CN204143062U - 一种激光光束运动轨迹控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光光束运动轨迹控制系统,其包括由步进电机和平面反射镜组成的反射装置、驱动电路及控制电路,平面反射镜固定于步进电机的转轴上且反射面与转轴平行,外部的激光器发射出的激光光束照射于平面反射镜上,控制电路具有控制开关及可变脉冲信号输入端、高电平输入端和低电平输入端,控制开关与可变脉冲信号输入端连接时控制电路控制驱动电路输出脉冲信号驱动步进电机的转轴以“转动-暂停-转动-暂停”的循环模式沿着一个方向转圈;控制开关与高电平输入端连接时,驱动步进电机的转轴来回旋转;控制开关与低电平输入端连接时,步进电机停止工作;优点是可以实现对激光光束运动轨迹的自动化控制,且控制精度高。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种激光光束控制技术,尤其是涉及一种激光光束运动轨迹控制系统。
背景技术
自20世纪激光问世以来,因其单色性好、发散度小、功率大而被广泛使用于激光加工、光通讯、光学测量等领域。但是,随着现代光学技术的突飞猛进,对于激光光束的调整要求日益提高,但由于激光功率一般比较大,因此对激光光束进行直接操作实现调整存在一定的安全隐患。因此,研究一种可以对激光光束的运动轨迹进行自动化控制的系统显得越来越重要。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够实现自动化控制,且控制精度高的激光光束运动轨迹控制系统。
本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种激光光束运动轨迹控制系统,其特征在于包括由步进电机和平面反射镜组成的反射装置、用于驱动所述的步进电机的驱动电路及用于控制所述的驱动电路的控制电路,所述的平面反射镜固定于所述的步进电机的转轴上,且所述的平面反射镜的反射面与所述的步进电机的转轴平行,外部的激光器发射出的激光光束照射于所述的平面反射镜上由所述的平面反射镜反射,所述的控制电路具有一个控制开关及一个可变脉冲信号输入端、一个高电平输入端和一个低电平输入端,所述的控制开关与所述的可变脉冲信号输入端连接时,所述的控制电路控制所述的驱动电路输出脉冲信号驱动所述的步进电机的转轴带动所述的平面反射镜以“转动-暂停-转动-暂停”的循环模式沿着一个方向转圈,以改变外部的激光器发射出的激光光束入射到所述的平面反射镜的入射角,从而改变所述的平面反射镜反射出的激光光束的路径;所述的控制开关与所述的高电平输入端连接时,所述的控制电路控制所述的驱动电路输出脉冲信号驱动所述的步进电机的转轴带动所述的平面反射镜来回旋转,以改变外部的激光器发射出的激光光束入射到所述的平面反射镜的入射角,从而改变所述的平面反射镜反射出的激光光束的路径;所述的控制开关与所述的低电平输入端连接时,所述的步进电机停止工作。
所述的控制电路由第五二输入与门、第一二输入与非门、第二二输入与非门、第三二输入与非门和第四二输入与非门组成,所述的第五二输入与门的一个输入端接入时钟脉冲信号,所述的第五二输入与门的另一个输入端与所述的控制开关的一端连接,所述的第五二输入与门的输出端与所述的驱动电路连接,所述的第四二输入与非门的一个输入端与所述的高电平输入端连接,所述的第四二输入与非门的另一个输入端与所述的可变脉冲信号输入端连接,所述的第四二输入与非门的输出端与所述的第二二输入与非门的一个输入端连接,所述的第二二输入与非门的另一个输入端与所述的驱动电路连接,所述的第三二输入与非门的一个输入端与所述的可变脉冲信号输入端连接,所述的第三二输入与非门的另一个输入端与所述的驱动电路连接,所述的第二二输入与非门的输出端与所述的第一二输入与非门的一个输入端连接,所述的第三二输入与非门的输出端与所述的第一二输入与非门的另一个输入端连接,所述的第一二输入与非门的输出端与所述的驱动电路连接,所述的控制开关的另一端与所述的可变脉冲信号输入端连接或与所述的高电平输入端连接或与所述的低电平输入端连接;在此,控制电路仅由一个与门和四个与非门组成,电路结构简单,成本低。
