JP6786291B2 - Industrial robot - Google Patents

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Description

本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot that conveys an object to be conveyed.

従来、真空中で、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、本体部と共通アームと２個のアームと２個のハンドとを備えている。共通アームは、略Ｖ形状に形成されている。略Ｖ形状に形成される共通アームの中心部分は、本体部に回動可能に連結されている。また、略Ｖ形状に形成される共通アームの２個の先端側のそれぞれには、２個のアームのそれぞれの基端側が回動可能に連結されている。２個のアームのそれぞれの先端側には、２個のハンドのそれぞれが回動可能に連結されている。 Conventionally, an industrial robot that conveys a glass substrate for a liquid crystal display in a vacuum is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes a main body, a common arm, two arms, and two hands. The common arm is formed in a substantially V shape. The central portion of the common arm formed in a substantially V shape is rotatably connected to the main body portion. Further, the base end side of each of the two arms is rotatably connected to each of the two tip ends of the common arm formed in a substantially V shape. Each of the two hands is rotatably connected to the tip side of each of the two arms.

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、共通アームとアームとの連結部である関節部に、共通アームの先端側に固定される円筒状の第１筒部材と、アームの基端側に固定される円筒状の第２筒部材とが配置されている。第２筒部材は、第１筒部材を囲むように第１筒部材の外周側に配置されている。第１筒部材と第２筒部材との間には軸受が配置されている。第１筒部材には、アームの基端側の内部に配置されるプーリが固定され、第２筒部材には、共通アームの先端側の内部に配置されるプーリが固定されている。アームの先端側の内部には、ハンドが固定されるプーリが配置されており、このプーリと、アームの基端側の内部に配置されるプーリとにベルトが架け渡されている。また、共通アームの内部の中心部分には、プーリが配置されており、このプーリと、共通アームの先端側の内部に配置されるプーリとにベルトが架け渡されている。 In the industrial robot described in Patent Document 1, a cylindrical first cylindrical member fixed to the tip end side of the common arm and fixed to the base end side of the arm are fixed to the joint portion which is the connecting portion between the common arm and the arm. A cylindrical second tubular member to be formed is arranged. The second cylinder member is arranged on the outer peripheral side of the first cylinder member so as to surround the first cylinder member. A bearing is arranged between the first cylinder member and the second cylinder member. A pulley arranged inside the base end side of the arm is fixed to the first cylinder member, and a pulley arranged inside the tip end side of the common arm is fixed to the second cylinder member. A pulley for fixing the hand is arranged inside the tip side of the arm, and a belt is bridged between this pulley and a pulley arranged inside the base end side of the arm. Further, a pulley is arranged in the central portion inside the common arm, and a belt is bridged between the pulley and the pulley arranged inside the tip side of the common arm.

特開２０１３−１０３３３０号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-103330

近年、産業用ロボットで搬送されるガラス基板等の搬送対象物は大型化しており、搬送対象物の大型化に伴って、搬送対象物の重量が重くなっている。特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、搬送対象物の重量が重くなると、ベルトに作用する負荷が大きくなる。大きな負荷が作用したときのベルトの破断を防止するためには、ベルトの幅を広くすれば良い。 In recent years, objects to be conveyed such as glass substrates transported by industrial robots have become larger, and the weight of the objects to be conveyed has become heavier as the objects to be conveyed have become larger. In the industrial robot described in Patent Document 1, when the weight of the object to be conveyed becomes heavy, the load acting on the belt becomes large. In order to prevent the belt from breaking when a large load is applied, the width of the belt may be widened.

しかしながら、ベルトの幅が広くなると、ベルトの幅方向における中心部の張力と、ベルトの幅方向における端部の張力とに差異が生じやすくなる。すなわち、ベルトの幅が広くなると、ベルトの幅が狭い場合と比較して、プーリの真円度やプーリの軸心の傾き等の影響で、ベルトの幅方向における中心部の張力と、ベルトの幅方向における端部の張力とに差異が生じやすくなる。また、ベルトの幅方向の中心部の張力と、ベルトの幅方向の端部の張力とに差異が生じると、ベルトの幅方向の中心部に作用する負荷と、ベルトの幅方向の端部に作用する負荷との差異が大きくなって、最悪、ベルトが破断するおそれがある。 However, when the width of the belt is widened, a difference is likely to occur between the tension of the central portion in the width direction of the belt and the tension of the end portion in the width direction of the belt. That is, when the width of the belt is widened, the tension of the central portion in the width direction of the belt and the tension of the belt are affected by the roundness of the pulley and the inclination of the axial center of the pulley, etc., as compared with the case where the width of the belt is narrow. Differences are likely to occur in the tension at the ends in the width direction. Further, when there is a difference between the tension at the center in the width direction of the belt and the tension at the end in the width direction of the belt, the load acting on the center in the width direction of the belt and the end in the width direction of the belt are affected. The difference from the acting load becomes large, and in the worst case, the belt may break.

そこで、本発明の課題は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物の重量が重くなっても、アームの内部に配置されるベルトの破断を防止することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is an industrial robot that can prevent a belt arranged inside an arm from breaking even if the weight of the object to be conveyed becomes heavy in an industrial robot that conveys the object to be conveyed. Is to provide.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、中空状に形成されるアームと、アームの内部に配置される２個のプーリと、プーリの軸方向で重なるように配置され２個のプーリに架け渡される複数のベルトと、複数のベルトのそれぞれの張力を個別に調整する複数の張力調整機構とを備え、ベルトは、細長い帯状に形成される有端ベルトであり、１個の張力調整機構は、１本のベルトの両端部に繋がっていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention is an industrial robot that conveys an object to be conveyed, in which an arm formed in a hollow shape, two pulleys arranged inside the arm, and a pulley are used. A plurality of belts arranged so as to overlap in the axial direction of the above and straddled over two pulleys, and a plurality of tension adjusting mechanisms for individually adjusting the tension of each of the plurality of belts are provided , and the belts are formed in an elongated strip shape. It is an end-ended belt, and one tension adjusting mechanism is connected to both ends of one belt .

本発明において、たとえば、産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームとしての第２アームと、第２アームの基端側が先端側に回動可能に連結される第１アームと、第１アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えるとともに、２個のプーリとして、第２アームの基端側の内部に配置される第１プーリと、第２アームの先端側の内部に配置される第２プーリとを備え、第１プーリは、第１アームの先端側に固定され、第２プーリは、ハンドに固定されている。 In the present invention, for example, in an industrial robot, a hand on which a transport object is mounted, a second arm as an arm in which the hand is rotatably connected to the tip side, and a base end side of the second arm are the tip side. A first arm that is rotatably connected to the robot and a main body that is rotatably connected to the base end side of the first arm are provided, and two pulleys are provided inside the base end side of the second arm. A first pulley to be arranged and a second pulley arranged inside the tip side of the second arm are provided, the first pulley is fixed to the tip side of the first arm, and the second pulley is fixed to the hand. Has been done.

