JPH11277467A - Thin substrate carrying robot - Google Patents
Thin substrate carrying robotInfo
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- JPH11277467A JPH11277467A JP7785598A JP7785598A JPH11277467A JP H11277467 A JPH11277467 A JP H11277467A JP 7785598 A JP7785598 A JP 7785598A JP 7785598 A JP7785598 A JP 7785598A JP H11277467 A JPH11277467 A JP H11277467A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型基板搬送ロボ
ットに関する。[0001] The present invention relates to a thin substrate transfer robot.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体ウエハ等薄型基板を搬送するロボ
ットとして、図８に示すものが知られている。2. Description of the Related Art A robot shown in FIG. 8 is known as a robot for transferring a thin substrate such as a semiconductor wafer.
【０００３】図８に示す薄型基板搬送ロボットは、いわ
ゆるダブルアーム式の搬送ロボットであり、機台１と、
機台１の上方に並んで配された二つのリンク体５１、５
１とを備える。[0003] The thin substrate transfer robot shown in FIG. 8 is a so-called double arm type transfer robot.
Two link bodies 51 and 5 arranged side by side above the machine base 1
1 is provided.
【０００４】各リンク体５１は、機台１の内部に配設さ
れた減速機付きモータ（駆動装置）５２によって元部５
３ａを中心に水平面上を回転する第１アーム５３と、第
１アーム５３の先端部５３ｂに延設され第１アーム５３
の回転に従い元部５４ａを中心に水平面上を回転する第
２アーム５４と、第２アーム５４の先端部５４ｂに延設
され第１、第２アーム５３、５４の回転に従い元部５５
ａを中心に水平面上を回転するハンド５５とを備える。
第２アーム５４及びハンド５５は、第１アーム５３及び
第２アーム５４の内部に配設されたプーリー（図示せ
ず）とタイミングベルト（図示せず）によって駆動され
る。各リンク体５１は、モータ５２が回転すると第１ア
ーム５３、第２アーム５４及びハンド５５が各々回転
し、ハンド５５が水平面上を直線移動できるよう構成さ
れている。また、ハンド５５には、薄型基板５６を真空
吸着するための吸着孔（図示せず）が形成されており、
この吸着孔と機台１の内部の真空装置（図示せず）とを
接続するための配管（図示せず）が第１アーム５３、第
２アーム５４及びハンド５５の内部に設けられている。
さらに、いずれか一方のリンク体５１には、薄型基板５
６との衝突を回避するための干渉防止部材としてのコ字
状部材５７が設けられている。その他、機台１の内部に
は、二つのリンク体５１、５１及び二つのモータ５２、
５２を一体として機台１の中央部を中心として水平面上
で回転（θ軸回転）させるための駆動装置５８と、二つ
のリンク体５１、５１、二つのモータ５２、５２及び駆
動装置５８を一体として上下方向（Ｚ軸方向）に移動さ
せるための駆動装置（図示せず）が配設されている。Each link body 51 is connected to a base part 5 by a motor (drive device) 52 with a speed reducer disposed inside the machine base 1.
A first arm 53 that rotates on a horizontal plane about the center 3a; and a first arm 53 that extends from the distal end 53b of the first arm 53.
A second arm 54 that rotates on a horizontal plane around a base 54a according to the rotation of the base 54a, and a base 55 that extends from the distal end 54b of the second arm 54 and rotates the first and second arms 53, 54.
and a hand 55 that rotates on a horizontal plane about a.
The second arm 54 and the hand 55 are driven by a pulley (not shown) and a timing belt (not shown) provided inside the first arm 53 and the second arm 54. Each link body 51 is configured such that when the motor 52 rotates, the first arm 53, the second arm 54, and the hand 55 rotate, and the hand 55 can move linearly on a horizontal plane. The hand 55 has a suction hole (not shown) for vacuum suction of the thin substrate 56.
A pipe (not shown) for connecting the suction hole to a vacuum device (not shown) inside the machine base 1 is provided inside the first arm 53, the second arm 54 and the hand 55.
Further, one of the link bodies 51 has a thin substrate 5
A U-shaped member 57 is provided as an interference prevention member for avoiding collision with 6. In addition, two link bodies 51, 51 and two motors 52,
A drive device 58 for rotating (θ-axis rotation) on a horizontal plane around the central portion of the machine base 1 with the integrated 52, and two link bodies 51, 51, two motors 52, 52 and the drive device 58 are integrated. A driving device (not shown) for moving in the vertical direction (Z-axis direction) is provided.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の薄型基板搬送ロボットは、機台１の内部に各リンク
体５１を駆動するための駆動装置５２を二個並べるよう
に備えているため、機台１の小型化を図る上で制約が大
きくなる。また、第１アーム５３の内部にプーリー及び
タイミングベルトを配設しており、第１アーム５３の内
部構造が比較的複雑である。However, the above-mentioned conventional thin substrate transfer robot has two drive devices 52 for driving the respective link bodies 51 inside the machine base 1 so as to be arranged side by side. Restrictions are increased in reducing the size of the table 1. Further, since a pulley and a timing belt are provided inside the first arm 53, the internal structure of the first arm 53 is relatively complicated.
