KR20090111607A - Roller for transferring substrate and substrate transferring apparatus including of the same - Google Patents

Roller for transferring substrate and substrate transferring apparatus including of the same Download PDF

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Abstract

PURPOSE: A roller for transferring a substrate and a substrate transferring apparatus including of the same are provided to minimize the occurrence of electro static caused by friction occurring when transferring a substrate. CONSTITUTION: A body(122) is fixed to and inserted into a shaft, and has a cylindrical shape. A contact member(124) is installed at the external surface of the body, and a lower portion(102a) of a substrate(102) contacts with the contact member, so the occurrence of the electro static caused by the friction with the substrate can be minimized. The contact member is made of an acetal material.

Description

기판 이송용 롤러 및 이를 구비하는 기판 이송 장치{ROLLER FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND SUBSTRATE TRANSFERRING APPARATUS INCLUDING OF THE SAME}ROLLER FOR TRANSFERRING SUBSTRATE AND SUBSTRATE TRANSFERRING APPARATUS INCLUDING OF THE SAME}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 글래스 기판 등의 대형 기판을 이송하기 위한 기판 이송용 롤러 및 이를 구비하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly to a substrate transfer roller for transferring a large substrate such as a glass substrate and a substrate transfer apparatus having the same.

대형 예를 들어, PDP, LCD 등의 평판 표시 장치를 제조하는 공정에서, 글래스 기판은 기판 표면에 다양한 박막을 적층하고, 적층된 박막을 포토리소그래피 공정으로 패터닝하여 기판 상에 회로 패턴 등을 형성한다. 이러한 포토리소그래피 공정은 일반적으로 포토레지스트 도포, 마스크 정렬, 노광, 현상 및 세정 등의 단위 공정들을 처리한다.For example, in a process of manufacturing a flat panel display device such as a PDP or LCD, a glass substrate is laminated with various thin films on the substrate surface, and the stacked thin films are patterned by a photolithography process to form circuit patterns and the like on the substrate. . Such photolithography processes generally handle unit processes such as photoresist application, mask alignment, exposure, development and cleaning.

이러한 공정을 처리하는 제조 설비는 각 단위 공정들을 처리하는 유닛들 사이로 기판을 이송하는 기판 이송 장치를 이용하거나, 유닛 내부에 기판 이송 장치가 구비된다.A manufacturing facility for processing such a process uses a substrate transfer device for transferring a substrate between units processing each unit process, or a substrate transfer device is provided inside the unit.

예컨대, 세정 공정을 처리하는 처리실은 기판을 처리실 내부의 기판 이송 장 치를 이용하여 이송하면서, 기판 표면으로 세정액을 공급하여 기판을 세정한다. 또 포토리소그래피 공정이 완료되면, 기판은 처리실과 처리실 사이에 설치되는 컨베이어 장치 등과 같은 기판 이송 장치를 이용하여 에칭 및 스트립 공정 등을 위한 다른 처리실로 이송된다.For example, the processing chamber that processes the cleaning process supplies the cleaning liquid to the surface of the substrate while cleaning the substrate while transferring the substrate using the substrate transfer device inside the processing chamber. When the photolithography process is completed, the substrate is transferred to another processing chamber for etching and stripping processes using a substrate transfer apparatus such as a conveyor apparatus installed between the processing chamber and the processing chamber.