本発明の産業用ロボットでは、アームの内部に配置される２個のプーリに、プーリの軸方向で重なるように配置される複数のベルトが架け渡されている。そのため、本発明では、搬送対象物の重量が重くなっても、１本のベルトの幅を比較的狭くすることが可能になる。したがって、本発明では、張力調整機構によって調整されるベルトの幅方向の中心部の張力とベルトの幅方向の端部の張力との差異を抑制することが可能になり、ベルトの幅方向の中心部に作用する負荷とベルトの幅方向の端部に作用する負荷との差異を抑制することが可能になる。その結果、本発明では、搬送対象物の重量が重くなっても、アームの内部に配置されるベルトの破断を防止することが可能になる。 In the industrial robot of the present invention, a plurality of belts arranged so as to overlap in the axial direction of the pulleys are bridged over two pulleys arranged inside the arm. Therefore, in the present invention, the width of one belt can be made relatively narrow even if the weight of the object to be conveyed becomes heavy. Therefore, in the present invention, it is possible to suppress the difference between the tension of the central portion in the width direction of the belt and the tension of the end portion in the width direction of the belt, which is adjusted by the tension adjusting mechanism, and the center in the width direction of the belt. It is possible to suppress the difference between the load acting on the portion and the load acting on the end portion in the width direction of the belt. As a result, in the present invention, even if the weight of the object to be conveyed becomes heavy, it is possible to prevent the belt arranged inside the arm from breaking.

また、本発明では、産業用ロボットは、複数のベルトのそれぞれの張力を調整する複数の張力調整機構を備えているため、プーリの軸方向で重なる複数のベルトが２個のプーリに架け渡されていても、複数のベルトのそれぞれの張力が適切な張力となるように、複数のベルトのそれぞれの張力を調整することが可能になる。 Further, in the present invention, an industrial robot is provided with the plurality of tension adjusting mechanism for adjusting the respective tension of the plurality of belts, a plurality of belts that overlaps in the axial direction of the pulley is bridged two pulleys Even so, it is possible to adjust the tension of each of the plurality of belts so that the tension of each of the plurality of belts becomes an appropriate tension.

本発明において、たとえば、２個のプーリには、２本のベルトが架け渡されている。 In the present invention, for example, two belts are bridged over two pulleys.

本発明において、ベルトは、鋼板製のスチールベルトであることが好ましい。このように構成すると、ベルトがゴム製のベルトである場合と比較して、ベルトからの発塵を抑制することが可能になる。一方で、ベルトがスチールベルトである場合には、ベルトがゴム製のベルトである場合と比較して、ベルトの幅が広くなると、ベルトの幅方向の中心部の張力とベルトの幅方向の端部の張力とにより大きな差異が生じやすくなるが、本発明では、１本のベルトの幅を比較的狭くすることが可能になるため、ベルトがスチールベルトであっても、張力調整機構によって調整されるベルトの幅方向の中心部の張力とベルトの幅方向の端部の張力との差異を抑制することが可能になる。 In the present invention, the belt is preferably a steel belt made of steel plate. With this configuration, it is possible to suppress dust generation from the belt as compared with the case where the belt is a rubber belt. On the other hand, when the belt is a steel belt, when the width of the belt is wider than that when the belt is a rubber belt, the tension at the center in the width direction of the belt and the end in the width direction of the belt are increased. Although a large difference is likely to occur with the tension of the portion, in the present invention, the width of one belt can be made relatively narrow, so that even if the belt is a steel belt, it is adjusted by the tension adjusting mechanism. It is possible to suppress the difference between the tension of the central portion in the width direction of the belt and the tension of the end portion in the width direction of the belt.

以上のように、本発明では、搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物の重量が重くなっても、アームの内部に配置されるベルトの破断を防止することが可能になる。 As described above, in the present invention, in an industrial robot that conveys an object to be conveyed, it is possible to prevent the belt arranged inside the arm from breaking even if the object to be conveyed becomes heavy.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot which concerns on embodiment of this invention. 図１に示す産業用ロボットの側面図である。It is a side view of the industrial robot shown in FIG. 図２のＥ部の概略構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the schematic structure of part E of FIG. 図２のＦ部の概略構成を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the schematic structure of part F of FIG. 図３のＧ部の拡大図である。It is an enlarged view of the part G of FIG. 図４のＨ部の拡大図である。It is an enlarged view of the H part of FIG. （Ａ）は、図３に示すプーリおよびベルトの平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＪ部の拡大図であり、（Ｃ）は、（Ａ）のＫ部の拡大図である。(A) is a plan view of the pulley and the belt shown in FIG. 3, (B) is an enlarged view of the J portion of (A), and (C) is an enlarged view of the K portion of (A). is there.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図２のＥ部の概略構成を説明するための断面図である。図４は、図２のＦ部の概略構成を説明するための断面図である。 (Overall configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a plan view of the industrial robot 1 according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the schematic configuration of the E portion of FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the schematic configuration of the F portion of FIG.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、特に大型の基板２の搬送に適した大型のロボットである。また、ロボット１は、真空中で基板２を搬送する。ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド４、５と、２個のハンド４、５のそれぞれが先端側に回動可能に連結される２個のアーム６、７と、２個のアーム６、７の基端側が回動可能に連結される共通アーム８と、共通アーム８が回動可能に連結される本体部９とを備えている。本形態の共通アーム８は、第１アームであり、アーム６、７は、第２アームである。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as “robot 1”) of the present embodiment is a robot for transporting a glass substrate 2 (hereinafter referred to as “board 2”) for a liquid crystal display, which is an object to be transported. is there. This robot 1 is a large robot particularly suitable for transporting a large substrate 2. Further, the robot 1 conveys the substrate 2 in a vacuum. The robot 1 includes two hands 4 and 5 on which the substrate 2 is mounted, and two arms 6 and 7 and two arms 6 and 7 in which each of the two hands 4 and 5 is rotatably connected to the tip side. A common arm 8 to which the base end side of the arms 6 and 7 is rotatably connected and a main body 9 to which the common arm 8 is rotatably connected are provided. The common arm 8 of this embodiment is the first arm, and the arms 6 and 7 are the second arms.

図２に示すように、ハンド４は、アーム６の先端側に回動可能に連結されている。ハンド５は、アーム７の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４は、ハンド５よりも下側に配置されている。アーム６は、ハンド４よりも下側に配置されている。アーム７は、ハンド５よりも上側に配置されている。共通アーム８は、アーム６よりも下側に配置されている。また、共通アーム８は、本体部９よりも上側に配置されている。 As shown in FIG. 2, the hand 4 is rotatably connected to the tip end side of the arm 6. The hand 5 is rotatably connected to the tip end side of the arm 7. The hand 4 is arranged below the hand 5. The arm 6 is arranged below the hand 4. The arm 7 is arranged above the hand 5. The common arm 8 is arranged below the arm 6. Further, the common arm 8 is arranged above the main body portion 9.

本体部９は、上下方向を回動の軸方向として共通アーム８を回動させる回動軸（図示省略）と、この回動軸を回動させる回動機構（図示省略）と、この回動機構と一緒に共通アーム８を昇降させる昇降機構（図示省略）と、回動機構や昇降機構が収容されるケース体とを備えている。このケース体は、有底円筒状に形成されるケース本体１１と、ケース本体１１の上端の開口を覆う蓋体１２とから構成されている。蓋体１２の中心には、共通アーム８を回動させる回動軸が配置される貫通孔が形成されている。また、蓋体１２には、ケース本体１１の径方向の外側に広がる鍔部１２ａが形成されている。 The main body 9 includes a rotation shaft (not shown) that rotates the common arm 8 with the vertical direction as the axial direction of rotation, a rotation mechanism (not shown) that rotates the rotation shaft, and this rotation. It includes an elevating mechanism (not shown) for elevating and lowering the common arm 8 together with the mechanism, and a case body in which the rotating mechanism and the elevating mechanism are housed. This case body is composed of a case body 11 formed in a bottomed cylindrical shape and a lid body 12 that covers an opening at the upper end of the case body 11. At the center of the lid 12, a through hole is formed in which a rotation shaft for rotating the common arm 8 is arranged. Further, the lid body 12 is formed with a collar portion 12a that extends outward in the radial direction of the case body 11.