所述的控制开关与所述的可变脉冲信号输入端连接时,所述的步进电机的转轴暂停的位置由所述的可变脉冲信号输入端接入的可变脉冲信号的频率决定;所述的控制开关与所述的高电平输入端连接时,所述的步进电机的转轴来回旋转的角度由所述的可变脉冲信号输入端接入的可变脉冲信号的频率决定。
所述的步进电机选用四相步进电机;所述的驱动电路由第一D触发器、第二D触发器、第一二输入与门、第二二输入与门、第三二输入与门、第四二输入与门、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第一NPN三极管、第二NPN三极管、第三NPN三极管和第四NPN三极管组成;所述的第一D触发器的触发信号输入端与所述的第三二输入与非门的一个输入端连接,所述的第一D触发器的时钟信号输入端与所述的第五二输入与门的输出端连接,所述的第一D触发器的同相位输出端分别与所述的第二二输入与非门的一个输入端、所述的第一二输入与门的一个输入端及所述的第三二输入与门的一个输入端连接,所述的第一D触发器的反相位输出端分别与所述的第三二输入与非门的一个输入端、所述的第二二输入与门的一个输入端及所述的第四二输入与门的一个输入端连接,所述的第二D触发器的触发信号输入端和反相位输出端均分别与所述的第三二输入与门的另一个输入端和所述的第四二输入与门的另一个输入端连接,所述的第二D触发器的时钟信号输入端与所述的第一二输入与非门的输出端连接,所述的第二D触发器的同相位输出端分别与所述的第一二输入与门的另一个输入端和所述的第二二输入与门的另一个输入端连接,所述的第一二输入与门的输出端通过所述的第一电阻与所述的第一NPN三极管的基极连接,所述的第二二输入与门的输出端通过所述的第二电阻与所述的第二NPN三极管的基极连接,所述的第三二输入与门的输出端通过所述的第三电阻与所述的第三NPN三极管的基极连接,所述的第四二输入与门的输出端通过所述的第四电阻与所述的第四NPN三极管的基极连接,所述的第一NPN三极管的发射极、所述的第二NPN三极管的发射极、所述的第三NPN三极管的发射极和所述的第四NPN三极管的发射极均接地,所述的第一NPN三极管的集电极、所述的第二NPN三极管的集电极、所述的第三NPN三极管的集电极和所述的第四NPN三极管的集电极与所述的四相步进电机的A相输入端、B相输入端、C相输入端和D相输入端对应连接;在此,驱动电路仅由D触发器、与门、电阻及三极管组成,电路结构简单,成本低。
所述的第一D触发器和所述的第二D触发器均为上升沿D触发器,或均为下降沿D触发器。
与现有技术相比,本实用新型的优点在于:
1)将控制开关置于可变脉冲信号输入端时,该系统开始工作,步进电机的转轴以“转动-暂停-转动-暂停”的循环模式沿着一个方向转圈即正转或反转,同时借助平面反射镜改变激光器发射出的激光光束入射到平面反射镜的入射角,从而改变平面反射镜反射出的激光光束的路径,可以实现对激光光束运动轨迹的一种自动化控制;将控制开关置于高电平输入端,该系统开始工作,步进电机的转轴以一定的角度来回旋转,同时借助平面反射镜改变激光器发射出的激光光束入射到平面反射镜的入射角,从而改变平面反射镜反射出的激光光束的路径,也可以实现对激光光束运动轨迹的一种自动化控制;同时由于采用了步进电机,因此有效地提高了激光光束运动轨迹自动化控制的控制精度。
2)控制步进电机的驱动电路的控制电路具有一个控制开关及一个可变脉冲信号输入端、一个高电平输入端和一个低电平输入端,因此使用该激光光束运动轨迹控制系统时只需要通过操纵控制开关和调节可变脉冲信号输入端接入的可变脉冲信号的频率大小,就可以轻松实现对激光光束运动轨迹精确的控制,简单易操作。
3)该激光光束运动轨迹控制系统的反射装置制作容易、控制电路和驱动电路连接简单,且反射装置、控制电路和驱动电路使用的器材成本低廉。
4)该激光光束运动轨迹控制系统没有对激光光束进行直接操作,从而避免了可能存在的安全隐患的发生。
附图说明
图1为本实用新型的激光光束运动轨迹控制系统的电路原理图;
图2为本实用新型的激光光束运动轨迹控制系统中的反射装置的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。