일반적으로, 글래스(glass) 기판을 이송하는 기판 이송 장치는 예를 들어, 복수 개의 샤프트(shaft)와, 샤프트 각각에 복수 개의 롤러(roller)들이 균등한 간격으로 고정, 설치되어 기판을 이송한다. 샤프트는 모터 등과 같은 동력 발생 장치로부터 동력을 전달받아서 회전되고, 이를 통해 롤러를 회전시킨다. 롤러들은 기판의 하부면과 직접 접촉하여 기판을 지지하고, 샤프트의 회전력을 전달받아서 회전되어 기판을 이송한다. 또 롤러는 기판 이송 중에 기판과의 미끄러짐을 방지하기 위하여 외주면에 기판과 직접 접촉하는 접촉부재가 구비된다. 예를 들어, 접촉부재는 불포화 폴리에스테르(Unsaturated PolyEster : UPE) 재질로 구비된다.In general, a substrate transport apparatus for transporting a glass substrate is, for example, a plurality of shafts (shaft), a plurality of rollers (rollers) on each of the shafts (fixed at equal intervals are installed, and transports the substrate. The shaft is rotated by receiving power from a power generating device such as a motor, thereby rotating the roller. The rollers directly contact the bottom surface of the substrate to support the substrate, and are rotated by the rotational force of the shaft to transfer the substrate. In addition, the roller is provided with a contact member in direct contact with the substrate on the outer circumferential surface to prevent slipping with the substrate during substrate transfer. For example, the contact member may be made of an unsaturated polyester (UPE) material.

이러한 기판 이송 장치는 샤프트를 따라 롤러들이 회전될 때, 기판을 일정 속도(예를 들어, 약 12 m/min 정도)로 이송하게 되는데, 이 때 기판의 하부면과 접촉부재 사이에 마찰력이 발생되고, 이 마찰력에 의해 높은 전압(예를 들어, 약 2,000 V 이상)의 정전기가 발생되어, 기판이 손상되는 경우가 빈번하므로, 생산성이 저하된다. 즉, 높은 전압의 정전기는 기판에 형성된 회로 패턴 등에 가하여 기판을 손상시킨다.Such a substrate transfer device transfers a substrate at a constant speed (for example, about 12 m / min) when rollers are rotated along a shaft, and a friction force is generated between the lower surface of the substrate and the contact member. Because of this frictional force, static electricity of a high voltage (for example, about 2,000 V or more) is generated, and the substrate is often damaged, and thus productivity is lowered. That is, high voltage static electricity is applied to circuit patterns and the like formed on the substrate to damage the substrate.

본 발명의 목적은 기판 이송 시, 기판과의 마찰력에 의한 정전기를 최소화하기 위한 기판 이송용 롤러 및 이를 구비하는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a substrate transfer roller and a substrate transfer apparatus having the same for minimizing static electricity due to friction with the substrate during substrate transfer.

본 발명의 다른 목적은 기판 이송 시 발생되는 정전기를 최소화하여 기판의 손상을 방지하기 위한 기판 이송용 롤러 및 이를 구비하는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a substrate transfer roller and a substrate transfer apparatus having the same for minimizing static electricity generated during substrate transfer to prevent damage to the substrate.

상기 목적들을 달성하기 위한, 기판 이송 장치는 기판과 접촉하는 롤러의 외주면에 정전기 발생을 최소화하는 접촉부재를 구비하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 기판 이송 장치는 정전기 발생을 최소화하여 기판 이송 시 기판의 손상을 방지할 수 있다.In order to achieve the above objects, the substrate transfer device is characterized by having a contact member for minimizing the generation of static electricity on the outer peripheral surface of the roller in contact with the substrate. As such, the substrate transfer device may prevent damage to the substrate during transfer of the substrate by minimizing the generation of static electricity.

본 발명의 기판 이송용 롤러는, 샤프트에 삽입 고정되는 원통 형상의 몸체 및; 상기 몸체의 외주면에 설치되고, 상기 기판의 하부면과 접촉하여 상기 기판 이송 시, 상기 기판과의 마찰력에 의한 정전기 발생을 방지하는 접촉부재를 포함한다.The substrate transfer roller of the present invention includes a cylindrical body inserted into and fixed to a shaft; It is installed on the outer peripheral surface of the body, and in contact with the lower surface of the substrate includes a contact member for preventing the generation of static electricity by the frictional force with the substrate when transferring the substrate.

한 실시예에 있어서, 상기 접촉부재는 아세탈 재질로 구비된다.In one embodiment, the contact member is provided with an acetal material.

