JP2007176668A - Roller carrying device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a roller carrying device capable of maintaining the inside of a vacuum vessel or the inside of a clean room in a dust extremely-reduced clean state. <P>SOLUTION: This roller carrying device 10 is arranged on one side or both sides of a carrying passage 16 formed in the vacuum vessel or the clean room, and carries a carrying object along the carrying passage 16. A driving source 11 is arranged outside a partition wall 17 forming the vacuum vessel or the clean room. A driving shaft 13 and a driven shaft 14 are arranged inside the partition wall 17. Rolling bearings 23 and 26 are arranged in a part for transmitting rotation of the driving shaft 13 driven by the driving source 11 to the driven shaft 14 and a part for bearing and supporting a shaft part 21 of the driven shaft 14. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、ローラ搬送装置、特に、液晶、半導体、有機ＥＬ等非常にクリーンな環境下での製造が要求される製造装置に適用されるローラ搬送装置に関するものである。   The present invention relates to a roller transport device, and more particularly to a roller transport device applied to a manufacturing device that requires manufacturing in a very clean environment such as liquid crystal, semiconductor, and organic EL.

液晶、半導体、有機ＥＬ等非常にクリーンな環境下での製造が要求される製造装置に適用される搬送装置としては、特許文献１に開示されたものが知られている。
特開２０００−１１８７１０号公報 As a transfer device applied to a manufacturing apparatus that is required to be manufactured in a very clean environment such as a liquid crystal, a semiconductor, and an organic EL, the one disclosed in Patent Document 1 is known.
JP 2000-118710 A

上記特許文献１に開示された搬送装置では、駆動軸の回転が傘歯車を介して複数の従動軸に伝達されるようになっている。このような搬送装置を真空容器内で使用しようとした場合、通常は蒸気圧の非常に低い真空用グリースを歯面の潤滑に使用する場合が多いが、クリーンな高真空環境が求められる条件下においてはたとえ微量でも油分が蒸発し真空環境が油蒸気を含んだ状態になることは望ましくないため、出来れば真空用グリースの使用も避けることが望ましい。しかし、歯車の噛み合わせ部にグリース等の潤滑材を使用しなかった場合には歯面の摩耗が促進され、摩耗粉等の微粉末が発生し、この微粉末が真空容器内に飛散して真空容器内の清浄度（クリーン度）が低下してしまうといった問題点があった。
また、このような搬送装置をクリーンルーム内で使用しようとした場合、クリーンルーム用の潤滑材を使用することができるため、歯車の噛み合わせ部における歯面の摩耗を低減させることができる。しかし、微量ではあるが歯車の噛み合わせ部から摩耗粉等の微粉末が発生し、この微粉末がクリーンルーム内に飛散してクリーンルーム内の清浄度（クリーン度）が低下してしまうといった問題点があった。 In the transport device disclosed in Patent Document 1, the rotation of the drive shaft is transmitted to a plurality of driven shafts via a bevel gear. When trying to use such a transfer device in a vacuum vessel, vacuum grease with a very low vapor pressure is usually used for tooth surface lubrication. In this case, it is not desirable that even in a small amount, the oil component evaporates and the vacuum environment contains oil vapor. Therefore, it is desirable to avoid the use of vacuum grease if possible. However, if a lubricant such as grease is not used in the meshing portion of the gear, the wear on the tooth surface is promoted and fine powder such as wear powder is generated, and this fine powder is scattered in the vacuum vessel. There has been a problem that the cleanliness (cleanness) in the vacuum vessel is lowered.
Moreover, when trying to use such a conveying apparatus in a clean room, since the lubricant for clean rooms can be used, the abrasion of the tooth surface in the meshing part of a gear can be reduced. However, there is a problem that fine powder such as abrasion powder is generated from the meshing part of the gear, but the fine powder is scattered in the clean room and the cleanliness (cleanness) in the clean room is lowered. there were.

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができるローラ搬送装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a roller transport device capable of maintaining a clean state with very little dust inside a vacuum vessel or a clean room.

