JPH06216217A - ウエハ搬送システム - Google Patents
ウエハ搬送システムInfo
- Publication number
- JPH06216217A JPH06216217A JP1919693A JP1919693A JPH06216217A JP H06216217 A JPH06216217 A JP H06216217A JP 1919693 A JP1919693 A JP 1919693A JP 1919693 A JP1919693 A JP 1919693A JP H06216217 A JPH06216217 A JP H06216217A
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- JP
- Japan
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- positioning
- robot
- data
- stage
- revolution
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 機械系におけるバックラッシュ、ロストモー
ションに関係なく高精度で位置決めを行うこと。 【構成】 モ−タ１１は、中央処理ユニット１３、駆動
ユニット１４からなる制御装置１２によって制御され、
ウエハ搬送システムにおけるロボットの旋回位置決めを
行う。中央処理ユニットのメモリには、複数の旋回位置
（ステージ）に対し、旋回位置決め方向別に位置データ
が格納されており、同一位置における位置データの差は
機械的ガタ分に相当する。現在の位置から新しい位置へ
の旋回位置決めに際し、先ず旋回方向が判断され、この
旋回方向における新しい位置のデータと、現在位置のデ
ータとの差に基づいてモ−タは駆動制御される。この現
在位置のデータは前回の位置決め時に選択された同位置
のデータである。
ションに関係なく高精度で位置決めを行うこと。 【構成】 モ−タ１１は、中央処理ユニット１３、駆動
ユニット１４からなる制御装置１２によって制御され、
ウエハ搬送システムにおけるロボットの旋回位置決めを
行う。中央処理ユニットのメモリには、複数の旋回位置
（ステージ）に対し、旋回位置決め方向別に位置データ
が格納されており、同一位置における位置データの差は
機械的ガタ分に相当する。現在の位置から新しい位置へ
の旋回位置決めに際し、先ず旋回方向が判断され、この
旋回方向における新しい位置のデータと、現在位置のデ
ータとの差に基づいてモ−タは駆動制御される。この現
在位置のデータは前回の位置決め時に選択された同位置
のデータである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハ搬送システムの
機械系におけるバックラッシュ、ロストモーション等の
機械的ガタに関係なく、高精度で位置決めを行うことが
できるウエハ搬送システムに関する。
機械系におけるバックラッシュ、ロストモーション等の
機械的ガタに関係なく、高精度で位置決めを行うことが
できるウエハ搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１はウエハ搬送システムにおけるロボ
ット部とウエハカセット部について、その配置構成を簡
単化して示す平面図であり、図２は同じくこれら部分に
ついての側面図である。複数の所要の位置、例えば３つ
のステージＡ，Ｂ，Ｃにそれぞれウエハカセット１が位
置し、これらウエハカセットはウエハ２が収納される複
数のウエハ収納段を有する。これらウエハカセット１に
対し、ウエハ２を出し入れ搬送することができる位置に
ウエハ搬送システムのロボット３が設けられている。
ット部とウエハカセット部について、その配置構成を簡
単化して示す平面図であり、図２は同じくこれら部分に
ついての側面図である。複数の所要の位置、例えば３つ
のステージＡ，Ｂ，Ｃにそれぞれウエハカセット１が位
置し、これらウエハカセットはウエハ２が収納される複
数のウエハ収納段を有する。これらウエハカセット１に
対し、ウエハ２を出し入れ搬送することができる位置に
ウエハ搬送システムのロボット３が設けられている。
【０００３】ロボット３のロボット本体４にウエハ載置
フォーク５が直線方向に移動可能に支持されており、伸
縮動作用サーボモ−タ６を駆動することにより、フォー
ク５はロボット本体に対し矢印Ｌで示すように伸縮移動
する。ロボット本体４の旋回軸７は、タイミングプーリ
８、タイミングベルト９、及び分解能向上、慣性モーメ