다른 실시예에 있어서, 상기 접촉부재는; 상기 기판과의 마찰력에 의한 정전기를 200 V 이하로 발생한다.In another embodiment, the contact member; The static electricity generated by the frictional force with the substrate is generated at 200 V or less.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 기판 이송 중에 마찰력에 의한 정전기 발생을 최소화하는 기판 이송 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 기판 이송 장치는, 내부에 기판이 이송되는 공간을 형성하는 프레임과; 상기 프레임 내부에 균일 한 간격으로 배치되고, 일정 속도로 회전하는 복수 개의 샤프트와; 상기 샤프트에 설치되어 상기 샤프트의 회전력을 전달받아서 상기 기판을 이송하고, 상기 기판 이송 시, 상기 기판과의 마찰력에 의한 정전기 발생을 방지하는 접촉 부재를 구비하는 복수 개의 롤러 및; 상기 샤프트를 회전시키는 구동 장치를 포함한다.According to another feature of the invention, there is provided a substrate transfer apparatus for minimizing the generation of static electricity due to friction during substrate transfer. Such a substrate transfer apparatus of the present invention, the frame to form a space for transferring the substrate therein; A plurality of shafts disposed at uniform intervals within the frame and rotating at a constant speed; A plurality of rollers installed on the shaft to transfer the substrate by receiving the rotational force of the shaft, and having a contact member to prevent static electricity generated by the frictional force with the substrate during transfer of the substrate; And a drive device for rotating the shaft.

한 실시예에 있어서, 상기 접촉부재는 아세탈(acetal) 재질로 구비된다.In one embodiment, the contact member is provided with an acetal material.

다른 실시예에 있어서, 상기 접촉부재는; 상기 기판과의 마찰력에 의한 정전기를 200 V 이하로 발생한다.In another embodiment, the contact member; The static electricity generated by the frictional force with the substrate is generated at 200 V or less.

상술한 바와 같이, 본 발명의 기판 이송 장치는 기판과 접촉되는 접촉부재를 무정전 재질로 구비함으로써, 기판 이송 시 발생되는 마찰력에 의한 정전기 발생을 최소화할 수 있다. 그러므로 정전기 발생을 최소화함으로써, 기판의 손상을 방지하여 생산성을 향상시키는 효과를 얻을 수 있다.As described above, the substrate transfer apparatus of the present invention includes a contact member in contact with the substrate as an uninterruptible material, thereby minimizing the generation of static electricity by frictional force generated during substrate transfer. Therefore, by minimizing the generation of static electricity, it is possible to obtain an effect of improving the productivity by preventing damage to the substrate.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be interpreted as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the components in the drawings, etc. have been exaggerated to emphasize a more clear description.

이하 첨부된 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 3.

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.1 is a view showing a schematic configuration of a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 1을 참조하면, 기판 이송 장치(100)는 대형의 글래스 기판(102)을 이송하기 위하여, 예를 들어, 세정 공정 등을 처리하는 처리실(104) 내부에 설치되거나 또는 각 처리실 사이에 설치되는 컨베이어 장치로 구비된다.Referring to FIG. 1, the substrate transfer device 100 is installed inside a processing chamber 104 that processes, for example, a cleaning process, or the like, between the processing chambers so as to transfer the large glass substrate 102. It is equipped with a conveyor device.

이러한 기판 이송 장치(100)는 내부에 기판(102)을 이송하는 공간이 제공되는 프레임(108)과, 프레임(108) 내에 균등한 간격으로 설치되어 기판(102)이 이송되도록 회전하는 복수 개의 샤프트(118)와, 샤프트(118)에 회전력을 제공하는 구동 장치(106, 110 ~ 116)를 포함한다.The substrate transfer apparatus 100 may include a frame 108 having a space for transferring the substrate 102 therein, and a plurality of shafts installed at equal intervals in the frame 108 to rotate so that the substrate 102 is transferred. 118 and drive devices 106, 110-116 that provide rotational force to the shaft 118.