【０００６】本発明は、上記問題点にかんがみ、機台の
小型化及びリンク体の内部構造の簡素化を達成すること
を目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to achieve downsizing of a machine base and simplification of an internal structure of a link body.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の薄型基板搬送ロ
ボットは、機台と、前記機台の上方に配され、長手方向
中央位置を中心として水平面上を双方向に回転可能なベ
ースアームと、前記ベースアームの長手方向中央位置に
直結され、前記機台の内部に配設されるベースアーム用
駆動装置と、前記ベースアームの一方の先端部に延設さ
れ元部を中心として水平面上を回転可能な第１アーム
と、該第１アームの先端部に延設され元部を中心として
水平面上を回転可能な薄型基板保持用第１ハンドとから
なり、前記第１アームの回転中心位置から前記第１ハン
ドの回転中心位置までの水平距離が前記ベースアームの
回転中心位置から前記第１アームの回転中心位置までの
水平距離と一致する第１リンク体と、前記ベースアーム
の他方の先端部に延設され元部を中心として水平面上を
回転可能な第２アームと、該第２アームの先端部に延設
され元部を中心として水平面上を回転可能な薄型基板保
持用第２ハンドと、前記第１ハンドに保持される薄型基
板と当該第２リンク体との衝突を回避するための干渉防
止部材とからなり、前記第２アームの回転中心位置から
前記第２ハンドの回転中心位置までの水平距離が前記ベ
ースアームの回転中心位置から前記第２アームの回転中
心位置までの水平距離と一致する第２リンク体と、前記
第１アームの元部に直結され、第１リンク体駆動時に前
記ベースアームの回転方向と逆方向に前記第１アームを
回転させる第１アーム用駆動装置と、前記第２アームの
元部に直結され、第２リンク体駆動時に前記ベースアー
ムの回転方向と逆方向に前記第２アームを回転させる第
２アーム用駆動装置と、前記第１アームの内部に配設さ
れ、第１リンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向
と同一方向に前記第１ハンドを回転させる第１ハンド用
駆動装置と、前記第２アームの内部に配設され、第２リ
ンク体駆動時に前記ベースアームの回転方向と同一方向
に前記第２ハンドを回転させる第２ハンド用駆動装置と
を備えることを特徴とする。According to the present invention, there is provided a thin substrate transfer robot comprising: a machine base; and a base arm disposed above the machine base and rotatable bidirectionally on a horizontal plane about a longitudinal center position. A base arm driving device directly connected to the longitudinal center position of the base arm and disposed inside the machine base, and extending on one end of the base arm and extending on a horizontal plane centering on the base portion A first arm that is rotatable; and a first hand for holding a thin substrate that is extended from the tip of the first arm and is rotatable on a horizontal plane about an original portion. A first link body in which a horizontal distance from the rotation center position of the first hand is equal to a horizontal distance from the rotation center position of the base arm to the rotation center position of the first arm; and the other end of the base arm In A second arm extending at the tip of the second arm and rotatable on the horizontal plane about the base, and a second hand for holding the thin substrate, the second arm being rotatable about the base on the base. A thin substrate held by one hand and an interference preventing member for avoiding collision between the second link body and a horizontal distance from a rotation center position of the second arm to a rotation center position of the second hand; Are directly connected to the base of the first arm and a second link body that is equal to a horizontal distance from the rotation center position of the base arm to the rotation center position of the second arm, and the base arm is driven when the first link body is driven. A first arm driving device for rotating the first arm in a direction opposite to the rotation direction of the first arm, and a driving device for the first arm which is directly connected to a base portion of the second arm, and which rotates in a direction opposite to the rotation direction of the base arm when the second link body is driven. 2nd ar A second arm driving device for rotating the first arm, and a first hand driving device disposed inside the first arm for rotating the first hand in the same direction as the rotation direction of the base arm when driving the first link body. And a second hand drive device disposed inside the second arm and configured to rotate the second hand in the same direction as the rotation direction of the base arm when driving the second link body. I do.
【０００８】ここで、例えば、前記第１アーム用駆動装
置は、前記第１アームを前記ベースアームの二倍の回転
速度で回転させ、前記第１ハンド用駆動装置は、前記ベ
ースアームの前記一方の先端部に直結される第１ベース
アーム側プーリーと、前記第１ベースアーム側プーリー
の二倍の外径寸法を有し前記第１ハンドの元部に直結さ
れる第１ハンド側プーリーと、前記第１ベースアーム側
プーリー、前記第１ハンド側プーリー間に掛け渡される
第１タイミングベルトにより構成され、前記第２アーム
用駆動装置は、前記ベースアームの二倍の回転速度で回
転させ、前記第２ハンド用駆動装置は、前記ベースアー
ムの前記他方の先端部に直結される第２ベースアーム側
プーリーと、前記第２ベースアーム側プーリーの二倍の
外径寸法を有し前記第２ハンドの元部側に直結される第
２ハンド側プーリーと、前記第２ベースアーム側プーリ
ー、前記第２ハンド側プーリー間に掛け渡される第２タ
イミングベルトにより構成される。Here, for example, the first arm driving device rotates the first arm at twice the rotation speed of the base arm, and the first hand driving device rotates the one of the base arms. A first base arm-side pulley directly connected to a tip end of the first hand, a first hand-side pulley having an outer diameter twice as large as the first base arm-side pulley, and directly connected to a base of the first hand; The first base arm-side pulley, a first timing belt stretched between the first hand-side pulley, the second arm drive device is rotated at twice the rotation speed of the base arm, The second hand drive device has a second base arm-side pulley directly connected to the other end of the base arm, and has an outer diameter twice as large as the second base arm-side pulley. A second hand-side pulley which is directly connected to the base portion side of the second hand, the second base arm side pulley, and the second timing belt is stretched between the second hand pulley.
【０００９】そして、前記第１リンク体及び前記第２リ
ンク体の非駆動時の平面的姿勢の一態様としては、第１
リンク体と第２リンク体とが前記ベースアームの回転中
心位置から長手方向と直交する方向に伸ばした仮想線を
対称軸とする線対称関係を有し、かつ、第１アーム及び
第２アームと前記ベースアームとのなす角度が約６０
°、第１アームと第１ハンドとのなす角度及び第２アー
ムと第２ハンドとのなす角度がそれぞれ約６０°となる
よう設定される。[0009] One aspect of the planar attitude of the first link body and the second link body when not driven is the first link body.
The link body and the second link body have a line-symmetric relationship with a virtual line extending in a direction perpendicular to the longitudinal direction from the rotation center position of the base arm as a symmetric axis, and the first arm and the second arm The angle with the base arm is about 60
°, the angle between the first arm and the first hand and the angle between the second arm and the second hand are set to be about 60 °, respectively.
【００１０】また、前記第１リンク体及び前記第２リン
ク体の非駆動時の平面的姿勢の他の態様としては、第１
リンク体と第２リンク体とが前記ベースアームの回転中
心位置を対称点とする点対称関係を有し、かつ、第１ア
ーム及び第２アームと前記ベースアームとのなす角度が
約６０°、第１アームと第１ハンドとのなす角度及び第
２アームと第２ハンドとのなす角度がそれぞれ約６０°
となるよう設定される。Another aspect of the non-driving planar attitude of the first link body and the second link body is as follows.
The link body and the second link body have a point symmetric relationship with the rotation center position of the base arm as a symmetric point, and an angle between the first arm and the second arm and the base arm is about 60 °, The angle between the first arm and the first hand and the angle between the second arm and the second hand are each about 60 °
Is set to be
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１実施形態に
係る薄型基板搬送ロボットの斜視図、図２は、同搬送ロ
ボットの平面図、図３は、同搬送ロボットの要部断面図
をそれぞれ示す。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a perspective view of a thin substrate transfer robot according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the transfer robot, and FIG. The figures are shown respectively.
【００１２】図１〜図３において、第１実施形態に係る
薄型基板搬送ロボットは、機台１を備える。機台１の上
方には、長手方向中央位置２ａを中心として水平面上を
双方向に回転可能なベースアーム２が配される。ベース
アーム２の長手方向中央位置２ａはベースアーム用駆動
装置３に直結され、このベースアーム用駆動装置３は機
台１の内部に配設される。ベースアーム用駆動装置３
は、好ましくはモータと減速機とから構成され、減速機
の出力軸がベースアーム２に直結される。1 to 3, the thin substrate transfer robot according to the first embodiment includes a machine base 1. Above the machine base 1, a base arm 2 that can rotate bidirectionally on a horizontal plane about a longitudinal center position 2a is arranged. The center position 2a in the longitudinal direction of the base arm 2 is directly connected to the base arm drive device 3, and the base arm drive device 3 is disposed inside the machine base 1. Drive unit for base arm 3
Is preferably composed of a motor and a speed reducer, and the output shaft of the speed reducer is directly connected to the base arm 2.
