、細長い円筒状に形成されている。連結部２５、２６の長さは、たとえば、４（ｍ）となっている。連結部２５と連結部２６とは、同形状に形成されている。連結部２５、２６の両端には、径方向の外側に広がる鍔部２５ａ、２６ａが形成されている。なお、連結部２５、２６は、四角筒状等の多角筒状に形成されていても良いし、楕円筒状等に形成されていても良い。 The tip portions 23 and 24 are formed in a block shape in which the shape when viewed from the vertical direction is substantially rectangular. An opening in which a part of the speed reducer 31 constituting the drive mechanism 18 is arranged is formed on the upper surface of the tip portion 23, and a speed reducer 31 described later constituting the drive mechanism 19 is formed on the upper surface of the tip portion 24. An opening is formed in which a part of the above is arranged. The connecting portions 25 and 26 are pipes formed in a tubular shape. The connecting portions 25 and 26 of this embodiment are formed in an elongated cylindrical shape. The lengths of the connecting portions 25 and 26 are, for example, 4 (m). The connecting portion 25 and the connecting portion 26 are formed in the same shape. At both ends of the connecting portions 25 and 26, flange portions 25a and 26a extending outward in the radial direction are formed. The connecting portions 25 and 26 may be formed in a polygonal tubular shape such as a square tubular shape, or may be formed in an elliptical tubular shape or the like.

連結部２５の一端は、基端部２２にネジ（図示省略）によって固定され、連結部２５の他端は、先端部２３にネジ（図示省略）によって固定されている。連結部２６の一端は、基端部２２にネジ（図示省略）によって固定され、連結部２６の他端は、先端部２４にネジ（図示省略）によって固定されている。すなわち、連結部２５、２６の両端に形成される鍔部２５ａ、２６ａは、基端部２２および先端部２３、２４に固定されている。 One end of the connecting portion 25 is fixed to the base end portion 22 with a screw (not shown), and the other end of the connecting portion 25 is fixed to the tip end portion 23 with a screw (not shown). One end of the connecting portion 26 is fixed to the base end portion 22 with a screw (not shown), and the other end of the connecting portion 26 is fixed to the tip end portion 24 with a screw (not shown). That is, the collar portions 25a and 26a formed at both ends of the connecting portions 25 and 26 are fixed to the base end portion 22 and the tip portions 23 and 24.

連結部２５、２６の一端に形成される鍔部２５ａ、２６ａは、基端部２２の第２側面２２ｂに当接している。そのため、連結部２５と連結部２６とがなす角度は、２個の第２側面２２ｂがなす角度によって規定されている。第２側面２２ｂには、円筒状に形成される連結部２５、２６の内部に通じる開口部が形成されている。連結部２５、２６の他端に形成される鍔部２５ａ、２６ａは、先端部２３、２４の１つの側面に当接している。鍔部２５ａ、２６ａが当接する先端部２３、２４の１つの側面には、連結部２５、２６の内部に通じる開口部が形成されている。 The flange portions 25a and 26a formed at one ends of the connecting portions 25 and 26 are in contact with the second side surface 22b of the base end portion 22. Therefore, the angle formed by the connecting portion 25 and the connecting portion 26 is defined by the angle formed by the two second side surfaces 22b. The second side surface 22b is formed with an opening leading to the inside of the connecting portions 25 and 26 formed in a cylindrical shape. The flange portions 25a and 26a formed at the other ends of the connecting portions 25 and 26 are in contact with one side surface of the tip portions 23 and 24. An opening leading to the inside of the connecting portions 25 and 26 is formed on one side surface of the tip portions 23 and 24 that the flange portions 25a and 26a abut with.

駆動機構１８は、アーム６に対してハンド４を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム６を回動させるモータ３０と、モータ３０に連結される減速機３１とを備えている。減速機３１は、減速機３１の出力軸となる回動軸３２と、回動軸３２を回動可能に支持する軸受３３と、回動軸３２の外周側に配置されるシール部材としての磁性流体シール３４とを備えている。また、駆動機構１８は、回動軸３２を回動させるために減速機３１の入力軸３５に固定されるプーリ３６と、アーム６の基端側の内部に配置されるプーリ３７と、アーム６の先端側の内部に配置されるプーリ３８とを備えている。減速機３１は、関節部１６に配置されている。すなわち、回動軸３２、軸受３３および磁性流体シール３４は、関節部１６に配置されている。また、プーリ３６、３７も、関節部１６に配置されている。 The drive mechanism 18 includes a motor 30 that rotates the hand 4 with respect to the arm 6 and rotates the arm 6 with respect to the common arm 8, and a speed reducer 31 connected to the motor 30. The speed reducer 31 includes a rotating shaft 32 that is an output shaft of the speed reducer 31, a bearing 33 that rotatably supports the rotating shaft 32, and magnetism as a seal member arranged on the outer peripheral side of the rotating shaft 32. It includes a fluid seal 34. Further, the drive mechanism 18 includes a pulley 36 fixed to the input shaft 35 of the speed reducer 31 for rotating the rotation shaft 32, a pulley 37 arranged inside the base end side of the arm 6, and the arm 6. It is provided with a pulley 38 arranged inside the tip side of the. The speed reducer 31 is arranged at the joint portion 16. That is, the rotating shaft 32, the bearing 33, and the magnetic fluid seal 34 are arranged at the joint portion 16. Further, the pulleys 36 and 37 are also arranged at the joint portion 16.