샤프트(118)는 대형의 글래스 기판(102)을 반송하기에 충분한 길이를 가지며, 양단이 프레임(108)에 결합되고, 기판(102)과 직접 접촉하는 복수개의 롤러(120)가 길이 방향으로 일정한 간격을 유지하여 고정, 설치된다. 또 샤프트(118)는 양단에 샤프트(118)를 회전 가능하도록 프레임(108)에 고정시키는 베어링(106, 110)에 의해 고정된다. 따라서 샤프트(118)는 모터(114) 등과 같은 동력 발생 장치로부터 동력을 전달받아서 회전되며, 이로 인해 복수 개의 롤러(120)들을 회전시킨다.The shaft 118 has a length sufficient to convey the large glass substrate 102, and both ends thereof are coupled to the frame 108, and a plurality of rollers 120 in direct contact with the substrate 102 are constant in the longitudinal direction. The gap is fixed and installed. In addition, the shaft 118 is fixed at both ends by bearings 106 and 110 which fix the shaft 118 to the frame 108 so as to be rotatable. Accordingly, the shaft 118 is rotated by receiving power from a power generating device such as the motor 114, thereby rotating the plurality of rollers 120.

구동 장치(106, 110 ~ 116)는 예컨대, 동력을 발생하는 모터(114)와, 프레임(108) 양측에서 샤프트(118)와 체결하여 회전이 용이하도록 설치되는 복수 개의 베어링(106, 110)과, 프레임(108) 일측에서 모터(114)와 샤프트(118)들 사이에 설치되어 복수 개의 샤프트(118)들로 회전력을 전달하는 복수 개의 풀리(112) 및 복수 개의 밸트(116) 등을 포함한다. 즉, 각각의 샤프트(118)의 양 단부에는 프 레임(108)에 설치되어 회전 가능하도록 베어링(106, 110)이 구비되고, 프레임(108) 일측의 베어링(110)을 통해 연장된 샤프트(118)에 풀리(112)가 구비된다. 이들 각각의 풀리(112)는 벨트(116)에 의해 상호 연결되어 있으며, 이 중 하나의 풀리(112)에는 회전력을 발생시켜 샤프트(118)에 제공하기 위한 모터(114)가 연결되어 있다. 이 실시예에서, 구동 장치는 모터, 베어링, 풀리 및 밸트 등을 이용하는 동력을 전달하는 방식으로 설명하였으나, 자력을 이용하는 등의 다양한 방식으로 샤프트에 회전력을 전달할 수 있다.The driving devices 106 and 110 to 116 may include, for example, a motor 114 generating power and a plurality of bearings 106 and 110 installed to be easily rotated by engaging the shaft 118 at both sides of the frame 108. , A plurality of pulleys 112 and a plurality of belts 116 installed between the motor 114 and the shafts 118 at one side of the frame 108 to transmit rotational force to the plurality of shafts 118. . That is, bearings 106 and 110 are provided at both ends of each shaft 118 so as to be rotatably installed on the frame 108 and extend through the bearing 110 on one side of the frame 108. The pulley 112 is provided. Each of these pulleys 112 is interconnected by a belt 116, one of which is connected to a motor 114 for generating rotational force to provide to the shaft 118. In this embodiment, the driving device has been described in a manner of transmitting power using a motor, a bearing, a pulley, a belt, and the like, but may transmit rotational force to the shaft in various ways such as using a magnetic force.