上述のように、ロボット１は、真空中で基板２を搬送するためのロボットである。図２に示すように、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも上側の部分は、真空チャンバー１３の中に配置されている。すなわち、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。 As described above, the robot 1 is a robot for transporting the substrate 2 in a vacuum. As shown in FIG. 2, a portion of the robot 1 above the lower surface of the collar portion 12a is arranged in the vacuum chamber 13. That is, the portion of the robot 1 above the lower surface of the flange portion 12a is arranged in the vacuum region VR (in vacuum). On the other hand, the portion of the robot 1 below the lower surface of the collar portion 12a is arranged in the atmospheric region AR (in the atmosphere).

ハンド４、５は、基板２が搭載される複数のフォーク部１５を備えている。アーム６、７は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となるとともに上下方向の厚さが薄いブロック状に形成されている。アーム６の長さとアーム７の長さとは等しくなっている。また、アーム６、７は、中空状に形成されている。中空状に形成されるアーム６、７の内部は真空となっている。共通アーム８は、略Ｖ形状に形成されている。略Ｖ形状に形成される共通アーム８の中心部分は、本体部９に回動可能に連結されている。また、略Ｖ形状に形成される共通アーム８の一方の先端側にアーム６が回動可能に連結され、共通アーム８の他方の先端側にアーム７が回動可能に連結されている。 The hands 4 and 5 include a plurality of fork portions 15 on which the substrate 2 is mounted. The arms 6 and 7 have an elongated oval shape when viewed from the vertical direction, and are formed in a block shape having a thin vertical thickness. The length of the arm 6 and the length of the arm 7 are equal. Further, the arms 6 and 7 are formed in a hollow shape. The inside of the arms 6 and 7 formed in a hollow shape is a vacuum. The common arm 8 is formed in a substantially V shape. The central portion of the common arm 8 formed in a substantially V shape is rotatably connected to the main body portion 9. Further, the arm 6 is rotatably connected to one tip side of the common arm 8 formed in a substantially V shape, and the arm 7 is rotatably connected to the other tip side of the common arm 8.

アーム６と共通アーム８との連結部は、関節部１６となっている。アーム７と共通アーム８との連結部は、関節部１７となっている。また、ロボット１は、アーム６に対してハンド４を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム６を回動させる駆動機構１８（図３参照）と、アーム７に対してハンド５を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム７を回動させる駆動機構１９（図４参照）とを備えている。以下、共通アーム８の具体的な構成および駆動機構１８、１９の構成について説明する。 The connecting portion between the arm 6 and the common arm 8 is a joint portion 16. The connecting portion between the arm 7 and the common arm 8 is a joint portion 17. Further, the robot 1 rotates the hand 4 with respect to the arm 6 and the drive mechanism 18 (see FIG. 3) that rotates the arm 6 with respect to the common arm 8 and the hand 5 with respect to the arm 7. It is provided with a drive mechanism 19 (see FIG. 4) that rotates the arm 7 with respect to the common arm 8. Hereinafter, the specific configuration of the common arm 8 and the configurations of the drive mechanisms 18 and 19 will be described.

（共通アームおよび駆動機構の構成）
図５は、図３のＧ部の拡大図である。図６は、図４のＨ部の拡大図である。図７（Ａ）は、図３に示すプーリ３７、３８およびベルト６０の平面図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＪ部の拡大図であり、図７（Ｃ）は、図７（Ａ）のＫ部の拡大図である。 (Composition of common arm and drive mechanism)
FIG. 5 is an enlarged view of the G portion of FIG. FIG. 6 is an enlarged view of the H portion of FIG. 7 (A) is a plan view of the pulleys 37, 38 and the belt 60 shown in FIG. 3, and FIG. 7 (B) is an enlarged view of the J portion of FIG. 7 (A), FIG. 7 (C). Is an enlarged view of part K in FIG. 7 (A).

共通アーム８は、本体部９に連結される基端部２２と、アーム６、７の基端側のそれぞれが連結される２個の先端部２３、２４と、２個の先端部２３、２４のそれぞれと基端部２２とを繋ぐ２個の連結部２５、２６とを備えている。本形態では、基端部２２と２個の先端部２３、２４と２個の連結部２５、２６とによって共通アーム８が構成されている。先端部２３には、アーム６の基端側が連結され、先端部２４には、アーム７の基端側が連結されている。連結部２５は、基端部２２と先端部２３とを繋ぎ、連結部２６は、基端部２２と先端部２４とを繋いでいる。 The common arm 8 has a base end portion 22 connected to the main body portion 9, two tip portions 23 and 24 to which the base end sides of the arms 6 and 7 are connected to each other, and two tip portions 23 and 24. It is provided with two connecting portions 25 and 26 for connecting each of the above and the base end portion 22. In this embodiment, the common arm 8 is composed of the base end portion 22, the two tip portions 23, 24, and the two connecting portions 25, 26. The base end side of the arm 6 is connected to the tip end portion 23, and the base end side of the arm 7 is connected to the tip end portion 24. The connecting portion 25 connects the base end portion 22 and the tip end portion 23, and the connecting portion 26 connects the base end portion 22 and the tip end portion 24.

基端部２２と２個の先端部２３、２４と２個の連結部２５、２６とは別体で形成されており、基端部２２と２個の先端部２３、２４と２個の連結部２５、２６とが固定されて一体化されることで共通アーム８が構成されている。基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とは、アルミニウム合金またはステンレス鋼で形成されている。また、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とは、中空状に形成されている。すなわち、共通アーム８は、中空状に形成されている。共通アーム８の内部は、大気圧となっている。 The base end portion 22 and the two tip portions 23, 24 and the two connecting portions 25, 26 are formed separately, and the base end portion 22 and the two tip portions 23, 24 and the two connecting portions are connected. The common arm 8 is formed by fixing and integrating the portions 25 and 26. The base end portion 22, the tip portions 23, 24, and the connecting portions 25, 26 are made of aluminum alloy or stainless steel. Further, the base end portion 22, the tip ends 23 and 24, and the connecting portions 25 and 26 are formed in a hollow shape. That is, the common arm 8 is formed in a hollow shape. The inside of the common arm 8 is atmospheric pressure.

基端部２２は、上下方向から見たときの形状が略五角形状となるブロック状に形成されている。基端部２２の下面の中心には、本体部９の回動軸の上端が固定されている。先端部２３、２４は、上下方向から見たときの形状が略長方形状となるブロック状に形成されている。連結部２５、２６は、筒状に形成されるパイプであり、細長い円筒状に形成されている。連結部２５、２６の長さは、たとえば、４（ｍ）となっている。 The base end portion 22 is formed in a block shape having a substantially pentagonal shape when viewed from the vertical direction. The upper end of the rotation shaft of the main body 9 is fixed to the center of the lower surface of the base end 22. The tip portions 23 and 24 are formed in a block shape in which the shape when viewed from the vertical direction is substantially rectangular. The connecting portions 25 and 26 are pipes formed in a tubular shape, and are formed in an elongated cylindrical shape. The lengths of the connecting portions 25 and 26 are, for example, 4 (m).