【００１３】ベースアーム２の一方の先端部２ｂには、
第１アーム４と薄型基板保持用第１ハンド５とからなる
第１リンク体６が延設される。第１アーム４は、ベース
アーム２の一方の先端部２ｂに、元部４ａを中心として
水平面上を回転可能に延設される。第１ハンド５は、第
１アーム４の先端部４ｂに、元部５ａを中心として水平
面上を回転可能に延設される。第１アーム４の回転中心
位置４ａから第１ハンド５の回転中心位置５ａまでの水
平距離ｎ2 は、ベースアーム２の回転中心位置２ａから
第１アーム４の回転中心位置４ａまでの水平距離ｎ1 と
一致させる。At one end 2b of the base arm 2,
A first link body 6 including a first arm 4 and a thin substrate holding first hand 5 is extended. The first arm 4 is provided at one end 2b of the base arm 2 so as to be rotatable on a horizontal plane about the base 4a. The first hand 5 is provided at the tip 4 b of the first arm 4 so as to be rotatable on a horizontal plane about the base 5 a. The horizontal distance n 2 from the rotation center position 4a of the first arm 4 to the rotation center position 5a of the first hand 5 is the horizontal distance n from the rotation center position 2a of the base arm 2 to the rotation center position 4a of the first arm 4. Match with 1 .
【００１４】ベースアーム２の他方の先端部２ｃには、
第２アーム７とコ字状部材８と薄型基板保持用第２ハン
ド９とからなる第２リンク体１０が延設される。第２ア
ーム７は、ベースアーム２の他方の先端部２ｃに、元部
７ａを中心として水平面上を回転可能に延設される。コ
字状部材８は、第２アーム７の先端部７ｂに、元部８ａ
を中心として水平面上を回転可能に延設される。コ字状
部材８は、第１ハンド５に保持される薄型基板２１（図
３）と第２リンク体１０との衝突を回避するための干渉
防止部材として機能する。第２ハンド９は、コ字状部材
８の先端部８ｂに固定して延設され、第２ハンド９の元
部９ａはコ字状部材８の元部８ａの真上に位置する。従
って、第２ハンド９は、コ字状部材８と一体となって元
部９ａを中心として水平面上を回転可能とされる。第２
アーム７の回転中心位置７ａから第２ハンド９の回転中
心位置９ａまでの水平距離ｎ4 は、ベースアーム２の回
転中心位置２ａから第２アーム７の回転中心位置７ａま
での水平距離ｎ3 と一致させる。At the other end 2c of the base arm 2,
A second link body 10 including a second arm 7, a U-shaped member 8, and a thin substrate holding second hand 9 is extended. The second arm 7 is provided at the other end 2c of the base arm 2 so as to be rotatable on a horizontal plane around the base 7a. The U-shaped member 8 is provided at the distal end 7b of the second arm 7 with the base 8a.
Is installed so as to be rotatable on a horizontal plane. The U-shaped member 8 functions as an interference prevention member for avoiding a collision between the thin substrate 21 (FIG. 3) held by the first hand 5 and the second link body 10. The second hand 9 is fixedly extended to the distal end portion 8b of the U-shaped member 8, and the base 9a of the second hand 9 is located directly above the base 8a of the U-shaped member 8. Accordingly, the second hand 9 is rotatable on a horizontal plane around the base 9a integrally with the U-shaped member 8. Second
Horizontal distance n 4 from the rotation center position 7a of the arm 7 to the rotational center position 9a of the second hand 9 is a horizontal distance n 3 from the rotation center position 2a of the base arm 2 to the rotation center position 7a of the second arm 7 Match.
【００１５】ベースアーム２の上記一方の先端部２ｂの
下方には、第１アーム４の元部４ａに直結されて第１ア
ーム用駆動装置１１が配設される。第１アーム用駆動装
置１１は、好ましくはモータと減速機とから構成され、
減速機の出力軸が第１アーム４に直結される。第１アー
ム用駆動装置１１は、第１リンク体６の駆動時にベース
アーム２の回転方向と逆方向に二倍の回転速度で第１ア
ーム４を回転させる。Below the one end 2b of the base arm 2, a driving device 11 for the first arm is provided directly connected to the base 4a of the first arm 4. The first arm drive device 11 preferably includes a motor and a speed reducer,
The output shaft of the speed reducer is directly connected to the first arm 4. The first arm drive device 11 rotates the first arm 4 at twice the rotation speed in the direction opposite to the rotation direction of the base arm 2 when driving the first link body 6.
【００１６】ベースアーム２の上記他方の先端部２ｃの
下方には、第２アーム７の元部７ａに直結されて第２ア
ーム用駆動装置１２が配設される。第２アーム用駆動装
置１２は、好ましくはモータと減速機とから構成され、
減速機の出力軸が第２アーム７に直結される。第２アー
ム用駆動装置１２は、第２リンク体１０の駆動時にベー
スアーム２の回転方向と逆方向に二倍の回転速度で第２
アーム７を回転させる。Below the other end 2c of the base arm 2, a drive device 12 for the second arm is disposed directly connected to the base 7a of the second arm 7. The second arm drive device 12 is preferably composed of a motor and a speed reducer,
The output shaft of the speed reducer is directly connected to the second arm 7. When driving the second link body 10, the second arm driving device 12 rotates the second link body 10 at the second rotation speed in a direction opposite to the rotation direction of the base arm 2 at a double speed.
The arm 7 is rotated.
【００１７】第１アーム４の内部には、第１ハンド用駆
動装置１３が配設される。第１ハンド用駆動装置１３
は、第１リンク体６の駆動時にベースアーム２の回転方
向と同一方向に同一回転速度で第１ハンド５を回転させ
る。第１ハンド用駆動装置１３は、好ましくは、ベース
アーム２の上記一方の先端部２ｂに直結される第１ベー
スアーム側プーリー１４と、第１ベースアーム側プーリ
ー１４の二倍の外径寸法を有し第１ハンド５の元部５ａ
に直結される第１ハンド側プーリー１５と、第１ベース
アーム側プーリー１４、第１ハンド側プーリー１５間に
掛け渡される第１タイミングベルト１６により構成され
る。A first hand driving device 13 is provided inside the first arm 4. First hand drive device 13
Rotates the first hand 5 at the same rotation speed in the same direction as the rotation direction of the base arm 2 when the first link body 6 is driven. The first hand driving device 13 preferably has a first base arm side pulley 14 directly connected to the one end portion 2b of the base arm 2 and an outer diameter twice as large as the first base arm side pulley 14. Base part 5a of first hand 5
, A first hand-side pulley 15 directly connected to the first pulley, a first base arm-side pulley 14, and a first timing belt 16 stretched between the first hand-side pulleys 15.
