KR20100058706A - Apparatus for transferring a substrate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판형 기판이 경사각을 갖는 상태로 상기 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to an apparatus for transferring the substrate in a state where the flat substrate has an inclination angle.
일반적으로 처리된 정보의 표시를 위해 평판 디스플레이 장치가 널리 사용되고 있으며, 평판 디스플레이 장치의 대표적인 예로는 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 발광 표시 장치(OLED) 등을 들 수 있다.In general, a flat panel display device is widely used for displaying processed information, and representative examples of the flat panel display device include a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), and an organic light emitting display (OLED). .
이러한 평판 디스플레이 장치는 평판형 기판을 대상으로 상기 평판형 기판 상에 회로 패턴을 형성하기 위한 증착 공정, 식각 공정, 포토리소그래피 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 단위 공정들을 반복적으로 수행하여 제조된다.The flat panel display apparatus is manufactured by repeatedly performing unit processes such as a deposition process, an etching process, a photolithography process, a cleaning process, and an inspection process for forming a circuit pattern on the flat substrate.
상기 단위 공정들 중 식각 공정, 세정 공정 등은 액상의 처리 물질을 이용하여 상기 평판형 기판을 처리하게 된다. 이처럼 액상의 처리 물질을 이용하여 평판형 기판을 처리하는 경우 상기 평판형 기판을 소정 각도(약 6ㅀ각도)로 경사지도록 배치하여 이송하면서 처리 공정을 수행하는 방식이 일반적으로 사용된다. 즉, 상기 평판형 기판을 이송하기 위한 회전축들 및 회전 롤러들을 기울어지도록 배치하여 상기 평판형 기판이 기울어진 상태에서 이송되면서 상기 평판형 기판에 대한 처리 공정을 수행한다.Among the unit processes, an etching process, a cleaning process, and the like process the plate-type substrate using a liquid treatment material. As described above, when the flat substrate is processed using a liquid treatment material, the flat substrate is disposed to be inclined at a predetermined angle (about 6 ° angle), and a method of performing a processing process while transferring is generally used. That is, the rotating shafts and the rotating rollers for transferring the flat substrate are inclined so that the flat substrate is transferred in an inclined state, thereby performing a processing process on the flat substrate.
최근에는 디스플레이 장치의 대형화 요구에 의해 상기 평판형 기판의 면적이 점차 증가됨에 따라 상기 기판의 처리 공정 설비의 크기도 점차 증가되고 있다. 따라서 상기 기판 처리 설비의 설치 공간 확대에 다른 클린룸의 공간 사용 효율이 감소될 수 있다. 이에, 상기 클린룸의 공간 사용 효율을 증대시키기 위하여 상기 기판 처리 설비가 차지하는 면적을 감소시키기 위한 방안으로 상기 기판의 경사도를 증가시킬 수 있다.Recently, as the area of the flat substrate is gradually increased due to the demand for enlargement of the display device, the size of the processing equipment for the substrate is gradually increased. Therefore, the space use efficiency of another clean room may be reduced in the installation space of the substrate processing equipment. Accordingly, the inclination of the substrate may be increased in order to reduce the area occupied by the substrate processing equipment in order to increase space use efficiency of the clean room.
하지만, 현재 적용되고 있는 롤러 방식의 기판 이송으로는 상기 기판의 경사도를 증가시키는데 한계가 있다.However, there is a limit to increase the inclination of the substrate in the roller transfer substrate currently applied.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 일 과제는 평판형 기판의 이송에서 기판의 경사도를 증가시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.One object of the present invention for solving the above problems is to provide a substrate transfer apparatus that can increase the inclination of the substrate in the transfer of the flat substrate.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 상기 이송 벨트는 경사각을 갖도록 배치된 평판형 기판을 지지하여 이송하기 위한 이송 벨트와, 상기 이송 벨트와 연결되며 상기 기판을 이송하기 위하여 상기 이송 벨트를 회전시키는 구동 풀리들과, 상기 구동 풀리들과 연결되며 상기 이송 벨트를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부와, 상기 이송 벨트에 의해 지지된 기판의 일평면 방향에 배치되어 상기 기판의 이송 중에 상기 기판의 쓰러지지 않도록 지지하는 아이들 롤러들(idle rollers)을 포함할 수 있다.In order to achieve the above object of the present invention, a substrate transfer apparatus according to the present invention includes a transfer belt for supporting and transferring a plate-type substrate disposed such that the transfer belt has an inclination angle, and is connected to the transfer belt and transfers the substrate. Drive pulleys for rotating the transfer belt, a drive unit connected to the drive pulleys to provide a rotational force for rotating the transfer belt, and disposed in one plane direction of a substrate supported by the transfer belt, It may include idle rollers for supporting the substrate so that it does not fall down during the transfer of the substrate.