連結部２５の一端は、基端部２２にネジ（図示省略）によって固定され、連結部２５の他端は、先端部２３にネジ（図示省略）によって固定されている。連結部２６の一端は、基端部２２にネジ（図示省略）によって固定され、連結部２６の他端は、先端部２４にネジ（図示省略）によって固定されている。なお、連結部２５、２６の両端には、径方向の外側に広がる鍔部が形成されている。 One end of the connecting portion 25 is fixed to the base end portion 22 with a screw (not shown), and the other end of the connecting portion 25 is fixed to the tip end portion 23 with a screw (not shown). One end of the connecting portion 26 is fixed to the base end portion 22 with a screw (not shown), and the other end of the connecting portion 26 is fixed to the tip end portion 24 with a screw (not shown). At both ends of the connecting portions 25 and 26, flange portions extending outward in the radial direction are formed.

駆動機構１８は、アーム６に対してハンド４を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム６を回動させるモータ３０と、モータ３０に連結される減速機３１とを備えている。減速機３１は、減速機３１の出力軸となる回動軸３２と、回動軸３２を回動可能に支持する軸受３３と、回動軸３２の外周側に配置される磁性流体シール３４とを備えている。また、駆動機構１８は、減速機３１の入力軸３５に固定されるプーリ３６を備えている。 The drive mechanism 18 includes a motor 30 that rotates the hand 4 with respect to the arm 6 and rotates the arm 6 with respect to the common arm 8, and a speed reducer 31 connected to the motor 30. The speed reducer 31 includes a rotation shaft 32 that serves as an output shaft of the speed reducer 31, a bearing 33 that rotatably supports the rotation shaft 32, and a magnetic fluid seal 34 arranged on the outer peripheral side of the rotation shaft 32. It has. Further, the drive mechanism 18 includes a pulley 36 fixed to the input shaft 35 of the speed reducer 31.

さらに、駆動機構１８は、アーム６の基端側の内部に配置される第１プーリとしてのプーリ３７と、アーム６の先端側の内部に配置される第２プーリとしてのプーリ３８とを備えている。すなわち、駆動機構１８は、アーム６の内部に配置される２個のプーリ３７、３８を備えている。本形態では、ハンド４が一定方向を向いた状態で直線的に移動するように、プーリ３７のピッチ円径とプーリ３８のピッチ円径との比が１：２に設定されている。 Further, the drive mechanism 18 includes a pulley 37 as a first pulley arranged inside the base end side of the arm 6 and a pulley 38 as a second pulley arranged inside the tip end side of the arm 6. There is. That is, the drive mechanism 18 includes two pulleys 37 and 38 arranged inside the arm 6. In this embodiment, the ratio of the pitch circle diameter of the pulley 37 to the pitch circle diameter of the pulley 38 is set to 1: 2 so that the hand 4 moves linearly while facing a certain direction.

減速機３１は、中空波動歯車装置であり、関節部１６に配置されている。この減速機３１は、上述の回動軸３２、軸受３３および磁性流体シール３４に加えて、剛性内歯歯車４１と、可撓性外歯歯車４２と、入力軸３５の外周側に取り付けられるウエーブベアリング４３とを備えている。また、減速機３１は、軸受３３および磁性流体シール３４を保持するケース体４４を備えている。ケース体４４は、全体として略円筒状に形成されている。ケース体４４の上端側部分は、先端部２３の上面部分に固定されている。減速機３１の、ケース体４４の上端側部分と回動軸３２の上端側部分とを除いた部分は、先端部２３の内部に配置されている。 The speed reducer 31 is a hollow wave gearing device and is arranged at a joint portion 16. In addition to the above-mentioned rotating shaft 32, bearing 33, and magnetic fluid seal 34, the speed reducer 31 has a rigid internal gear 41, a flexible external gear 42, and a wave attached to the outer peripheral side of the input shaft 35. It is provided with a bearing 43. Further, the speed reducer 31 includes a case body 44 that holds the bearing 33 and the magnetic fluid seal 34. The case body 44 is formed in a substantially cylindrical shape as a whole. The upper end side portion of the case body 44 is fixed to the upper surface portion of the tip end portion 23. The portion of the speed reducer 31 excluding the upper end side portion of the case body 44 and the upper end side portion of the rotating shaft 32 is arranged inside the tip end portion 23.

軸受３３は、クロスローラベアリングである。軸受３３の外輪は、ケース体４４の上端側部分に固定されている。軸受３３の内輪は、回動軸３２に固定されている。回動軸３２は、磁性材料で形成されている。また、回動軸３２は、中空状に形成されている。回動軸３２の上端側には、回動軸３２の内周側を塞ぐ蓋４５が固定されている。回動軸３２は、アーム６の基端側に固定されている。具体的には、回動軸３２の上端がアーム６の基端側の下面部に固定されている。 The bearing 33 is a cross roller bearing. The outer ring of the bearing 33 is fixed to the upper end side portion of the case body 44. The inner ring of the bearing 33 is fixed to the rotating shaft 32. The rotating shaft 32 is made of a magnetic material. Further, the rotation shaft 32 is formed in a hollow shape. A lid 45 that closes the inner peripheral side of the rotating shaft 32 is fixed to the upper end side of the rotating shaft 32. The rotation shaft 32 is fixed to the base end side of the arm 6. Specifically, the upper end of the rotating shaft 32 is fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 6.

磁性流体シール３４は、複数の磁石と、複数の磁石のそれぞれを上下方向で挟むように配置される円環状のポールピースと、ポールピースの内周面と回動軸３２の外周面との間に保持される磁性流体とを備えている。磁性流体シール３４の磁石およびポールピースは、ケース体４４の上端側部分の内周面に固定されている。磁性流体シール３４は、軸受３３の上側に配置されている。また、磁性流体シール３４は、アーム６の上面よりも上側に配置されている。 The ferrofluidic seal 34 is formed between a plurality of magnets, an annular pole piece arranged so as to sandwich each of the plurality of magnets in the vertical direction, and an inner peripheral surface of the pole piece and an outer peripheral surface of the rotating shaft 32. It has a magnetic fluid that is held in. The magnet and pole piece of the ferrofluidic seal 34 are fixed to the inner peripheral surface of the upper end side portion of the case body 44. The magnetic fluid seal 34 is arranged above the bearing 33. Further, the magnetic fluid seal 34 is arranged above the upper surface of the arm 6.

入力軸３５は、中空状に形成されている。入力軸３５は、軸受を介してケース体４４の下端側部分に回転可能に支持されている。入力軸３５には、上下方向から見たときの外周面の形状が楕円形状となる楕円部が形成されている。剛性内歯歯車４１は、ケース体４４の下端側部分に固定されている。剛性内歯歯車４１の内周面には、内歯が形成されている。可撓性外歯歯車４２の上端側部分は、回動軸３２の下端に固定されている。可撓性外歯歯車４２の下端側部分の外周面には、剛性内歯歯車４１の内歯と噛み合う外歯が形成されている。可撓性外歯歯車４２は、入力軸３５に対して相対回転可能となっている。 The input shaft 35 is formed in a hollow shape. The input shaft 35 is rotatably supported by a lower end side portion of the case body 44 via a bearing. The input shaft 35 is formed with an elliptical portion having an elliptical shape on the outer peripheral surface when viewed from the vertical direction. The rigid internal gear 41 is fixed to the lower end side portion of the case body 44. Internal teeth are formed on the inner peripheral surface of the rigid internal gear 41. The upper end side portion of the flexible external gear 42 is fixed to the lower end of the rotating shaft 32. External teeth that mesh with the internal teeth of the rigid internal gear 41 are formed on the outer peripheral surface of the lower end side portion of the flexible external gear 42. The flexible external gear 42 is rotatable relative to the input shaft 35.