【００１８】第２アーム７の内部には、第２ハンド用駆
動装置１７が配設される。第２ハンド用駆動装置１７
は、第２リンク体１０の駆動時にベースアーム２の回転
方向と同一方向に同一回転速度で第２ハンド９を回転さ
せる。第２ハンド用駆動装置１７は、好ましくは、ベー
スアーム２の上記他方の先端部２ｃに直結される第２ベ
ースアーム側プーリー１８と、第２ベースアーム側プー
リー１８の二倍の外径寸法を有しコ字状部材８の元部８
ａに直結される第２ハンド側プーリー１９と、第２ベー
スアーム側プーリー１８、第２ハンド側プーリー１９間
に掛け渡される第２タイミングベルト２０により構成さ
れる。Inside the second arm 7, a second hand driving device 17 is provided. Second hand drive device 17
Rotates the second hand 9 in the same direction as the rotation direction of the base arm 2 at the same rotation speed when the second link body 10 is driven. The second hand drive device 17 preferably has a second base arm-side pulley 18 directly connected to the other end 2 c of the base arm 2, and a double outer diameter of the second base arm-side pulley 18. Base 8 of U-shaped member 8
The second hand-side pulley 19 is connected directly to the pulley 19, and the second timing belt 20 is stretched between the second base arm-side pulley 18 and the second hand-side pulley 19.
【００１９】第１リンク体６及び第２リンク体１０の非
駆動時の平面的姿勢は、図２に示すように、第１リンク
体６と第２リンク体１０とがベースアーム２の回転中心
位置２ａから長手方向と直交する方向に伸ばした仮想線
Ｌを対称軸とする線対称関係を有し、かつ、ベースアー
ム２と第１アーム４とのなす角度θ1 及びベースアーム
２と第２アーム７とのなす角度θ2 がそれぞれ約６０
°、第１アーム４と第１ハンド５とのなす角度θ3 及び
第２アーム７と第２ハンド９とのなす角度θ4 がそれぞ
れ約６０°となるよう設定される。なお、第１ハンド５
には薄型基板２１（図３）を真空吸着するための吸着孔
２２が設けられ、また、第２ハンド９には薄型基板２３
（図３）を真空吸着するための吸着孔２４が設けられて
おり、これらの吸着孔２２、２４は、第１、第２ハンド
５、９、第１、第２アーム４、７の内部に配された図示
しない配管を介して、機台１の内部の図示しない真空装
置に接続されている。さらに、図示を省略したが、機台
１の内部には、ベースアーム用駆動装置３、ベースアー
ム２及び第１、第２リンク体６、１０全体を上下動（Ｚ
軸移動）させるための駆動装置が配設されている。As shown in FIG. 2, the first link body 6 and the second link body 10 are in a non-driving planar orientation when the first link body 6 and the second link body 10 are rotated about the center of rotation of the base arm 2. It has a line-symmetric relationship with a virtual line L extending from the position 2a in a direction orthogonal to the longitudinal direction as a symmetry axis, and has an angle θ 1 formed between the base arm 2 and the first arm 4 and the base arm 2 and the second arm 2. The angle θ 2 formed with the arm 7 is about 60
°, it is set so that the first arm 4 and the angle theta 3 and the second arm 7 of the first hand 5 the angle theta 4 between the second hand 9 is about 60 °, respectively. The first hand 5
Is provided with a suction hole 22 for vacuum suction of the thin substrate 21 (FIG. 3).
Suction holes 24 for vacuum-sucking (FIG. 3) are provided. These suction holes 22 and 24 are provided inside the first and second hands 5 and 9 and the first and second arms 4 and 7. It is connected to a vacuum device (not shown) inside the machine base 1 via a pipe (not shown) provided. Although not shown, the base arm driving device 3, the base arm 2, and the entire first and second link bodies 6, 10 are moved up and down (Z
A driving device for moving the shaft is provided.
【００２０】次に、上記のように構成される薄型基板搬
送ロボットの動作例を、図４及び図５に基づいて説明す
る。ここで、図４は、第２リンク体１０を非駆動状態に
維持して第１リンク体６を駆動する場合におけるベース
アーム２と第１アーム４と第１ハンド５と第２アーム７
と第２ハンド９の相互の平面的位置関係を示す。また、
図５は、第１リンク体６を非駆動状態に維持して第２リ
ンク体１０を駆動する場合におけるベースアーム２と第
１アーム４と第１ハンド５と第２アーム７と第２ハンド
９の相互の平面的位置関係を示す。なお、図４及び図５
において、コ字状部材８は便宜上図示していない。Next, an example of the operation of the thin substrate transport robot configured as described above will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 4 shows the base arm 2, the first arm 4, the first hand 5, and the second arm 7 when driving the first link body 6 while maintaining the second link body 10 in the non-drive state.
2 shows a planar positional relationship between the second hand 9 and the second hand 9. Also,
FIG. 5 shows the base arm 2, the first arm 4, the first hand 5, the second arm 7, and the second hand 9 when driving the second link body 10 while maintaining the first link body 6 in the non-drive state. Of FIG. 4 and 5
2, the U-shaped member 8 is not shown for convenience.