本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
本発明によるローラ搬送装置は、真空容器内またはクリーンルーム内に形成された搬送路の、一側方または両側方に配置されて前記搬送路に沿って被搬送物を搬送するローラ搬送装置であって、前記真空容器または前記クリーンルームを形成する隔壁の外側に駆動源が配置され、前記隔壁の内側に駆動軸および複数の従動軸が配置されており、前記駆動源により駆動される前記駆動軸の回転を前記従動軸に伝達する部分と、前記従動軸の軸部を軸受け支持する部分とに転がり軸受が配置されている。
このようなローラ搬送装置によれば、真空容器内あるいはクリーンルーム内における摺動部分のすべてが、発塵の極めて少ない転がり軸受により構成されることとなるので、真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができる。
また、摺動部分が転がり軸受のみとなり、メンテナンス箇所が大幅に低減することとなるので、保守点検作業の簡素化を図ることができるとともに、保守点検作業に要する時間とコストを大幅に低減させることができる。
さらに、摺動部分が幅方向に寸法を要しない転がり軸受で構成されることとなるので、真空容器あるいはクリーンルームの寸法、特に幅方向の寸法を減少させることができ、真空容器あるいはクリーンルームの小型化を図ることができるとともに、製造コストを削減することができる。
さらにまた、真空容器あるいはクリーンルームの小型化に伴い、真空ポンプの排気能力を小さくしたり、あるいは空気清浄機の能力を小さくすることができるので、装置全体の製造コストも削減することができる。 The present invention employs the following means in order to solve the above problems.
A roller transport device according to the present invention is a roller transport device that is disposed on one side or both sides of a transport path formed in a vacuum vessel or a clean room, and transports an object to be transported along the transport path. A drive source is arranged outside the partition that forms the vacuum vessel or the clean room, a drive shaft and a plurality of driven shafts are arranged inside the partition, and the drive shaft driven by the drive source is rotated. Rolling bearings are disposed in a portion that transmits the shaft to the driven shaft and a portion that supports the shaft portion of the driven shaft.
According to such a roller transport device, all the sliding parts in the vacuum vessel or the clean room are constituted by rolling bearings that generate very little dust. It is possible to maintain a small clean state.
In addition, since the sliding part is only a rolling bearing, the number of maintenance parts is greatly reduced, so that the maintenance and inspection work can be simplified and the time and cost required for the maintenance and inspection work can be greatly reduced. Can do.
Furthermore, since the sliding part is composed of a rolling bearing that does not require a dimension in the width direction, the size of the vacuum vessel or the clean room, particularly the width direction can be reduced, and the vacuum vessel or the clean room can be downsized. In addition, the manufacturing cost can be reduced.
Furthermore, as the vacuum container or clean room is downsized, the exhaust capacity of the vacuum pump can be reduced, or the capacity of the air cleaner can be reduced, so that the manufacturing cost of the entire apparatus can be reduced.

上記ローラ搬送装置において、前記転がり軸受の転動体、内外輪、または保持器の表面に、テフロン（登録商標）等の樹脂コーティング、銀イオンプレーティング、または二硫化モリブデン等の固体潤滑皮膜が施されているか、転がり軸受の材質にセラミックが使用されているとさらに好適である。
このようなローラ搬送装置によれば、潤滑油や潤滑グリースを真空容器内あるいはクリーンルーム内から完全に排除することができて、真空容器内あるいはクリーンルーム内を油分のないクリーンな状態に維持することができる。 In the roller conveying device, a surface of the rolling bearing, the inner and outer rings, or the cage of the rolling bearing is coated with a resin coating such as Teflon (registered trademark), a silver ion plating, or a solid lubricating film such as molybdenum disulfide. It is more preferable that ceramic is used as the material of the rolling bearing.
According to such a roller conveyance device, it is possible to completely remove lubricating oil and lubricating grease from the inside of the vacuum vessel or the clean room, and it is possible to maintain the inside of the vacuum vessel or the clean room in a clean state free from oil. it can.

本発明による電子部品製造装置は、上記ローラ搬送装置を具備している。
このような電子部品製造装置によれば、極めてクリーンな環境下で電子部品（液晶、半導体、有機ＥＬ等）が製造されることとなるので、電子部品の汚損あるいは欠損を低減させることができ、製造コストの低減化あるいは、製品品質の向上を図ることができる。 An electronic component manufacturing apparatus according to the present invention includes the roller transport device.
According to such an electronic component manufacturing apparatus, electronic components (liquid crystal, semiconductor, organic EL, etc.) are manufactured in an extremely clean environment, so that the contamination or loss of electronic components can be reduced, Manufacturing costs can be reduced or product quality can be improved.