步进电机是一种可以将电脉冲信号转换为角度或线性位移的电感应元件,因其具有高精度、电控性等优点而适用于各种电器中,成为机电一体化的关键产品之一。而且,在合适工作的频率范围内时,步进电机的转速、转角只取决于脉冲信号的频率和脉冲数,而不受负载变化的影响。因此,考虑结合激光和步进电机的功能和特性,再借助于集成电路等材料,可以制作出一种基于步进电机及集成电路的激光光束运动轨迹控制系统,可以通过控制步进电机的脉冲频率及个数来精确的控制其角位移速度与角度,从而实现对激光光束运动轨迹的控制。
本实用新型提出的一种激光光束运动轨迹控制系统,如图所示,其包括由步进电机1和平面反射镜2组成的反射装置、用于驱动步进电机1的驱动电路及用于控制驱动电路的控制电路,平面反射镜2固定于步进电机1的转轴上,且平面反射镜2的反射面与步进电机1的转轴平行,外部的氦氖激光器3发射出的激光光束照射于平面反射镜2上由平面反射镜2反射,如果步进电机1的转轴转动,则平面反射镜2也会发生转动,这样就可以改变外部的氦氖激光器3发射出的激光光束入射到平面反射镜2的入射角,从而改变平面反射镜2反射出的激光光束的路径;控制电路具有一个控制开关K及一个可变脉冲信号输入端、一个高电平输入端和一个低电平输入端,控制开关K与可变脉冲信号输入端连接时,控制电路控制驱动电路输出脉冲信号驱动步进电机1的转轴带动平面反射镜2以“转动-暂停-转动-暂停”的循环模式沿着一个方向转圈即正转或反转,以改变外部的氦氖激光器3发射出的激光光束入射到平面反射镜2的入射角,从而改变平面反射镜2反射出的激光光束的路径,而步进电机1的转轴暂停的位置由可变脉冲信号输入端接入的可变脉冲信号P的频率决定;控制开关K与高电平输入端连接时,控制电路控制驱动电路输出脉冲信号驱动步进电机1的转轴带动平面反射镜2来回旋转,,以改变外部的氦氖激光器3发射出的激光光束入射到平面反射镜2的入射角,从而改变平面反射镜2反射出的激光光束的路径,而步进电机1的转轴来回旋转的角度由可变脉冲信号输入端接入的可变脉冲信号P的频率决定;控制开关K与低电平输入端连接时,步进电机1停止工作。
在此具体实施例中,步进电机1选用四相步进电机,驱动电路由第一D触发器D1、第二D触发器D2、第一二输入与门G1、第二二输入与门G2、第三二输入与门G3、第四二输入与门G4、第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3、第四电阻R4、第一NPN三极管VT1、第二NPN三极管VT2、第三NPN三极管VT3和第四NPN三极管VT4组成,控制电路由第五二输入与门G5、第一二输入与非门G6、第二二输入与非门G7、第三二输入与非门G8和第四二输入与非门G9组成;第一D触发器D1的触发信号输入端与第三二输入与非门G8的一个输入端连接,第一D触发器D1的时钟信号输入端与第五二输入与门G5的输出端连接,第一D触发器D1的同相位输出端分别与第二二输入与非门G7的一个输入端、第一二输入与门G1的一个输入端及第三二输入与门G3的一个输入端连接,第一D触发器D1的反相位输出端分别与第三二输入与非门G8的一个输入端、第二二输入与门G2的一个输入端及第四二输入与门G4的一个输入端连接,第二D触发器D2的触发信号输入端和反相位输出端均分别与第三二输入与门G3的另一个输入端和第四二输入与门G4的另一个输入端连接,第二D触发器D2的时钟信号输入端与第一二输入与非门G6的输出端连接,第二D触发器D2的同相位输出端分别与第一二输入与门G1的另一个输入端和第二二输入与门G2的另一个输入端连接,第一二输入与门G1的输出端通过第一电阻R1与第一NPN三极管VT1的基极连接,第二二输入与门G2的输出端通过第二电阻R2与第二NPN三极管VT2的基极连接,第三二输入与门G3的输出端通过第三电阻R3与第三NPN三极管VT3的基极连接,第四二输入与门G4的输出端通过第四电阻R4与第四NPN三极管VT4的基极连接,第一NPN三极管VT1的发射极、第二NPN三极管VT2的发射极、第三NPN三极管VT3的发射极和第四NPN三极管VT4的发射极均接地,第一NPN三极管VT1的集电极、第二NPN三极管VT2的集电极、第三NPN三极管VT3的集电极和第四NPN三极管VT4的集电极与四相步进电机1的A相输入端、B相输入端、C相输入端和