CN104753401B - 一种旋转电机的运行控制方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种旋转电机的运行控制方法和装置，所述旋转电机驱动旋转托盘转动，所述托盘上放置有物料，所述方法包括：计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲；计算物料从所述旋转托盘中的当前位置移动到目标位置的正向间隔数和反向间隔数；依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲；采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转，将所述物料从当前位置移动到目标位置。本发明通过添加补偿脉冲，克服了齿轮空隙的影响，实现了逆向旋转，提高了物料传输的效率，进而提高了生产的效率。

Description

一种旋转电机的运行控制方法和装置

技术领域

本发明涉及半导体设备的控制领域，特别是涉及一种旋转电机的运行控制方法和一种旋转电机的运行控制装置。

背景技术

很多半导体设备都是以旋转电机驱动旋转托盘进行物料传输的，例如APCVD（Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition，常压化学气象沉积）设备。

但是旋转电机只能进行正向旋转，其脉冲计数持续累加，为了避免数据溢出，每执行一次工艺，都需要进行手动清零，操作繁琐。

特别地，在某些工艺需求下，如图1所示的APCVD设备的托盘，在当前工艺腔室中，3号物料刚完成工艺，4号物料为预定为下一个在该工艺腔室进行工艺处理的物料，则旋转电机需要从一个3位置正向移动到4号位置进行物料的传输，而此种传输需要转动几乎一圈，旋转时间长，生产效率低。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题是提供一种旋转电机的运行控制方法，以解决旋转电机不能反转的问题。

本发明还提供了一种旋转电机的运行控制装置，用以保证上述方法的实现及应用。

为了解决上述问题，本发明公开了一种旋转电机的运行控制方法，其特征在于，所述旋转电机驱动旋转托盘转动，所述托盘上放置有物料，所述方法包括：

计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲；

计算物料从所述旋转托盘中的当前位置移动到目标位置的正向间隔数和反向间隔数；

依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲；

采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转，将所述物料从当前位置移动到目标位置。

优选地，所述计算所述旋转电机进行反向旋转时的补偿脉冲的步骤包括：

驱动所述旋转电机反向旋转一圈并正向旋转一圈；

通过以下公式计算所述旋转电机实际旋转与标准旋转的脉冲差：

M_差=(|M_反|-M₀+|M_正|-M₀)/2

其中，M_差为脉冲差，|M_反|为所述旋转电机反向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，|M_正|为所述旋转电机正向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

重复获取所述脉冲差，并计算所有脉冲差的平均值，获得作为补偿脉冲的平均脉冲差。

优选地，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤包括：

当反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反=-P_反*M₀/P-N

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

优选地，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤包括：

当反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反=-P_反*M₀/P

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

优选地，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤包括：

当正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正=P_正*M₀/P

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

优选地，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤包括：

当正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正=P_正*M₀/P+N

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

优选地，还包括：

当所述旋转电机完成旋转时，将脉冲的累计控制在0至M₀之间；M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

优选地，所述当所述旋转电机完成旋转时，将脉冲的累计控制在0至M₀之间的步骤包括：

当所述旋转电机完成旋转且脉冲为正时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总=（M’_总+M_正）%M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

当所述旋转电机完成旋转且脉冲为负时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总=（M’_总+（M₀+M_反））%M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

优选地，所述旋转电机为APCVD设备的旋转电机。

本发明还公开了一种旋转电机的运行控制装置，其特征在于，所述旋转电机驱动旋转托盘转动，所述托盘上放置有物料，包括：

补偿脉冲计算模块，用于计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲；

间隔数计算模块，用于计算物料从所述旋转托盘中的当前位置移动到目标位置的正向间隔数和反向间隔数；

脉冲确定模块，用于依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲；

旋转驱动模块，用于采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转，将所述物料从当前位置移动到目标位置。

优选地，所述补偿脉冲计算模块包括如下子模块：

往返驱动子模块，用于驱动所述旋转电机反向旋转一圈并正向旋转一圈；

脉冲差计算子模块，用于通过以下公式计算所述旋转电机实际旋转与标准旋转的脉冲差：

M_差=(|M_反|-M₀+|M_正|-M₀)/2

其中，M_差为脉冲差，|M_反|为所述旋转电机反向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，|M_正|为所述旋转电机正向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