ント低減用の減速機１０を介して旋回動作用サーボモ−
タ１１に連結されており、同モ−タを駆動することによ
りウエハ載置フォーク５を支持するロボット本体４は矢
印Ｓで示すように旋回する。
フォーク５が直線方向に移動可能に支持されており、伸
縮動作用サーボモ−タ６を駆動することにより、フォー
ク５はロボット本体に対し矢印Ｌで示すように伸縮移動
する。ロボット本体４の旋回軸７は、タイミングプーリ
８、タイミングベルト９、及び分解能向上、慣性モーメ
ント低減用の減速機１０を介して旋回動作用サーボモ−
タ１１に連結されており、同モ−タを駆動することによ
りウエハ載置フォーク５を支持するロボット本体４は矢
印Ｓで示すように旋回する。
【０００４】ウエハ搬送システムにおけるロボット制御
系の構成を図３に示す。例えば旋回動作用サーボモ−タ
１１は制御装置１２によって駆動制御されており、同制
御装置は中央処理ユニット１３及び駆動ユニット１４か
らなる。位置決め指令Ｉが導入される中央処理ユニット
１３はマイクロプロセッサ、メモリを有するマイクロコ
ンピュータ形式のものであり、そのメモリにはプログラ
ム及び位置設定データが格納されている。そして駆動ユ
ニット１４は、中央処理ユニット１３からの出力パルス
とサーボモ−タ１１に結合されたパルスジェネレータ１
５からの実回動パルスが導入される偏差カウンタ１
４1、Ｄ／Ａ変換器１４2及びサーボ増幅器１４3を有し
て構成されている。
系の構成を図３に示す。例えば旋回動作用サーボモ−タ
１１は制御装置１２によって駆動制御されており、同制
御装置は中央処理ユニット１３及び駆動ユニット１４か
らなる。位置決め指令Ｉが導入される中央処理ユニット
１３はマイクロプロセッサ、メモリを有するマイクロコ
ンピュータ形式のものであり、そのメモリにはプログラ
ム及び位置設定データが格納されている。そして駆動ユ
ニット１４は、中央処理ユニット１３からの出力パルス
とサーボモ−タ１１に結合されたパルスジェネレータ１
５からの実回動パルスが導入される偏差カウンタ１
４1、Ｄ／Ａ変換器１４2及びサーボ増幅器１４3を有し
て構成されている。
【０００５】中央処理ユニット１３におけるメモリの位
置設定データエリアには、ステージＡ，Ｂ，Ｃのウエハ
カセット１に対するロボットの旋回位置データが例えば
次の表１に示すように格納されている。 なお、これらデータは旋回原点に対する値である。
置設定データエリアには、ステージＡ，Ｂ，Ｃのウエハ
カセット１に対するロボットの旋回位置データが例えば
次の表１に示すように格納されている。 なお、これらデータは旋回原点に対する値である。
【０００６】ロボット本体４がステージＡのウエハカセ
ット１に対する位置にあるときに、ステージＢのウエハ
カセット１に対する位置決め指令Ｉが中央処理ユニット
１３に与えられると、同ユニットはステージＢのデータ
値２１７５６と現位置であるステージＢの値１２３４か
ら、２１７５６−１２３４＝（＋）２０５２２を演算
し、その極性から反時計方向旋回を判断し、２０５２２
個のパルスを駆動ユニット１４の偏差カウンタ１４
1に、正回転パルス列Ｐｆとして順次与える。偏差カウ
ンタ１４1のカウント出力をＤ／Ａ変換器１４2によって
正回転アナログ信号に変換し、同信号に応動するサーボ
増幅器１４3によってサーボモ−タ１１を正回転駆動
し、ロボット本体４を反時計方向に旋回させる。サーボ
モ−タ１１の回転に伴うパルスジェネレータ１５からの
実回動パルスＰｇが偏差カウンタ１４1に帰還され、同
カウンタはパルス列Ｐｆのカウント値から実回動パルス
Ｐｇを減算カウントする。このようにして、パルス列Ｐ
ｆが終了し、偏差カウンタ１４1のカウント出力がゼロ
になるまでサーボモ−タ１１を駆動することにより、ロ
ボット本体４をステージＢに旋回位置決めする。
ット１に対する位置にあるときに、ステージＢのウエハ
カセット１に対する位置決め指令Ｉが中央処理ユニット
１３に与えられると、同ユニットはステージＢのデータ
値２１７５６と現位置であるステージＢの値１２３４か
ら、２１７５６−１２３４＝（＋）２０５２２を演算
し、その極性から反時計方向旋回を判断し、２０５２２
個のパルスを駆動ユニット１４の偏差カウンタ１４
1に、正回転パルス列Ｐｆとして順次与える。偏差カウ
ンタ１４1のカウント出力をＤ／Ａ変換器１４2によって
正回転アナログ信号に変換し、同信号に応動するサーボ
増幅器１４3によってサーボモ−タ１１を正回転駆動
し、ロボット本体４を反時計方向に旋回させる。サーボ
モ−タ１１の回転に伴うパルスジェネレータ１５からの
実回動パルスＰｇが偏差カウンタ１４1に帰還され、同