D相输入端对应连接,输入到第一D触发器D1的时钟信号输入端和输入到第二D触发器D2的时钟信号输入端的脉冲经该驱动电路后转换成可以驱动步进电机1的转轴转动的四个脉冲信号;第五二输入与门G5的一个输入端接入时钟脉冲信号CLK,第五二输入与门G5的另一个输入端与控制开关K的一端连接,第五二输入与门G5的输出端与驱动电路连接即与第一D触发器D1的时钟信号输入端连接,第四二输入与非门G9的一个输入端与高电平输入端连接,第四二输入与非门G9的另一个输入端与可变脉冲信号输入端连接,第四二输入与非门G9的输出端与第二二输入与非门G7的一个输入端连接,第二二输入与非门G7的另一个输入端与驱动电路连接即与第一D触发器D1的同相位输出端连接,第三二输入与非门G8的一个输入端与可变脉冲信号输入端连接,第三二输入与非门G8的另一个输入端与驱动电路连接即与第一D触发器D1的反相位输出端连接,第二二输入与非门G7的输出端与第一二输入与非门G6的一个输入端连接,第三二输入与非门G8的输出端与第一二输入与非门G6的另一个输入端连接,第一二输入与非门G6的输出端与驱动电路连接即与第二D触发器D2的时钟信号输入端连接,控制开关K的另一端与可变脉冲信号输入端连接或与高电平输入端连接或与低电平输入端连接,在控制电路中,可变脉冲信号输入端接入的可变脉冲信号P与第一D触发器D1的同相位输出端和反相位输出端反馈的脉冲经过第五二输入与门G5、第一二输入与非门G6、第二二输入与非门G7、第三二输入与非门G8和第四二输入与非门G9的变换后,最后输入到第一D触发器D1的时钟信号输入端和输入到第二D触发器D2的时钟信号输入端,这样在控制开关K的控制下,调节可变脉冲信号的频率大小,可以改变输入到步进电机1中的脉冲的个数,实现步进电机1的转轴以一定的角度来回旋转或以“转动-暂停-转动-暂停”的循环模式沿着一个方向转圈即正转或反转,在平面反射镜2的作用下,进而实现对激光光束运动轨迹的控制。
在此,四相步进电机1如可选用工作电压为DC5V的28BYJ-48型步进电机;第一D触发器D1和第二D触发器D2均可采用上升沿D触发器或均采用下降沿D触发器,即第一D触发器D1和第二D触发器D2的触发沿相同,在实际实施时如可选择一个型号为74LS74的集成芯片,其包含两个D触发器,并为上升沿触发;第一二输入与门G1、第二二输入与门G2、第三二输入与门G3、第四二输入与门G4及第五二输入与门G5可都选择型号为74LS08的与门;第一二输入与非门G6、第二二输入与非门G7、第三二输入与非门G8和第四二输入与非门G9可都选择型号为74LS00的与非门;第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3及第四电阻R4可都选择阻值为1k欧姆的电阻;第一NPN三极管VT1、第二NPN三极管VT2、第三NPN三极管VT3和第四NPN三极管VT4均采用9013三极管;要求第五二输入与门G5的一个输入端接入的时钟脉冲信号CLK的频率合适,即选择能使步进电机1正常工作的频率,例如当选择工作电压为DC5V的28BYJ-48型步进电机时,时钟脉冲信号CLK的频率可以选择500HZ左右;可变脉冲信号输入端接入可变脉冲信号P,并要求可变脉冲信号P的频率范围可选择一个较小的频率范围,例如当选择工作电压为DC5V的28BYJ-48型步进电机时,可变脉冲信号P的频率范围可以选择为0~4HZ,高电平输入端接入的高电平及低电平输入端接入的低电平视具体的控制电路而定,如控制电路中采用型号为74LS08的与门和型号为74LS00的与非门时,高电平输入端接入+5V电压,低电平输入端接地。
本实用新型的激光光束运动轨迹控制系统的工作过程为:
将控制开关K置于可变脉冲信号输入端时,该系统开始工作,第一D触发器D1的时钟信号输入端输入的脉冲信号为时钟脉冲信号CLK和可变脉冲信号P经过第五二输入与门G5后得到的脉冲信号,该脉冲信号为适合于步进电机1工作的脉冲,当可变脉冲信号P为高电平时,如果时钟脉冲信号CLK为高电平,则输入到第一D触发器D1的时钟信号输入端的脉冲为高电平,此时若输入到第二D触发器D2的时钟信号输入端的脉冲为高电平,那么步进电机1的转轴正向转动,若输入到第二D触发器D2的时钟信号输入端的脉冲为低电平,那么步进电机1的转轴反向转动;如果时钟脉冲信号CLK为低电平,则输入到第一D触发器D1的时钟信号输入端的脉冲为低电平,步进电机1的转轴暂停。当可变脉冲信号P为低电平时,输入到第一D触发器D1的时钟信号输入端的脉冲为低电平,步进电机1暂停。因为可变脉冲信号P为周期性信号,因此步进电机1的转轴以“转动-暂停-转动-暂停”的循环模式沿着一个方向转圈,同时调节可变脉冲信号的频率大小,脉冲周期会发生变化,这样输入到步进电机1的脉冲个数会发生变化,导致步进电机1的转轴可以在某一点暂停,最终步进电机1实现暂停点自定并且以“转动-暂停-转动-暂停”的循环模式沿着一个方向转圈,同时借助平面反射镜2改变氦氖激光器3发射出的激光光束入射到平面反射镜2的入射角,从而改变平面反射镜2反射出的激光光束的路径,可以实现对激光光束运动轨迹的一种控制。
将控制开关K置于高电平输入端时,该系统开始工作,第一D触发器D1的时钟信号输入端输入的脉冲信号为时钟脉冲信号CLK,第二D触发器D2的时钟信号输入端输入的脉冲信号为可变脉冲信号P经过四个与非门后得到的脉冲信号,该脉冲信号为适合于步进电机1工作的脉冲,当可变脉冲信号P为高电平时,步进电机1的转轴正转,当可变脉冲信号P为低电平时,步进电机1的转轴反转。因为可变脉冲信号P为周期性信号,因此步进电机1的转轴来回旋转,调节可变脉冲信号P的频率大小,脉冲周期会发生变化,输入到步进电机1的脉冲个数也会发生变化,导致步进电机1的转轴的转动角度发生变化,最终步进电机1以一定的角度来回旋转,并且由于输入给步进电机1的脉冲信号会存在错位,因此步进电机1的转轴往回转时并没有转回到原点,这样步进电机1的转轴在来回旋转的同时沿一个方向在向前移动,同时借助平面反射镜2改变氦氖激光器3发射出的激光光束入射到平面反射镜2的入射角,从而改变平面反射镜2反射出的激光光束的路径,可以实现对激光光束运动轨迹的一种控制。
将控制开关K置于低电平输入端时,输入到第一D触发器D1的时钟信号输入端的脉冲信号始终为低电平,步进电机1停止工作。
利用该系统虽然可以实现步进电机的转轴360度旋转,但是由于平面反射镜的原因,实际激光光束运动轨迹的工作范围只能在0到180度之间。
Claims (5)
1.一种激光光束运动轨迹控制系统,其特征在于包括由步进电机和平面反射镜组成的反射装置、用于驱动所述的步进电机的驱动电路及用于控制所述的驱动电路的控制电路,所述的平面反射镜固定于所述的步进电机的转轴上,且所述的平面反射镜的反射面与所述的步进电机的转轴平行,外部的激光器发射出的激光光束照射于所述的平面反射镜上由所述的平面反射镜反射,所述的控制电路具有一个控制开关及一个可变脉冲信号输入端、一个高电平输入端和一个低电平输入端,所述的控制开关与所述的可变脉冲信号输入端连接时,所述的控制电路控制所述的驱动电路输出脉冲信号驱动所述的步进电机的转轴带动所述的平面反射镜以“转动-暂停-转动-暂停”的循环模式沿着一个方向转圈,以改变外部的激光器发射出的激光光束入射到所述的平面反射镜的入射角,从而改变所述的平面反射镜反射出的激光光束的路径;所述的控制开关与所述的高电平输入端连接时,所述的控制电路控制所述的驱动电路输出脉冲信号驱动所述的步进电机的转轴带动所述的平面反射镜来回旋转,以改变外部的激光器发射出的激光光束入射到所述的平面反射镜的入射角,从而改变所述的平面反射镜反射出的激光光束的路径;所述的控制开关与所述的低电平输入端连接时,所述的步进电机停止工作。
2.根据权利要求1所述的一种激光光束运动轨迹控制系统,其特征在于所述的控制电路由第五二输入与门、第一二输入与非门、第二二输入与非门、第三二输入与非门和第四二输入与非门组成,所述的第五二输入与门的一个输入端接入时钟脉冲信号,所述的第五二输入与门的另一个输入端与所述的控制开关的一端连接,所述的第五二输入与门的输出端与所述的驱动电路连接,所述的第四二输入与非门的一个输入端与所述的高电平输入端连接,所述的第四二输入与非门的另一个输入端与所述的可变脉冲信号输入端连接,所述的第四二输入与非门的输出端与所述的第二二输入与非门的一个输入端连接,所述的第二二输入与非门的另一个输入端与所述的驱动电路连接,所述的第三二输入与非门的一个输入端与所述的可变