減速機３１は、中空波動歯車装置である。この減速機３１は、上述の回動軸３２、軸受３３および磁性流体シール３４に加えて、剛性内歯歯車４１と、可撓性外歯歯車４２と、入力軸３５の外周側に取り付けられるウエーブベアリング４３とを備えている。また、減速機３１は、軸受３３および磁性流体シール３４を保持するケース体４４を備えている。ケース体４４は、全体として略円筒状に形成されている。ケース体４４の上端側部分は、先端部２３の上面部分に固定されており、ケース体４４は、先端部２３に保持されている。すなわち、軸受３３および磁性流体シール３４は、ケース体４４を介して先端部２３に保持されている。また、減速機３１の、ケース体４４の上端側部分と回動軸３２の上端側部分とを除いた部分は、先端部２３の内部に配置されている。 The speed reducer 31 is a hollow wave gearing device. In addition to the above-mentioned rotating shaft 32, bearing 33, and magnetic fluid seal 34, the speed reducer 31 has a rigid internal gear 41, a flexible external gear 42, and a wave attached to the outer peripheral side of the input shaft 35. It is provided with a bearing 43. Further, the speed reducer 31 includes a case body 44 that holds the bearing 33 and the magnetic fluid seal 34. The case body 44 is formed in a substantially cylindrical shape as a whole. The upper end side portion of the case body 44 is fixed to the upper surface portion of the tip end portion 23, and the case body 44 is held by the tip end portion 23. That is, the bearing 33 and the magnetic fluid seal 34 are held by the tip portion 23 via the case body 44. Further, a portion of the speed reducer 31 excluding the upper end side portion of the case body 44 and the upper end side portion of the rotating shaft 32 is arranged inside the tip end portion 23.

軸受３３は、クロスローラベアリングである。軸受３３の外輪は、ケース体４４の上端側部分に固定されている。軸受３３の内輪は、回動軸３２に固定されている。回動軸３２は、磁性材料で形成されている。また、回動軸３２は、中空状に形成されている。回動軸３２の上端側には、回動軸３２の内周側を塞ぐ蓋４５が固定されている。回動軸３２は、アーム６の基端側に固定されている。具体的には、回動軸３２の上端がアーム６の基端側の下面部に固定されている。回動軸３２の上端面は、アーム６の基端側の下面に接触している。 The bearing 33 is a cross roller bearing. The outer ring of the bearing 33 is fixed to the upper end side portion of the case body 44. The inner ring of the bearing 33 is fixed to the rotating shaft 32. The rotating shaft 32 is made of a magnetic material. Further, the rotating shaft 32 is formed in a hollow shape. A lid 45 that closes the inner peripheral side of the rotating shaft 32 is fixed to the upper end side of the rotating shaft 32. The rotation shaft 32 is fixed to the base end side of the arm 6. Specifically, the upper end of the rotating shaft 32 is fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 6. The upper end surface of the rotating shaft 32 is in contact with the lower surface of the arm 6 on the base end side.

磁性流体シール３４は、複数の磁石と、複数の磁石のそれぞれを上下方向で挟むように配置される円環状のポールピースと、ポールピースの内周面と回動軸３２の外周面との間に保持される磁性流体とを備えている。磁性流体シール３４の磁石およびポールピースは、ケース体４４の上端側部分の内周面に固定されている。磁性流体シール３４は、軸受３３の上側に配置されている。また、磁性流体シール３４は、アーム６の上面よりも上側に配置されている。 The ferrofluidic seal 34 is formed between a plurality of magnets, an annular pole piece arranged so as to sandwich each of the plurality of magnets in the vertical direction, and an inner peripheral surface of the pole piece and an outer peripheral surface of the rotating shaft 32. It has a magnetic fluid that is held in. The magnet and pole piece of the ferrofluidic seal 34 are fixed to the inner peripheral surface of the upper end side portion of the case body 44. The magnetic fluid seal 34 is arranged above the bearing 33. Further, the magnetic fluid seal 34 is arranged above the upper surface of the arm 6.

入力軸３５は、中空状に形成されている。入力軸３５は、軸受を介してケース体４４の下端側部分に回転可能に支持されている。入力軸３５には、上下方向から見たときの外周面の形状が楕円形状となる楕円部が形成されている。剛性内歯歯車４１は、ケース体４４の下端側部分に固定されている。剛性内歯歯車４１の内周面には、内歯が形成されている。可撓性外歯歯車４２の上端側部分は、回動軸３２の下端に固定されている。可撓性外歯歯車４２の下端側部分の外周面には、剛性内歯歯車４１の内歯と噛み合う外歯が形成されている。可撓性外歯歯車４２は、入力軸３５に対して相対回転可能となっている。 The input shaft 35 is formed in a hollow shape. The input shaft 35 is rotatably supported by a lower end portion of the case body 44 via a bearing. The input shaft 35 is formed with an elliptical portion having an elliptical shape on the outer peripheral surface when viewed from the vertical direction. The rigid internal gear 41 is fixed to the lower end side portion of the case body 44. Internal teeth are formed on the inner peripheral surface of the rigid internal gear 41. The upper end side portion of the flexible external gear 42 is fixed to the lower end of the rotating shaft 32. External teeth that mesh with the internal teeth of the rigid internal gear 41 are formed on the outer peripheral surface of the lower end side portion of the flexible external gear 42. The flexible external gear 42 is rotatable relative to the input shaft 35.