여기서, 일 실시예에 따르면 상기 이송 벨트에는 상기 기판의 안정적 지지를 위해 상기 기판이 지지되는 벨트 바깥면에 상기 회전 방향을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착홈이 구비될 수 있다.Here, according to one embodiment, the transport belt may be provided with a slit-shaped mounting groove formed along the rotation direction on the outer surface of the belt on which the substrate is supported for stable support of the substrate.
다른 실시예에 따르면, 상기 구동 풀리들의 외주면 양측 부위들에는 상기 이송 벨트가 이탈되는 것을 방지하기 위한 가이드 부재가 구비될 수 있다.According to another embodiment, guide members for preventing the transfer belt from being detached may be provided at both sides of the outer circumferential surface of the driving pulleys.
또 다른 실시예에 따르면, 상기 이송 벨트는 동기 구동을 위해 벨트 안쪽면에 볼록 패턴 또는 오목 패턴으로 형성되는 제1 동기 패턴이 구비되며, 상기 구동 풀리들은 외주면에 상기 제1 동기 패턴에 대응하는 제2 동기 패턴이 구비될 수 있 다.According to another embodiment, the transfer belt is provided with a first synchronous pattern formed in a convex pattern or a concave pattern on the inner surface of the belt for the synchronous drive, the drive pulleys are formed on the outer peripheral surface corresponding to the first synchronous pattern 2 sync patterns may be provided.
또 다른 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는 상기 구동 풀리들의 양쪽 측방에 배치되어 상기 이송 벨트의 안쪽에 연결되며 상기 이송 벨트의 장력을 조절하기 위한 아이들 풀리들(idle pulleys)을 더 포함할 수 있다.According to another embodiment, the substrate transfer apparatus may further include idle pulleys disposed on both sides of the driving pulleys and connected to the inside of the transfer belt and configured to adjust the tension of the transfer belt. have.
또 다른 실시예에 따르면, 상기 기판이 갖는 상기 경사각의 범위는 60°내지 80°일 수 있다.According to another embodiment, the inclination angle of the substrate may range from 60 ° to 80 °.
또 다른 실시예에 따르면, 상기 구동부는 상기 회전력을 제공하는 동력 제공부와, 상기 동력 제공부와 상기 구동 풀리들 사이에 연결되어 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부를 포함할 수 있다.According to another embodiment, the driving unit may include a power providing unit for providing the rotational force, and a power transmission unit connected between the power providing unit and the driving pulleys to transmit the rotational force.
또 다른 실시예에 따르면, 상기 동력 전달부는 제1 동력 전달부 및 제2 동력 전달부를 포함할 수 있다. 상기 제1 동력 전달부는 상기 동력 제공부와 연결된 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트와 연결된 다수의 구동 기어들과, 상기 구동 기어들과 결합된 다수의 제1 구동축들과, 상기 제1 구동축들의 단부들에 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제1 마그네틱 기어들을 포함할 수 있다. 상기 제2 동력 전달부는 상기 제1 마그네틱 기어들과 각각 마주하여 배치되며 영구 자석들을 포함하는 제2 마그네틱 기어들과, 상기 제2 마그네틱 기어들과 상기 구동 풀리들 사이를 연결하는 제2 구동축들을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 및 제2 동력 전달부들 사이에서의 회전력 전달은 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들의 영구 자석들 사이에서 작용하는 자기력에 의해 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to another embodiment, the power transmission unit may include a first power transmission unit and a second power transmission unit. The first power transmission unit includes a timing belt connected to the power supply unit, a plurality of drive gears connected to the timing belt, a plurality of first drive shafts coupled to the drive gears, and ends of the first drive shafts. And may include first magnetic gears disposed in and including permanent magnets. The second power transmission unit includes second magnetic gears disposed to face the first magnetic gears, respectively, and including permanent magnets, and second driving shafts connecting between the second magnetic gears and the driving pulleys. can do. Here, the rotational force transmission between the first and second power transmission portion is characterized by the magnetic force acting between the permanent magnets of the first and second magnetic gears.