本発明によるローラ搬送装置によれば、真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができるという効果を奏する。   According to the roller conveyance device of the present invention, there is an effect that the inside of the vacuum vessel or the clean room can be maintained in a clean state with very little dust.

以下、本発明によるローラ搬送装置の第１実施形態について、図１および図２を参照しながら説明する。
図１は本実施形態に係るローラ搬送装置１０の概略の構成を示す平面図、図２は図１に示すローラ搬送装置１０のローラ周辺の拡大斜視図である。 Hereinafter, a first embodiment of a roller transport device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a roller transport device 10 according to the present embodiment, and FIG. 2 is an enlarged perspective view of the roller periphery of the roller transport device 10 shown in FIG.

図１に示すように、本実施形態に係るローラ搬送装置１０は、駆動源１１と、回転導入機構１２と、駆動軸１３と、従動軸１４と、連結板１５とを主たる要素として構成されたものであり、搬送路１６の両側部にそれぞれ配置されている。
駆動源１１は、例えば、電動モータからなり、その出力軸１１ａの先端部には、回転導入機構１２が接続されている。
回転導入機構１２は、出力軸１１ａを介して駆動源１１から伝達されてきた回転力を真空容器内の真空を保持しつつ真空容器内の駆動軸１３に伝達するものである。
そして、駆動源１１および回転導入機構１２は、大気中（すなわち、電子部品製造装置を構成する真空容器あるいはクリーンルームを形成する隔壁１７の外側）に配置されており、駆動軸１３、従動軸１４、および連結板１５は、真空中あるいはクリーンな環境中（すなわち、電子部品製造装置を構成する真空容器あるいはクリーンルームを形成する隔壁１７の内側）に配置されている。 As shown in FIG. 1, the roller conveyance device 10 according to the present embodiment is configured with a drive source 11, a rotation introduction mechanism 12, a drive shaft 13, a driven shaft 14, and a connecting plate 15 as main elements. These are disposed on both sides of the conveyance path 16.
The drive source 11 is composed of, for example, an electric motor, and a rotation introducing mechanism 12 is connected to the distal end portion of the output shaft 11a.
The rotation introduction mechanism 12 transmits the rotational force transmitted from the drive source 11 via the output shaft 11a to the drive shaft 13 in the vacuum vessel while maintaining the vacuum in the vacuum vessel.
The drive source 11 and the rotation introducing mechanism 12 are arranged in the atmosphere (that is, outside the partition wall 17 forming the vacuum container or clean room constituting the electronic component manufacturing apparatus), and the drive shaft 13, the driven shaft 14, The connecting plate 15 is disposed in a vacuum or in a clean environment (that is, inside the partition wall 17 forming a vacuum container or a clean room constituting the electronic component manufacturing apparatus).

駆動軸１３の回転軸線上に、その回転軸線が位置するように配置された従動軸１４（図１において一番左側に位置する従動軸１４）と、駆動軸１３とは、偏心プレート２０を介して連結されている。
従動軸１４は、軸部２１と、クランクアーム部２２とを備え、搬送路１６に沿って所定の間隔をおいて複数個（本実施形態では５個）配置されている。
軸部２１は、搬送路１６の両側部にそれぞれ設けられた図示しないフレーム（枠体）に取り付けられた固体潤滑方式の転がり軸受（例えば、転動体にテフロン（登録商標）コーティング等が施された玉軸受）２３により軸受け支持されるとともに、その一端部（搬送路１６側の端部）には、図示しないパレット（被搬送物）等を載せて搬送する送りローラ２４が設けられている。
クランクアーム部２２は、断面視Ｌ字状の部材であり、連結板１５の板厚方向に貫通する貫通穴２５内に嵌入された固体潤滑方式の転がり軸受（例えば、転動体の表面に樹脂（例えば、テフロン（登録商標））コーティング等が施された玉軸受）２６により軸受け支持される軸部２７と、前述した偏心プレート２０と同一の形状を有する偏心プレート２８とを備えている。 The driven shaft 14 (the driven shaft 14 located on the leftmost side in FIG. 1) arranged so that the rotational axis is positioned on the rotational axis of the drive shaft 13 and the drive shaft 13 are arranged via an eccentric plate 20. Are connected.
The driven shaft 14 includes a shaft portion 21 and a crank arm portion 22, and a plurality (five in this embodiment) are arranged along the conveyance path 16 at a predetermined interval.
The shaft portion 21 is a solid lubrication type rolling bearing (for example, a Teflon (registered trademark) coating or the like is applied to the rolling element) attached to a frame (frame body) (not shown) provided on both sides of the conveyance path 16. A ball bearing 23 is supported by a bearing, and a feed roller 24 is provided on one end (the end on the transport path 16 side) for carrying a pallet (conveyed object) (not shown).
The crank arm portion 22 is an L-shaped member in cross-section, and is a solid-lubricated rolling bearing (for example, resin (on the surface of the rolling element) fitted in a through hole 25 that penetrates the connecting plate 15 in the plate thickness direction. For example, it includes a shaft portion 27 supported by a ball bearing 26) provided with a Teflon (registered trademark) coating or the like, and an eccentric plate 28 having the same shape as the eccentric plate 20 described above.