【００２１】図４において、第１リンク体６の駆動開始
前、ベースアーム２と第１、第２アーム４、７と第１、
第２ハンド５、９は図示実線Ｓ0 で示す位置関係、即
ち、図１及び図２に示す初期状態にある。その後、ベー
スアーム用駆動装置３及び第１アーム用駆動装置１１が
同時に運転を開始すると、ベースアーム２と第１、第２
アーム４、７と第１、第２ハンド５、９の相互の位置関
係は、図示実線の初期状態Ｓ0 から、図示破線、一点鎖
線、二点鎖線で示す過渡状態Ｓ1 、Ｓ2 、Ｓ3 へと順に
変化し、その後、ベースアーム２と第１アーム４と第１
ハンド５とが一直線上に伸びた状態（図３図示の状態）
へと変化する。この間、ベースアーム２はベースアーム
用駆動装置３によって回転され、第１アーム４は第１ア
ーム用駆動装置１１によって回転され、第１ハンド５
は、ベースアーム２と第１アーム４の各回転に基づいて
動作する第１ハンド用駆動装置１３によって回転され
る。ベースアーム２の回転速度をαとした場合、第１ア
ーム４はベースアーム２の回転方向と逆方向に２αの回
転速度で回転し、第１ハンド５はベースアーム２の回転
方向と同一方向にαの回転速度で回転する。なお、ベー
スアーム２と第１アーム４と第１ハンド５とを一直線上
に伸びた状態から図示実線の初期状態Ｓ0 に戻すとき
は、ベースアーム用駆動装置３及び第１アーム用駆動装
置１１によりベースアーム２及び第１アーム４をそれぞ
れ上述した回転方向とは反対の方向に回転させる。In FIG. 4, before starting the driving of the first link body 6, the base arm 2 and the first arm, the second arms 4, 7 and the first,
Second hand 5,9 positional relationship shown in the illustrated solid line S 0, i.e., in the initial state shown in FIGS. Thereafter, when the base arm driving device 3 and the first arm driving device 11 start operating at the same time, the base arm 2 and the first and second
The mutual positional relationship between the arms 4 and 7 and the first and second hands 5 and 9 is changed from the initial state S 0 shown by the solid line in the drawing to the transient states S 1 , S 2 , S shown by the broken line, the one-dot chain line and the two-dot chain line 3 and then the base arm 2, the first arm 4, and the first
The state where the hand 5 and the hand 5 are extended in a straight line (the state shown in FIG. 3).
Changes to During this time, the base arm 2 is rotated by the base arm drive device 3, the first arm 4 is rotated by the first arm drive device 11, and the first hand 5
Is rotated by the first hand drive device 13 that operates based on the rotation of the base arm 2 and the first arm 4. When the rotation speed of the base arm 2 is α, the first arm 4 rotates at a rotation speed of 2α in a direction opposite to the rotation direction of the base arm 2, and the first hand 5 moves in the same direction as the rotation direction of the base arm 2. It rotates at the rotation speed of α. The base arm 2 and when the first arm 4 is returned to the initial state S 0 shown solid line and a first hand 5 from a state extending in a straight line, the base arm drive device 3 and the first arm driving unit 11 Accordingly, the base arm 2 and the first arm 4 are rotated in directions opposite to the above-described rotation directions.
【００２２】図５は、図４に示す状態からベースアーム
用駆動装置３のみを運転しベースアーム２を時計方向に
約６０°回転させておき、この初期状態から第２リンク
体１０を駆動する場合に対応する。この初期状態は、第
２ハンド９の平面的位置が図４に示す第１ハンド５の平
面的位置と一致する状態に対応している。FIG. 5 shows that only the base arm driving device 3 is operated from the state shown in FIG. 4 to rotate the base arm 2 approximately 60 ° clockwise, and the second link body 10 is driven from this initial state. Corresponding to the case. This initial state corresponds to a state where the planar position of the second hand 9 matches the planar position of the first hand 5 shown in FIG.
【００２３】図５において、第２リンク体１０の駆動開
始前、ベースアーム２と第１、第２アーム４、７と第
１、第２ハンド５、９は図示実線Ｓ0 で示す位置関係、
即ち、図１及び図２に示す初期状態にある。その後、ベ
ースアーム用駆動装置３及び第２アーム用駆動装置１２
が同時に運転を開始すると、ベースアーム２と第１、第
２アーム４、７と第１、第２ハンド９の相互の位置関係
は、図示実線の初期状態Ｓ0 から、図示破線、一点鎖
線、二点鎖線で示す過渡状態Ｓ1 、Ｓ2 、Ｓ3 へと順に
変化し、その後、ベースアーム２と第２アーム７と第２
ハンド９とが一直線上に伸びた状態（図３図示の状態）
へと変化する。この間、ベースアーム２はベースアーム
用駆動装置３によって回転され、第２アーム７は第２ア
ーム用駆動装置１２によって回転され、第２ハンド９
は、ベースアーム２と第２アーム７の各回転に基づいて
動作する第２ハンド用駆動装置１７によって回転され
る。ベースアーム２の回転速度をαとした場合、第２ア
ーム７はベースアーム２の回転方向と逆方向に２αの回
転速度で回転し、第２ハンド９はベースアーム２の回転
方向と同一方向にαの回転速度で回転する。なお、ベー
スアーム２と第２アーム７と第２ハンド９とを一直線上
に伸びた状態から図示実線の初期状態Ｓ0 に戻すとき
は、ベースアーム用駆動装置３及び第２アーム用駆動装
置１２によりベースアーム２及び第２アーム７をそれぞ
れ上述した回転方向とは反対の方向に回転させる。In FIG. 5, before the start of driving of the second link body 10, the base arm 2 and the first and second arms 4, 7 and the first and second hands 5, 9 have a positional relationship indicated by a solid line S 0 in the drawing.
That is, it is in the initial state shown in FIGS. Thereafter, the base arm driving device 3 and the second arm driving device 12
Start the operation at the same time, the mutual positional relationship between the base arm 2 and the first and second arms 4, 7 and the first and second hands 9 is changed from the initial state S 0 shown by the solid line shown in FIG. The transition state sequentially changes to a transition state S 1 , S 2 , S 3 shown by a two-dot chain line, and thereafter, the base arm 2, the second arm 7, and the second
The state where the hand 9 and the hand 9 are extended in a straight line (the state shown in FIG. 3).
Changes to During this time, the base arm 2 is rotated by the base arm drive device 3, the second arm 7 is rotated by the second arm drive device 12, and the second hand 9 is rotated.
Is rotated by the second hand drive device 17 that operates based on each rotation of the base arm 2 and the second arm 7. When the rotation speed of the base arm 2 is α, the second arm 7 rotates at a rotation speed of 2α in a direction opposite to the rotation direction of the base arm 2, and the second hand 9 moves in the same direction as the rotation direction of the base arm 2. It rotates at the rotation speed of α. Note that the base arm 2 when the second arm 7 back to the initial state S 0 shown solid line and a second hand 9 from the state extending in a straight line is a base arm drive device 3 and the second arm driving unit 12 Accordingly, the base arm 2 and the second arm 7 are respectively rotated in directions opposite to the above-described rotation directions.
【００２４】以上説明したように、第１実施形態に係る
薄型基板搬送ロボットによると、従前のダブルアーム式
搬送ロボットの二つのリンク体の各第１アームをベース
アーム２が兼用するため、機台１の内部にはベースアー
ム２を駆動するためのベースアーム用駆動装置３を一個
配設すれば足り、このため機台１の小型化を図ることが
できる。また、従前からの搬送ロボットにおいて第１ア
ームの内部に設けられていたプーリー及びタイミングベ
ルトがベースアーム２の内部に設けられていないため、
ベースアーム２の構造の簡素化を図ることができる。As described above, according to the thin substrate transfer robot according to the first embodiment, the base arm 2 also serves as the first arm of each of the two link bodies of the conventional double-arm transfer robot. One base arm driving device 3 for driving the base arm 2 only needs to be provided inside the unit 1, so that the size of the machine base 1 can be reduced. Further, since the pulley and the timing belt provided in the first arm in the conventional transfer robot are not provided in the base arm 2,
The structure of the base arm 2 can be simplified.
