JP2008264894A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】離間二軸(フロッグレッグタイプ)の基板搬送装置10では、回動軸1,2に設けられた第1アーム11,12の長さと、第1アームと基板支持体の間に設けられた第2アーム21,22の長さが異なる場合があるが、本発明の基板搬送装置10では、死点脱出機構15の回転力の伝達は、死点位置では解除されるため、長さが異なる場合であっても動作不能になることはない。
【選択図】図1
Description
このため、搬送室を中心としてその周囲に複数の処理室を配し、ゲートバルブを介して連結することによって種々の基板処理を真空中で一貫して行うことができるマルチチャンバ装置において、搬送室から各々の処理室へ基板を自動的に搬入・搬出するための基板搬送装置が用いられている。
すなわち、第2アーム21は、第1アーム11の回転運動に連動して回転するものであるため、基板Wの搬送過程において第1アーム11の回転角に加えて回動軸2の回動量がダイレクトに伝達される。
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、死点通過を円滑に行いながら第2アームの過拘束を防ぐことができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
また、本発明は、前記第1アームの軸距と、前記第2アームの軸距は異なる大きさにされた基板搬送装置である。
また、本発明は、前記死点脱出機構は、前記回動軸に連絡する回転駆動部と、前記第2アーム又は前記基板支持体に設けられ前記基板支持体が上記死点位置を通過する時に前記回転駆動部と係合する係合部とを有する基板搬送装置である。
また、本発明は、前記回転駆動部は、前記回動軸と同心的に設置された固定ギヤと、前記第1アームの一端近傍に軸支され前記固定ギヤと噛合する第1回転ギヤと、前記第1アームの他端近傍に軸支される第2回転ギヤと、前記第1回転ギヤの回転力を前記第2回転ギヤヘ伝連する回転力伝達部材とを有し、前記係合部は、前記第1アームと前記第2アームとの結合軸に固定され、前記第2回転ギヤと係合可能な係合歯を外周部に部分的に有する基板搬送装置である。
また、本発明は、上記回転駆動部は、前記回動軸の回転軸心をこれと直交する方向に変換する駆動軸変換部と、変換された回転軸心のまわりに回転する回転ギヤとを有し、前記係合部は、前記基板支持体の下方側に設けられ前記回転ギヤと係合可能な平ギヤである基板搬送装置である。
本発明の搬送装置は、ギア部材33、34に替え、図8(b)に示すように、第2アーム21、22に対して固定されたプーリ43、44と、プーリ43、44間に「8」字型に掛け渡したベルト(又はチェーン)で構成してもよい。
図1は本発明の第1の実施の形態による基板搬送装置10の構成を示している。
本実施の形態の基板搬送装置10は、互いに異なる方向に回転する一対の回動軸1、2を具備するベース3と、回動軸1、2を各々一端に接続された一対の第1アーム11、12と、これら第1アーム11、12の各々の他端にアーム結合軸13、14を介して一端が回転可能に結合された一対の第2アーム21、22と、これら第2アーム21、22の各々の他端に回転可能に結合された基板支持体4とを備えている。
なお、回動軸1、2には、両方に駆動モータ等の駆動源(図示略)を接続し、それぞれ独立に回転させてもよいし、何れか一方に接続し、他方の回転軸の回転を静止させてもよい。
この場合、これらの回動軸1、2は両方とも駆動源に接続し、回動軸1、2が相対的に逆方向に回転することで基板支持体4が前後方向に移動し、互いに同一方向に回転するとき、基板支持体4が旋回移動することになる。
なお、基板支持体4がベース3の後方位置から前方位置へ移動される際も上述と同様な作用が行われる。この場合、第2回転ギヤ18の回転方向は上記と逆方向となる。
図4および図5は本発明の第2の実施の形態による基板搬送装置30の構成を示しており、図4は基板搬送装置30の平面図、図5は基板搬送装置30の正面図である。なお、各図において上述の第1の実施の形態と対応する部分については同一の符号を付する。
なお、基板支持体4がベース3の後方位置から前方位置へ移動される際も上述と同様な作用が行われる。この場合、回転ギヤ39の回転方向は上記と逆方向となる。