カウンタはパルス列Ｐｆのカウント値から実回動パルス
Ｐｇを減算カウントする。このようにして、パルス列Ｐ
ｆが終了し、偏差カウンタ１４1のカウント出力がゼロ
になるまでサーボモ−タ１１を駆動することにより、ロ
ボット本体４をステージＢに旋回位置決めする。
【０００７】そして、この位置において、ロボット３の
ウエハ載置フォーク５を図２の矢印Ｌで示す方向に伸縮
移動操作し、ウエハカセット１に対しウエハ２の出し入
れ操作を行う。なお、ウエハカセット１における所定の
ウエハ収納段へのウエハの出し入れは、ウエハカセット
をエレベータ機構により昇降させて行う。
ウエハ載置フォーク５を図２の矢印Ｌで示す方向に伸縮
移動操作し、ウエハカセット１に対しウエハ２の出し入
れ操作を行う。なお、ウエハカセット１における所定の
ウエハ収納段へのウエハの出し入れは、ウエハカセット
をエレベータ機構により昇降させて行う。
【０００８】同様に、ステージＡからＢを越えてＣ、或
いはステージＢからＣの位置へロボットを動かすときに
は反時計方向の旋回により位置決めし、逆にステージＣ
からＢ、同じくＣからＢを越えてＡ、或いはステージＢ
からＡにロボットを動かすときには、中央処理ユニット
１３から逆回転パルス列Ｐｒを偏差カウンタ１４1に与
え、同カウンタのカウント出力がゼロになるまでサーボ
モ−タ１１を逆回転駆動し、ロボット本体４を時計方向
に旋回させて位置決めする。
いはステージＢからＣの位置へロボットを動かすときに
は反時計方向の旋回により位置決めし、逆にステージＣ
からＢ、同じくＣからＢを越えてＡ、或いはステージＢ
からＡにロボットを動かすときには、中央処理ユニット
１３から逆回転パルス列Ｐｒを偏差カウンタ１４1に与
え、同カウンタのカウント出力がゼロになるまでサーボ
モ−タ１１を逆回転駆動し、ロボット本体４を時計方向
に旋回させて位置決めする。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、制御装
置１２は、位置決め前後のデータの差、偏差カウンタ１
４1の出力がゼロになるようにサーボモ−タ１１したが
ってロボット本体４を制御し、ゼロになれば動作完了と
しているが、これは制御装置１２から見た位置決め完了
であり、サーボモ−タによって駆動される機械系にバッ
クラッシュやロストモーション等の機械的ガタが存在す
る場合には、ロボットを正確に指定位置に位置決めする
ことができない。このことは、ロボット３におけるウエ
ハ載置フォーク５の伸縮位置決めに対しても言える。
置１２は、位置決め前後のデータの差、偏差カウンタ１
４1の出力がゼロになるようにサーボモ−タ１１したが
ってロボット本体４を制御し、ゼロになれば動作完了と
しているが、これは制御装置１２から見た位置決め完了
であり、サーボモ−タによって駆動される機械系にバッ
クラッシュやロストモーション等の機械的ガタが存在す
る場合には、ロボットを正確に指定位置に位置決めする
ことができない。このことは、ロボット３におけるウエ
ハ載置フォーク５の伸縮位置決めに対しても言える。
【００１０】本発明は、機械的ガタの存在に拘らずロボ
ットを高精度に位置決めすることができるウエハ搬送シ
ステムの提供を目的とするものである。
ットを高精度に位置決めすることができるウエハ搬送シ
ステムの提供を目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに、本発明のウエハ搬送システムは、複数の位置決め
方向に駆動されて複数の所定位置にウエハを搬送するロ
ボットと、各位置決め方向別の位置データを有し、位置
決め指令に応答して位置決め方向を判断し、この位置決
め方向の前記位置データに基づいて前記ロボットを駆動
する制御装置とを備えてなることを特徴とするものであ
る。
めに、本発明のウエハ搬送システムは、複数の位置決め
方向に駆動されて複数の所定位置にウエハを搬送するロ
ボットと、各位置決め方向別の位置データを有し、位置
決め指令に応答して位置決め方向を判断し、この位置決
め方向の前記位置データに基づいて前記ロボットを駆動
する制御装置とを備えてなることを特徴とするものであ
る。
【００１２】
【作用】ロボットが位置決めされる同一の位置に対して
も、正方向と逆方向、反時計方向と時計方向等の位置決
め方向別に位置決めデータが用意されるから、そのデー
タに機械的ガタ分に相当する値の差を持たせておくこと
により、機械的ガタの存在に拘らずロボットを高精度に
位置決めすることができる。
も、正方向と逆方向、反時計方向と時計方向等の位置決