図１において一番左側に位置する従動軸１４の、クランクアーム部２２の軸部２７の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）は、偏心プレート２０の一端面（搬送路１６側の端面）に連結されている。
一方、クランクアーム部２２の軸部２７の一端面（搬送路１６側の端面）は、偏心プレート２８の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）に連結されているとともに、偏心プレート２８の一端面（搬送路１６側の端面）は、軸部２１の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）に連結されている。
これにより、駆動軸１３が回転すると、偏心プレート２０および連結板１５を介して従動軸１４の軸部２１および送りローラ２４が、駆動軸１３と同じ方向に同じ回転数で回転することとなる。 1, the other end surface (the end surface opposite to the conveyance path 16 side) of the shaft portion 27 of the crank arm portion 22 of the driven shaft 14 located on the leftmost side is one end surface of the eccentric plate 20 (on the conveyance path 16 side). End face).
On the other hand, one end surface (end surface on the conveyance path 16 side) of the shaft portion 27 of the crank arm portion 22 is connected to the other end surface (end surface opposite to the conveyance path 16 side) of the eccentric plate 28 and the eccentric plate 28. Is connected to the other end surface of the shaft portion 21 (the end surface opposite to the transport path 16 side).
Thus, when the drive shaft 13 rotates, the shaft portion 21 and the feed roller 24 of the driven shaft 14 rotate at the same rotational speed in the same direction as the drive shaft 13 via the eccentric plate 20 and the connecting plate 15.

本実施形態によるローラ搬送装置１０によれば、従動軸１４の軸部２１およびクランクアーム部２２の軸部２７がそれぞれ、発塵の極めて少ない転がり軸受２３，２６により軸受け支持されているので、真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができる。
また、従動軸１４の軸部２１およびクランクアーム部２２の軸部２７を軸受け支持する転がり軸受２３，２６の転動体の表面には、テフロン（登録商標）等の樹脂がコーティングされているので、潤滑油や潤滑グリースを真空容器内あるいはクリーンルーム内から完全に排除することができて、真空容器内あるいはクリーンルーム内を油分のないクリーンな状態に維持することができる。
さらに、摺動部分が転がり軸受２３，２６のみとなり、メンテナンス箇所が大幅に低減することとなるので、保守点検作業の簡素化を図ることができるとともに、保守点検作業に要する時間とコストを大幅に低減させることができる。
さらにまた、駆動軸１３の回転力が、偏心プレート２０および連結板１５のみを介してすべての従動軸１４に伝達されることとなるので、真空容器あるいはクリーンルームの寸法、特に幅方向の寸法を減少させることができ、真空容器あるいはクリーンルームの小型化を図ることができるとともに、製造コストを削減することができる。
さらにまた、真空容器あるいはクリーンルームの小型化に伴い、真空ポンプの排気能力を小さくしたり、あるいは空気清浄機の能力を小さくすることができるので、装置全体の製造コストも削減することができる。 According to the roller transport device 10 according to the present embodiment, the shaft portion 21 of the driven shaft 14 and the shaft portion 27 of the crank arm portion 22 are respectively supported by the rolling bearings 23 and 26 with very little dust generation. The inside of the container or the clean room can be maintained in a clean state with very little dust.
Further, since the surfaces of the rolling elements of the rolling bearings 23 and 26 that support the shaft portion 21 of the driven shaft 14 and the shaft portion 27 of the crank arm portion 22 are coated with resin such as Teflon (registered trademark), Lubricating oil and lubricating grease can be completely removed from the inside of the vacuum vessel or the clean room, and the inside of the vacuum vessel or the clean room can be kept clean with no oil content.
Furthermore, since the sliding parts are only the rolling bearings 23 and 26 and the number of maintenance parts is greatly reduced, the maintenance and inspection work can be simplified and the time and cost required for the maintenance and inspection work can be greatly reduced. Can be reduced.
Furthermore, since the rotational force of the drive shaft 13 is transmitted to all the driven shafts 14 only through the eccentric plate 20 and the connecting plate 15, the size of the vacuum vessel or the clean room, particularly the width direction is reduced. Thus, the vacuum vessel or the clean room can be reduced in size, and the manufacturing cost can be reduced.
Furthermore, as the vacuum container or clean room is downsized, the exhaust capacity of the vacuum pump can be reduced, or the capacity of the air cleaner can be reduced, so that the manufacturing cost of the entire apparatus can be reduced.