ウエーブベアリング４３は、可撓性の内輪および外輪を備えたボールベアリングである。このウエーブベアリング４３は、入力軸３５の楕円部の外周面に沿って配置されており、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車４２の、外歯が形成される下端側部分は、ウエーブベアリング４３を囲むようにウエーブベアリング４３の外周側に配置されており、この部分は、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車４２の外歯は、楕円状に撓む可撓性外歯歯車４２の下端側部分の長軸方向の２か所で、剛性内歯歯車４１の内歯と噛み合っている。 The wave bearing 43 is a ball bearing having a flexible inner ring and an outer ring. The wave bearing 43 is arranged along the outer peripheral surface of the elliptical portion of the input shaft 35, and is bent in an elliptical shape. The lower end portion of the flexible external tooth gear 42 on which the external teeth are formed is arranged on the outer peripheral side of the wave bearing 43 so as to surround the wave bearing 43, and this portion is bent in an elliptical shape. The external teeth of the flexible external gear 42 mesh with the internal teeth of the rigid internal gear 41 at two locations in the major axis direction of the lower end side portion of the flexible external gear 42 that bends in an elliptical shape. ..

モータ３０は、先端部２３に固定されており、先端部２３に保持されている。また、モータ３０は、先端部２３の内部に配置されるとともに、減速機３１よりも連結部２５側に配置されている。モータ３０の出力軸には、駆動側プーリとしてのプーリ４６が固定されている。プーリ３６は、入力軸３５の下端に固定されている。プーリ３６とプーリ４６とにベルト４７が架け渡されている。ベルト４７は、ゴム製のベルトである。プーリ３６、４６およびベルト４７は、先端部２３の内部に配置されている。 The motor 30 is fixed to the tip portion 23 and is held by the tip portion 23. Further, the motor 30 is arranged inside the tip portion 23 and is arranged on the connecting portion 25 side of the speed reducer 31. A pulley 46 as a drive-side pulley is fixed to the output shaft of the motor 30. The pulley 36 is fixed to the lower end of the input shaft 35. A belt 47 is bridged between the pulley 36 and the pulley 46. The belt 47 is a rubber belt. The pulleys 36, 46 and the belt 47 are arranged inside the tip portion 23.

アーム６の基端側の内部には、プーリ３７を回動可能に支持する支持軸５０が固定されている。支持軸５０は、下端に鍔部５０ａを有する鍔付きの円筒状に形成されており、鍔部５０ａがアーム６の基端側の下面部に固定されている。すなわち、支持軸５０は、アーム６の下面部から立ち上がっている。また、支持軸５０は、支持軸５０の軸心と回動軸３２の軸心とが一致するように固定されている。本形態では、共通のネジ５１によって、回動軸３２と支持軸５０とがアーム６の基端側の下面部に固定されている。 A support shaft 50 that rotatably supports the pulley 37 is fixed inside the base end side of the arm 6. The support shaft 50 is formed in a cylindrical shape with a flange having a flange 50a at the lower end, and the collar 50a is fixed to the lower surface of the arm 6 on the base end side. That is, the support shaft 50 rises from the lower surface portion of the arm 6. Further, the support shaft 50 is fixed so that the axis of the support shaft 50 and the axis of the rotation shaft 32 coincide with each other. In this embodiment, the rotating shaft 32 and the support shaft 50 are fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 6 by a common screw 51.

プーリ３７は、軸受を介して支持軸５０に回動可能に支持されている。また、プーリ３７は、固定部材５３を介して先端部２３に固定されている。すなわち、プーリ３７は、固定部材５３を介して共通アーム８の一方の先端側に固定されている。固定部材５３は、共通アーム８の一方の先端に固定される側面部５３ａと、側面部５３ａの上端に固定される上面部５３ｂとから構成されている。上面部５３ｂは、アーム６の基端側部分の上側に配置されている。アーム６の基端側の上面部分には、図５に示すように、プーリ３７の上端側部分が配置される開口部６ａが形成されている。プーリ３７の上端は、上面部５３ｂに固定されている。プーリ３７の上端面は、上面部５３ｂの下面に接触している。 The pulley 37 is rotatably supported by the support shaft 50 via a bearing. Further, the pulley 37 is fixed to the tip portion 23 via the fixing member 53. That is, the pulley 37 is fixed to one tip side of the common arm 8 via the fixing member 53. The fixing member 53 is composed of a side surface portion 53a fixed to one end of the common arm 8 and an upper surface portion 53b fixed to the upper end of the side surface portion 53a. The upper surface portion 53b is arranged above the base end side portion of the arm 6. As shown in FIG. 5, an opening 6a in which the upper end side portion of the pulley 37 is arranged is formed on the upper surface portion of the arm 6 on the base end side. The upper end of the pulley 37 is fixed to the upper surface portion 53b. The upper end surface of the pulley 37 is in contact with the lower surface of the upper surface portion 53b.

アーム６の先端側の内部には、プーリ３８を回動可能に支持する支持軸５８が固定されている。支持軸５８は、アーム６の先端側の下面部から立ち上がっている。プーリ３８は、軸受を介して支持軸５８に回動可能に支持されている。また、プーリ３８の上端には、ハンド４の基端側が固定されている。プーリ３７とプーリ３８とには、ベルト６０が架け渡されている。本形態では、上下方向で重なるように配置される２本のベルト６０がプーリ３７とプーリ３８とに架け渡されている。ベルト６０は、鋼板製のスチールベルトである。ベルト６０は、図示を省略するネジによって、プーリ３７、３８に固定されている。 A support shaft 58 that rotatably supports the pulley 38 is fixed inside the tip end side of the arm 6. The support shaft 58 rises from the lower surface portion on the tip end side of the arm 6. The pulley 38 is rotatably supported by a support shaft 58 via a bearing. Further, the base end side of the hand 4 is fixed to the upper end of the pulley 38. A belt 60 is bridged between the pulley 37 and the pulley 38. In this embodiment, two belts 60 arranged so as to overlap each other in the vertical direction are bridged between the pulley 37 and the pulley 38. The belt 60 is a steel belt made of steel plate. The belt 60 is fixed to the pulleys 37 and 38 by screws (not shown).