脉冲信号输入端连接,所述的第三二输入与非门的另一个输入端与所述的驱动电路连接,所述的第二二输入与非门的输出端与所述的第一二输入与非门的一个输入端连接,所述的第三二输入与非门的输出端与所述的第一二输入与非门的另一个输入端连接,所述的第一二输入与非门的输出端与所述的驱动电路连接,所述的控制开关的另一端与所述的可变脉冲信号输入端连接或与所述的高电平输入端连接或与所述的低电平输入端连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种激光光束运动轨迹控制系统,其特征在于所述的控制开关与所述的可变脉冲信号输入端连接时,所述的步进电机的转轴暂停的位置由所述的可变脉冲信号输入端接入的可变脉冲信号的频率决定;所述的控制开关与所述的 高电平输入端连接时,所述的步进电机的转轴来回旋转的角度由所述的可变脉冲信号输入端接入的可变脉冲信号的频率决定。
4.根据权利要求2所述的一种激光光束运动轨迹控制系统,其特征在于所述的步进电机选用四相步进电机;所述的驱动电路由第一D触发器、第二D触发器、第一二输入与门、第二二输入与门、第三二输入与门、第四二输入与门、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第一NPN三极管、第二NPN三极管、第三NPN三极管和第四NPN三极管组成;所述的第一D触发器的触发信号输入端与所述的第三二输入与非门的一个输入端连接,所述的第一D触发器的时钟信号输入端与所述的第五二输入与门的输出端连接,所述的第一D触发器的同相位输出端分别与所述的第二二输入与非门的一个输入端、所述的第一二输入与门的一个输入端及所述的第三二输入与门的一个输入端连接,所述的第一D触发器的反相位输出端分别与所述的第三二输入与非门的一个输入端、所述的第二二输入与门的一个输入端及所述的第四二输入与门的一个输入端连接,所述的第二D触发器的触发信号输入端和反相位输出端均分别与所述的第三二输入与门的另一个输入端和所述的第四二输入与门的另一个输入端连接,所述的第二D触发器的时钟信号输入端与所述的第一二输入与非门的输出端连接,所述的第二D触发器的同相位输出端分别与所述的第一二输入与门的另一个输入端和所述的第二二输入与门的另一个输入端连接,所述的第一二输入与门的输出端通过所述的第一电阻与所述的第一NPN三极管的基极连接,所述的第二二输入与门的输出端通过所述的第二电阻与所述的第二NPN三极管的基极连接,所述的第三二输入与门的输出端通过所述的第三电阻与所述的第三NPN三极管的基极连接,所述的第四二输入与门的输出端通过所述的第四电阻与所述的第四NPN三极管的基极连接,所述的第一NPN三极管的发射极、所述的第二NPN三极管的发射极、所述的第三NPN三极管的发射极和所述的第四NPN三极管的发射极均接地,所述的第一NPN三极管的集电极、所述的第二NPN三极管的集电极、所述的第三NPN三极管的集电极和所述的第四NPN三极管的集电极与所述的四相步进电机的A相输入端、B相输入端、C相输入端和D相输入端对应连接。
5.根据权利要求4所述的一种激光光束运动轨迹控制系统,其特征在于所述的第一D触发器和所述的第二D触发器均为上升沿D触发器,或均为下降沿D触发器。
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2014
- 2014-08-15 CN CN201420462970.9U patent/CN204143062U/zh not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US20230124587A1 (en) * | 2016-10-17 | 2023-04-20 | Cymer, Llc | Spectral feature control apparatus |
US12124053B2 (en) * | 2016-10-17 | 2024-10-22 | Cymer, Llc | Spectral feature control apparatus |
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