平均脉冲差计算子模块，用于重复获取所述脉冲差，并计算所有脉冲差的平均值，获得作为补偿脉冲的平均脉冲差。

优选地，所述脉冲确定模块包括：

第一计算子模块，用于在反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反=-P_反*M₀/P-N

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

优选地，所述脉冲确定模块包括：

第二计算子模块，用于在反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反=-P_反*M₀/P

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

优选地，所述脉冲确定模块包括：

第三计算子模块，用于在正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正=P_正*M₀/P

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

优选地，所述脉冲确定模块包括：

第四计算子模块，用于在正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正=P_正*M₀/P+N

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

优选地，所述装置还包括如下模块：

脉冲累计模块，用于在所述旋转电机完成旋转时，将脉冲的累计控制在0至M₀之间；M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

优选地，所述脉冲累计模块包括如下子模块：

第一累计子模块，用于在所述旋转电机完成旋转且脉冲为正时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总=（M’_总+M_正）%M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

第二累计子模块，用于在所述旋转电机完成旋转且脉冲为负时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总=（M’_总+（M₀+M_反））%M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

优选地，所述旋转电机为APCVD设备的旋转电机。

与背景技术相比，本发明包括以下优点：

本发明通过添加补偿脉冲，克服了齿轮空隙的影响，实现了逆向旋转，提高了物料传输的效率，进而提高了生产的效率。

本发明通过控制脉冲的累计，避免了脉冲累计无限增长而造成溢出的现象，同时避免了每次旋转后手动清零，而且能够很直观地得到托盘的状态，方便用户操作。

附图说明

图1是一种APCVD设备的托盘示例图；

图2是本发明的一种旋转电机的运行控制方法实施例的步骤流程图；

图3a和图3b是本发明的一种述旋转电机的齿轮啮合的示意图；

图4是本发明的一种旋转电机的运行控制装置实施例的结构框图。

具体实施方式

为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明实施例作进一步详细的说明。

参照图2，示出了本发明实施例的一种气体通道的控制方法实施例的步骤流程图，所述旋转电机驱动旋转托盘转动，所述托盘上放置有物料，如图2所示，所述方法包括如下步骤：

步骤201，计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲；

参照图3a，示出了本发明的一种述旋转电机的齿轮啮合的示意图。如图3a所示，齿轮啮合会存在位移差，即为齿轮啮合空隙。当托盘向右移动时，下齿轮和上齿轮的右部贴合，但是如果向左移动时，下齿轮必须先和上齿轮左边的齿轮贴合，才能向左移动，如图3b所示。

旋转电机的上下齿轮都不可能完全贴合，都会存在或大或小的空隙，这个空隙在逆向旋转时会影响到半导体设备的物料的传输，导致不能精确地把物料送到指定的工艺腔室，容易造成物料的掉落、损坏等。而如果只是沿一个方向移动，此空隙造成的影响不大。

下齿轮移动位移差的距离实际上并没有移动上齿轮及托盘。但是半导体设备必须额外发送脉冲，使下齿轮首先和左边的上齿轮贴合，上齿轮以及托盘才会向左移动，这个脉冲就是补偿脉冲。

为使本领域技术人员更好地理解本发明，在本说明书中，将APCVD设备的旋转电机作为运行控制的一种示例进行说明。需要说明的是，正向旋转以顺时针旋转为例，但在实际应用中，也可以是逆时针旋转，本发明对此不加以限制。

在本发明的一种优选实施例中，所述步骤201具体包括如下子步骤：

子步骤S11，驱动所述旋转电机反向旋转一圈并正向旋转一圈；

子步骤S12，通过以下公式计算所述旋转电机实际旋转与标准旋转的脉冲差：

M_差=(|M_反|-M₀+|M_正|-M₀)/2

其中，M_差为脉冲差，|M_反|为所述旋转电机反向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，|M_正|为所述旋转电机正向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