그리고 롤러(120)는 본 발명에 따른 무정전 재질의 접촉부재(도 2의 124)가 설치되고, 글래스 기판(102)의 하부면(도 2의 102a)과 접촉하여 기판(102)을 지지하며, 샤프트(118)의 회전력을 전달받아서 기판(102)을 일정 방향으로 이송한다. 예컨대, 글래스 기판(102)은 샤프트(118) 및 롤러(120)의 회전에 의해 일정 속도(예를 들어, 약 12 m/min 정도)로 이송된다.And the roller 120 is provided with a contact member (124 of FIG. 2) of the uninterruptible material according to the present invention, and in contact with the lower surface (102a of FIG. 2) of the glass substrate 102 to support the substrate 102, The substrate 102 is transferred in a predetermined direction by receiving the rotational force of the shaft 118. For example, the glass substrate 102 is conveyed at a constant speed (eg, about 12 m / min) by the rotation of the shaft 118 and the roller 120.

구체적으로, 도 2 및 도 3을 참조하면, 롤러(120)는 원통형의 몸체(122)와, 몸체(122)의 측면 중앙이 관통되어 샤프트(118)가 삽입되는 관통홀(118)과, 몸체(122)의 외주면(122a)에 설치되어 기판(102)의 하부면(102a)과 직접 접촉하는 접촉부재(124) 및, 몸체(122)를 샤프트(118)에 고정시키는 고정부재(126)를 포함한다. 또 몸체(122)는 접촉부재(124)가 고정 설치되도록 외주면(122a)의 중앙에 삽입홈(122b)이 형성된다. 또 이 실시예의 롤러(120)는 몸체(122)가 일체형으로 구비되었으나, 복수 개로 분리되고 볼트, 너트 등의 체결부재(미도시됨)를 이용하여 하나의 롤러를 구성하는 구조를 가질 수 있다.Specifically, referring to FIGS. 2 and 3, the roller 120 has a cylindrical body 122, a through hole 118 through which a center of the side surface of the body 122 penetrates, and a shaft 118 is inserted therein, and a body. A contact member 124 provided on the outer circumferential surface 122a of the 122 and directly contacting the lower surface 102a of the substrate 102, and a fixing member 126 fixing the body 122 to the shaft 118. Include. In addition, the body 122 has an insertion groove 122b formed at the center of the outer circumferential surface 122a so that the contact member 124 is fixedly installed. In addition, the roller 120 of this embodiment has a body 122 is integrally provided, but may be separated into a plurality and have a structure constituting a roller using a fastening member (not shown), such as bolts, nuts.

고정부재(126)는 샤프트(118)의 회전력이 롤러(120)에 전달되도록 몸체(122)를 샤프트(118)에 고정시킨다.The fixing member 126 fixes the body 122 to the shaft 118 so that the rotational force of the shaft 118 is transmitted to the roller 120.

그리고 접촉부재(124)는 몸체(122)의 외주면(122a)에 형성된 삽입홈(122b)에 고정 설치되고, 기판 이송시, 기판(102)의 하부면(102a)과 직접 접촉한다. 기판 이송 장치(100)는 약 12 m/min 정도의 속도로 글래스 기판(102)을 이송한다. 이 때, 기판(102)의 하부면(102a)과 접촉부재(124) 사이에서 마찰력이 발생된다.The contact member 124 is fixedly installed in the insertion groove 122b formed in the outer circumferential surface 122a of the body 122, and directly contacts the lower surface 102a of the substrate 102 when transferring the substrate. The substrate transfer apparatus 100 transfers the glass substrate 102 at a speed of about 12 m / min. At this time, a friction force is generated between the lower surface 102a of the substrate 102 and the contact member 124.

따라서 접촉부재(124)는 이러한 마찰력에 의해 발생되는 정전기를 최소화하도록 하는 재질로 구비된다. 예컨대, 접촉부재(124)는 무정전 아세탈(acetal) 재질로 구비된다. 이러한 아세탈 재질의 접촉부재(124)는 제작이 용이하고 마모성이 적으며, 특히 마찰 계수가 작으므로, 기판 이송 시의 정전기 발생을 최소화할 수 있다. 그러므로 본 발명의 접촉부재(124)는 기판 이송 시, 약 200 V 이하의 정전기를 발생하므로, 기판(102)의 회로 패턴 등의 손상을 최소화할 수 있다.Therefore, the contact member 124 is provided with a material to minimize the static electricity generated by this friction force. For example, the contact member 124 is provided of an uninterrupted acetal material. The contact member 124 of the acetal material is easy to manufacture and less wear, especially the friction coefficient is small, it is possible to minimize the generation of static electricity during substrate transfer. Therefore, since the contact member 124 of the present invention generates static electricity of about 200 V or less when transferring the substrate, damage to the circuit pattern of the substrate 102 may be minimized.