駆動機構１９は、駆動機構１８とほぼ同様に構成されている。したがって、以下の駆動機構１９の説明では、主として、駆動機構１８と駆動機構１９との相違点を説明する。駆動機構１９は、アーム７に対してハンド５を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム７を回動させるモータ３０と、モータ３０に連結される減速機３１とを備えている。また、駆動機構１９は、減速機３１の入力軸３５に固定されるプーリ３６と、アーム７の基端側の内部に配置されるプーリ３７と、アーム７の先端側の内部に配置されるプーリ７８とを備えている。 The drive mechanism 19 is configured in substantially the same manner as the drive mechanism 18. Therefore, in the following description of the drive mechanism 19, the differences between the drive mechanism 18 and the drive mechanism 19 will be mainly described. The drive mechanism 19 includes a motor 30 that rotates the hand 5 with respect to the arm 7 and rotates the arm 7 with respect to the common arm 8, and a speed reducer 31 connected to the motor 30. Further, the drive mechanism 19 includes a pulley 36 fixed to the input shaft 35 of the speed reducer 31, a pulley 37 arranged inside the base end side of the arm 7, and a pulley arranged inside the tip end side of the arm 7. It is equipped with 78.

駆動機構１９の減速機３１は、関節部１７に配置されており、回動軸３２、軸受３３および磁性流体シール３４は、関節部１７に配置されている。また、駆動機構１９のプーリ３６、３７も、関節部１７に配置されている。駆動機構１９では、減速機３１のケース体４４の上端側部分は、先端部２４の上面部分に固定されており、ケース体４４は、先端部２４に保持されている。すなわち、軸受３３および磁性流体シール３４は、ケース体４４を介して先端部２４に保持されている。また、駆動機構１９では、減速機３１の、ケース体４４の上端側部分と回動軸３２の上端側部分とを除いた部分は、先端部２４の内部に配置されている。また、磁性流体シール３４は、アーム７の上面よりも上側に配置されている。 The speed reducer 31 of the drive mechanism 19 is arranged at the joint portion 17, and the rotating shaft 32, the bearing 33, and the magnetic fluid seal 34 are arranged at the joint portion 17. Further, the pulleys 36 and 37 of the drive mechanism 19 are also arranged at the joint portion 17. In the drive mechanism 19, the upper end side portion of the case body 44 of the speed reducer 31 is fixed to the upper surface portion of the tip end portion 24, and the case body 44 is held by the tip end portion 24. That is, the bearing 33 and the magnetic fluid seal 34 are held by the tip portion 24 via the case body 44. Further, in the drive mechanism 19, a portion of the speed reducer 31 excluding the upper end side portion of the case body 44 and the upper end side portion of the rotating shaft 32 is arranged inside the tip end portion 24. Further, the magnetic fluid seal 34 is arranged above the upper surface of the arm 7.

駆動機構１９では、回動軸３２の上端に、中空状に形成される第２回動軸７９の下端が固定されている。第２回動軸７９は、回動軸３２の軸心と第２回動軸７９の軸心とが一致するように回動軸３２に固定されている。第２回動軸７９の上端は、アーム７の基端側の下面部に固定されている。すなわち、回動軸３２は、第２回動軸７９を介して、アーム７の基端側に固定されている。第２回動軸７９の上端面は、アーム７の基端側の下面に接触している。なお、回動軸３２と第２回動軸７９とは一体で形成されていても良い。 In the drive mechanism 19, the lower end of the second rotating shaft 79 formed in a hollow shape is fixed to the upper end of the rotating shaft 32. The second rotation shaft 79 is fixed to the rotation shaft 32 so that the axis of the rotation shaft 32 and the axis of the second rotation shaft 79 coincide with each other. The upper end of the second rotation shaft 79 is fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 7. That is, the rotation shaft 32 is fixed to the base end side of the arm 7 via the second rotation shaft 79. The upper end surface of the second rotation shaft 79 is in contact with the lower surface on the base end side of the arm 7. The rotation shaft 32 and the second rotation shaft 79 may be integrally formed.

また、駆動機構１９では、モータ３０は、先端部２４に固定されており、先端部２４に保持されている。モータ３０は、先端部２４の内部に配置されるとともに、減速機３１よりも連結部２６側に配置されている。また、駆動機構１９では、プーリ３６、４６およびベルト４７は、先端部２４の内部に配置されている。 Further, in the drive mechanism 19, the motor 30 is fixed to the tip portion 24 and is held by the tip portion 24. The motor 30 is arranged inside the tip portion 24 and is arranged closer to the connecting portion 26 than the speed reducer 31. Further, in the drive mechanism 19, the pulleys 36, 46 and the belt 47 are arranged inside the tip portion 24.