또 다른 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들은 상기 기판의 처리를 위한 챔버의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하여 배치될 수 있다.According to another embodiment, the first and second magnetic gears may be disposed to face each other with one sidewall of the chamber for processing the substrate therebetween.
또 다른 실시예에 따르면, 상기 구동 풀리들은 상기 이송 벨트가 상기 경사각에 대해 수직하게 배치되도록 상기 경사각에 대해 수직한 방향의 회전축을 가질 수 있다.According to another embodiment, the driving pulleys may have a rotation axis in a direction perpendicular to the inclination angle such that the transfer belt is disposed perpendicular to the inclination angle.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 대면적을 갖는 차세대 평판형 기판의 처리를 위하여 상기 기판을 이송 벨트를 이용하여 고경사각을 갖는 상태로 이송함으로써 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present invention configured as described above greatly reduces the installation area for processing the substrate by transferring the substrate in a state having a high inclination angle using a transfer belt for processing a next-generation flat substrate having a large area. You can.
또한 상기 기판 이송 장치는 기판을 고경사 상태로 이송함에 따라 상기 기판의 처리 설비 면적을 감소 시킬 수 있으며, 이를 통해서 상기 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.In addition, the substrate transfer apparatus may reduce the processing facility area of the substrate as the substrate is transferred to a high inclined state, thereby greatly improving the space usage efficiency of the clean room where the substrate processing facility is installed.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a substrate transfer apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하 였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the invention, and are actually shown in a smaller scale than the actual dimensions in order to explain the schematic configuration. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.
실시예Example
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략적인 도면이며, 도 4는 도 1에 도시된 이송 벨트를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.FIG. 1 is a schematic configuration diagram illustrating a substrate transfer apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic side view illustrating the substrate transfer apparatus illustrated in FIG. 1, and FIG. 3 is a driving unit illustrated in FIG. 1. FIG. 4 is a schematic view for explaining the transfer belt shown in FIG. 1.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 유리 기판과 같은 평판형 기판(G)에 대한 처리 공정에서 상기 기판(G)을 일 방향으로 이송하기 위하여 사용될 수 있다. 1 to 4, the
