KR20150090934A - Substrate transfer apparatus - Google Patents

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KR20150090934A
KR20150090934A KR1020140011030A KR20140011030A KR20150090934A KR 20150090934 A KR20150090934 A KR 20150090934A KR 1020140011030 A KR1020140011030 A KR 1020140011030A KR 20140011030 A KR20140011030 A KR 20140011030A KR 20150090934 A KR20150090934 A KR 20150090934A
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김태훈
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a substrate transfer apparatus comprising: a substrate returning unit transferring a substrate; and a guide unit respectively guiding both side surfaces of the substrate transferred by the substrate returning unit. The guide unit comprises: a support bar arranged to be spaced from a transfer direction of the substrate in parallel; a roller support vertically arranged on the support bar in a line; a side roller installed to freely be rotated in the roller support, guiding a side surface of the substrate transferred by the substrate returning unit; and a buffer member absorbing and relieving a shock in case the side roller is in contact with a side surface of the substrate.

Description

기판 이송 장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS}[0001] SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS [0002]

본 발명은 평판 표시 소자 제조에 사용되는 유리 기판 등과 같은 기판을 ㅂ반송하는 기판 이송 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus for transferring a substrate such as a glass substrate used for manufacturing a flat panel display device.

최근 영상을 표현하는 표시장치로서 액정 디스플레이(LCD) 소자와 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 소자 등이 종래의 브라운관(CRT)을 빠른 속도로 대체하여 오고 있다. 이러한 것들은 흔히 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)이라고 불리우는 기판을 사용하고 있다. Recently, liquid crystal display (LCD) devices and plasma display panel (PDP) devices have rapidly replaced conventional CRTs as display devices for displaying images. These often use a substrate called a flat panel display (FPD).

평판표시장치를 제작하기 위해서는 기판 제작공정, 셀 제작공정, 모듈 제작공정 등의 많은 공정을 수행하여야 한다. 특히, 기판 제작공정에 있어서, 기판 상에 패턴들을 형성하기 위해서는 세정을 시작으로 포토 레지스트 형성, 노광, 현상, 식각, 포토 레지스트 제거로 이루어지는 패터닝 공정을 수행하고 이후, 검사 공정까지 거쳐야 한다. 이러한 기판 처리 공정에서는 평판표시장치용 기판을 지지 및 이송시키기 위한 수단으로 이송장치(conveyor)가 주로 사용되고 있다. In order to manufacture a flat panel display device, many processes such as a substrate fabrication process, a cell fabrication process, and a module fabrication process must be performed. Particularly, in order to form patterns on a substrate in a substrate fabrication process, a patterning process including photoresist formation, exposure, development, etching, and photoresist removal is carried out after cleaning, and then the process is followed by an inspection process. In such a substrate processing step, a conveyor is mainly used as means for supporting and conveying the substrate for a flat panel display.

이와 같은 이송장치는 유리 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송 샤프트와, 반송 샤프트들에 의해 이송되는 기판의 측면을 안내하는 가이드롤러들을 포함하고 있다. Such a conveying apparatus includes a plurality of conveying shafts for supporting and conveying the glass substrate, and guide rollers for guiding the side surface of the substrate conveyed by the conveying shafts.

여기서, 가이드롤러는 기판과 접촉시 마진 간격을 두고 조정함에도 불구하고 기판 가장자리에 의해 롤러 표면에 스크래치가 발생하게 된다.Here, although the guide roller is adjusted with a margin interval upon contact with the substrate, scratches are generated on the surface of the roller by the edge of the substrate.

본 발명의 실시예들은 기판과의 접촉에 의한 스크래치 현상을 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention provide a substrate transfer apparatus capable of preventing a scratch phenomenon due to contact with a substrate.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The objects of the present invention are not limited thereto, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 이송하는 기판 반송부; 및 상기 기판 반송부에 의해 이송되는 기판의 양측면을 각각 안내하는 가이드부를 포함하되; 상기 가이드부는 상기 기판의 이송방향과 평행하게 간격을 두고 배치되는 지지바; 상기 지지바에 수직하게 일렬로 배치되는 롤러 지지대; 상기 롤러 지지대에 자유회전 가능하게 설치되며, 상기 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판의 측면을 안내하는 사이드 롤러; 및 상기 사이드 롤러가 기판 측면과의 접촉시 충격을 흡수, 완화시켜주는 완충 부재를 포함하는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus including: a substrate transfer section for transferring a substrate; And a guide portion for guiding both side surfaces of the substrate conveyed by the substrate conveyance portion, respectively; Wherein the guide portion includes a support bar disposed at an interval in parallel with a conveying direction of the substrate; A roller support disposed in a line perpendicular to the support bar; A side roller that is rotatably installed on the roller support and guides a side surface of the substrate moved by the substrate transfer unit; And a buffer member that absorbs and alleviates an impact when the side roller contacts the side surface of the substrate.