ウエーブベアリング４３は、可撓性の内輪および外輪を備えたボールベアリングである。このウエーブベアリング４３は、入力軸３５の楕円部の外周面に沿って配置されており、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車４２の、外歯が形成される下端側部分は、ウエーブベアリング４３を囲むようにウエーブベアリング４３の外周側に配置されており、この部分は、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車４２の外歯は、楕円状に撓む可撓性外歯歯車４２の下端側部分の長軸方向の２か所で、剛性内歯歯車４１の内歯と噛み合っている。 The wave bearing 43 is a ball bearing having a flexible inner ring and an outer ring. The wave bearing 43 is arranged along the outer peripheral surface of the elliptical portion of the input shaft 35, and is bent in an elliptical shape. The lower end portion of the flexible external tooth gear 42 on which the external teeth are formed is arranged on the outer peripheral side of the wave bearing 43 so as to surround the wave bearing 43, and this portion is bent in an elliptical shape. The external teeth of the flexible external gear 42 mesh with the internal teeth of the rigid internal gear 41 at two locations in the long axis direction of the lower end side portion of the flexible external gear 42 that bends in an elliptical shape. ..

モータ３０は、先端部２３に固定されている。また、モータ３０は、先端部２３の内部に配置されるとともに、減速機３１よりも連結部２５側に配置されている。モータ３０の出力軸には、プーリ４６が固定されている。プーリ３６は、入力軸３５の下端に固定されている。プーリ３６とプーリ４６とにベルト４７が架け渡されている。ベルト４７は、ゴム製のベルトである。プーリ３６、４６およびベルト４７は、先端部２３の内部に配置されている。 The motor 30 is fixed to the tip portion 23. Further, the motor 30 is arranged inside the tip portion 23 and is arranged on the connecting portion 25 side of the speed reducer 31. A pulley 46 is fixed to the output shaft of the motor 30. The pulley 36 is fixed to the lower end of the input shaft 35. A belt 47 is bridged between the pulley 36 and the pulley 46. The belt 47 is a rubber belt. The pulleys 36, 46 and the belt 47 are arranged inside the tip portion 23.

アーム６の基端側の内部には、プーリ３７を回動可能に支持する支持軸５０が固定されている。支持軸５０は、下端に鍔部５０ａを有する鍔付きの円筒状に形成されており、鍔部５０ａがアーム６の基端側の下面部に固定されている。すなわち、支持軸５０は、アーム６の下面部から立ち上がっている。また、支持軸５０は、支持軸５０の軸心と回動軸３２の軸心とが一致するように固定されている。本形態では、共通のネジ５１によって、回動軸３２と支持軸５０とがアーム６の基端側の下面部に固定されている。 A support shaft 50 that rotatably supports the pulley 37 is fixed inside the base end side of the arm 6. The support shaft 50 is formed in a cylindrical shape with a collar having a flange 50a at the lower end, and the collar 50a is fixed to the lower surface of the arm 6 on the base end side. That is, the support shaft 50 rises from the lower surface portion of the arm 6. Further, the support shaft 50 is fixed so that the axis of the support shaft 50 and the axis of the rotation shaft 32 coincide with each other. In this embodiment, the rotation shaft 32 and the support shaft 50 are fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 6 by a common screw 51.

プーリ３７は、軸受を介して支持軸５０に回動可能に支持されている。また、プーリ３７は、共通アーム８に固定されている。具体的には、プーリ３７は、固定部材５３を介して先端部２３に固定されている。すなわち、プーリ３７は、固定部材５３を介して共通アーム８の一方の先端側に固定されている。固定部材５３は、共通アーム８の一方の先端に固定される側面部５３ａと、側面部５３ａの上端に固定される上面部５３ｂとから構成されている。上面部５３ｂは、アーム６の基端側部分の上側に配置されている。アーム６の基端側の上面部分には、図５に示すように、プーリ３７の上端側部分が配置される開口部６ａが形成されている。プーリ３７の上端は、上面部５３ｂに固定されている。プーリ３７の上端面は、上面部５３ｂの下面に接触している。 The pulley 37 is rotatably supported by the support shaft 50 via a bearing. Further, the pulley 37 is fixed to the common arm 8. Specifically, the pulley 37 is fixed to the tip portion 23 via the fixing member 53. That is, the pulley 37 is fixed to one tip side of the common arm 8 via the fixing member 53. The fixing member 53 is composed of a side surface portion 53a fixed to one end of the common arm 8 and an upper surface portion 53b fixed to the upper end of the side surface portion 53a. The upper surface portion 53b is arranged above the base end side portion of the arm 6. As shown in FIG. 5, an opening 6a in which the upper end side portion of the pulley 37 is arranged is formed on the upper surface portion of the arm 6 on the base end side. The upper end of the pulley 37 is fixed to the upper surface portion 53b. The upper end surface of the pulley 37 is in contact with the lower surface of the upper surface portion 53b.

アーム６の先端側の内部には、プーリ３８を回動可能に支持する支持軸５８が固定されている。支持軸５８は、アーム６の先端側の下面部から立ち上がっている。プーリ３８は、軸受を介して支持軸５８に回動可能に支持されている。また、プーリ３８の上端には、ハンド４の基端側が固定されている。プーリ３７とプーリ３８とには、ベルト６０が架け渡されている。本形態では、プーリ３７、３８の軸方向（すなわち、上下方向）で重なるように配置される２本のベルト６０がプーリ３７とプーリ３８とに架け渡されている。 A support shaft 58 that rotatably supports the pulley 38 is fixed inside the tip end side of the arm 6. The support shaft 58 rises from the lower surface portion on the tip end side of the arm 6. The pulley 38 is rotatably supported by a support shaft 58 via a bearing. Further, the base end side of the hand 4 is fixed to the upper end of the pulley 38. A belt 60 is bridged between the pulley 37 and the pulley 38. In this embodiment, two belts 60 arranged so as to overlap each other in the axial direction (that is, in the vertical direction) of the pulleys 37 and 38 are bridged between the pulley 37 and the pulley 38.

ベルト６０は、鋼板製のスチールベルトである。このベルト６０は、細長い帯状に形成されている。ベルト６０の幅（上下方向の幅）は、５０（ｍｍ）程度となっている。細長い帯状に形成されるベルト６０の長手方向の中心部分は、ネジ６１によってプーリ３７に固定されている（図７（Ａ）、（Ｂ）参照）。 The belt 60 is a steel belt made of steel plate. The belt 60 is formed in an elongated strip shape. The width of the belt 60 (width in the vertical direction) is about 50 (mm). The central portion of the belt 60 formed in an elongated strip shape in the longitudinal direction is fixed to the pulley 37 by a screw 61 (see FIGS. 7A and 7B).

また、駆動機構１８は、２本のベルト６０の張力を調整する張力調整機構６２（図７（Ｃ）参照）を備えている。本形態の駆動機構１８は、２本のベルト６０のそれぞれの張力を調整する２個の張力調整機構６２を備えている。２個の張力調整機構６２は、上下方向で重なるように配置されている。張力調整機構６２は、プーリ３８に固定されるとともにベルト６０の両端部のそれぞれが固定される２個のベルト端部固定部材６３と、プーリ３８の周方向における２個のベルト端部固定部材６３の距離を調整するためのボルト６４およびナット６５とを備えている。 Further, the drive mechanism 18 includes a tension adjusting mechanism 62 (see FIG. 7C) that adjusts the tension of the two belts 60. The drive mechanism 18 of this embodiment includes two tension adjusting mechanisms 62 that adjust the tensions of the two belts 60. The two tension adjusting mechanisms 62 are arranged so as to overlap each other in the vertical direction. The tension adjusting mechanism 62 includes two belt end fixing members 63 that are fixed to the pulley 38 and both ends of the belt 60 are fixed, and two belt end fixing members 63 in the circumferential direction of the pulley 38. It is provided with a bolt 64 and a nut 65 for adjusting the distance between the two.