상기 평판형 처리 공정의 예로는 기판(G) 상의 막 또는 불순물을 제거하기 위한 식각 공정, 기판(G) 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정, 식각 또는 세정 후 기판(G)을 린스 처리하기 위한 린스 공정, 기판(G)을 건조시키기 위한 건조 공정 등이 있다. 도시되지는 않았으나, 상기와 같은 처리 공정을 수행하기 위하여, 상기 기판 이송 장치(100)에 의해 이송되는 기판의 전면 및/또는 후면과 마주하는 위치에는 상기 기판(G)의 처리를 위한 약액 또는 처리 가스 등을 제공하는 노즐들, 에어 나이프(air knife) 또는 샤워 나이프(shower knife) 등이 배치될 수 있다.Examples of the plate-type treatment process include an etching process for removing a film or impurities on the substrate G, a cleaning process for removing impurities on the substrate G, a rinse treatment for rinsing the substrate G after etching or cleaning. A process, a drying process for drying the board | substrate G, etc. are mentioned. Although not shown, in order to perform the treatment process as described above, the chemical liquid or the treatment for the treatment of the substrate (G) at a position facing the front and / or rear surface of the substrate to be transferred by the
상기 기판 이송 장치(100)는 상기 기판(G)을 경사각을 갖는 상태로 지지하여 일 방향으로 이송하기 위한 이송 벨트(110)와, 상기 기판(G)을 이송하기 위하여 상기 이송 벨트(110)를 회전시키는 구동 풀리들(120)과, 상기 구동 풀리들(120)과 연결되며 상기 이송 벨트(110)를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동부(130), 그리고 이송 벨트(110)에 의해 지지된 기판(G)을 쓰러지지 않도록 지지하기 위한 아이들 롤러들(160)을 포함할 수 있다.The
상기 이송 벨트(110)는 상기 기판(G)을 처리하기 위한 챔버(102) 내에 배치되다. 상기 이송 벨트(110)는 경사각을 갖는 상태로 배치된 기판(G)을 지지하며, 상기 이송 벨트(110)는 회전을 통해 상기 경사각을 갖는 상태로 기판(G)을 이송하게 된다. 따라서 상기 기판(G)은 상기 이송 벨트(110)의 길이 방향으로 배치되며, 기판(G)의 이송 방향은 상기 이송 벨트(110)의 회전 방향이 된다.The
상기 이송 벨트(110)는 단면이 평면 또는 브이 형상을 가질 수 있으나, 이에 한정되는 않고 다양한 형상을 가질 수 있다. 다만, 상기 기판(G)의 지지를 위해 상기 이송 벨트(110)의 바깥면이 평면 형태를 갖는 것이 바람직할 것이다. 또한, 상기 이송 벨트(110)는 기판(G)이 지지되는 바깥면에 회전 방향(예컨대 벨트의 길이 방향)을 따라서 형성된 슬릿 형태의 안착홈(112)을 가질 수 있다. 상기 안착홈(112)은 상기 기판(G)의 두께에 대응하는 폭을 가지며, 상기 기판(G)의 두께보다 조금 더 큰 폭을 가질 수 있다. 상기 안착홈(112)은 상기 이송 벨트(110)의 폭 중앙 부위에 형성되는데, 이는 상기 안착홈(112)을 통해 기판(G)이 지지됐을 때 기판(G)으로부터 가해지는 하중에 의해 편심이 발생하지 않도록 하기 위해서이다. 이와 달리, 상기 안착홈(112)은 상기 이송 벨트(110)의 폭 내에서 일측에 치우치도록 형성될 수 있다.The
한편, 상기 이송 벨트(110)는 상기 기판(G)의 경사각에 대해 수직한 회전축을 갖도록 배치될 수 있을 것이다. 이는 상기 기판(G)이 경사각을 갖는 상태로 이송 벨트(110)에 지지되므로, 기판(G)을 보다 안정적으로 지지하기 위해서이다. 즉, 이송 벨트(110)와 기판(G)이 서로 수직하게 배치됨으로써, 기판(G)을 보다 안정적으로 지지할 수 있다. 이와 달리, 상기 이송 벨트(110)는 수평 회전축을 갖도록 배치되고, 상기 이송 벨트(110)의 상면에 대해 기판(G)이 경사각을 갖도록 지지되어 이송될 수 있다.On the other hand, the