또한, 상기 가이드부는 상기 지지바가 설치되는 구동 브라켓; 및 상기 사이드 롤러가 정렬 위치 또는 대기 위치로 이동되도록 상기 구동 브라켓을 이동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.The guide portion may include a drive bracket on which the support bar is installed; And a driving unit for moving the driving bracket so that the side roller is moved to an alignment position or a standby position.

또한, 상기 완충 부재는 상기 구동 브라켓과 상기 지지바 사이에 제공되는 스프링을 포함할 수 있다.In addition, the buffer member may include a spring provided between the driving bracket and the support bar.

또한, 상기 스프링은 평면에서 보았을 때 기판의 이송방향과 수직한 방향으로 상기 구동 브라켓과 상기 지지바 사이에 설치될 수 있다.The spring may be installed between the drive bracket and the support bar in a direction perpendicular to the transport direction of the substrate when viewed in plan view.

또한, 상기 지지바는 평면에서 보았을 때 기판의 이송방향과 수직한 방향으로 상기 구동 브라켓상에서 이동 가능하게 설치될 수 있다.In addition, the support bar may be movably installed on the drive bracket in a direction perpendicular to the transport direction of the substrate when viewed in plan view.

또한, 상기 기판이송부는, 상기 기판의 이송방향에 수직한 방향으로 평행하게 배치된 복수의 샤프트; 상기 샤프트가 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 샤프트와 함께 회전되도록 상기 샤프트에 설치되고, 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 이송하는 복수의 롤러; 상기 복수의 샤프트와 결합되며 상기 복수의 샤프트에 회전력을 전달하는 동력전달부재; 및 상기 동력전달부재에 회전력을 전달하는 반송 구동부를 포함할 수 있다. In addition, the substrate transferring unit may include: a plurality of shafts arranged in parallel in a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate; A plurality of rollers provided on the shaft and having a through hole into which the shaft is inserted and rotated together with the shaft, the roller being in contact with the substrate and transporting the substrate; A power transmitting member coupled to the plurality of shafts and transmitting a rotational force to the plurality of shafts; And a transport driving unit for transmitting a rotational force to the power transmitting member.

본 발명에 의하면, 기판 측면과 사이드 롤러의 충돌로 인한 사이드 롤러 표면의 스크래치 발생을 최소화시킬 수 있다. According to the present invention, it is possible to minimize the occurrence of scratches on the surface of the side roller due to collision between the side surface of the substrate and the side roller.

도 1은 본 발명의 기판 이송 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 보여주는 정면도이다.
도 3은 도 1의 기판 이송 장치에서 기판을 이송시키는 기판 이송부를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 1의 기판 제조 장치의 기판 이송 장치에서 기판의 측면을 안내하는 가이드부를 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 가이드부의 평면도이다. 1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus of the present invention.
Fig. 2 is a front view showing the substrate transfer apparatus shown in Fig. 1. Fig.
3 is a plan view showing a substrate transferring part for transferring a substrate in the substrate transferring device of FIG.
4 is an exploded perspective view showing a guide portion for guiding the side surface of the substrate in the substrate transfer apparatus of the substrate manufacturing apparatus of FIG.
5 is a plan view of the guide portion.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention is capable of various modifications and various embodiments, and specific embodiments are illustrated in the drawings and will be described in detail in the detailed description. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises" or "having" and the like are used to specify that there is a feature, a number, a step, an operation, an element, a component or a combination thereof described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings, wherein like reference numerals refer to the like elements throughout the specification and claims. The description will be omitted.

본 실시예에서는 기판으로 평판 표시 소자용 유리 기판을 예로 들어 설명한다. In this embodiment, a glass substrate for a flat panel display device is described as an example of a substrate.

도 1은 본 발명의 기판 이송 장치를 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 보여주는 정면도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a front view showing the substrate transfer apparatus shown in FIG. 1. FIG.