이상에서, 본 발명에 따른 기판 이송용 롤러 및 이를 구비하는 기판 이송 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.In the above, the configuration and operation of the substrate transfer roller and the substrate transfer apparatus having the same according to the present invention have been shown in accordance with the detailed description and the drawings, which are merely described by way of example and do not depart from the spirit of the present invention. Various changes and modifications are possible within the scope.

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면;1 shows a schematic configuration of a substrate transfer apparatus according to the present invention;

도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치의 일부 구성을 도시한 단면도; 그리고FIG. 2 is a cross-sectional view showing a part of the configuration of the substrate transfer apparatus shown in FIG. 1; FIG. And

도 3은 도 2에 도시된 롤러의 구성을 도시한 사시도이다.3 is a perspective view showing the configuration of the roller shown in FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 기판 이송 장치 102 : 기판100: substrate transfer device 102: substrate

102a : 하부면 104 : 처리실(또는 컨베이어 장치)102a: bottom surface 104: processing chamber (or conveyor device)

106, 110 : 베어링 108 : 프레임106, 110: bearing 108: frame

112 : 풀리 114 : 모터112: pulley 114: motor

116 : 밸트 120 : 롤러116: belt 120: roller

122 : 몸체 122a : 외주면122: body 122a: outer peripheral surface

122b : 삽입홈 124 : 접촉부재122b: insertion groove 124: contact member

126 : 고정부재 128 : 관통홀126: fixing member 128: through hole

Claims (4)

기판 이송용 롤러에 있어서:In the substrate transfer roller: 샤프트에 삽입 고정되는 원통 형상의 몸체 및;A cylindrical body inserted into and fixed to the shaft; 상기 몸체의 외주면에 설치되고, 상기 기판의 하부면과 접촉하여 상기 기판 이송 시, 상기 기판과의 마찰력에 의한 정전기 발생을 최소화하는 접촉부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 롤러.And a contact member installed on an outer circumferential surface of the body and contacting a lower surface of the body to minimize the generation of static electricity due to frictional force with the substrate when transferring the substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 접촉부재는 아세탈 재질로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 롤러.The contact member is a substrate transfer roller, characterized in that provided with acetal material. 기판 이송 장치에 있어서:In the substrate transfer device: 내부에 기판이 이송되는 공간을 형성하는 프레임과;A frame forming a space in which the substrate is transferred; 상기 프레임 내부에 균일한 간격으로 배치되고, 일정 속도로 회전하는 복수 개의 샤프트와;A plurality of shafts disposed at uniform intervals in the frame and rotating at a constant speed; 상기 샤프트에 설치되어 상기 샤프트의 회전력을 전달받아서 상기 기판을 이송하고, 상기 기판 이송 시, 상기 기판과 접촉되며, 상기 기판과의 마찰력에 의한 정전기 발생을 최소화하는 접촉 부재를 구비하는 복수 개의 롤러 및;A plurality of rollers installed on the shaft to transfer the substrate by receiving the rotational force of the shaft, and contacting the substrate when transferring the substrate, and having a contact member to minimize the generation of static electricity by frictional force with the substrate; ; 상기 샤프트를 회전시키는 구동 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.And a drive device for rotating the shaft. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 접촉부재는 아세탈(acetal) 재질로 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The contact member is a substrate transfer device, characterized in that provided with an acetal (acetal) material.
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