상기 구동 풀리들(120)은 상기 이송 벨트(110)와 함께 챔버(102) 내에 배치되며, 상기 이송 벨트(110)와 연동하도록 구성된다. 예컨대, 상기 구동 풀리들(120)의 외주면에 이송 벨트(110)가 걸리게 되며, 구동 풀리들(120)과 이송 벨트(110) 사이의 마찰력으로 이송 벨트(110)를 회전시킨다. 상기 구동 풀리들(120)에는 외주면 양측 부위들에 상기 이송 벨트(110)가 회전 도중에 미끄러져 이탈하는 것을 방지하기 위해 가이드 부재(122)가 구비된다. 상기 가이드 부재(122)의 직경은 상기 구동 풀리들(120)의 중앙 부위의 직경보다 큰 직경을 가지며, 상기 이송 벨트(110)를 양측에서 커버하는 구조를 갖는다. 상기 구동 풀리들(120)은 상기 기판(G)의 경사각에 대해 수직한 회전축을 갖도록 배치될 수 있으며, 이를 통해서 상기 이송 벨트(120)가 상기 기판(G)이 갖는 경사각에 대해 수직한 회전축을 갖도록 한다.The driving pulleys 120 are disposed in the
상기 구동부(140)는 상기 회전력을 발생시키는 동력 제공부(150)와 상기 회전력을 전달하는 동력 전달부(160)를 포함할 수 있다.The driving
상기 동력 제공부(150)는 회전력을 제공하는 모터(미도시)와 상기 모터의 회전력 및 회전 속도 등을 조절하기 위한 감속기(미도시)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 모터(미도시)에 의해 회전하는 피니언 기어(151)를 포함할 수 있다.The
상기 동력 전달부(160)는 상기 챔버(102)의 외부에 배치되는 제1 동력 전달부(170)와 상기 챔버(102) 내부에 배치되는 제2 동력 전달부(180)를 포함할 수 있다.The
상기 제1 동력 전달부(170)는 타이밍 벨트(171)와 다수의 구동 기어들(172)을 포함할 수 있다. 상기 구동 기어들(172)은 상기 기판(G)의 이송 방향과 평행하게 배열되며, 제1 구동축들(173)과 결합된다. 상기 제1 구동축들(173)은 상기 챔버(102) 외측에서 제1 지지부재(174)에 의해 지지된다. 상기 제1 지지부재(174)는 상기 챔버(102)의 일측 벽(102a)에 장착된 브래킷(미도시) 상에 배치될 수 있으며, 상기 제1 구동축들(173)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다.The first
상기 타이밍 벨트(171)는 상기 동력 제공부(150)의 피니언 기어(151)와 상기 구동 기어들(172)을 연결함으로써 상기 회전력을 상기 제1 구동축들(173) 모두에 일정하게 전달할 수 있다.The
상기 제1 구동 기어들(172) 사이에는 상기 회전력의 전달 효율을 향상시키기 위한 제1 아이들 기어들(idle gears, 175)이 배치될 수 있으며, 상기 동력 제공부(150)의 피니언 기어(151)와 인접하는 위치에는 상기 타이밍 벨트(171)의 장력을 조절하기 위한 제2 아이들 기어(176, 도 3 참조)가 배치될 수 있다.First
한편, 상기 제1 구동축들(173)은 상기 챔버(102)의 일 측벽(102a)을 향하여 연장하며, 상기 제1 구동축들(173)의 단부들에는 제1 마그네틱 기어들(177)이 각각 결합된다.Meanwhile, the
상기 제2 동력 전달부(180)는 상기 제1 마그네틱 기어들(177)과 각각 마주하여 배치되는 제2 마그네틱 기어들(181)과, 상기 제2 마그네틱 기어들(181)과 상기 구동 풀리들(120) 사이를 연결하는 제2 구동축들(182)을 포함할 수 있다.The second
상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 각각 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181) 사이에서 상기 영구 자석들에 의해 작용하는 자기력에 의해 회전력 전달이 이루어진다. 구체적으로, 각각의 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 자체의 중심에 대하여 방사상으로 배치되는 다수의 영구 자석들을 포함하며, 상기 자석들은 원주 방향으로 극성이 번갈아 바뀌도록 배치된다.The first and second
또한, 상기 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)은 상기 챔버(102)의 일 측벽을 사이에 두고 서로 마주하며, 상기 챔버(102)의 일 측벽으로부터 소정 간격 이격되어 배치되므로, 상기 동력 제공부(150) 및 제1 동력 전달부(180)의 구동에 의해 발생되는 진동이 이송 벨트(110) 전달되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the first and second