이하, 기판(S)이 이송되는 방향을 제 1 방향(X)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제 1 방향(X)의 수직인 방향을 제 2 방향(Y)이라 하며, 제 1 방향(X)과 제 2 방향(Y)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제 3 방향(Z)이라 정의한다. Hereinafter, a direction in which the substrate S is conveyed is referred to as a first direction X, and a direction perpendicular to the first direction X is referred to as a second direction Y when viewed from above, X) and the second direction (Y) is defined as a third direction (Z).

기판 이송 장치(10)는, 기판이송부(100) 및 가이드부(200)를 포함한다.The substrate transfer apparatus 10 includes a substrate transfer section 100 and a guide section 200.

기판 이송부(100)는 샤프트(110)와, 롤러(120)와, 동력전달부재(130) 및 반송 구동부(140)를 포함한다.The substrate transferring unit 100 includes a shaft 110, a roller 120, a power transmitting member 130, and a conveying driving unit 140.

기판 처리 장치는 공정챔버들, 처리액 공급부, 그리고 기판이송부를 가진다. 각각의 공정챔버는 내부에 공정이 수행되는 공간을 제공하며 서로 인접하여 배치된다. 기판(S)은 각각의 공정챔버들을 순차적으로 이송하면서 일련의 공정이 수행될 수 있다. The substrate processing apparatus has process chambers, a process liquid supply section, and a substrate transfer section. Each of the process chambers is disposed adjacent to each other to provide a space in which the process is performed. The substrate S can be subjected to a series of processes while sequentially transferring the respective process chambers.

각각의 공정챔버들 내에는 기판(S)을 이송하는 기판 이송부(100)가 제공된다. 기판 이송부(100)는 기판(S)을 공정챔버들 간에 이송시킨다.In each of the process chambers, a substrate transfer unit 100 for transferring the substrate S is provided. The substrate transfer unit 100 transfers the substrate S between process chambers.

도 3은 도 1의 기판 이송 장치에서 기판을 이송시키는 기판 이송부를 나타내는 평면도이다. 3 is a plan view showing a substrate transferring part for transferring a substrate in the substrate transferring device of FIG.

기판 이송부(100)는 복수의 샤프트(110), 복수의 롤러(120), 동력전달부재(130) 및 반송 구동부(140)를 포함한다.The substrate transferring part 100 includes a plurality of shafts 110, a plurality of rollers 120, a power transmitting member 130, and a conveying driving part 140.

기판(S)의 양측에는 각각 제 1 지지대와 제 2 지지대가 마주보도록 설치된다. 제 1 지지대와 제 2 지지대 사이에는 복수의 샤프트(110)들이 배치되며, 각각의 샤프트(110)는 균일한 간격으로 기판의 이송방향인 제 1 방향(X)에 수직한 제 2 방향(Y)으로 서로 평행하게 배치된다. 일 예로, 샤프트(110)들은 수평하게 배치되거나, 또는 일단이 타단에 비해 높게 위치되도록 경사지게 배치될 수 있다. On both sides of the substrate (S), the first and second supports are disposed to face each other. A plurality of shafts 110 are disposed between the first and second supports. The shafts 110 are arranged at regular intervals in a second direction Y perpendicular to the first direction X, Respectively. In one example, the shafts 110 may be arranged horizontally, or may be arranged so that one end is positioned higher than the other end.

제 1 지지대와 제 2 지지대 각각에는 베어링(도시되지 않음)을 삽입하여 결합하고, 베어링에 샤프트(110)가 관통되어 안정적으로 지지되어 원활한 회전을 할 수 있다. A bearing (not shown) is inserted into each of the first and second support rods, and the shaft 110 is stably inserted into the bearing so that the rotation can be smoothly performed.

반송 구동부(140)는 기판(S)을 이송시키기 위해 샤프트(110)와 롤러(120)를 회전시킨다. 반송 구동부(140)는 샤프트(110)들 중 어느 하나에는 회전력을 제공하는 제1구동모터(141), 제1벨트(142), 제1구동모터(141)에 연결되어 제1구동모터에 의해 회전하는 제1구동풀리(143) 및 샤프트(110) 중 어느 하나의 일단에 연결되어 제1벨트(142)를 통해 제1구동풀리(143)의 회전력을 전달받아 회전하는 제1종동풀리(144)를 포함한다.The transport driving unit 140 rotates the shaft 110 and the roller 120 to transport the substrate S. The conveyance driving unit 140 is connected to the first driving motor 141, the first belt 142 and the first driving motor 141 for providing a rotational force to any one of the shafts 110, A first driven pulley 144 connected to one end of the rotating first driving pulley 143 and the shaft 110 and rotated by receiving the rotational force of the first driving pulley 143 through the first belt 142 ).