ベルト端部固定部材６３は、プーリ３８の径方向においてベルト６０の外側に配置されるベルト固定部６３ａと、プーリ３８の周方向におけるベルト固定部６３ａの端部からプーリ３８の径方向の外側へ立ち上がるボルト保持部６３ｂとを備えている。２個のベルト端部固定部材６３は、プーリ３８の周方向においてボルト保持部６３ｂ同士が対向するように配置されている。ベルト６０の端部は、ネジ６６によってベルト固定部６３ａに固定されている。ボルト保持部６３ｂには、ボルト６４の軸部が挿通される挿通穴が形成されている。 The belt end fixing member 63 is arranged from the end of the belt fixing portion 63a arranged outside the belt 60 in the radial direction of the pulley 38 and the end of the belt fixing portion 63a in the circumferential direction of the pulley 38 to the outside in the radial direction of the pulley 38. It is provided with a bolt holding portion 63b that stands up. The two belt end fixing members 63 are arranged so that the bolt holding portions 63b face each other in the circumferential direction of the pulley 38. The end of the belt 60 is fixed to the belt fixing portion 63a by a screw 66. The bolt holding portion 63b is formed with an insertion hole through which the shaft portion of the bolt 64 is inserted.

ベルト端部固定部材６３は、ネジ６７によってプーリ３８に固定されている。ベルト６０の張力は、ナット６５へのボルト６４のねじ込み量によって調整されている。すなわち、ベルト６０の張力は、プーリ３８の周方向における２個のボルト保持部６３ｂの距離によって調整されている。ベルト端部固定部材６３は、ベルト６０の張力が調整された後、ネジ６７によってプーリ３８に固定される。なお、ベルト６０およびベルト固定部６３ａには、プーリ３８の周方向を長手方向とする長穴が形成されており、この長穴にネジ６７が挿通されている。 The belt end fixing member 63 is fixed to the pulley 38 by a screw 67. The tension of the belt 60 is adjusted by the amount of screwing of the bolt 64 into the nut 65. That is, the tension of the belt 60 is adjusted by the distance between the two bolt holding portions 63b in the circumferential direction of the pulley 38. The belt end fixing member 63 is fixed to the pulley 38 by a screw 67 after the tension of the belt 60 is adjusted. The belt 60 and the belt fixing portion 63a are formed with elongated holes whose longitudinal direction is the circumferential direction of the pulley 38, and screws 67 are inserted into the elongated holes.

駆動機構１９は、駆動機構１８とほぼ同様に構成されている。したがって、以下の駆動機構１９の説明では、主として、駆動機構１８と駆動機構１９との相違点を説明する。駆動機構１９は、アーム７に対してハンド５を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム７を回動させるモータ３０と、モータ３０に連結される減速機３１とを備えている。また、駆動機構１９は、減速機３１の入力軸３５に固定されるプーリ３６と、アーム７の基端側の内部に配置される第１プーリとしてのプーリ３７と、アーム７の先端側の内部に配置される第２プーリとしてのプーリ７８とを備えている。本形態では、ハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するように、プーリ３７のピッチ円径とプーリ７８のピッチ円径との比が１：２に設定されている。 The drive mechanism 19 is configured in substantially the same manner as the drive mechanism 18. Therefore, in the following description of the drive mechanism 19, the differences between the drive mechanism 18 and the drive mechanism 19 will be mainly described. The drive mechanism 19 includes a motor 30 that rotates the hand 5 with respect to the arm 7 and rotates the arm 7 with respect to the common arm 8, and a speed reducer 31 connected to the motor 30. Further, the drive mechanism 19 includes a pulley 36 fixed to the input shaft 35 of the speed reducer 31, a pulley 37 as a first pulley arranged inside the base end side of the arm 7, and the inside of the tip end side of the arm 7. It is provided with a pulley 78 as a second pulley arranged in. In this embodiment, the ratio of the pitch circle diameter of the pulley 37 to the pitch circle diameter of the pulley 78 is set to 1: 2 so that the hand 5 moves linearly while facing a certain direction.

駆動機構１９の減速機３１は、関節部１７に配置されている。駆動機構１９では、減速機３１のケース体４４の上端側部分が先端部２４の上面部分に固定されている。また、駆動機構１９では、減速機３１の、ケース体４４の上端側部分と回動軸３２の上端側部分とを除いた部分は、先端部２４の内部に配置されている。また、磁性流体シール３４は、アーム７の上面よりも上側に配置されている。 The speed reducer 31 of the drive mechanism 19 is arranged at the joint portion 17. In the drive mechanism 19, the upper end side portion of the case body 44 of the speed reducer 31 is fixed to the upper surface portion of the tip end portion 24. Further, in the drive mechanism 19, a portion of the speed reducer 31 excluding the upper end side portion of the case body 44 and the upper end side portion of the rotating shaft 32 is arranged inside the tip end portion 24. Further, the magnetic fluid seal 34 is arranged above the upper surface of the arm 7.

駆動機構１９では、回動軸３２の上端に、中空状に形成される第２回動軸７９の下端が固定されている。第２回動軸７９は、回動軸３２の軸心と第２回動軸７９の軸心とが一致するように回動軸３２に固定されている。第２回動軸７９の上端は、アーム７の基端側の下面部に固定されている。すなわち、回動軸３２は、第２回動軸７９を介して、アーム７の基端側に固定されている。なお、回動軸３２と第２回動軸７９とは一体で形成されていても良い。 In the drive mechanism 19, the lower end of the second rotating shaft 79 formed in a hollow shape is fixed to the upper end of the rotating shaft 32. The second rotation shaft 79 is fixed to the rotation shaft 32 so that the axis of the rotation shaft 32 and the axis of the second rotation shaft 79 coincide with each other. The upper end of the second rotation shaft 79 is fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 7. That is, the rotation shaft 32 is fixed to the base end side of the arm 7 via the second rotation shaft 79. The rotation shaft 32 and the second rotation shaft 79 may be integrally formed.

また、駆動機構１９では、モータ３０は、先端部２４に固定されている。モータ３０は、先端部２４の内部に配置されるとともに、減速機３１よりも連結部２６側に配置されている。また、駆動機構１９では、プーリ３６、４６およびベルト４７は、先端部２４の内部に配置されている。 Further, in the drive mechanism 19, the motor 30 is fixed to the tip portion 24. The motor 30 is arranged inside the tip portion 24 and is arranged closer to the connecting portion 26 than the speed reducer 31. Further, in the drive mechanism 19, the pulleys 36, 46 and the belt 47 are arranged inside the tip portion 24.

アーム７の基端側の内部には、プーリ３７を回動可能に支持する支持軸５０が固定されている。具体的には、支持軸５０の鍔部５０ａがアーム７の基端側の下面部に固定されている。また、支持軸５０は、支持軸５０の軸心と第２回動軸７９の軸心と回動軸３２の軸心とが一致するように固定されている。本形態では、共通のネジ５１によって、第２回動軸７９と支持軸５０とがアーム７の基端側の下面部に固定されている。 A support shaft 50 that rotatably supports the pulley 37 is fixed inside the base end side of the arm 7. Specifically, the flange portion 50a of the support shaft 50 is fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 7. Further, the support shaft 50 is fixed so that the axis of the support shaft 50, the axis of the second rotation shaft 79, and the axis of the rotation shaft 32 coincide with each other. In this embodiment, the second rotation shaft 79 and the support shaft 50 are fixed to the lower surface portion on the base end side of the arm 7 by a common screw 51.