アーム７の基端側の内部には、プーリ３７を回動可能に支持する支持軸５０が固定されている。具体的には、支持軸５０の鍔部５０ａがアーム７の基端側の下面部に固定されている。また、支持軸５０は、支持軸５０の軸心と第２回動軸７９の軸心と回動軸３２の軸心とが一致するように固定されている。本形態では、共通のネジ５１によって、第２回動軸７９と支持軸５０とがアーム７の基端側の下面部に固定されている。 A support shaft 50 that rotatably supports the pulley 37 is fixed inside the base end side of the arm 7. Specifically, the flange portion 50a of the support shaft 50 is fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 7. Further, the support shaft 50 is fixed so that the axis of the support shaft 50, the axis of the second rotation shaft 79, and the axis of the rotation shaft 32 coincide with each other. In this embodiment, the second rotation shaft 79 and the support shaft 50 are fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 7 by a common screw 51.

アーム７の基端側の内部に配置されるプーリ３７は、固定部材８３を介して先端部２４に固定されている。すなわち、このプーリ３７は、固定部材８３を介して共通アーム８の他方の先端側に固定されている。固定部材８３は、共通アーム８の他方の先端に固定される側面部８３ａと、側面部８３ａの上端に固定される上面部８３ｂとから構成されている。上面部８３ｂは、アーム７の基端側部分の上側に配置されている。アーム７の基端側の上面部分には、図６に示すように、プーリ３７の上端側部分が配置される開口部７ａが形成されている。プーリ３７の上端は、上面部８３ｂに固定されている。プーリ３７の上端面は、上面部８３ｂの下面に接触している。 The pulley 37 arranged inside the base end side of the arm 7 is fixed to the tip end portion 24 via the fixing member 83. That is, the pulley 37 is fixed to the other tip side of the common arm 8 via the fixing member 83. The fixing member 83 is composed of a side surface portion 83a fixed to the other tip of the common arm 8 and an upper surface portion 83b fixed to the upper end of the side surface portion 83a. The upper surface portion 83b is arranged above the base end side portion of the arm 7. As shown in FIG. 6, an opening 7a in which the upper end side portion of the pulley 37 is arranged is formed on the upper surface portion on the base end side of the arm 7. The upper end of the pulley 37 is fixed to the upper surface portion 83b. The upper end surface of the pulley 37 is in contact with the lower surface of the upper surface portion 83b.

アーム７の先端側の内部には、プーリ７８を回動可能に支持する円筒状の支持軸部７ｂが形成されている。支持軸部７ｂは、アーム７の先端側の下面部から立ち上がっている。プーリ７８は、軸受を介して支持軸部７ｂに回動可能に支持されている。また、プーリ７８の下端には、ハンド５の基端側が固定されている。プーリ３７とプーリ７８とには、上下方向で重なるように配置される２本のベルト６０が架け渡されている。ベルト６０は、図示を省略するネジによって、プーリ３７、７８に固定されている。 A cylindrical support shaft portion 7b that rotatably supports the pulley 78 is formed inside the tip end side of the arm 7. The support shaft portion 7b rises from the lower surface portion on the tip end side of the arm 7. The pulley 78 is rotatably supported by the support shaft portion 7b via a bearing. Further, the base end side of the hand 5 is fixed to the lower end of the pulley 78. Two belts 60 arranged so as to overlap each other in the vertical direction are bridged between the pulley 37 and the pulley 78. The belt 60 is fixed to the pulleys 37 and 78 by screws (not shown).

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、本体部９に連結される基端部２２と、アーム６、７の基端側のそれぞれが連結される２個の先端部２３、２４と、２個の先端部２３、２４のそれぞれと基端部２２とを繋ぐ２個の連結部２５、２６とによって共通アーム８が構成されており、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とが別体で形成されている。そのため、本形態では、共通アーム８を、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とに分解した状態で、真空チャンバー１３の中に搬入することが可能になる。したがって、本形態では、共通アーム８が大型化しても、真空チャンバー１３へ共通アーム８を容易に搬入することが可能になる。 (Main effect of this form)
As described above, in the present embodiment, the base end portion 22 connected to the main body portion 9, the two tip portions 23, 24 to which the proximal end sides of the arms 6 and 7 are connected to each other, and two A common arm 8 is composed of two connecting portions 25 and 26 that connect each of the tip portions 23 and 24 and the base end portion 22, and the base end portion 22 and the tip portions 23 and 24 and the connecting portions 25 and 26 are formed. And are formed separately. Therefore, in the present embodiment, the common arm 8 can be carried into the vacuum chamber 13 in a state of being disassembled into the base end portion 22, the tip portions 23, 24, and the connecting portions 25, 26. Therefore, in the present embodiment, even if the common arm 8 becomes large, the common arm 8 can be easily carried into the vacuum chamber 13.

また、本形態では、共通アーム８を、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とを分解した状態で、真空チャンバー１３の中に搬入することが可能になるため、共通アーム８が大型化して共通アーム８の重量が重くなっても、共通アーム８の全体の重量よりも軽い基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とを真空チャンバー１３の中で個別に取り扱うことが可能になる。したがって、本形態では、真空チャンバー１３の中で共通アーム８を容易に取り扱うことが可能になる。 Further, in the present embodiment, the common arm 8 can be carried into the vacuum chamber 13 in a state where the base end portion 22, the tip portions 23, 24 and the connecting portions 25, 26 are disassembled, and thus is common. Even if the arm 8 becomes larger and the weight of the common arm 8 becomes heavier, the base end portion 22, the tip portions 23, 24 and the connecting portions 25, 26, which are lighter than the total weight of the common arm 8, are placed in the vacuum chamber 13. Can be handled individually. Therefore, in this embodiment, the common arm 8 can be easily handled in the vacuum chamber 13.