필요에 따라서는 제1구동모터(141)를 하나 이상 사용하여 여러 개의 샤프트(110)에 연결할 수도 있다. 바람직하게는 제1구동모터(141)로서 스테핑 모터(stepping motor)를 사용할 수 있다. 스테핑 모터는 펄스 신호의 주파수에 비례한 회전속도를 얻을 수 있으므로 속도 제어가 광범위하고, 기동, 정지, 정역회전, 변속이 용이하며 응답특성이 좋다는 장점이 있다. If necessary, the first drive motor 141 may be connected to the plurality of shafts 110 using one or more motors. Preferably, a stepping motor may be used as the first drive motor 141. Since the stepping motor obtains the rotation speed proportional to the frequency of the pulse signal, it has a wide range of speed control, and is advantageous in that it is easy to start, stop, reverse rotation, shift, and response characteristics.

샤프트(110)들 중 어느 하나에 제공된 제1구동모터(141)의 회전력을 인접하는 샤프트(110)로 전달하기 위해 각각의 샤프트(110)에는 동력전달부재(130)가 결합된다. The power transmitting member 130 is coupled to each shaft 110 to transmit the rotational force of the first driving motor 141 provided to any one of the shafts 110 to the adjacent shaft 110. [

동력전달부재(130)로는 바람직하게는 각각의 샤프트(110)의 일단에 설치된 종동풀리(131)와 이들을 연결하는 벨트(132)를 포함한다. 샤프트(110)들 각각의 일단에는 종동풀리(131)가 설치되고, 인접하는 종동풀리(131)들은 서로 벨트(132)에 의해 연결된다. 이들 종동풀리(131)들 중 하나는 제1구동모터(141)에 의해 회전되는 제1구동풀리(142)와 제1구동벨트(144)에 의해 연결될 수 있다. 다른 실시예에 의하면, 각각의 샤프트(110)에 제1구동모터(141)가 결합되고, 각각의 제1구동모터(141)에 의해 샤프트(110)들이 회전될 수 있다.The power transmitting member 130 preferably includes a driven pulley 131 provided at one end of each shaft 110 and a belt 132 connecting the driven pulley 131 and the driven pulley 131. A driven pulley 131 is provided at one end of each of the shafts 110, and adjacent driven pulleys 131 are connected to each other by a belt 132. One of the driven pulleys 131 may be connected to the first drive pulley 142 rotated by the first drive motor 141 and the first drive belt 144. According to another embodiment, the first drive motor 141 is coupled to each shaft 110, and the shafts 110 can be rotated by each first drive motor 141.

다른 실시예에 의하면, 동력전달부재(130)로는 기어(도시되지 않음)들이 사용될 수 있다. 각각의 샤프트(110)의 양단에는 기어가 결합되고 인접하는 샤프트(110)들에 설치되는 기어는 서로 맞물리도록 위치된다. 또 다른 실시예의 의하면, 동력전달부재(130)로는 기계적 마찰에 의해 파티클이 발생되지 않도록 자력을 이용하여 회전력을 전달하는 자석 부재(도시되지 않음)가 사용될 수도 있다. According to another embodiment, gears (not shown) may be used as the power transmitting member 130. Gears are coupled to both ends of each shaft 110, and gears provided on adjacent shafts 110 are positioned to mesh with each other. According to another embodiment, a magnet member (not shown) may be used as the power transmitting member 130 to transmit rotational force by using a magnetic force so that particles are not generated by mechanical friction.

각각의 샤프트(110)에는 그 길이 방향으로 복수의 롤러(120)들이 결합된다.A plurality of rollers 120 are coupled to the respective shafts 110 in the longitudinal direction thereof.

각각의 롤러(120)는 원통형의 형상을 가지고 내부에 샤프트(110)가 삽입되는 관통홀을 가지며, 샤프트(110) 상에서 미끄러지지 않도록 삽입되어 있어 샤프트(110)가 회전할 때 함께 회전하게 된다. Each of the rollers 120 has a cylindrical shape and has a through hole through which the shaft 110 is inserted, and is inserted so as not to slip on the shaft 110, so that the shaft 110 rotates together when the shaft 110 rotates.