本発明によるローラ搬送装置の第２実施形態を、図３および図４を用いて説明する。
本実施形態におけるローラ搬送装置３０は、偏心プレート２０、軸部２７、および偏心プレート２８の代わりに偏心プレート３１が、転がり軸受２６の代わりに転がり軸受３２が設けられているという点で前述した第１実施形態のものと異なる。その他の構成要素については前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
なお、前述した第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。 A second embodiment of the roller transport device according to the present invention will be described with reference to FIGS.
The roller transport device 30 according to the present embodiment is described above in that an eccentric plate 31 is provided instead of the eccentric plate 20, the shaft portion 27, and the eccentric plate 28, and a rolling bearing 32 is provided instead of the rolling bearing 26. Different from that of one embodiment. Since other components are the same as those of the first embodiment described above, description of these components is omitted here.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member same as 1st Embodiment mentioned above.

偏心プレート３１は、連結板１５の板厚方向に貫通する貫通穴３３内に嵌入された固体潤滑方式の転がり軸受（例えば、転動体にテフロン（登録商標）コーティング等が施された玉軸受）３２により軸受け支持されている。また、偏心プレート３１の一端面（搬送路１６側の端面）は、従動軸３４の軸部２１の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）に連結あるいは偏芯プレート３１と従動軸３４の軸部２１は単一部品で構成されているとともに、偏心プレート３１の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）は、駆動軸１３の一端面（搬送路１６側の端面）に連結あるいは偏芯プレート３１と駆動軸１３は単一部品で構成されている。
なお、本実施形態において、従動軸３４は、軸部２１と、偏心プレート３１とを備えていることとなる。 The eccentric plate 31 is a solid-lubricated rolling bearing (for example, a ball bearing whose rolling element is coated with Teflon (registered trademark)) 32 that is inserted into a through hole 33 that penetrates the connecting plate 15 in the thickness direction. Is supported by the bearing. Further, one end surface (end surface on the conveyance path 16 side) of the eccentric plate 31 is connected to the other end surface (end surface opposite to the conveyance path 16 side) of the shaft portion 21 of the driven shaft 34 or the eccentric plate 31 and the driven shaft 34. The shaft portion 21 is composed of a single component, and the other end surface of the eccentric plate 31 (the end surface opposite to the conveyance path 16 side) is connected to one end surface of the drive shaft 13 (end surface on the conveyance path 16 side). Or the eccentric plate 31 and the drive shaft 13 are comprised by the single component.
In the present embodiment, the driven shaft 34 includes the shaft portion 21 and the eccentric plate 31.

本実施形態によるローラ搬送装置３０の作用効果は、前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではその説明を省略する。   Since the operational effects of the roller transport device 30 according to the present embodiment are the same as those of the first embodiment described above, description thereof is omitted here.