例えば以上の第1の実施の形態では、死点脱出機構15を構成する係合ギヤ20において、ベース3の直上位置に基板支持体4が位置するリンクの死点位置を通過するときのみ第2回転ギヤ18と係合し得る回転角のみ係合歯20aを形成したが、この係合歯20aを係合ギヤ20の外周に更に180°隔てた位置にも形成することで、θ=180°(又は−180°)となるアーム位置(死点位置)における駆動制御も安定かつ高精度に行うことが可能となる。
この死点脱出機構は、能動円盤82と、従動円盤81と、伝達機構89と、従動ギア84とを有している。
能動円盤82は、一対の回動軸1、2のうち、一方の回動軸(ここでは左腕側の回動軸2)に配置されており、従動円盤81は、他方の回動軸(ここでは右腕側の回動軸1)に配置されている(図9では、回動軸1、2は、その回転中心P1、P2だけが示されている)。
180°−θ0<ω<180°+θ0の範囲以外では係合は解除され、能動円盤82と従動円盤81は相互に無関係に回転できる。図10(a)は、係合が解除された状態である。
なお、伝達機構89の内部構成の一例を説明すると、この伝達機構89は、伝達ギア83と連結ロッド87を有している。
従動円盤81と伝達ギア83の表面又は裏面の外周付近は連結ロッド87で結合され、従動円盤81と伝達ギア83は、同方向同角度に回転するように構成されている。
この場合、能動円盤82が従動円盤81を回転させる回転力が、それに設けられた歯57によって隣接する伝達ギアを回転させ、他の伝達ギアを介して従動ギア84に伝達され、第2のアーム21を、能動円盤82と同方向に回転させ、死点を脱出させる。
なお、本発明は、真空搬送室等の真空雰囲気で用いられる基板搬送装置への適用例に限らず、大気中で使用される基板搬送装置にも勿論適用可能である。
10、30…基板搬送装置
11、12…第1アーム
13、14…アーム結合軸
15、80…死点脱出機構
16…固定ギヤ
17…第1回転ギヤ
18…第2回転ギヤ
19…リンク(回転力伝達部材)
20…係合ギヤ(係合部)
21、22…第2アーム
31、32…結合軸
35…死点脱出機構
36、38…かさ歯車(駆動軸変換部)
39…回転ギヤ
41…ラック(平ギヤ)
Claims (5)
- 少なくとも一方に駆動源が接続され、離間して配置された一対の回動軸と、
これら一対の回動軸に一端が接続された一対の第1アームと、
これら一対の第1アームの各々の他端に一端が回転可能に結合された一対の第2アームと、
これら一対の第2アームの各々の他端に回転可能に結合された基板支持体とを備えた基板搬送装置において、
前記一対の第1アーム同士の軸距は等しくされ、前記一対の第2アーム同士の軸距は等しくされ、
前記基板支持体と前記一対の第2アームとが結合された結合位置間の距離が一定にされ、
前記結合位置間を結ぶ線分に対する前記一対の第2アームの角度が等しい状態を維持する姿勢制御装置を有し、
前記第1アームと前記第2アームとが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、前記第2アームに対して回転力を付与する死点脱出機構を備えた基板搬送装置。 - 前記第1アームの軸距と、前記第2アームの軸距は異なる大きさにされた請求項1記載の基板搬送装置。
- 前記死点脱出機構は、前記回動軸に連絡する回転駆動部と、
前記第2アーム又は前記基板支持体に設けられ前記基板支持体が上記死点位置を通過する時に前記回転駆動部と係合する係合部とを有する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の基板搬送装置。 - 前記回転駆動部は、前記回動軸と同心的に設置された固定ギヤと、
前記第1アームの一端近傍に軸支され前記固定ギヤと噛合する第1回転ギヤと、
前記第1アームの他端近傍に軸支される第2回転ギヤと、
前記第1回転ギヤの回転力を前記第2回転ギヤヘ伝連する回転力伝達部材とを有し、
前記係合部は、前記第1アームと前記第2アームとの結合軸に固定され、前記第2回転ギヤと係合可能な係合歯を外周部に部分的に有する請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の基板搬送装置。 - 上記回転駆動部は、前記回動軸の回転軸心をこれと直交する方向に変換する駆動軸変換部と、
変換された回転軸心のまわりに回転する回転ギヤとを有し、
前記係合部は、前記基板支持体の下方側に設けられ前記回転ギヤと係合可能な平ギヤである請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の基板搬送装置。
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