JP7097760B2 - 搬送装置および搬送方法 - Google Patents
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Description
図1は、本開示の一実施形態における処理システム100の一例を示す概略平面図である。図2は、搬送室10の断面の一例を示す図である。処理システム100は、例えば図1に示されるように、マルチチャンバタイプであり、搬送室10、ロードロック室20、複数の第1の処理室30-1~30-2、複数の第2の処理室40-1~40-3、および制御装置80を備える。なお、以下では、複数の第1の処理室30-1~30-2のそれぞれを区別することなく総称する場合に第1の処理室30と記載し、複数の第2の処理室40-1~40-3のそれぞれを区別することなく総称する場合に第2の処理室40と記載する。また、第1の処理室30と第2の処理室40とを区別することなく総称する場合に処理室と記載する。
図3は、搬送装置70の動作の一例を説明するための図である。本実施形態において、搬送装置70は、処理前の基板Sをロードロック室20から取り出していずれかの第1の処理室30へ搬送する。そして、搬送装置70は、第1の処理室30において第1の処理が行われた基板Sを、第1の処理室30からいずれかの第2の処理室40へ搬送する。そして、搬送装置70は、第2の処理室40において第2の処理が行われた基板Sを、第2の処理室40からロードロック室20へ搬送する。
図9は、基板S上の位置の誤差の実験結果の一例を示す図である。図9に示された実験結果では、基板Sをロードロック室20から第1の処理室30へ搬送し、ベース71の回転中心から約4m離れた基板S上の位置の誤差を測定する処理を複数回行った実験結果が例示されている。また、図9に示された実験結果では、所定角度αは0.5°である。
次に、所定角度αおよび所定角度α回転させる際の回転速度について実験を行った。図10は、所定角度および回転速度の組合せ毎の誤差の値の一例を示す図である。なお、図10に示された回転速度は、台形制御やS字制御等が行われる回転速度における最大値を表す。また、図10に示された例において、低速は21°/secであり、中速は低速の2倍の回転速度であり、高速は低速の4倍の回転速度である。
図11は、基板Sの搬送方法の一例を示すフローチャートである。図11に例示されたフローチャートは、制御装置80が処理システム100の各部を制御することにより実施される。制御装置80は、例えば、搬送元のロードロック室20、第1の処理室30、または第2の処理室40から基板Sが搬出された場合に、図11のフローチャートに示された処理を開始する。
なお、本願に開示された技術は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
D’ 第2の径方向
G ゲートバルブ
S 基板
100 処理システム
10 搬送室
20 ロードロック室
30 第1の処理室
40 第2の処理室
50 キャリア
60 搬送室
61 搬送装置
70 搬送装置
71 ベース
72 アーム
73 支持軸
74 駆動部
80 制御装置
81 テーブル
90 角度範囲
Claims (8)
- 周囲に複数の処理室が接続された搬送室内に設けられ、それぞれの前記処理室との間で被処理基板を搬送する搬送装置であって、
前記搬送室内に回転可能に設けられたベース部材と、
前記ベース部材上に設けられ、前記被処理基板を支持するアームと、
動力源からギアを介し伝達された動力により、前記ベース部材を、第1の回転方向または前記第1の回転方向とは反対の方向である第2の回転方向に回転させる駆動部と
を備え、
前記駆動部は、
前記アームによって支持されている前記被処理基板を前記処理室に搬送させる場合、前記アームの方向が、前記ベース部材の回転中心から前記処理室へ向かう方向である第1の径方向から前記第2の回転方向へ所定角度ずれた方向である第2の径方向となるように前記ベース部材を回転させた後に、前記アームの方向が、前記第2の径方向から前記第1の径方向となるように前記ベース部材を前記所定角度、前記第1の回転方向へ回転させ、
複数の前記処理室は、前記駆動部によって前記アームの方向が前記第2の径方向となるように前記ベース部材が回転させられる際に、前記ベース部材が第3の回転方向に回転させられる第1の処理室と、前記ベース部材が前記第3の回転方向とは反対の方向である第4の回転方向に回転させられる第2の処理室とに分けられ、
前記第1の処理室および前記第2の処理室のうち、多い方の処理室に対応する前記第3の回転方向または前記第4の回転方向が、前記第1の回転方向に設定されることを特徴とする搬送装置。 - 前記所定角度は、前記被処理基板が複数の前記処理室のいずれに搬送される場合でも同じ角度であることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記所定角度は、0.5°以上1.0°以下の範囲内の角度であることを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。
- 前記駆動部は、
前記アームの方向が前記第2の径方向から前記第1の径方向となるように前記ベース部材を前記第1の回転方向へ回転させる際の回転速度を、前記アームの方向が前記第2の径方向となるように前記ベース部材を回転させる際の回転速度である第1の回転速度よりも遅い第2の回転速度で回転させることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の搬送装置。 - 前記第2の回転速度は、前記第1の回転速度の1/2以下であることを特徴とする請求項4に記載の搬送装置。