子步骤S13，重复获取所述脉冲差，并计算所有脉冲差的平均值，获得作为补偿脉冲的平均脉冲差。

在具体实现中，旋转电机可以从零点（任意的初始位置）开始反向旋转一周回到零点，记录其实际脉冲M_t1，为方便计算，可以先计算M_t1与M₀的脉冲差M₁=|M_t1|-M₀；然后从零点正向旋转一周回到零点，记录其实际脉冲数M_t2，计算当前脉冲差M₂=|M_t2|-M₀。如此重复多次，例如总共10次，获得10个脉冲差，为M₁、M₂、M₃……M₁₀，然后计算平均脉冲差N=（M₁+M₂+M₃+M₄+M₅+M₆+M₇+M₈+M₉+M₁₀）/10，获得补偿脉冲。

在本发明实施例的一个示例中，APCVD设备的旋转电机共往返5次，获得10个实际脉冲，分别为M_t1=-20005，M_t2=20006，M_t3=-20004，M_t4=20003，M_t5=-20004，M_t6=20005，M_t7=-20006，M_t8=20004，M_t9=-20007，M_t10=20003。此外，标准脉冲M₀=20000，分别计算得到脉冲差分别为M₁=5，M₂=6，M₃=4，M₄=3，M₅=4，M₆=5，M₇=6，M₈=4，M₉=7，M₁₀=3，计算得到补偿脉冲N=（5+6+4+3+4+5+6+4+7+3）/10=5。

步骤202，计算物料从所述旋转托盘中的当前位置移动到目标位置的正向间隔数和反向间隔数；

当前位置为当前物料所在的位置，目标位置即为目标工艺腔室的位置。如图1所示，间隔数，就是下一个要进行工艺的物料的位置到目标工艺腔室的位置的差距，相邻两个物料的间隔数为1。正向间隔数，即为沿正向（顺时针）方向的间隔数；反向间隔数，即为沿反向（逆时针）方向的间隔数。假设3号位为目标位置，那么某物料在5号位，其与目标位置的正向间隔数就是3，其与目标位置的反向间隔数就是2；那么某物料在2号位，其与目标位置的正向间隔位数就是1，其与目标位置的反向间隔数就是4。

步骤203，依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲；

在实际应用中，可以依据不同的情况确定不同的脉冲。

在本发明的一种优选实施例中，所述步骤包括如下子步骤：

子步骤S21，当反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反=-P_反*M₀/P-N

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

当P_反＜P_正时，旋转电机需要进行反向旋转，脉冲为负值。当上一次为正向旋转时，则当前旋转是逆向旋转，需要增加补偿脉冲去抵消齿轮空隙的影响。

子步骤S22，当反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反=-P_反*M₀/P

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

当P_反＜P_正时，旋转电机需要进行反向旋转，脉冲为负值。当上一次为反向旋转时，则当前旋转是同向旋转，不需要增加补偿脉冲去抵消齿轮空隙的影响，即补偿脉冲为0。

子步骤S23，当正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正=P_正*M₀/P

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

当P_正＜P_反时，旋转电机需要进行正向旋转，脉冲为正值。当上一次为正向旋转时，则当前旋转是同向旋转，不需要增加补偿脉冲去抵消齿轮空隙的影响，即补偿脉冲为0。

子步骤S24，当正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正=P_正*M₀/P+N

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

当P_正＜P_反时，旋转电机需要进行正向旋转，脉冲为正值。当上一次为反向旋转时，则当前旋转是逆向旋转，需要增加补偿脉冲去抵消齿轮空隙的影响。

在本发明实施例的一个示例中，以图1所示的托盘对应的APCVD设备的旋转电机进行旋转。以F表示上一次的旋转方向，当F=0时代表正向旋转，当F=1时代表反响旋转。本发明实施例接收到下一个目标位置时，可以到下表查找旋转电机的脉冲数。其中，标准脉冲M₀=20000，因此，旋转一个间隔数，需要4000脉冲，N为补偿脉冲，X为当前脉冲数。

步骤204，采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转，将所述物料从当前位置移动到目标位置。

当脉冲为负值是，进行反向旋转，当脉冲为正值时，进行正向旋转。

当物料送达目标位置后，进入对应的工艺腔室进行工艺处理。

在本发明的一种优选实施例中，所述方法还包括如下步骤：

步骤205，当所述旋转电机完成旋转时，将脉冲的累计控制在0至M₀之间；M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