결과적으로, 상기 동력 제공부(150)로부터 제공되는 회전력은 타이밍 벨트(171), 구동 기어들(172), 제1 구동축들(173), 제1 마그네틱 기어들(177), 제2 마그네틱 기어들(181), 제2 구동축들(182) 및 구동 풀리들(120)을 통해 상기 이송 벨트(110)로 전달된다. 상기와 같이 동력 제공부(150)로부터 상기 회전력이 각각의 구동 풀리들(120) 모두에 균일하게 전달될 수 있으므로, 상기 이송 벨트(110)는 원활하게 회전하게 된다.As a result, the rotational force provided from the
상기 제2 구동축들(182)은 상기 챔버(102) 내에 구비되는 제2 지지부재 들(183)에 의해 지지될 수 있으며, 상기 제2 지지부재들(183)은 상기 제2 구동축들(182)의 원활한 회전을 위하여 다양한 형태의 베어링들을 포함할 수 있다. 여기서, 제2 구동축들(182)은 상기 구동 풀리들(120)의 회전축으로 기능하며, 앞서 언급한 바 있듯이 경사각을 갖는다. 상기 제2 구동축들(182)이 갖는 경사각은 상기 기판(G)이 갖는 경사각과 수직을 이룬다. 따라서, 상기 제2 지지부재(183)들은 상기 제2 구동축들(182)을 경사진 상태로 지지한다.The
도 4를 참조하면, 상기 구동 풀리들(120)은 이송 벨트(110)가 기판(G)의 이송 방향으로 연장하는 형태가 되도록 상기 기판(G)의 이송 방향을 따라서 일렬로 배치된다. 특히, 이송 벨트(110)의 높이가 동일할 수 있도록 상기 구동 풀리들(120)은 동일 높이로 배치된다.Referring to FIG. 4, the driving
상기 기판(G)의 이송 방향으로 구동 풀리들(120)의 양측 부위들에는 상기 이송 벨트(110)의 장력 조절 및 정숙한 운전을 목적으로 다수의 아이들 풀리들(124)이 배치될 수 있다. 도시된 바에 의하면, 상기 구동 풀리들(120)보다 작은 직경을 갖는 다수의 아이들 풀리들(124)이 상기 구동 풀리들(120)의 양측 부위들에 배치되어 있으나, 상기 아이들 풀리들(124)의 크기는 다양하게 변화될 수 있다. A plurality of
예를 들면, 상기 구동 풀리들(120)의 양측 부위에는 상기 구동 풀리들(120)보다 큰 직경을 갖는 한 쌍의 아이들 풀리들이 각각 배치될 수도 있다. 또한, 상기 각각의 아이들 풀리들은 상기 구동 풀리들(120)과 동일한 크기를 가질 수도 있으며, 상기 구동 풀리들(120)과 유사한 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 아이들 풀리들(124)은 상기 구동 풀리들(120)들과 마찬가지로, 외주면 양측 부위들에 상기 이송 벨트(110)가 이탈되는 것을 방지하기 위한 가이드가 구비될 수 있다. 또한, 상기 아이들 풀리들(124)의 배치 개수는 다양하게 변경 가능하며, 상기 구동 풀리들(120)의 하부 및 상기 구동 풀리들(120)의 사이 등 배치 위치도 다양하게 변화될 수 있다.For example, a pair of idle pulleys having a diameter larger than that of the driving
도 3을 참조하면, 상기 아이들 롤러(130)들은 상기 기판(G)이 기설정된 경사각을 갖도록 배치된 상태에서 상기 이송 벨트(110)에 지지되어 이송될 때 상기 기판(G)이 쓰러지지 않고 상기 경사각을 유지할 수 있도록 상기 기판(G)의 지지하는 역할을 한다. 따라서, 상기 아이들 롤러들(130)은 상기 경사각을 갖는 기판(G)의 일평면 방향에 배치되며, 상기 기판(G)의 이송 방향과 수직한 방향의 회전축을 갖는다. 이에, 상기 아이들 롤러들(130)은 상기 기판(G)의 이송 방향과 수직한 방향으로 연장하며, 상기 기판(G)이 갖는 경사각과 동일한 경사각을 가는 샤프트들(132)에 구비되는 구조를 가질 수 있다. 상기 샤프트들(132)은 상기 기판(G)과 평행 배치되며, 샤프트들(132) 각각에는 길이 방향을 따라서 다수의 아이들 롤러(130)들이 구비될 수 있다. 또한, 상기 샤프트들(132)은 기판(G)의 이송 방향으로 상호 평행하게 동일 간격으로 배치될 수 있다.Referring to FIG. 3, the
이와 달리, 상기 아이들 롤러들(130)은 각각 브래킷(미도시)에 의해 회전 가능하게 지지될 수 있다. 상기 아이들 롤러들(130)을 지지하기 위한 구성(예컨대 샤프트 또는 브래킷)은 예를 들어 상기 챔버(102)의 일측벽에 설치될 수 있다.In contrast, the
상기 아이들 롤러(130)들에 의해 상기 기판(G)이 이송 중에 갖게되는 상기 경사각은 약 60° 내지 80°인 것이 바람직하다. 상기 기판(G)의 경사각이 약 60° 미만인 경우, 상기 아이들 롤러들(130)에 작용되는 기판(G)의 하중이 증가될 수 있으며, 이 경우 대면적 기판(G)의 지지하기 위해서는 매우 많은 수량의 아이들 롤러들(1300)이 요구된다. 또한, 종래의 수평 이송에 비하여 공간 효율 측면에서 그다지 큰 효과를 거둘 수 없게되어 바람직하지 못하다. 그러나, 상기 기판(G)의 경사각이 60° 미만인 경우에도 본 발명의 기술적 범위에 해당될 수 있음은 자명하다.It is preferable that the inclination angle of the substrate G during the transfer by the