【００２５】図６は、本発明の第２実施形態に係る薄型
基板搬送ロボットの斜視図、図７は、同搬送ロボットの
平面図をそれぞれ示す。FIG. 6 is a perspective view of a thin substrate transfer robot according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a plan view of the transfer robot.
【００２６】第２実施形態に係る薄型基板搬送ロボット
は、ベースアーム２に対する第１リンク体６及び第２リ
ンク体１０の取り付け方を第１実施形態とは異ならしめ
ており、第１リンク体６及び第２リンク体１０の非駆動
時の平面的姿勢は、第１リンク体６と第２リンク体１０
とがベースアーム２の回転中心位置２ａを対称点とする
点対称関係を有し、かつ、ベースアーム２と第１アーム
４とのなす角度θ1 及びベースアーム２と第２アーム７
とのなす角度θ2 がそれぞれ約６０°、第１アーム４と
第１ハンド５とのなす角度θ3 及び第２アーム７と第２
ハンド９とのなす角度θ4 がそれぞれ約６０°となるよ
う設定される。その他の構成は、第１実施形態と同様で
ある。The thin substrate transfer robot according to the second embodiment differs from the first embodiment in the manner in which the first link body 6 and the second link body 10 are attached to the base arm 2. The planar posture of the second link body 10 when it is not driven includes the first link body 6 and the second link body 10.
Have a point-symmetric relationship with the rotation center position 2a of the base arm 2 as the point of symmetry, and the angle θ 1 between the base arm 2 and the first arm 4 and the angle between the base arm 2 and the second arm 7
The angle theta 3 and the second arm 7 of the angle theta 2 are each about 60 °, a first arm 4 and the first hand 5 and the second
Angle theta 4 between the hand 9 is set to each of about 60 °. Other configurations are the same as in the first embodiment.
【００２７】第２実施形態に係る搬送ロボットも、第１
実施形態に係る搬送ロボットと同様に第１、第２ハンド
５、９を直線運動させることができる。ただし、第１実
施形態と同様に第２ハンド９の直線運動の軌跡を第１ハ
ンド５の直線運動の軌跡に一致させるにあたっては、第
１実施形態ではベースアーム２を約６０°時計方向に回
転させることにより第２ハンド９の初期状態を第１ハン
ド５の初期状態に一致させているが、第２実施形態では
ベースアーム２を１８０°回転させることにより第２ハ
ンド９の初期状態を第１ハンド５の初期状態に一致させ
るようにする。The transfer robot according to the second embodiment also has the first
Like the transfer robot according to the embodiment, the first and second hands 5, 9 can be linearly moved. However, in order to match the trajectory of the linear motion of the second hand 9 with the trajectory of the linear motion of the first hand 5 as in the first embodiment, in the first embodiment, the base arm 2 is rotated approximately 60 ° clockwise. By doing so, the initial state of the second hand 9 matches the initial state of the first hand 5. In the second embodiment, the initial state of the second hand 9 is changed to the first state by rotating the base arm 2 by 180 °. The hand 5 is made to match the initial state.
【００２８】第２実施形態に係る薄型基板搬送ロボット
によっても、第１実施形態に係る薄型基板搬送ロボット
と同様、機台１の小型化及びベースアーム２の構造の簡
素化を図ることができる。With the thin substrate transfer robot according to the second embodiment, similarly to the thin substrate transfer robot according to the first embodiment, the size of the machine base 1 and the structure of the base arm 2 can be simplified.
【００２９】なお、上記実施形態においては、第１アー
ム用駆動装置１１は第１アーム４をベースアーム２の二
倍の回転速度で回転させ、第２アーム用駆動装置１２は
第２アーム７をベースアーム２の二倍の回転速度で回転
させるよう構成されているが、第１アーム用駆動装置１
１及び第２アーム用駆動装置１２は第１アーム４及び第
２アーム７を上記回転速度で回転させる構成のみに限定
されるものではなく、他の回転速度で回転させる構成を
とることは自由である。In the above embodiment, the first arm driving device 11 rotates the first arm 4 at twice the rotation speed of the base arm 2, and the second arm driving device 12 controls the second arm 7 to rotate. The first arm driving device 1 is configured to rotate at twice the rotation speed of the base arm 2.
The first and second arm driving devices 12 are not limited to the configuration in which the first arm 4 and the second arm 7 are rotated at the above rotation speed, but may be configured to rotate at other rotation speeds. is there.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
ベースアームによって従前の搬送ロボットにおける二つ
の第１アームの共通化が図れるようになり、機台の小型
化及びリンク体の内部構造の簡素化などを達成すること
ができる。As described above, according to the present invention,
By using the base arm, the two first arms in the conventional transfer robot can be shared, so that the size of the machine base can be reduced and the internal structure of the link body can be simplified.
【図１】本発明の第１実施形態に係る薄型基板搬送ロボ
ットの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a thin substrate transport robot according to a first embodiment of the present invention.
【図２】同搬送ロボットの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the transfer robot.
【図３】同搬送ロボットの要部断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a main part of the transfer robot.
【図４】同搬送ロボットの動作を説明するための説明図
である。FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining an operation of the transfer robot.
【図５】同じく同搬送ロボットの動作を説明するための
説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining an operation of the transfer robot.
【図６】本発明の第２実施形態に係る薄型基板搬送ロボ
ットの斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a thin substrate transfer robot according to a second embodiment of the present invention.
【図７】同搬送ロボットの平面図である。FIG. 7 is a plan view of the transfer robot.
【図８】従来からのダブルアーム式薄型基板搬送ロボッ
トの正面図である。FIG. 8 is a front view of a conventional double arm type thin substrate transfer robot.