め方向別に位置決めデータが用意されるから、そのデー
タに機械的ガタ分に相当する値の差を持たせておくこと
により、機械的ガタの存在に拘らずロボットを高精度に
位置決めすることができる。
【００１３】
【実施例】本発明の実施例について、再び図１ないし図
３を参照して説明する。ロボット３のロボット本体４、
ウエハ載置ウエファ５が位置決めされる各ステージ、位
置に対し、旋回動作における反時計方向と時計方向、伸
縮動作における伸び方向と縮み方向等の位置決め方向別
に位置決めデータを用意する。
３を参照して説明する。ロボット３のロボット本体４、
ウエハ載置ウエファ５が位置決めされる各ステージ、位
置に対し、旋回動作における反時計方向と時計方向、伸
縮動作における伸び方向と縮み方向等の位置決め方向別
に位置決めデータを用意する。
【００１４】ロボット本体４の旋回位置決めについて説
明すると、中央処理装置１３におけるメモリの位置設定
データエリアに、ステージＡ，Ｂ，Ｃのウエハカセット
１に対し、旋回方向別の位置データを次の表２に例示す
るようにエリアを分けて格納する。 反時計方向旋回と時計方向旋回における各同一ステージ
のデータ差１３４は、機械系のバックラッシュ、ロスト
モーション等の機械的ガタ分に相当する。
明すると、中央処理装置１３におけるメモリの位置設定
データエリアに、ステージＡ，Ｂ，Ｃのウエハカセット
１に対し、旋回方向別の位置データを次の表２に例示す
るようにエリアを分けて格納する。 反時計方向旋回と時計方向旋回における各同一ステージ
のデータ差１３４は、機械系のバックラッシュ、ロスト
モーション等の機械的ガタ分に相当する。
【００１５】ロボット本体４がステージＢのウエハカセ
ット１に対する位置にあるときに、ステージＣのウエハ
カセット１に対する位置決め指令Ｉが中央処理ユニット
１３に与えられると、同ユニットはロボット本体のステ
ージＢから同Ｃへの旋回方向に関し、近まわりの反時計
方向旋回を判断する。この旋回方向についての判断は、
複数の停止位置、ステージに関し、特定の二つの停止位
置、ステージ間毎の旋回について、例えば近まわりとな
る旋回方向をマイクロプロセッサの装置１４のメモリに
記憶させておき、それに基づいて行われる。
ット１に対する位置にあるときに、ステージＣのウエハ
カセット１に対する位置決め指令Ｉが中央処理ユニット
１３に与えられると、同ユニットはロボット本体のステ
ージＢから同Ｃへの旋回方向に関し、近まわりの反時計
方向旋回を判断する。この旋回方向についての判断は、
複数の停止位置、ステージに関し、特定の二つの停止位
置、ステージ間毎の旋回について、例えば近まわりとな
る旋回方向をマイクロプロセッサの装置１４のメモリに
記憶させておき、それに基づいて行われる。
【００１６】中央処理ユニット１３は、ステージＣにつ
いての反時計方向旋回のデータＮｏ．３のデータ３１９
３６をメモリから選択する。また現在位置であるステー
ジＢの位置データは、前回の旋回動作によりステージＢ
に位置決めを行うときに選択されたデータであり、例え
ばステージＡから反時計方向に旋回して現在のステージ
Ｂに位置決めされているときには、現在の位置データと
してＮｏ．２の２１７５６を選択する。この位置データ
の選択については、旋回動作時に中央処理ユニット１３
のマイクロプロセッサに旋回方向を示すフラグを立てて
おくことにより行うことができる。
いての反時計方向旋回のデータＮｏ．３のデータ３１９
３６をメモリから選択する。また現在位置であるステー
ジＢの位置データは、前回の旋回動作によりステージＢ
に位置決めを行うときに選択されたデータであり、例え
ばステージＡから反時計方向に旋回して現在のステージ
Ｂに位置決めされているときには、現在の位置データと
してＮｏ．２の２１７５６を選択する。この位置データ
の選択については、旋回動作時に中央処理ユニット１３
のマイクロプロセッサに旋回方向を示すフラグを立てて
おくことにより行うことができる。
【００１７】選択された二つの位置データに基づいて、
中央処理ユニット１３は３１９３６−２１７５６＝
（＋）１０１８０の演算を行い、この１０１８０個のパ
ルスを駆動ユニット１４の偏差カウンタ１４1に、正回
転パルス列Ｐｆとして順次与える。偏差カウンタ１４1
のカウント出力をＤ／Ａ変換器１４2によって正回転ア
ナログ信号に変換し、同信号に応動するサーボ増幅器１
４3によってサーボモ−タ１１を正回転駆動し、ロボッ
ト本体４を反時計方向に旋回させる。サーボモ−タ１１
の回転に伴うパルスジェネレータ１５からの実回動パル
スＰｇが偏差カウンタ１４1に帰還され、同カウンタは