当旋转电机完成旋转时，脉冲将会累加，则可以控制脉冲累加在0-M₀这个范围（包括0和M₀），可以直观地知道当前托盘的状态。

在本发明的一种优选实施例中，所述步骤205包括如下子步骤：

子步骤S31，当所述旋转电机完成旋转且脉冲为正时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总=（M’_总+M_正）%M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

当前脉冲为正时，代表当前旋转电机是正向旋转，则在执行子步骤S23和子步骤S24后执行子步骤S31；

子步骤S32，当所述旋转电机完成旋转且脉冲为负时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总=（M’_总+（M₀+M_反））%M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

当前脉冲为负时，代表当前旋转电机是反向旋转，则在执行子步骤S21和子步骤S22后执行子步骤S32。

本发明通过添加补偿脉冲，克服了齿轮空隙的影响，实现了逆向旋转，提高了物料传输的效率，进而提高了生产的效率。

本发明通过控制脉冲的累计，避免了脉冲累计无限增长而造成溢出的现象，同时避免了每次旋转后手动清零，而且能够很直观的得到托盘的状态，方便用户操作。

对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。

参照图4，示出了本发明的一种旋转电机的运行控制装置实施例，如图4所示，所述旋转电机驱动旋转托盘转动，所述托盘上放置有物料，所述装置，包括以下模块：

补偿脉冲计算模块401，用于计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲；

间隔数计算模块402，用于计算物料从所述旋转托盘中的当前位置移动到目标位置的正向间隔数和反向间隔数；

脉冲确定模块403，用于依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲；

旋转驱动模块404，用于采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转，将所述物料从当前位置移动到目标位置。

在本发明的一种优选实施例中，所述补偿脉冲计算模块包括如下子模块：

往返驱动子模块，用于驱动所述旋转电机反向旋转一圈并正向旋转一圈；

脉冲差计算子模块，用于通过以下公式计算所述旋转电机实际旋转与标准旋转的脉冲差：

M_差=(|M_反|-M₀+|M_正|-M₀)/2

其中，M_差为脉冲差，|M_反|为所述旋转电机反向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，|M_正|为所述旋转电机正向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

平均脉冲差计算子模块，用于重复获取所述脉冲差，并计算所有脉冲差的平均值，获得作为补偿脉冲的平均脉冲差。

在本发明的一种优选实施例中，所述脉冲确定模块包括如下子模块：

第一计算子模块，用于在反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反=-P_反*M₀/P-N

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

在本发明的一种优选实施例中，所述脉冲确定模块包括如下子模块：

第二计算子模块，用于在反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反=-P_反*M₀/P

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

在本发明的一种优选实施例中，所述脉冲确定模块包括如下子模块：

第三计算子模块，用于在正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正=P_正*M₀/P

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

在本发明的一种优选实施例中，所述脉冲确定模块包括如下子模块：

第四计算子模块，用于在正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正=P_正*M₀/P+N

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

在本发明的一种优选实施例中，所述装置还包括如下模块：

脉冲累计模块，用于在所述旋转电机完成旋转时，将脉冲的累计控制在0至M₀之间；M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

在本发明的一种优选实施例中，所述脉冲累计模块包括如下子模块：

第一累计子模块，用于在所述旋转电机完成旋转且脉冲为正时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总=（M’_总+M_正）%M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

第二累计子模块，用于在所述旋转电机完成旋转且脉冲为负时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总=（M’_总+（M₀+M_反））%M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

在本发明的一种优选实施例中，所述旋转电机为APCVD设备的旋转电机。

对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者移动设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者移动设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者移动设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明实施例所提供的一种旋转电机的运行控制方法和一种旋转电机的运行控制装置，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明实施例的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明实施例的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明实施例的限制。

Claims (12)