１ 機台 ２ ベースアーム ２ａ 長手方向中央位置（回転中心位置） ２ｂ 一方の先端部 ２ｃ 他方の先端部 ３ ベースアーム用駆動装置 ４ 第１アーム ４ａ 元部（回転中心位置） ４ｂ 先端部 ５ 第１ハンド ５ａ 元部（回転中心位置） ６ 第１リンク体 ７ 第２アーム ７ａ 元部（回転中心位置） ７ｂ 先端部 ８ コ字状部材（干渉防止部材） ８ａ 元部 ８ｂ 先端部 ９ 第２ハンド ９ａ 元部（回転中心位置） １０ 第２リンク体 １１ 第１アーム用駆動装置 １２ 第２アーム用駆動装置 １３ 第１ハンド用駆動装置 １４ 第１ベースアーム側プーリー １５ 第１ハンド側プーリー １６ 第１タイミングベルト １７ 第２ハンド用駆動装置 １８ 第２ベースアーム側プーリー １９ 第２ハンド側プーリー ２０ 第２タイミングベルト２０ ２３ 薄型基板 ｎ1 ベースアーム２の回転中心位置２ａから第１ア
ーム４の回転中心位置４ａまでの水平距離 ｎ2 第１アーム７の回転中心位置４ａから第１ハン
ド５の回転中心位置５ａまでの水平距離 ｎ3 ベースアーム２の回転中心位置２ａから第２ア
ーム７の回転中心位置７ａまでの水平距離 ｎ4 第２アーム７の回転中心位置７ａから第２ハン
ド９の回転中心位置９ａまでの水平距離 Ｌ 仮想線 θ1 ベースアーム２と第１アーム４とのなす角度 θ2 ベースアーム２と第２アーム７とのなす角度 θ3 第１アーム４と第１ハンド５とのなす角度 θ4 第２アーム７と第２ハンド９とのなす角度DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Machine base 2 Base arm 2a Longitudinal center position (rotation center position) 2b One end 2c The other end 3 Base arm drive device 4 First arm 4a Base (rotation center position) 4b Tip 5 First Hand 5a Base (rotation center position) 6 First link body 7 Second arm 7a Base (rotation center position) 7b Tip 8 U-shaped member (interference prevention member) 8a Base 8b Tip 9 Second hand 9a Base (rotation center position) 10 Second link body 11 First arm drive device 12 Second arm drive device 13 First hand drive device 14 First base arm side pulley 15 First hand side pulley 16 First timing second hand-side pulley 20 and the second timing belt belt 17 second hand drive unit 18 second base arm side pulley 19 20 23 thin substrate n 1 Horizontal distance n 3 base arm from the rotation center position 2a of Suamu 2 from the rotation center position 4a of the horizontal distance n 2 first arm 7 to the rotation center position 4a of the first arm 4 to the rotational center position 5a of the first hand 5 2 Horizontal distance from the rotation center position 2a of the second arm 7 to the rotation center position 7a of the second arm 7 n 4 Horizontal distance from the rotation center position 7a of the second arm 7 to the rotation center position 9a of the second hand 9 L Virtual line θ 1 a base arm 2 and the first arm 4 and the angle theta 2 base arm 2 and the angle theta 4 second arm 7 with the angle theta 3 first arm 4 of the second arm 7 and the first hand 5 of the second Angle made with hand 9
Claims (4)
て水平面上を双方向に回転可能なベースアームと、 前記ベースアームの長手方向中央位置に直結され、前記
機台の内部に配設されるベースアーム用駆動装置と、 前記ベースアームの一方の先端部に延設され元部を中心
として水平面上を回転可能な第１アームと、該第１アー
ムの先端部に延設され元部を中心として水平面上を回転
可能な薄型基板保持用第１ハンドとからなり、前記第１
アームの回転中心位置から前記第１ハンドの回転中心位
置までの水平距離が前記ベースアームの回転中心位置か
ら前記第１アームの回転中心位置までの水平距離と一致
する第１リンク体と、 前記ベースアームの他方の先端部に延設され元部を中心
として水平面上を回転可能な第２アームと、該第２アー
ムの先端部に延設され元部を中心として水平面上を回転
可能な薄型基板保持用第２ハンドと、前記第１ハンドに
保持される薄型基板と当該第２リンク体との衝突を回避
するための干渉防止部材とからなり、前記第２アームの
回転中心位置から前記第２ハンドの回転中心位置までの
水平距離が前記ベースアームの回転中心位置から前記第
２アームの回転中心位置までの水平距離と一致する第２
リンク体と、 前記第１アームの元部に直結され、第１リンク体駆動時
に前記ベースアームの回転方向と逆方向に前記第１アー
ムを回転させる第１アーム用駆動装置と、 前記第２アームの元部に直結され、第２リンク体駆動時
に前記ベースアームの回転方向と逆方向に前記第２アー
ムを回転させる第２アーム用駆動装置と、 前記第１アームの内部に配設され、第１リンク体駆動時
に前記ベースアームの回転方向と同一方向に前記第１ハ
ンドを回転させる第１ハンド用駆動装置と、 前記第２アームの内部に配設され、第２リンク体駆動時
に前記ベースアームの回転方向と同一方向に前記第２ハ
ンドを回転させる第２ハンド用駆動装置と、 を備えることを特徴とする薄型基板搬送ロボット。1. A machine base, a base arm disposed above the machine base and capable of bidirectional rotation on a horizontal plane about a longitudinal center position, and directly connected to the longitudinal center position of the base arm, A driving device for a base arm disposed inside the machine base, a first arm extending at one end of the base arm and rotatable on a horizontal plane about an original portion; A first hand for holding a thin substrate, which is extended to the distal end and is rotatable on a horizontal plane about the original portion;
A first link body in which a horizontal distance from a rotation center position of an arm to a rotation center position of the first hand matches a horizontal distance from a rotation center position of the base arm to a rotation center position of the first arm; A second arm extending at the other end of the arm and rotatable on a horizontal plane about the base, and a thin substrate extending at the tip of the second arm and rotatable on the horizontal about the base. A second hand for holding; and an interference preventing member for avoiding a collision between the thin substrate held by the first hand and the second link body. A second horizontal distance from the rotation center position of the base arm to the rotation center position of the second arm, the horizontal distance from the rotation center position of the hand being the same as the horizontal distance
A link body, a first arm drive device directly connected to a base of the first arm, and rotating the first arm in a direction opposite to a rotation direction of the base arm when driving the first link body; and the second arm. A second arm drive device that is directly connected to the base of the first arm and that rotates the second arm in a direction opposite to the rotation direction of the base arm when the second link body is driven; A first hand drive device for rotating the first hand in the same direction as the rotation direction of the base arm when driving the one link body; and a base arm disposed inside the second arm when driving the second link body. A second hand drive device for rotating the second hand in the same direction as the rotation direction of the thin substrate transfer robot.