パルス列Ｐｆのカウント値から実回動パルスＰｇを減算
カウントする。このようにして、パルス列Ｐｆが終了
し、偏差カウンタ１４1のカウント出力がゼロになるま
でサーボモ−タ１１を駆動することにより、ロボット本
体４をステージＣに旋回位置決めする。このステージＢ
からＣへの旋回方向はステージＢに到達した旋回方向と
同じであるから、機械系のガタの影響を受けない。
中央処理ユニット１３は３１９３６−２１７５６＝
（＋）１０１８０の演算を行い、この１０１８０個のパ
ルスを駆動ユニット１４の偏差カウンタ１４1に、正回
転パルス列Ｐｆとして順次与える。偏差カウンタ１４1
のカウント出力をＤ／Ａ変換器１４2によって正回転ア
ナログ信号に変換し、同信号に応動するサーボ増幅器１
４3によってサーボモ−タ１１を正回転駆動し、ロボッ
ト本体４を反時計方向に旋回させる。サーボモ−タ１１
の回転に伴うパルスジェネレータ１５からの実回動パル
スＰｇが偏差カウンタ１４1に帰還され、同カウンタは
パルス列Ｐｆのカウント値から実回動パルスＰｇを減算
カウントする。このようにして、パルス列Ｐｆが終了
し、偏差カウンタ１４1のカウント出力がゼロになるま
でサーボモ−タ１１を駆動することにより、ロボット本
体４をステージＣに旋回位置決めする。このステージＢ
からＣへの旋回方向はステージＢに到達した旋回方向と
同じであるから、機械系のガタの影響を受けない。
【００１８】次いで、ステージＣからＢへ旋回させると
きには、先ず時計方向旋回が判断され、ステージＢのデ
ータとしてＮｏ．１０２の２１６２２を選択し、現在位
置のステージＣのデータとしては、ステージＢからＣに
反時計方向に旋回して到達したことを示すマイクロプロ
セッサ１４2のフラグからＮｏ．３の３１９３６を選択
する。中央処理ユニット１３は２１６２２−３１９３６
＝（−）１０３１４を演算する。今度の旋回方向はそれ
までの旋回方向とは逆であるから、機械的ガタの影響を
受けることになり、このデータ差１０３１４は機械的ガ
タ相当分１３４を含むものである。１０３１４個のパル
スを駆動ユニット１４の偏差カウンタ１４1に、逆回転
パルス列Ｐｒとして順次与える。偏差カウンタ１４1の
カウント出力がゼロになるまでサーボモ−タ１１を逆回
転駆動することにより、ロボット本体４はステージＢに
正確に位置決めされる。
きには、先ず時計方向旋回が判断され、ステージＢのデ
ータとしてＮｏ．１０２の２１６２２を選択し、現在位
置のステージＣのデータとしては、ステージＢからＣに
反時計方向に旋回して到達したことを示すマイクロプロ
セッサ１４2のフラグからＮｏ．３の３１９３６を選択
する。中央処理ユニット１３は２１６２２−３１９３６
＝（−）１０３１４を演算する。今度の旋回方向はそれ
までの旋回方向とは逆であるから、機械的ガタの影響を
受けることになり、このデータ差１０３１４は機械的ガ
タ相当分１３４を含むものである。１０３１４個のパル
スを駆動ユニット１４の偏差カウンタ１４1に、逆回転
パルス列Ｐｒとして順次与える。偏差カウンタ１４1の
カウント出力がゼロになるまでサーボモ−タ１１を逆回
転駆動することにより、ロボット本体４はステージＢに
正確に位置決めされる。
【００１９】上述の実施例では、旋回動作用サーボモ−
タ１１の駆動制御系は、パルスジェネレータ１５からの
同モ−タの回動パルスを駆動ユニット１４に帰還するフ
ィードバック系として構成されているが、サーボモ−タ
にパルスモ−タを用いることにより、駆動制御系をオー
プンループ系として構成することができる。
タ１１の駆動制御系は、パルスジェネレータ１５からの
同モ−タの回動パルスを駆動ユニット１４に帰還するフ
ィードバック系として構成されているが、サーボモ−タ
にパルスモ−タを用いることにより、駆動制御系をオー
プンループ系として構成することができる。
【００２０】また、上述の実施例ではロボット３の旋回
動作について説明したが、本発明は、ロボットのウエハ
載置フォーク５の伸縮位置決めに係る直線動作、或いは
旋回運動と直線運動を組み合わせた複合動作をするもの
に対しても適用することができる。
動作について説明したが、本発明は、ロボットのウエハ
載置フォーク５の伸縮位置決めに係る直線動作、或いは
旋回運動と直線運動を組み合わせた複合動作をするもの
に対しても適用することができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は以上説明したように、ロボット
が位置決めされる同一の位置に対しても、正方向と逆方
向、反時計方向と時計方向等の位置決め方向別に位置決