また、本形態では、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とが別体で形成されているため、共通アーム８が一体で形成されている場合と比較して、大型化した共通アーム８を容易に製造することが可能になる。さらに、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とが別体で形成されているため、連結部２５、２６の長さを変更することで、共通の基端部２２と先端部２３、２４とを使用しながら、共通アーム８の大きさを変更することが可能になる。したがって、本形態では、基端部２２および先端部２３、２４の汎用性を高めることが可能になる。また、基端部２２の２個の第２側面２２ｂがなす角度を変更することで、共通の先端部２３、２４と連結部２５、２６とを使用しながら、連結部２５と連結部２６とがなす角度を変更することが可能になる。したがって、本形態では、先端部２３、２４および連結部２５、２６の汎用性を高めることが可能になる。 Further, in this embodiment, since the base end portion 22, the tip end portions 23, 24, and the connecting portions 25, 26 are formed separately, the size is larger than that in the case where the common arm 8 is integrally formed. It becomes possible to easily manufacture the modified common arm 8. Further, since the base end portion 22, the tip portions 23, 24, and the connecting portions 25, 26 are formed separately, the length of the connecting portions 25, 26 can be changed to form a common base end portion 22. It is possible to change the size of the common arm 8 while using the tip portions 23 and 24. Therefore, in this embodiment, it is possible to increase the versatility of the base end portion 22 and the tip end portions 23, 24. Further, by changing the angle formed by the two second side surfaces 22b of the base end portion 22, the connecting portion 25 and the connecting portion 26 can be used while using the common tip portions 23 and 24 and the connecting portions 25 and 26. It is possible to change the angle of the eggplant. Therefore, in this embodiment, it is possible to increase the versatility of the tip portions 23, 24 and the connecting portions 25, 26.

本形態では、関節部１６、１７に配置される減速機３１が先端部２３、２４に保持されている。すなわち、本形態では、先端部２３、２４がユニット化されており、減速機３１が予め組み込まれた先端部２３、２４を真空チャンバー１３の中に搬入することが可能になる。そのため、本形態では、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とに分解された状態で共通アーム８が真空チャンバー１３の中に搬入されても、真空チャンバー１３の中で共通アーム８を容易に組み立てることが可能になる。 In this embodiment, the speed reducers 31 arranged at the joints 16 and 17 are held at the tips 23 and 24. That is, in this embodiment, the tip portions 23 and 24 are unitized, and the tip portions 23 and 24 in which the speed reducer 31 is incorporated in advance can be carried into the vacuum chamber 13. Therefore, in this embodiment, even if the common arm 8 is carried into the vacuum chamber 13 in a state of being disassembled into the base end portion 22, the tip portions 23, 24, and the connecting portions 25, 26, the common arm 8 is carried into the vacuum chamber 13 in the vacuum chamber 13. The common arm 8 can be easily assembled.

特に本形態では、減速機３１に加えてモータ３０も先端部２３、２４に保持されているため、先端部２３、２４がよりユニット化されており、減速機３１、モータ３０、プーリ３６、４６およびベルト４７が予め組み込まれた先端部２３、２４を真空チャンバー１３の中に搬入することが可能になる。したがって、本形態では、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とに分解された状態で共通アーム８が真空チャンバー１３の中に搬入されても、真空チャンバー１３の中で共通アーム８をより容易に組み立てることが可能になる。 In particular, in this embodiment, since the motor 30 is also held by the tip portions 23 and 24 in addition to the speed reducer 31, the tip portions 23 and 24 are more unitized, and the speed reducer 31, the motor 30, and the pulleys 36 and 46 are further united. And the tip portions 23 and 24 in which the belt 47 is preliminarily incorporated can be carried into the vacuum chamber 13. Therefore, in the present embodiment, even if the common arm 8 is carried into the vacuum chamber 13 in a state of being disassembled into the base end portion 22, the tip portions 23, 24, and the connecting portions 25, 26, the common arm 8 is carried into the vacuum chamber 13 in the vacuum chamber 13. The common arm 8 can be assembled more easily.

また、本形態では、連結部２５、２６の一端は、基端部２２にネジによって固定され、連結部２５、２６の他端は、先端部２３、２４によって固定されているため、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とをネジによって互いに固定することで、共通アーム８を組み立てることができる。したがって、本形態では、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とに分解された状態で共通アーム８が真空チャンバー１３の中に搬入されても、真空チャンバー１３の中で共通アーム８をより容易に組み立てることが可能になる。 Further, in the present embodiment, one end of the connecting portions 25 and 26 is fixed to the base end portion 22 by a screw, and the other end of the connecting portions 25 and 26 is fixed by the tip portions 23 and 24. The common arm 8 can be assembled by fixing the 22 and the tip portions 23 and 24 and the connecting portions 25 and 26 to each other with screws. Therefore, in the present embodiment, even if the common arm 8 is carried into the vacuum chamber 13 in a state of being disassembled into the base end portion 22, the tip portions 23, 24, and the connecting portions 25, 26, the common arm 8 is carried into the vacuum chamber 13 in the vacuum chamber 13. The common arm 8 can be assembled more easily.

本形態では、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とがネジによって固定されているため、共通アーム８を容易に分解することが可能になる。したがって、本形態では、共通アーム８の一部が損傷したときに、共通アーム８を分解して、たとえば、基端部２２、先端部２３、２４および連結部２５、２６の中のいずれか１つを交換することが可能になる。そのため、本形態では、共通アーム８の一部が損傷したときに共通アーム８の全体を交換する場合と比較して、共通アーム８の一部が損傷したときに発生するコストを低減することが可能になる。 In this embodiment, since the base end portion 22, the tip ends 23, 24, and the connecting portions 25, 26 are fixed by screws, the common arm 8 can be easily disassembled. Therefore, in the present embodiment, when a part of the common arm 8 is damaged, the common arm 8 is disassembled, and for example, any one of the base end portion 22, the tip portions 23, 24 and the connecting portions 25, 26 is used. It becomes possible to exchange one. Therefore, in the present embodiment, the cost incurred when a part of the common arm 8 is damaged can be reduced as compared with the case where the entire common arm 8 is replaced when a part of the common arm 8 is damaged. It will be possible.