ースアームの二倍の回転速度で回転させ、 前記第１ハンド用駆動装置は、前記ベースアームの前記
一方の先端部に直結される第１ベースアーム側プーリー
と、前記第１ベースアーム側プーリーの二倍の外径寸法
を有し前記第１ハンドの元部に直結される第１ハンド側
プーリーと、前記第１ベースアーム側プーリー、前記第
１ハンド側プーリー間に掛け渡される第１タイミングベ
ルトにより構成され、 前記第２アーム用駆動装置は、前記第２アームを前記ベ
ースアームの二倍の回転速度で回転させ、 前記第２ハンド用駆動装置は、前記ベースアームの前記
他方の先端部に直結される第２ベースアーム側プーリー
と、前記第２ベースアーム側プーリーの二倍の外径寸法
を有し前記第２ハンドの元部側に直結される第２ハンド
側プーリーと、前記第２ベースアーム側プーリー、前記
第２ハンド側プーリー間に掛け渡される第２タイミング
ベルトにより構成されることを特徴とする薄型基板搬送
ロボット。2. The drive device for the first arm according to claim 1, wherein the drive device for the first arm rotates the first arm at twice the rotation speed of the base arm. A first base arm-side pulley directly connected to the one end portion, and a first hand-side pulley having an outer diameter twice as large as the first base arm-side pulley and directly connected to the base of the first hand. And a first timing belt that is stretched between the first base arm-side pulley and the first hand-side pulley. The second arm drive device is configured to set the second arm to twice as large as the base arm. Rotating at a rotation speed, wherein the second hand drive device includes a second base arm side pulley directly connected to the other end of the base arm, and a second base arm side pulley. A second hand-side pulley having a double outer diameter and directly connected to the base side of the second hand; a second timing belt stretched between the second base arm-side pulley and the second hand-side pulley A thin substrate transfer robot characterized by comprising:
面的姿勢は、第１リンク体と第２リンク体とが前記ベー
スアームの回転中心位置から長手方向と直交する方向に
伸ばした仮想線を対称軸とする線対称関係を有し、か
つ、第１アーム及び第２アームと前記ベースアームとの
なす角度が約６０°、第１アームと第１ハンドとのなす
角度及び第２アームと第２ハンドとのなす角度がそれぞ
れ約６０°となるよう設定されることを特徴とする薄型
基板搬送ロボット。3. The flat attitude of the first link body and the second link body when the first link body and the second link body are not driven, according to claim 2, wherein the first link body and the second link body are positioned from the rotation center position of the base arm. It has a line symmetry relationship with a virtual line extending in a direction orthogonal to the longitudinal direction as a symmetry axis, and the angle between the first arm and the second arm and the base arm is about 60 °, and the first arm and the second arm A thin substrate transfer robot, wherein an angle formed by one hand and an angle formed by a second arm and a second hand are respectively set to about 60 °.
面的姿勢は、第１リンク体と第２リンク体とが前記ベー
スアームの回転中心位置を対称点とする点対称関係を有
し、かつ、第１アーム及び第２アームと前記ベースアー
ムとのなす角度が約６０°、第１アームと第１ハンドと
のなす角度及び第２アームと第２ハンドとのなす角度が
それぞれ約６０°となるよう設定されることを特徴とす
る薄型基板搬送ロボット。4. The non-driving planar attitude of the first link body and the second link body according to claim 2, wherein the first link body and the second link body are positioned at the rotation center position of the base arm. It has a point symmetry relationship as a point of symmetry, and the angle between the first arm and the second arm and the base arm is about 60 °, the angle between the first arm and the first hand, and the angle between the first arm and the second hand. A thin substrate transfer robot, wherein an angle between each of the two hands is set to be about 60 degrees.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7785598A JPH11277467A (en) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | Thin substrate carrying robot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7785598A JPH11277467A (en) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | Thin substrate carrying robot |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11277467A true JPH11277467A (en) | 1999-10-12 |
Family
ID=13645689
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7785598A Withdrawn JPH11277467A (en) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | Thin substrate carrying robot |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11277467A (en) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002172572A (en) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Double arm and robot having it |
| JP2002172571A (en) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Double arm and robot having it |
| JP2005014105A (en) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Nachi Fujikoshi Corp | Industrial robot |
| JP2006013493A (en) * | 2004-06-21 | 2006-01-12 | Asml Netherlands Bv | Lithography apparatus and device manufacturing method |
| JP2011161554A (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Conveyor |
| JP2012514569A (en) * | 2009-01-11 | 2012-06-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Robot system, apparatus and method for transporting substrates in electronic device manufacturing |
| JP2013541843A (en) * | 2010-09-15 | 2013-11-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Low-arm dual-arm vacuum robot |
| US9033644B2 (en) | 2012-07-05 | 2015-05-19 | Applied Materials, Inc. | Boom drive apparatus, multi-arm robot apparatus, electronic device processing systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing systems with web extending from hub |
| JP2018015837A (en) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
| CN109476016A (en) * | 2016-07-28 | 2019-03-15 | 日本电产三协株式会社 | Industrial robot |
| CN110505945A (en) * | 2017-02-15 | 2019-11-26 | 柿子技术公司 | Material with multiple end effectors is operated machine people |
-
1998
- 1998-03-25 JP JP7785598A patent/JPH11277467A/en not_active Withdrawn
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002172571A (en) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Double arm and robot having it |
| JP2002172572A (en) * | 2000-12-05 | 2002-06-18 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Double arm and robot having it |
| JP2005014105A (en) * | 2003-06-23 | 2005-01-20 | Nachi Fujikoshi Corp | Industrial robot |
| JP2006013493A (en) * | 2004-06-21 | 2006-01-12 | Asml Netherlands Bv | Lithography apparatus and device manufacturing method |
| US8784033B2 (en) | 2009-01-11 | 2014-07-22 | Applied Materials, Inc. | Robot systems, apparatus and methods for transporting substrates |
| JP2012514569A (en) * | 2009-01-11 | 2012-06-28 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Robot system, apparatus and method for transporting substrates in electronic device manufacturing |
| US9457464B2 (en) | 2009-01-11 | 2016-10-04 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing systems and robot apparatus for transporting substrates in electronic device manufacturing |
| JP2011161554A (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Conveyor |
| US8747049B2 (en) | 2010-02-08 | 2014-06-10 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Transferring apparatus |
| JP2013541843A (en) * | 2010-09-15 | 2013-11-14 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Low-arm dual-arm vacuum robot |
| US9033644B2 (en) | 2012-07-05 | 2015-05-19 | Applied Materials, Inc. | Boom drive apparatus, multi-arm robot apparatus, electronic device processing systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing systems with web extending from hub |
| JP2018015837A (en) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
| WO2018021268A1 (en) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | Industrial robot |
| CN109476016A (en) * | 2016-07-28 | 2019-03-15 | 日本电产三协株式会社 | Industrial robot |
| CN109476015A (en) * | 2016-07-28 | 2019-03-15 | 日本电产三协株式会社 | Industrial robot |
| CN109476015B (en) * | 2016-07-28 | 2022-01-11 | 日本电产三协株式会社 | Industrial robot |
| CN110505945A (en) * | 2017-02-15 | 2019-11-26 | 柿子技术公司 | Material with multiple end effectors is operated machine people |
| CN110505945B (en) * | 2017-02-15 | 2024-01-19 | 柿子技术公司 | Material handling robot with multiple end effectors |
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