이와 같이, 상기 기판 이송 장치(100)는 구동부(140)의 회전력에 의해 회전하는 구동 풀리들(120)이 이송 벨트(110)를 회전시켜 상기 이송 벨트(110)에 기설정된 경사각을 갖도록 배치된 기판(G)을 이송하게 된다. 이 때, 기판(G)은 60°내지 80°의 경사각을 갖게 되며, 상기 경사각을 갖는 기판(G)은 아이들 롤러들(130)에 의해 쓰러지지 않고 상기 경사각을 유지하면서 이송된다.As such, the
한편, 상기 구동부(140)는 챔버(102)의 일측벽(102a)을 사이에 두고 서로 마주보게 배치되는 제1 및 제2 마그네틱 기어들(177, 181)들을 이용하여 비접촉 방식으로 동력을 전달하는 것으로 설명하였다. 하지만 상기 구동부(140)는 상기한 비접촉 방식으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 구동부(140)는 상기 제1 구동축(173)들이 챔버(102)의 일측벽을 관통하여 챔버(102) 내부에 배치되는 구동 풀리들(120)과 직접 연결되어 회전시키는 구조를 가질 수 있다. 또한, 도시하진 않았지만 상기 이송 벨트(110)의 바깥면 즉, 상기 기판(G)이 지지되는 면에는 완충을 위한 부재가 배치되거나, 완충을 위한 물질이 도포될 수 있다.Meanwhile, the driving
도 5는 도 1에 도시된 이송 벨트의 다른 실시예를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.5 is a schematic view for explaining another embodiment of the transfer belt shown in FIG. 1.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 이송 벨트(111)는 동기 구동을 위한 구조를 가질 수 있다. 즉, 상기 이송 벨트(111)는 벨트 안쪽면에 동기 구동을 위한 제1 동기 패턴(111a)이 구비될 수 있다. 상기 제1 동기 패턴(111a)은 볼록 패턴 또는 오목 패턴일 수 있으며, 그 단면이 반원 형상을 가질 수 있다. 이와 달리, 상기 제1 동기 패턴(111a)은 삼각 형상, 사각 형상, 사다리꼴 형상, 마름모 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있으며, 동기 구동이 가능하면 충분하다.According to another embodiment of the present invention, as shown in FIG. 5, the
이 때, 상기 이송 벨트(111)가 제1 동기 패턴(111a)을 가짐에 따라 상기 구동 풀리들(121)은 외주면에 그에 대응하는 제2 동기 패턴(121a)은 가짐은 자명할 것이다. 상기 제2 동기 패턴(121a)은 오목 패턴 또는 볼록 패턴일 수 있으며, 그 단면의 형상은 상기 제1 동기 패턴(111a)과 실질적으로 동일한 형상을 갖는다. 예를 들어, 상기 이송 벨트(111)에 구비되는 제1 동기 패턴(111a)이 반원 형상의 볼록 패턴을 갖는 경우 상기 구동 풀리들(121)에 구비되는 제2 동기 패턴(111a)은 반원 형상의 오목 패턴을 갖는다. 이에, 상기 구동 풀리들(121)은 상기 이송 벨트(111)를 동기 구동할 수 있다. 한편, 상기 이송 벨트(111)가 제1 동기 패턴(111a)을 갖는 경우 상기 아이들 풀리들(124)도 상기 구동 풀리(121)와 동일하게 제2 동기 패턴을 가질 수 있음은 자명하다.At this time, as the
이와 같이, 상기 이송 벨트(111) 및 구동 풀리들(121)들이 각각 제1 동기 패턴(111a) 및 제2 동기 패턴(121a)을 가짐에 따라 상호 동기 구동이 가능하며, 이러한 동기 구동을 통해 이송 벨트(111)를 보다 정확하게 기설정된 속도로 회전시킬 수 있다. 따라서, 동기 패턴(111a)을 갖는 이송 벨트(111)는 기판(G)의 이송 속도를 정확하게 제어하고자 할 때 사용되어, 공정 효율 및 신뢰성을 개선할 수 있을 것이다.As such, the