アーム７の基端側の内部に配置されるプーリ３７は、共通アーム８に固定されている。具体的には、このプーリ３７は、固定部材８３を介して先端部２４に固定されている。すなわち、このプーリ３７は、固定部材８３を介して共通アーム８の他方の先端側に固定されている。固定部材８３は、共通アーム８の他方の先端に固定される側面部８３ａと、側面部８３ａの上端に固定される上面部８３ｂとから構成されている。上面部８３ｂは、アーム７の基端側部分の上側に配置されている。アーム７の基端側の上面部分には、図６に示すように、プーリ３７の上端側部分が配置される開口部７ａが形成されている。プーリ３７の上端は、上面部８３ｂに固定されている。プーリ３７の上端面は、上面部８３ｂの下面に接触している。 The pulley 37 arranged inside the base end side of the arm 7 is fixed to the common arm 8. Specifically, the pulley 37 is fixed to the tip portion 24 via a fixing member 83. That is, the pulley 37 is fixed to the other tip side of the common arm 8 via the fixing member 83. The fixing member 83 is composed of a side surface portion 83a fixed to the other tip of the common arm 8 and an upper surface portion 83b fixed to the upper end of the side surface portion 83a. The upper surface portion 83b is arranged above the base end side portion of the arm 7. As shown in FIG. 6, an opening 7a in which the upper end side portion of the pulley 37 is arranged is formed on the upper surface portion on the base end side of the arm 7. The upper end of the pulley 37 is fixed to the upper surface portion 83b. The upper end surface of the pulley 37 is in contact with the lower surface of the upper surface portion 83b.

アーム７の先端側の内部には、プーリ７８を回動可能に支持する円筒状の支持軸部７ｂが形成されている。支持軸部７ｂは、アーム７の先端側の下面部から立ち上がっている。プーリ７８は、軸受を介して支持軸部７ｂに回動可能に支持されている。また、プーリ７８の下端には、ハンド５の基端側が固定されている。プーリ３７とプーリ７８とには、上下方向で重なるように配置される２本のベルト６０が架け渡されている。 A cylindrical support shaft portion 7b that rotatably supports the pulley 78 is formed inside the tip end side of the arm 7. The support shaft portion 7b rises from the lower surface portion on the tip end side of the arm 7. The pulley 78 is rotatably supported by the support shaft portion 7b via a bearing. Further, the base end side of the hand 5 is fixed to the lower end of the pulley 78. Two belts 60 arranged so as to overlap each other in the vertical direction are bridged between the pulley 37 and the pulley 78.

また、駆動機構１９は、駆動機構１８と同様に、２本のベルト６０のそれぞれの張力を調整する２個の張力調整機構６２を備えている。駆動機構１９においても、ベルト６０の張力は、ナット６５へのボルト６４のねじ込み量によって調整されており、ベルト端部固定部材６３は、ベルト６０の張力が調整された後、ネジ６７によってプーリ７８に固定される。 Further, the drive mechanism 19 includes two tension adjusting mechanisms 62 for adjusting the tensions of the two belts 60, similarly to the drive mechanism 18. Also in the drive mechanism 19, the tension of the belt 60 is adjusted by the amount of screwing of the bolt 64 into the nut 65, and the belt end fixing member 63 is the pulley 78 by the screw 67 after the tension of the belt 60 is adjusted. Is fixed to.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、プーリ３７とプーリ３８とに、上下方向で重なるように配置される２本のベルト６０が架け渡され、プーリ３７とプーリ７８とに、上下方向で重なるように配置される２本のベルト６０が架け渡されている。そのため、本形態では、ハンド４、５に搭載される基板２の重量が重くなっても、１本のベルト６０の幅を比較的狭くすることが可能になる。 (Main effect of this form)
As described above, in the present embodiment, the pulley 37 and the pulley 38 are bridged by two belts 60 arranged so as to overlap each other in the vertical direction, and the pulley 37 and the pulley 78 are overlapped with each other in the vertical direction. Two belts 60 arranged in the above are bridged. Therefore, in this embodiment, even if the weight of the substrate 2 mounted on the hands 4 and 5 becomes heavy, the width of one belt 60 can be relatively narrowed.

したがって、本形態では、張力調整機構６２によって調整されるベルト６０の幅方向の中心部（上下方向の中心部）の張力とベルト６０の幅方向の端部（上下方向の両端部）の張力との差異を抑制することが可能になり、ベルト６０の上下方向の中心部に作用する負荷とベルト６０の上下方向の両端部に作用する負荷との差異を抑制することが可能になる。その結果、本形態では、基板２の重量が重くなっても、ベルト６０の破断を防止することが可能になる。 Therefore, in this embodiment, the tension at the center portion in the width direction (center portion in the vertical direction) of the belt 60 and the tension at the end portions in the width direction (both ends in the vertical direction) of the belt 60 adjusted by the tension adjusting mechanism 62. It is possible to suppress the difference between the load acting on the central portion of the belt 60 in the vertical direction and the load acting on both ends of the belt 60 in the vertical direction. As a result, in this embodiment, it is possible to prevent the belt 60 from breaking even if the weight of the substrate 2 becomes heavy.

また、本形態では、上下方向で重なる２本のベルト６０がプーリ３７、３８およびプーリ３７、７８に架け渡されているため、万が一、１本のベルト６０が破断したとしても、残りの１本のベルト６０によって、アーム６、７に対するハンド４、５のふらつきを防止することが可能になる。 Further, in this embodiment, since two belts 60 overlapping in the vertical direction are bridged to the pulleys 37, 38 and the pulleys 37, 78, even if one belt 60 breaks, the remaining one belt 60 is used. Belt 60 makes it possible to prevent the hands 4 and 5 from wobbling with respect to the arms 6 and 7.

本形態では、ベルト６０はスチールベルトである。そのため、本形態では、ベルト６０がゴム製のベルトである場合と比較して、ベルト６０からの発塵を抑制することが可能になる。なお、ベルト６０がスチールベルトである場合には、ベルト６０がゴム製のベルトである場合と比較して、ベルト６０の幅が広くなると、ベルト６０の幅方向の中心部の張力とベルト６０の幅方向の端部の張力とにより大きな差異が生じやすくなる。しかしながら、本形態では、１本のベルト６０の幅を比較的狭くすることが可能になるため、ベルト６０がスチールベルトであっても、張力調整機構６２によって調整されるベルト６０の幅方向の中心部の張力とベルト６０の幅方向の端部の張力との差異を抑制することが可能になる。 In this embodiment, the belt 60 is a steel belt. Therefore, in this embodiment, it is possible to suppress dust generation from the belt 60 as compared with the case where the belt 60 is a rubber belt. When the belt 60 is a steel belt, when the width of the belt 60 is wider than that when the belt 60 is a rubber belt, the tension at the center of the belt 60 in the width direction and the tension of the belt 60 are increased. Larger differences are more likely to occur with the tension at the ends in the width direction. However, in this embodiment, since the width of one belt 60 can be relatively narrowed, even if the belt 60 is a steel belt, the center in the width direction of the belt 60 adjusted by the tension adjusting mechanism 62 It is possible to suppress the difference between the tension of the portion and the tension of the end portion in the width direction of the belt 60.