本形態では、連結部２５、２６は、円筒状に形成されるパイプである。そのため、本形態では、連結部２５、２６の剛性を確保しつつ、連結部２５、２６を軽量化することが可能になる。また、本形態では、連結部２５、２６を軽量化することが可能になるため、共通アーム８が大型化しても共通アーム８の重量を軽減することが可能になる。また、連結部２５、２６がパイプであるため、連結部２５、２６のコストを低減することが可能になる。 In this embodiment, the connecting portions 25 and 26 are pipes formed in a cylindrical shape. Therefore, in the present embodiment, it is possible to reduce the weight of the connecting portions 25 and 26 while ensuring the rigidity of the connecting portions 25 and 26. Further, in the present embodiment, since the connecting portions 25 and 26 can be reduced in weight, the weight of the common arm 8 can be reduced even if the common arm 8 is enlarged. Further, since the connecting portions 25 and 26 are pipes, the cost of the connecting portions 25 and 26 can be reduced.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be carried out without changing the gist of the present invention.

上述した形態において、関節部１６、１７に減速機３１が配置されていなくても良い。この場合には、たとえば、アーム６、７の基端側に固定される回動軸と、この回動軸の下端側に固定されるプーリと、回動軸を回転可能に支持する軸受と、回動軸の外周側に配置される磁性流体シールとが関節部１６、１７に配置されている。また、この場合には、軸受と磁性流体シールとが先端部２３、２４に直接あるいは所定の部材を介して保持されている。 In the above-described embodiment, the speed reducer 31 may not be arranged at the joints 16 and 17. In this case, for example, a rotating shaft fixed to the base end side of the arms 6 and 7, a pulley fixed to the lower end side of the rotating shaft, and a bearing that rotatably supports the rotating shaft. Magnetic fluid seals arranged on the outer peripheral side of the rotating shaft are arranged at the joints 16 and 17. Further, in this case, the bearing and the magnetic fluid seal are held directly on the tip portions 23 and 24 or via a predetermined member.

この場合であっても、回動軸と軸受と磁性流体シールとが予め組み込まれた先端部２３、２４を真空チャンバー１３の中に搬入することが可能になるため、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とに分解された状態で共通アーム８が真空チャンバー１３の中に搬入されても、真空チャンバー１３の中で共通アーム８を容易に組み立てることが可能になる。 Even in this case, since the tip portions 23 and 24 in which the rotating shaft, the bearing, and the magnetic fluid seal are incorporated in advance can be carried into the vacuum chamber 13, the base end portion 22 and the tip portion can be carried. Even if the common arm 8 is carried into the vacuum chamber 13 in a state of being disassembled into the 23 and 24 and the connecting portions 25 and 26, the common arm 8 can be easily assembled in the vacuum chamber 13.

上述した形態では、モータ３０は、先端部２３、２４に保持されているが、モータ３０は、連結部２５、２６に保持されていても良い。この場合には、モータ３０は、たとえば、連結部２５、２６の内部に配置されている。また、モータ３０は、本体部９に保持されて、ケース本体１１の内部に配置されても良い。また、上述した形態では、連結部２５、２６は、ネジによって基端部２２と先端部２３、２４とに固定されているが、連結部２５、２６は、ネジ以外の締結手段によって基端部２２と先端部２３、２４とに固定されても良い。たとえば、連結部２５、２６は、溶接によって基端部２２と先端部２３、２４とに固定されても良い。 In the above-described embodiment, the motor 30 is held by the tip portions 23 and 24, but the motor 30 may be held by the connecting portions 25 and 26. In this case, the motor 30 is arranged inside, for example, the connecting portions 25 and 26. Further, the motor 30 may be held by the main body 9 and arranged inside the case main body 11. Further, in the above-described form, the connecting portions 25 and 26 are fixed to the base end portion 22 and the tip portions 23 and 24 by screws, but the connecting portions 25 and 26 are fixed to the base end portions by fastening means other than screws. It may be fixed to 22 and the tip portions 23 and 24. For example, the connecting portions 25 and 26 may be fixed to the base end portion 22 and the tip portions 23 and 24 by welding.

上述した形態では、共通アーム８は、略Ｖ形状に形成されているが、共通アーム８は、直線状に形成されていても良い。また、上述した形態では、連結部２５、２６は、筒状に形成されたパイプであるが、連結部２５、２６は、パイプ以外の中空状の部材であっても良い。さらに、上述した形態では、回動軸３２の外周側に磁性流体シール３４が配置されているが、Ｏリング等の、磁性流体シール３４以外のシール部材が回動軸３２の外周側に配置されていても良い。また、上述した形態では、減速機３１は、中空波動歯車装置であるが、減速機３１は、偏心揺動型減速機（ＲＶ減速機）等の、中空波動歯車装置以外の減速機であっても良い。 In the above-described form, the common arm 8 is formed in a substantially V shape, but the common arm 8 may be formed in a straight line. Further, in the above-described form, the connecting portions 25 and 26 are pipes formed in a tubular shape, but the connecting portions 25 and 26 may be hollow members other than the pipe. Further, in the above-described embodiment, the magnetic fluid seal 34 is arranged on the outer peripheral side of the rotating shaft 32, but a sealing member other than the magnetic fluid seal 34 such as an O-ring is arranged on the outer peripheral side of the rotating shaft 32. You may have. Further, in the above-described embodiment, the speed reducer 31 is a hollow wave gear device, but the speed reducer 31 is a speed reducer other than the hollow wave gear device such as an eccentric swing type speed reducer (RV speed reducer). Is also good.