상기와 같은 본 발명의 실시예에 의하면 대면적을 갖는 평판형 기판의 처리를 위해 상기 기판을 이송하는 장치에서 큰 경사각을 갖는 상태로 배치된 기판을 지지하는 이송 벨트를 구동 풀리들이 회전시킴으로써 큰 경사각을 갖는 상태로 기판을 이송하는 것이 가능하며, 따라서 상기 기판의 처리를 위한 설비 면적을 크게 감소시킬 수 있다.According to the embodiment of the present invention as described above, a large inclination angle by rotating a transfer belt for supporting a substrate disposed in a state having a large inclination angle in the apparatus for transporting the substrate for the processing of a flat substrate having a large area It is possible to transfer the substrate in the state of having, so that the facility area for processing the substrate can be greatly reduced.
또한, 기판 처리 설비의 면적을 감소시킴으로써 기판 처리 설비가 설치되는 클린룸의 공간 사용 효율을 크게 향상시킬 수 있다.In addition, by reducing the area of the substrate processing equipment, the space usage efficiency of the clean room where the substrate processing equipment is installed can be greatly improved.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic block diagram showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 측면도이다.FIG. 2 is a schematic side view illustrating the substrate transport apparatus illustrated in FIG. 1.
도 3은 도 1에 도시된 구동부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.FIG. 3 is a schematic diagram for describing the driving unit illustrated in FIG. 1.
도 4는 도 1에 도시된 이송 벨트를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.FIG. 4 is a schematic view for explaining the transfer belt shown in FIG. 1.
도 5는 도 1에 도시된 이송 벨트의 다른 실시예를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.5 is a schematic view for explaining another embodiment of the transfer belt shown in FIG. 1.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
100: 기판 이송 장치 102: 챔버100: substrate transfer device 102: chamber
110, 111: 이송 벨트 112: 안착홈110, 111: transfer belt 112: seating groove
120, 121: 구동 풀리 122: 가이드 부재120, 121: drive pulley 122: guide member
124, 125: 아이들 풀리 130: 아이들 롤러124, 125: children pulley 130: children roller
132: 샤프트 140: 구동부132: shaft 140: drive unit
150: 동력 제공부 152: 피니언 기어150: power supply unit 152: pinion gear
160: 동력 전달부 170: 제1 동력 전달부160: power transmission unit 170: first power transmission unit
171: 타이밍 벨트 172: 구동 기어171: timing belt 172: drive gear
173: 제1 구동축 174: 제1 지지부재173: first drive shaft 174: first support member
175: 제1 아이들 기어 176: 제2 아이들 기어175: first idler gear 176: second idler gear
177: 제1 마그네틱 기어 180: 제2 동력 전달부177: first magnetic gear 180: second power transmission portion
181: 제2 마그네틱 기어 182: 제2 구동축181: second magnetic gear 182: second drive shaft
183: 제2 지지부재 G: 기판183: second support member G: substrate
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