本形態では、２本のベルト６０のそれぞれの張力は、２個の張力調整機構６２のそれぞれによって調整されている。そのため、本形態では、上下方向で重なる２本のベルト６０がプーリ３７、３８およびプーリ３７、７８に架け渡されていても、２本のベルト６０のそれぞれの張力が適切な張力となるように、２本のベルト６０のそれぞれの張力を調整することが可能になる。 In this embodiment, the tension of each of the two belts 60 is adjusted by each of the two tension adjusting mechanisms 62. Therefore, in the present embodiment, even if the two belts 60 overlapping in the vertical direction are bridged to the pulleys 37, 38 and the pulleys 37, 78, the tensions of the two belts 60 are appropriate tensions. It is possible to adjust the tension of each of the two belts 60.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be carried out without changing the gist of the present invention.

上述した形態では、駆動機構１８、１９は、２本のベルト６０のそれぞれの張力を調整する２個の張力調整機構６２を備えているが、駆動機構１８、１９は、２本のベルト６０の張力を一緒に調整する１個の張力調整機構６２を備えていても良い。また、上述した形態では、ベルト６０は、スチールベルトであるが、ベルト６０は、ゴム製のベルトであっても良い。この場合には、たとえば、ベルト６０は、環状に形成される無端ベルトであり、張力調整機構６２は、ベルト６０の張力を調整するためのテンションプーリを備えている。さらに、上述した形態では、プーリ３７、３８およびプーリ３７、７８に２本のベルト６０が架け渡されているが、プーリ３７、３８およびプーリ３７、７８に３本以上のベルト６０が架け渡されていても良い。 In the above-described embodiment, the drive mechanisms 18 and 19 are provided with two tension adjusting mechanisms 62 for adjusting the tensions of the two belts 60, whereas the drive mechanisms 18 and 19 are of the two belts 60. A single tension adjusting mechanism 62 that adjusts the tension together may be provided. Further, in the above-described form, the belt 60 is a steel belt, but the belt 60 may be a rubber belt. In this case, for example, the belt 60 is an endless belt formed in an annular shape, and the tension adjusting mechanism 62 includes a tension pulley for adjusting the tension of the belt 60. Further, in the above-described embodiment, two belts 60 are bridged to the pulleys 37, 38 and the pulleys 37, 78, but three or more belts 60 are bridged to the pulleys 37, 38 and the pulleys 37, 78. You may be.

上述した形態では、上下方向で重なる２本のベルト６０がアーム６、７の内部に配置されているが、上下方向で重なる２本のベルト６０が共通アーム８の内部に配置されていても良い。また、上述した形態では、ハンド４と共通アーム８との間に１個のアーム６が配置され、ハンド５と共通アーム８との間に１個のアーム７が配置されているが、ハンド４、５と共通アーム８との間に２個以上のアームが配置されても良い。また、上述した形態では、共通アーム８は、略Ｖ形状に形成されているが、共通アーム８は、直線状に形成されていても良い。 In the above-described embodiment, the two belts 60 that overlap in the vertical direction are arranged inside the arms 6 and 7, but the two belts 60 that overlap in the vertical direction may be arranged inside the common arm 8. .. Further, in the above-described embodiment, one arm 6 is arranged between the hand 4 and the common arm 8, and one arm 7 is arranged between the hand 5 and the common arm 8. However, the hand 4 is arranged. Two or more arms may be arranged between the fifth and the common arm 8. Further, in the above-described form, the common arm 8 is formed in a substantially V shape, but the common arm 8 may be formed in a linear shape.

上述した形態では、ロボット１は、２個のアーム６、７が回動可能に連結される共通アーム８を備えているが、ロボット１は、共通アーム８に代えて、１個のアーム６またはアーム７が先端側に回動可能に連結されるとともに基端側が本体部９に回動可能に連結されるアームを備えていても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、真空中で基板２を搬送しているが、ロボット１は、大気中で基板２を搬送しても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。 In the above-described embodiment, the robot 1 includes a common arm 8 in which two arms 6 and 7 are rotatably connected, but the robot 1 replaces the common arm 8 with one arm 6 or An arm may be provided in which the arm 7 is rotatably connected to the tip end side and the base end side is rotatably connected to the main body portion 9. Further, in the above-described embodiment, the robot 1 conveys the substrate 2 in a vacuum, but the robot 1 may convey the substrate 2 in the atmosphere. Further, in the above-described embodiment, the object to be conveyed by the robot 1 is a glass substrate for a liquid crystal display, but the object to be conveyed by the robot 1 is a glass for an organic EL (organic electroluminescence) display. It may be a substrate, a semiconductor wafer, or the like.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（ガラス基板、搬送対象物）
４、５ ハンド
６、７ アーム（第２アーム）
８ 共通アーム（第１アーム）
９ 本体部
３７ プーリ（第１プーリ）
３８、７８ プーリ（第２プーリ）
６０ ベルト
６２ 張力調整機構 1 Robot (industrial robot)
2 Substrate (glass substrate, object to be transported)
4, 5 Hands 6, 7 Arms (2nd Arm)
8 Common arm (1st arm)
9 Main body 37 Pulley (1st pulley)
38, 78 pulley (second pulley)
60 Belt 62 Tension adjustment mechanism

Claims (4)

搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
中空状に形成されるアームと、前記アームの内部に配置される２個のプーリと、前記プーリの軸方向で重なるように配置され２個の前記プーリに架け渡される複数のベルトと、複数の前記ベルトのそれぞれの張力を個別に調整する複数の張力調整機構とを備え、
前記ベルトは、細長い帯状に形成される有端ベルトであり、
１個の前記張力調整機構は、１本の前記ベルトの両端部に繋がっていることを特徴とする産業用ロボット。 In an industrial robot that transports an object to be transported,
An arm formed in a hollow shape, two pulleys arranged inside the arm, a plurality of belts arranged so as to overlap in the axial direction of the pulleys, and a plurality of belts straddling the two pulleys. A plurality of tension adjusting mechanisms for individually adjusting the tension of each of the belts are provided .
The belt is an endd belt formed in an elongated strip shape.
An industrial robot characterized in that one tension adjusting mechanism is connected to both ends of one belt . 前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結される前記アームとしての第２アームと、前記第２アームの基端側が先端側に回動可能に連結される第１アームと、前記第１アームが回動可能に連結される本体部とを備えるとともに、２個の前記プーリとして、前記第２アームの基端側の内部に配置される第１プーリと、前記第２アームの先端側の内部に配置される第２プーリとを備え、
前記第１プーリは、前記第１アームの先端側に固定され、
前記第２プーリは、前記ハンドに固定されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 The hand on which the object to be transported is mounted, the second arm as the arm to which the hand is rotatably connected to the tip side, and the base end side of the second arm are rotatably connected to the tip side. The first arm is provided with a main body portion to which the first arm is rotatably connected, and the first pulley is arranged inside the base end side of the second arm as two pulleys. , A second pulley arranged inside the tip side of the second arm is provided.
The first pulley is fixed to the tip end side of the first arm.
The industrial robot according to claim 1, wherein the second pulley is fixed to the hand. ２個の前記プーリには、２本の前記ベルトが架け渡されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。 The industrial robot according to claim 1 or 2 , wherein two belts are bridged to the two pulleys. 前記ベルトは、鋼板製のスチールベルトであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。 The industrial robot according to any one of claims 1 to 3 , wherein the belt is a steel belt made of a steel plate.
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