- 前記第2の回転速度は、前記被処理基板が複数の前記処理室のいずれに搬送される場合でも同じ速度であることを特徴とする請求項4または5に記載の搬送装置。
- 前記被処理基板は、FPD(Flat Panel Display)用のガラス基板であることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の搬送装置。
- 周囲に複数の処理室が接続された搬送室内に回転可能に設けられたベース部材と、
前記ベース部材上に設けられ、それぞれの前記処理室との間で搬送される被処理基板を支持するアームと、
動力源からギアを介し伝達された動力により、前記ベース部材を、第1の回転方向または前記第1の回転方向とは反対の方向である第2の回転方向に回転させる駆動部と
を備える搬送装置によって行われる搬送方法であって、
前記アームによって支持されている前記被処理基板を前記処理室に搬送させる場合、前記アームの方向が前記ベース部材の回転中心から前記処理室へ向かう方向である第1の径方向から前記第2の回転方向へ所定角度ずれた方向である第2の径方向となるように前記ベース部材を回転させる工程と、
前記アームの方向が前記第2の径方向から前記第1の径方向となるように前記ベース部材を前記所定角度、前記第1の回転方向へ回転させる工程と
を含み、
複数の前記処理室は、前記駆動部によって前記アームの方向が前記第2の径方向となるように前記ベース部材が回転させられる際に、前記ベース部材が第3の回転方向に回転させられる第1の処理室と、前記ベース部材が前記第3の回転方向とは反対の方向である第4の回転方向に回転させられる第2の処理室とに分けられ、
前記第1の処理室および前記第2の処理室のうち、多い方の処理室に対応する前記第3の回転方向または前記第4の回転方向が、前記第1の回転方向に設定されることを特徴とする搬送方法。
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017092246A (ja) | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 株式会社Screenホールディングス | 基板搬送装置、基板処理システム、および基板搬送方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06187037A (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-08 | Victor Co Of Japan Ltd | 移動体の停止位置制御装置 |
JPH06216217A (ja) * | 1993-01-12 | 1994-08-05 | Nissin High Voltage Co Ltd | ウエハ搬送システム |
JPH10209240A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-07 | Kaijo Corp | 昇降台付方向転換装置 |
DE112005001989T5 (de) * | 2004-08-17 | 2007-08-02 | Mattson Technology Inc., Fremont | Kostengünstige Prozessierplattform mit hohem Durchsatz |
JP4490341B2 (ja) * | 2005-07-05 | 2010-06-23 | 株式会社ダイヘン | リンク装置および搬送ロボット |
JP4845903B2 (ja) * | 2008-02-05 | 2011-12-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ワークハンドリング装置及び部品搭載装置 |
JP2014038990A (ja) * | 2012-08-20 | 2014-02-27 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置および基板処理システム |
US9653332B1 (en) * | 2013-01-02 | 2017-05-16 | Christos Tsironis | Wafer probe holder for planarity and orientation adjustment |
JP6471620B2 (ja) * | 2015-06-15 | 2019-02-20 | 協立化学産業株式会社 | エポキシ化合物、部分エステル化エポキシ化合物及びそれらを含む硬化性組成物 |
JP6604890B2 (ja) * | 2016-04-04 | 2019-11-13 | 株式会社荏原製作所 | 基板搬送装置および基板処理装置ならびに結露抑制方法 |
JP6667400B2 (ja) | 2016-08-12 | 2020-03-18 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法およびプラズマエッチングシステム |
-
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017092246A (ja) | 2015-11-10 | 2017-05-25 | 株式会社Screenホールディングス | 基板搬送装置、基板処理システム、および基板搬送方法 |
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