제1구동모터(141)가 구동되면, 제1구동풀리(142)와 제1벨트(144)를 통해 동력전달부재(130)에 전달되고, 이는 다시 회전력이 각각의 샤프트(110)와 롤러(120)에 전달된다. 이로 인해 롤러(120)의 상부에 놓여져 롤러(120)에 직접 맞닿아 접촉하는 기판(S)은 제1방향(X)으로 이송된다. When the first drive motor 141 is driven, it is transmitted to the power transmitting member 130 through the first drive pulley 142 and the first belt 144, 120. This causes the substrate S placed on the roller 120 to be in direct contact with the roller 120 to be transported in the first direction X. [

롤러(120)는 기판(S)의 표면에 흠집을 남기지 않으면서 기판(S)이 이동할 때에 발생하는 충격을 흡수할 수 있도록 테프론(teflon) 또는 PVC(polyvinyl chloride)와 같은 고분자 재료인 부드러운 재질로 이루어진다. 또는 롤러(120)에는 마찰력이 큰 고무패킹을 결합할 수 있다. The roller 120 may be made of a soft material such as Teflon or polyvinyl chloride (PVC) so as to absorb impact generated when the substrate S moves without leaving a scratch on the surface of the substrate S. . Or the roller 120 can be combined with a rubber packing having a large frictional force.

일반적으로 롤러(120)는 매끄러운 표면을 가지므로 기판(S)이 이송되는 도중 미끄러지기 쉽다. 따라서, 롤러(120)의 표면에는 요철이나 돌기가 형성될 수 있다. 요철이나 돌기는 롤러(120)와 기판(S) 사이의 미끄럼 마찰을 증대시켜 기판(S)이 미끄러지는 것을 방지한다. Generally, the roller 120 has a smooth surface, so that the substrate S is likely to slide during transportation. Therefore, irregularities and protrusions may be formed on the surface of the roller 120. [ The irregularities and protrusions increase the sliding friction between the roller 120 and the substrate S to prevent the substrate S from sliding.

도 4는 도 1의 기판 제조 장치의 기판 이송 장치에서 기판의 측면을 안내하는 가이드부를 나타내는 분해 사시도이고, 도 5는 가이드부의 평면도이다. Fig. 4 is an exploded perspective view showing a guide portion for guiding the side surface of the substrate in the substrate transfer apparatus of the substrate manufacturing apparatus of Fig. 1, and Fig. 5 is a plan view of the guide portion.

도 4 및 도 5를 참조하면, 가이드부(200)는 지지바(210), 롤러 지지대(220), 사이드 롤러(224), 구동 브라켓(230), 구동부(240) 그리고 완충부재(250)를 포함한다. 가이드부(200)는 기판 이송부(100)를 기준으로 양측에 각각 배치된다. 4 and 5, the guide unit 200 includes a support bar 210, a roller support 220, a side roller 224, a drive bracket 230, a drive unit 240, and a buffer member 250 . The guide portions 200 are disposed on both sides with respect to the substrate transfer portion 100.

구동 브라켓(230)은 기판의 이송 방향인 제1방향(X)으로 평행하게 배치된다. 구동 브라켓(230)의 이동은 제2방향(Y)으로 소정의 간격을 두고 평행하게 설치되어 있는 가이드부재(도시되지 않음)에 의해 안내될 수 있다. The drive bracket 230 is arranged in parallel in the first direction X, which is the transport direction of the substrate. The movement of the drive bracket 230 can be guided by a guide member (not shown) provided in parallel in the second direction Y at a predetermined interval.

구동부(240)는 사이드 롤러(224)가 정렬 위치(A) 또는 대기 위치(B)로 이동되도록 구동 브라켓(230)을 이동시키는 실린더와 같은 직선 구동장치를 포함할 수 있다. 구동부(240)는 구동 브라켓(230)의 균형에 맞는 안정적인 이동을 위하여, 구동 브라켓(230)의 길이 방향의 중심위치에 설치되고, 슬라이딩 레일(도시되지 않음)은 구동부를 중심으로 대칭된 위치에 양쪽으로 설치하는 것이 바람직하다. The driving unit 240 may include a linear driving device such as a cylinder that moves the driving bracket 230 such that the side roller 224 is moved to the alignment position A or the standby position B. The drive unit 240 is installed at a central position in the longitudinal direction of the drive bracket 230 for stable movement in accordance with the balance of the drive bracket 230 and a sliding rail (not shown) It is preferable to install it on both sides.