1.一种旋转电机的运行控制方法，其特征在于，所述旋转电机驱动旋转托盘转动，所述托盘上放置有物料，所述方法包括：

计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲；

计算物料从所述旋转托盘中的当前位置移动到目标位置的正向间隔数和反向间隔数；

依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲；

采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转，将所述物料从当前位置移动到目标位置；

其中，计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲的步骤包括：

驱动所述旋转电机反向旋转一圈并正向旋转一圈；

通过以下公式计算所述旋转电机实际旋转与标准旋转的脉冲差：

M_差＝(|M_反|-M₀+|M_正|-M₀)/2

其中，M_差为脉冲差，|M_反|为所述旋转电机反向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，|M_正|为所述旋转电机正向旋转一圈的实际脉冲的绝对值，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

重复获取所述脉冲差，并计算所有脉冲差的平均值，获得作为补偿脉冲的平均脉冲差。

2.根据权利要求1所述的旋转电机的运行控制方法，其特征在于，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤包括：

当反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反＝-P_反*M₀/P-N

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

3.根据权利要求1所述的旋转电机的运行控制方法，其特征在于，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤包括：

当反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反＝-P_反*M₀/P

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

4.根据权利要求1所述的旋转电机的运行控制方法，其特征在于，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤包括：

当正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正＝P_正*M₀/P

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

5.根据权利要求1所述的旋转电机的运行控制方法，其特征在于，所述依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲的步骤包括：

当正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正＝P_正*M₀/P+N

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

6.根据权利要求1所述的旋转电机的运行控制方法，其特征在于，还包括：

当所述旋转电机完成旋转时，将脉冲的累计控制在0至M₀之间；M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

7.根据权利要求6所述的旋转电机的运行控制方法，其特征在于，所述当所述旋转电机完成旋转时，将脉冲的累计控制在0至M₀之间的步骤包括：

当所述旋转电机完成旋转且脉冲为正时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总＝(M’_总+M_正)％M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲；

当所述旋转电机完成旋转且脉冲为负时，采用如下公式进行脉冲的累计：

M_总＝(M’_总+(M₀+M_反))％M₀

其中，M_总为当前的脉冲累计，M’_总为已有的脉冲累计，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲。

8.根据权利要求1至7任一项所述的旋转电机的运行控制方法，其特征在于，所述旋转电机为APCVD设备的旋转电机。

9.一种旋转电机的运行控制装置，其特征在于，所述旋转电机驱动旋转托盘转动，所述托盘上放置有物料，包括：

补偿脉冲计算模块，用于计算所述旋转电机旋转时的补偿脉冲；

间隔数计算模块，用于计算物料从所述旋转托盘中的当前位置移动到目标位置的正向间隔数和反向间隔数；

脉冲确定模块，用于依据所述补偿脉冲、所述反向间隔数、所述正向间隔数以及所述旋转电机上一次旋转的方向，确定驱动所述物料从当前位置移动到目标位置所需的脉冲；

旋转驱动模块，用于采用所述脉冲驱动所述旋转电机进行旋转，将所述物料从当前位置移动到目标位置；

其中，所述脉冲确定模块包括：

第一计算子模块，用于在反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反＝-P_反*M₀/P-N

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。

10.根据权利要求9所述的旋转电机的运行控制装置，其特征在于，所述脉冲确定模块包括：

第二计算子模块，用于在反向间隔数小于正向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_反＝-P_反*M₀/P

其中，M_反为所述旋转电机当前进行反向旋转的脉冲，P_反为所述反向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

11.根据权利要求9所述的旋转电机的运行控制装置，其特征在于，所述脉冲确定模块包括：

第三计算子模块，用于在正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为正向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正＝P_正*M₀/P

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，补偿脉冲为0。

12.根据权利要求9所述的旋转电机的运行控制装置，其特征在于，所述脉冲确定模块包括：

第四计算子模块，用于在正向间隔数小于反向间隔数，且上一次旋转为反向旋转时，则通过以下公式计算驱动所述物料从当前位置移动到目标位置的脉冲：

M_正＝P_正*M₀/P+N

其中，M_正为所述旋转电机当前进行正向旋转的脉冲，P_正为所述正向间隔数，P为所述物料的数量，M₀为所述旋转电机旋转一圈的标准脉冲，N为所述补偿脉冲。