めデータが用意されているから、そのデータに機械的ガ
タ分に相当する差を持たせておくことにより、機械的ガ
タの存在に拘らず、機械系に何ら手を加えることなくロ
ボットを高精度に位置決めすることができる。
が位置決めされる同一の位置に対しても、正方向と逆方
向、反時計方向と時計方向等の位置決め方向別に位置決
めデータが用意されているから、そのデータに機械的ガ
タ分に相当する差を持たせておくことにより、機械的ガ
タの存在に拘らず、機械系に何ら手を加えることなくロ
ボットを高精度に位置決めすることができる。
【図１】ウエハ搬送システムの配置構成を簡単に示す平
面図である。
面図である。
【図２】ウエハ搬送システムの側面図である。
【図３】ロボット制御系の構成図である。
Ａ，Ｂ，Ｃ ステージ 1 ウエハカセット 2 ウエハ 3 ロボット 4 ロボット本体 5 ウエハ載置フォーク 6 伸縮動作用モ−タ 11 旋回動作用モ−タ 12 制御装置 13 中央処理ユニット 14 駆動ユニット 15 パルスジェネレータ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の位置決め方向に駆動されて複数の
所定位置にウエハを搬送するロボットと、各位置決め方
向別の位置データを有し、位置決め指令に応答して位置
決め方向を判断し、この位置決め方向の前記位置データ
に基づいて前記ロボットを駆動する制御装置とを備えて
なることを特徴とするウエハ搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1919693A JPH06216217A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | ウエハ搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1919693A JPH06216217A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | ウエハ搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06216217A true JPH06216217A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=11992602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1919693A Pending JPH06216217A (ja) | 1993-01-12 | 1993-01-12 | ウエハ搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06216217A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104753401A (zh) * | 2013-12-31 | 2015-07-01 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种旋转电机的运行控制方法和装置 |
| CN110634781A (zh) * | 2018-06-25 | 2019-12-31 | 东京毅力科创株式会社 | 输送装置和输送方法 |
-
1993
- 1993-01-12 JP JP1919693A patent/JPH06216217A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104753401A (zh) * | 2013-12-31 | 2015-07-01 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种旋转电机的运行控制方法和装置 |
| CN104753401B (zh) * | 2013-12-31 | 2017-07-21 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种旋转电机的运行控制方法和装置 |
| CN110634781A (zh) * | 2018-06-25 | 2019-12-31 | 东京毅力科创株式会社 | 输送装置和输送方法 |
| CN110634781B (zh) * | 2018-06-25 | 2023-05-05 | 东京毅力科创株式会社 | 输送装置和输送方法 |
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