本発明によるローラ搬送装置の第３実施形態を、図５を用いて説明する。
本実施形態におけるローラ搬送装置４０は、前述した第１実施形態と第２実施形態とを組み合わせたものである。すなわち、本実施形態におけるローラ搬送装置４０は、駆動軸１３の回転軸線上に、第２実施形態のところで説明した従動軸３４の回転軸線が位置するように配置されているという点で前述した第１実施形態のものと異なる。その他の構成要素については前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
なお、前述した第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。 A third embodiment of the roller transport device according to the present invention will be described with reference to FIG.
The roller conveyance device 40 in the present embodiment is a combination of the first embodiment and the second embodiment described above. In other words, the roller transport device 40 in the present embodiment is arranged as described above in that the rotation axis of the driven shaft 34 described in the second embodiment is positioned on the rotation axis of the drive shaft 13. Different from that of one embodiment. Since other components are the same as those of the first embodiment described above, description of these components is omitted here.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member same as 1st Embodiment mentioned above.

本実施形態によるローラ搬送装置４０の作用効果は、前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではその説明を省略する。   Since the operational effects of the roller transport device 40 according to the present embodiment are the same as those of the first embodiment described above, description thereof is omitted here.

本発明によるローラ搬送装置の第４実施形態を、図６を用いて説明する。
本実施形態におけるローラ搬送装置５０は、前述した第１実施形態と第２実施形態とを組み合わせたものである。すなわち、本実施形態におけるローラ搬送装置５０は、連結板１５の両端部（すなわち、図６において一番左側および一番右側）に位置する従動軸が、第２実施形態のところで説明した従動軸３４とされているという点で前述した第１実施形態のものと異なる。その他の構成要素については前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
なお、前述した第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。 A fourth embodiment of the roller transport device according to the present invention will be described with reference to FIG.
The roller conveyance device 50 in this embodiment is a combination of the first embodiment and the second embodiment described above. That is, in the roller conveyance device 50 according to the present embodiment, the driven shafts located at both ends of the connecting plate 15 (that is, the leftmost and rightmost sides in FIG. 6) are the driven shafts 34 described in the second embodiment. This is different from that of the first embodiment described above. Since other components are the same as those of the first embodiment described above, description of these components is omitted here.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member same as 1st Embodiment mentioned above.

本実施形態においては、連結板１５の一端部（すなわち、図６において一番右側）に位置する従動軸３４の偏心プレート３１の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）にも駆動軸１３ａが連結されている。また、連結板１５の一端部（すなわち、図６において一番右側）に位置する従動軸３４は、その回転軸線が駆動軸１３ａの回転軸線上に位置するように配置されている。そして、駆動軸１３と駆動軸１３ａとは真空容器外にて無端状のベルト（あるいはチェーン）５１を介して連結されており、これにより、駆動軸１３が回転すると、もう一方の駆動軸１３ａも駆動軸１３と同じ方向に同じ回転数で回転することとなる。
なお、図６中の符号５２は、ベルト５１のテンション（張力）を調節するためのプーリである。 In the present embodiment, the drive shaft is also provided on the other end surface (the end surface opposite to the conveyance path 16 side) of the eccentric plate 31 of the driven shaft 34 located at one end portion of the connecting plate 15 (that is, the rightmost side in FIG. 6). 13a is connected. Further, the driven shaft 34 located at one end portion of the connecting plate 15 (that is, the rightmost side in FIG. 6) is arranged such that its rotational axis is located on the rotational axis of the drive shaft 13a. The drive shaft 13 and the drive shaft 13a are connected to each other outside the vacuum vessel via an endless belt (or chain) 51, so that when the drive shaft 13 rotates, the other drive shaft 13a is also connected. It will rotate at the same rotational speed in the same direction as the drive shaft 13.
Note that reference numeral 52 in FIG. 6 is a pulley for adjusting the tension of the belt 51.

本実施形態によるローラ搬送装置５０の作用効果は、前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではその説明を省略する。   Since the operational effects of the roller conveyance device 50 according to the present embodiment are the same as those of the first embodiment described above, description thereof is omitted here.