上述した形態において、アーム６、７は、相対回動可能に連結される２個のアーム部によって構成されていても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。 In the above-described embodiment, the arms 6 and 7 may be composed of two arm portions that are connected so as to be relatively rotatable. Further, in the above-described embodiment, the object to be conveyed by the robot 1 is a glass substrate for a liquid crystal display, but the object to be conveyed by the robot 1 is a glass for an organic EL (organic electroluminescence) display. It may be a substrate, a semiconductor wafer, or the like.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
４、５ ハンド
６、７ アーム
８ 共通アーム
９ 本体部
１６、１７ 関節部
２２ 基端部
２３、２４ 先端部
２５、２６ 連結部
２５ａ、２６ａ 鍔部
３０ モータ
３１ 減速機
３２ 回動軸
３３ 軸受
３４ 磁性流体シール（シール部材）
３６ プーリ
４４ ケース体
４６ プーリ（駆動側プーリ）
４７ ベルト 1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, object to be transported)
4, 5 Hands 6, 7 Arms 8 Common Arms 9 Main Body 16, 17 Joints 22 Base Ends 23, 24 Tip 25, 26 Connections 25a, 26a Brim 30 Motor 31 Reducer 32 Rotating Shaft 33 Bearing 34 Magnetic fluid seal (seal member)
36 Pulley 44 Case body 46 Pulley (Drive side pulley)
47 belt

Claims (6)

真空中で搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
前記搬送対象物が搭載される２個のハンドと、２個の前記ハンドのそれぞれが先端側に回動可能に連結される２個のアームと、２個の前記アームの基端側が回動可能に連結される共通アームと、前記共通アームが回動可能に連結される本体部とを備え、
２個の前記アームのそれぞれと前記共通アームとの連結部である２個の関節部には、前記アームの基端側に固定される回動軸と、前記回動軸を回動可能に支持する軸受と、前記回動軸の外周側に配置されるシール部材とが配置され、
前記共通アームは、前記本体部に連結される基端部と、前記軸受および前記シール部材を保持する２個の先端部と、２個の前記先端部のそれぞれと前記基端部とを繋ぐ２個の連結部とを備え、
前記基端部と２個の前記先端部と２個の前記連結部とは別体で形成されていることを特徴とする産業用ロボット。 In an industrial robot that transports an object to be transported in a vacuum
The two hands on which the object to be transported is mounted, the two arms in which each of the two hands is rotatably connected to the tip side, and the base end side of the two arms are rotatable. A common arm connected to the above and a main body portion to which the common arm is rotatably connected are provided.
A rotation shaft fixed to the base end side of the arm and a rotation shaft rotatably supported on the two joints which are connecting portions of each of the two arms and the common arm. A bearing and a seal member arranged on the outer peripheral side of the rotating shaft are arranged.
The common arm connects a base end portion connected to the main body portion, two tip portions holding the bearing and the seal member, each of the two tip portions, and the base end portion 2 Equipped with individual bearings
An industrial robot characterized in that the base end portion, the two tip portions, and the two connecting portions are formed separately. 前記関節部には、前記回動軸を出力軸とする減速機が配置され、
前記減速機のケース体は、前記先端部に固定され、
前記軸受および前記シール部材は、前記ケース体を介して前記先端部に保持されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 A speed reducer having the rotation shaft as an output shaft is arranged at the joint portion.
The case body of the speed reducer is fixed to the tip portion and
The industrial robot according to claim 1, wherein the bearing and the seal member are held by the tip portion via the case body. 前記回動軸を回動させるために前記関節部に配置されるプーリと、前記先端部に保持されるモータと、前記モータの出力軸に固定される駆動側プーリと、前記プーリと前記駆動側プーリとの間に架け渡されるベルトとを備えることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。 A pulley arranged at the joint portion for rotating the rotation shaft, a motor held at the tip portion, a drive side pulley fixed to the output shaft of the motor, and the pulley and the drive side. The industrial robot according to claim 1 or 2, further comprising a belt to be bridged with a pulley. 前記連結部は、筒状に形成されるパイプであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。 The industrial robot according to any one of claims 1 to 3, wherein the connecting portion is a pipe formed in a tubular shape. 前記連結部の両端には、前記連結部の径方向の外側に広がる鍔部が形成され、
前記連結部の一端は、ネジによって前記基端部に固定され、前記連結部の他端は、ネジによって前記先端部に固定されていることを特徴とする請求項４記載の産業用ロボット。 At both ends of the connecting portion, collar portions extending outward in the radial direction of the connecting portion are formed.
The industrial robot according to claim 4, wherein one end of the connecting portion is fixed to the base end portion by a screw, and the other end of the connecting portion is fixed to the tip end portion by a screw. 前記共通アームは、中空状に形成され、
前記共通アームの内部は、大気圧となっていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の産業用ロボット。 The common arm is formed in a hollow shape.
The industrial robot according to any one of claims 1 to 5, wherein the inside of the common arm is at atmospheric pressure.
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