지지바(210)는 기판의 이송 방향인 제1방향(X)으로 평행하도록 구동 브라켓 (230)상에 배치된다. 지지바(210)는 구동 브라켓(230) 상에서 가이드부재(234)에 의해 제2방향(Y)으로 안내될 수 있다. 일 예로, 가이드 부재(234)는 구동 브라켓(230)의 하부에 체결된 슬라이딩 블록과, 슬라이딩 블록이 끼움 결합되어 슬라이딩 블록의 이동을 안내하는 슬라이딩 레일을 포함할 수 있다. 바람직하게는 엘엠가이드(LM guide)를 사용할 수 있다. The support bar 210 is disposed on the drive bracket 230 so as to be parallel to the first direction X, which is the transport direction of the substrate. The support bar 210 can be guided in the second direction Y by the guide member 234 on the drive bracket 230. For example, the guide member 234 may include a sliding block fastened to the lower portion of the driving bracket 230, and a sliding rail that is inserted into the sliding block to guide movement of the sliding block. Preferably, an LM guide can be used.

롤러 지지대(220)들은 지지바(210)에 수직하게 일렬로 설치된다. 사이드 롤러(224)는 롤러 지지대(220) 상부에 설치된다. 사이드 롤러(224)는 원통형의 형상을 가지며 원통형 하단부에 있는 블록(도시되지 않음)을 통해 롤러 지지대(220)에 고정된다. 사이드 롤러(224)는 이송되는 기판(S)의 측면을 안내하며, 바람직하게는 원통의 중심축을 회전하도록 제공된다. The roller supports 220 are arranged in a line perpendicular to the support bars 210. The side roller 224 is mounted on the roller support 220. The side roller 224 has a cylindrical shape and is fixed to the roller support 220 through a block (not shown) at a cylindrical lower end. The side roller 224 guides the side of the substrate S to be transported, and is preferably provided to rotate the central axis of the cylinder.

완충 부재(250)는 구동 브라켓(230)과 지지바(210) 사이에 제공되는 스프링으로 제공될 수 있다. 완충 부재(250)는 사이드 롤러(224)가 기판 측면과의 접촉시 충격을 흡수, 완화시켜주기 위한 구성이다. 완충 부재(250)는 평면에서 보았을 때 기판의 이송방향과 수직한 제2방향(Y)으로 탄성력이 제공되도록 설치된다. The buffer member 250 may be provided as a spring provided between the drive bracket 230 and the support bar 210. The buffer member 250 is configured to absorb and mitigate the impact when the side roller 224 contacts the side surface of the substrate. The buffer member 250 is installed so as to provide an elastic force in a second direction Y perpendicular to the transport direction of the substrate when viewed in plan.

즉, 기판(S)이 로딩 될 때 기판이 정위치가 아닌 비정렬 상태로 기판 이송부(100)로 로딩될 때 기판이 측면이 사이드 롤러(224)와 충돌하게 되는데, 이 과정에서 사이드 롤러(224)가 설치된 지지바(210)가 완충 부재(250)의 탄성력을 받으면서 외곽쪽으로 이동 가능하게 되면서 기판(S)과 사이드 롤러(224)의 충격을 흡수 및 완화시켜주게 된다. That is, when the substrate S is loaded, the substrate collides with the side roller 224 when the substrate is loaded into the substrate transferring part 100 in an unaligned state other than the right position. In this process, the side roller 224 The support bar 210 is moved outward while receiving the elastic force of the buffer member 250 to absorb and mitigate the impact of the substrate S and the side roller 224. [

따라서, 기판(S) 측면과 사이드 롤러(224)의 충돌로 인한 사이드 롤러(224)의 표면 스크래치 발생을 최소화시킬 수 있다.Therefore, the occurrence of surface scratches of the side roller 224 due to the collision of the side surface of the substrate S with the side surface roller 224 can be minimized.

상기 기판(S)은 액정표시장치(LCD, Liquid crystal display)의 기판에 한정되지 않고, 평판표시장치(FPD,Flat panel display)에 해당하는 모든 기판에 적용 가능하다. 그리고, 상기 기판(S)은 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼(wafer)일 수도 있다.The substrate S is not limited to a substrate of a liquid crystal display (LCD) but may be applied to all substrates corresponding to a flat panel display (FPD). The substrate S may be a wafer used for manufacturing semiconductor chips.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.