なお、本発明は上述した実施形態のものに限定されるものではなく、駆動軸１３の回転が、例えば、非接触式の磁気駆動伝達機構を介して偏心プレート２０あるいは偏心プレート３１に伝達されるように構成することもできる。   In addition, this invention is not limited to the thing of embodiment mentioned above, For example, rotation of the drive shaft 13 is transmitted to the eccentric plate 20 or the eccentric plate 31 via a non-contact-type magnetic drive transmission mechanism. It can also be configured as follows.

本発明によるローラ搬送装置の第１実施形態を示す図であって、その概略の構成を示す平面図である。It is a figure which shows 1st Embodiment of the roller conveying apparatus by this invention, Comprising: It is a top view which shows the structure of the outline. 図１に示すローラ搬送装置のローラ周辺の拡大斜視図である。It is an expansion perspective view of the roller periphery of the roller conveying apparatus shown in FIG. 本発明によるローラ搬送装置の第２実施形態を示す図であって、その概略の構成を示す平面図である。It is a figure which shows 2nd Embodiment of the roller conveying apparatus by this invention, Comprising: It is a top view which shows the structure of the outline. 図３に示すローラ搬送装置のローラ周辺の拡大斜視図である。It is an expansion perspective view of the roller periphery of the roller conveying apparatus shown in FIG. 本発明によるローラ搬送装置の第３実施形態を示す図であって、ローラ周辺の拡大斜視図である。It is a figure which shows 3rd Embodiment of the roller conveying apparatus by this invention, Comprising: It is an expansion perspective view of a roller periphery. 本発明によるローラ搬送装置の第４実施形態を示す図であって、ローラ周辺の拡大斜視図である。It is a figure which shows 4th Embodiment of the roller conveying apparatus by this invention, Comprising: It is an expansion perspective view of a roller periphery.

符号の説明Explanation of symbols

１０ ローラ搬送装置
１１ 駆動源
１３ 駆動軸
１３ａ 駆動軸
１４ 従動軸
１６ 搬送路
１７ 隔壁
２１ 軸部
２３ 転がり軸受
２６ 転がり軸受
３０ ローラ搬送装置
３２ 転がり軸受
３４ 従動軸
４０ ローラ搬送装置
５０ ローラ搬送装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Roller conveying apparatus 11 Drive source 13 Drive shaft 13a Drive shaft 14 Driven shaft 16 Conveyance path 17 Partition 21 Shaft part 23 Rolling bearing 26 Rolling bearing 30 Roller conveying apparatus 32 Rolling bearing 34 Followed shaft 40 Roller conveying apparatus 50 Roller conveying apparatus

Claims (3)

真空容器内またはクリーンルーム内に形成された搬送路の、一側方または両側方に配置されて前記搬送路に沿って被搬送物を搬送するローラ搬送装置であって、
前記真空容器または前記クリーンルームを形成する隔壁の外側に駆動源が配置され、前記隔壁の内側に駆動軸および従動軸が配置されており、
前記駆動源により駆動される前記駆動軸の回転を前記従動軸に伝達する部分と、前記従動軸の軸部を軸受け支持する部分とに転がり軸受が配置されていることを特徴とするローラ搬送装置。 A roller conveyance device that is arranged on one side or both sides of a conveyance path formed in a vacuum vessel or a clean room and conveys an object to be conveyed along the conveyance path,
A driving source is disposed outside the partition that forms the vacuum vessel or the clean room, and a driving shaft and a driven shaft are disposed inside the partition,
A roller conveying device, wherein a rolling bearing is disposed in a portion that transmits the rotation of the drive shaft driven by the drive source to the driven shaft, and a portion that supports the shaft portion of the driven shaft. . 前記転がり軸受の転動体、内外輪、または保持器の表面に、テフロン（登録商標）等の樹脂コーティング、銀イオンプレーティング、または二硫化モリブデン等の固体潤滑皮膜が施されているか、転がり軸受の材質にセラミックが使用されていることを特徴とする請求項１に記載のローラ搬送装置。   The surface of the rolling element, inner and outer rings, or cage of the rolling bearing is coated with a resin coating such as Teflon (registered trademark), a silver ion plating, or a solid lubricating film such as molybdenum disulfide. The roller conveying apparatus according to claim 1, wherein ceramic is used as a material. 請求項１または２に記載のローラ搬送装置を具備してなることを特徴とする電子部品製造装置。   An electronic component manufacturing apparatus comprising the roller conveyance device according to claim 1.
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