100 : 기판 이송부 200 : 가이드부
210 : 지지바 220 : 롤러 지지대
230 : 구동 브라켓 240 : 구동부
250 : 완충 부재 100: substrate transfer unit 200:
210: support bar 220: roller support
230: drive bracket 240:
250: buffer member

Claims (6)

기판 이송 장치에 있어서:
기판을 이송하는 기판 반송부; 및
상기 기판 반송부에 의해 이송되는 기판의 양측면을 각각 안내하는 가이드부를 포함하되;
상기 가이드부는
상기 기판의 이송방향과 평행하게 간격을 두고 배치되는 지지바;
상기 지지바에 수직하게 일렬로 배치되는 롤러 지지대;
상기 롤러 지지대에 자유회전 가능하게 설치되며, 상기 기판 반송부에 의하여 이동되는 기판의 측면을 안내하는 사이드 롤러; 및
상기 사이드 롤러가 기판 측면과의 접촉시 충격을 흡수, 완화시켜주는 완충 부재를 포함하는 기판 이송 장치.A substrate transfer apparatus comprising:
A substrate carrying section for carrying a substrate; And
And a guide portion for guiding opposite side surfaces of the substrate transferred by the substrate transfer portion, respectively;
The guide portion
A support bar disposed at an interval in parallel with a conveying direction of the substrate;
A roller support disposed in a line perpendicular to the support bar;
A side roller that is rotatably installed on the roller support and guides a side surface of the substrate moved by the substrate transfer unit; And
And a buffer member that absorbs and alleviates an impact when the side roller is in contact with the side surface of the substrate. 제 1 항에 있어서,
상기 가이드부는
상기 지지바가 설치되는 구동 브라켓; 및
상기 사이드 롤러가 정렬 위치 또는 대기 위치로 이동되도록 상기 구동 브라켓을 이동시키는 구동부를 더 포함하는 기판 이송 장치.The method according to claim 1,
The guide portion
A drive bracket on which the support bar is installed; And
Further comprising a driving unit for moving the driving bracket so that the side roller is moved to an alignment position or a standby position. 제 2 항에 있어서,
상기 완충 부재는 상기 구동 브라켓과 상기 지지바 사이에 제공되는 스프링을 포함하는 기판 이송 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the buffer member includes a spring provided between the drive bracket and the support bar. 제 3 항에 있어서,
상기 스프링은
평면에서 보았을 때 기판의 이송방향과 수직한 방향으로 상기 구동 브라켓과 상기 지지바 사이에 설치되는 기판 이송 장치.The method of claim 3,
The spring
And is installed between the drive bracket and the support bar in a direction perpendicular to the transport direction of the substrate when viewed in plan. 제 2 항에 있어서,
상기 지지바는
평면에서 보았을 때 기판의 이송방향과 수직한 방향으로 상기 구동 브라켓상에서 이동 가능하게 설치되는 기판 이송 장치.3. The method of claim 2,
The support bar
And is movably provided on the drive bracket in a direction perpendicular to the transport direction of the substrate when viewed in plan. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 기판이송부는,
상기 기판의 이송방향에 수직한 방향으로 평행하게 배치된 복수의 샤프트;
상기 샤프트가 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 샤프트와 함께 회전되도록 상기 샤프트에 설치되고, 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 이송하는 복수의 롤러;
상기 복수의 샤프트와 결합되며 상기 복수의 샤프트에 회전력을 전달하는 동력전달부재; 및 상기 동력전달부재에 회전력을 전달하는 반송 구동부를 포함하는 기판 이송 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
The substrate transferring unit includes:
A plurality of shafts arranged in parallel in a direction perpendicular to a conveying direction of the substrate;
A plurality of rollers provided on the shaft and having a through hole into which the shaft is inserted and rotated together with the shaft, the roller being in contact with the substrate and transporting the substrate;
A power transmitting member coupled to the plurality of shafts and transmitting a rotational force to the plurality of shafts; And a transport driving unit for transmitting a rotational force to the power transmitting member.
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CN108792617A (en) * 2018-04-10 2018-11-13 连云港科拓信息科技有限公司 A kind of quartz glass production conveying device
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