DE112005001989T5

DE112005001989T5 - Kostengünstige Prozessierplattform mit hohem Durchsatz

Info

Publication number: DE112005001989T5
Application number: DE112005001989T
Authority: DE
Inventors: Leszek San Jose Niewmierzycki; David Walnut Creek Barker; Michael Freemont Kuhlman; Ryan Discovery Bay Pakulski; Hongqing Cupertino Shan; Martin Orinda Zucker; Daniel J. Los Gatos Devine
Original assignee: Mattson Technology Inc
Current assignee: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd; Mattson Technology Inc
Priority date: 2004-08-17
Filing date: 2005-08-08
Publication date: 2007-08-02
Also published as: KR20060058086A; JP2008510317A; JP4599405B2; WO2006023326A1; KR100805397B1

Abstract

Vorrichtung für ein Waferprozessiersystem, in dem wenigstens ein Wafer zwischen einer Schleuse und einer Prozesskammer bewegbar ist, wobei der Wafer einen Waferdurchmesser umfasst, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist:
eine Überführungskammer, die für eine wahlweise Druckkommunikation mit der Schleuse und der Prozesskammer angeordnet ist, wobei die Überführungskammer eine Konfiguration seitlicher Ausdehnung hat, so dass der Wafer durch die Überführungskammer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer entlang eines Waferüberführungsweges bewegbar ist und die Konfiguration seitlicher Ausdehnung den Wafer, der den Waferdurchmesser hat und sich entlang des Waferüberführungsweges bewegt, dazu veranlasst, sich mit wenigstens entweder der Schleuse oder der Prozesskammer für jede gegebene Position entlang des Waferüberführungsweges gegenseitig zu beeinflussen.

Description

Die vorliegende Anmeldung ist eine Continuation-In-Part-Anmeldung der US-Patentanmeldung der Anmeldenummer 10/919,582 mit dem Titel „Low Cost High Throughput Processing Platform", angemeldet am 17. August 2004, die hierin durch Verweis zur Gänze aufgenommen ist.
Hintergrund der Erfindung
Prozessiersysteme, die Werkstücke wie zum Beispiel Halbleiterwafer oder andere geeignete Substrate einem allumfassenden Behandlungsprogramm aussetzen, um ein bestimmtes Bauteil zu bilden, setzen im Allgemeinen eine Vielzahl von Behandlungsschritten ein. Um diese Schritte sequentiell auszuführen, wird jedes Werkstück typischerweise eine Anzahl von verschiedenen Malen bewegt, zum Beispiel in das System, zwischen verschiedenen Prozessierstationen und aus dem System hinaus. Mit dem Vorangegangenen im Sinn, wird bemerkt, dass der Stand der Technik eine Anzahl alternativer Ansätze zur Verwendung bei der Ausführung solcher Werkstücküberführungen und verwandter Funktionen enthält, von denen gewisse hier von Interesse sind, wie hierin in weiteren Einzelheiten nachfolgend sofort beschrieben wird.
Ein Ansatz zur Werkstücküberführung des Standes der Technik ist in dem US-Patent Nummer 6,429,139 (nachfolgend das '139-Patent) demonstriert. Insbesondere stellt das '139-Patent in den 5, 6 und 7A-D die Verwendung eines gegliederten Roboterarms zur Verwendung bei der Werkstücküberführung dar. Während die Verwendung einer einzelnen Waferschaufel dargestellt ist, sollte anerkannt werden, dass mehrere Schaufeln vorgesehen wurden, die einen solchen gegliederten Roboterarm verwenden. Es sollte auch anerkannt werden, dass dieser bestimmte Roboter soweit etwas vereinfacht wurde, dass der Stand der Technik eine solche Konfiguration bereitstellt, in der eine vertikale Bewegung des Werkstücks ebenfalls von dem Roboter ausgeführt wird. Während solche Konfigurationen mit gegliederten Roboterarmen wirkungsvoll im Wesentlichen unbegrenzte Fähigkeiten in Bezug auf das Bewegen von im Wesentlichen unbegrenzte Fähigkeiten in Bezug auf das Bewegen von Werkstücken bereitstellen, sind sie unglücklicherweise relativ komplex und daher teuer herzustellen und zu warten.
Ein einfacher Schwingarm, wie er vom Stand der Technik gelehrt wird, weist im Allgemeinen ein Armglied auf, das sich von einem Schwenkpunkt zu einer Waferschaufel erstreckt. Ein solcher Schwingarm stellt daher eine Drehbewegung eines Werkstücks bereit. Während eine Schwingarmkonfiguration eine dramatische Vereinfachung gegenüber der Verwendung eines gegliederten Roboterarms darstellt, von der wenigstens allgemein gedacht wird, dass sie von einer verbesserten Verlässlichkeit und geringeren Kosten begleitet wird, repräsentiert sie auch weitaus begrenztere Fähigkeiten in Bezug auf die Waferpositionierung. Insbesondere ist der Schwingarm in seiner Grundkonfiguration nur in der Lage, einen Wafer entlang eines ebenen kreisförmigen Weges mit einem einzigen Durchmesser zu bewegen. Ein früher Schwingarmansatz kann in dem US-Patent Nummer 4,927,484 (nachfolgend das '484-Patent) gesehen werden. Die 1 und 2 dieses Patents demonstrieren einen typischen Ansatz des Standes der Technik, in dem eine Vielzahl einfacher Schwingarme zusammenwirkt, um eine größere Flexibilität der Werkstückbewegung vorzusehen. Jedoch erscheinen diese Schwingarme wieder auf die Drehung eines Werkstücks in einer einzelnen Ebene begrenzt zu sein.
Als einen alternativen Ansatz für den gegliederten Roboterarm und eine Verbesserung gegenüber dem einfachen Schwingarm lehrt das '139-Patent auch die Verwendung einer doppelseitigen Schwingarmanordnung. Die Schwingarmfähigkeit wird durch das Vorsehen eines gestreckten Schwingarmgliedes vergrößert, das eine Waferschaufel an jedem seiner entgegengesetzten Enden positioniert hat, mit einem dazwischen zentrierten Schwenkpunkt, wie in der 8A des '139-Patents gesehen werden kann. Ferner beschreibt das '139-Patent, wie in den 9A-D gesehen werden kann, Waferschaufeln, die an den Enden des Schwingarmglieds drehbar sind, um wenigstens etwas die Positionierungsfähigkeiten und die Flexibilität des Schwingarms gegenüber früheren Konfigurationen des Stands der Technik zu verbessern. Un glücklicherweise bleiben die Schwingarmpositionierungsfähigkeiten trotz dieser Verbesserungen begrenzt, insbesondere in Bezug auf die Fähigkeit, den Wafer nur in einer Drehebene zu bewegen.
Ein jüngerer Ansatz in Bezug auf die Verwendung eines Schwingarms kann in dem US-Patent Nummer 6,610,150 gesehen werden, das für Savage et al (nachfolgend Savage) erteilt wurde. Savage stellt in 8 des Patents einen Schwingarm dar, der einen Endeffektor hat, der konfiguriert ist, um ein Paar von Werkstücken zu tragen. Wie im übrigen Stand der Technik ist nur eine einfache Rotationsbewegung beschrieben, wobei typische Hilfsmittel des Stands der Technik wie zum Beispiel Hubstifte verwendet werden, um ein Werkstück von dem Endeffektor zu entfernen.
Ein anderer Besorgnisbereich in Bezug auf Werkstückprozessiersysteme des Standes der Technik wohnt den Türanordnungen inne, die verwendet werden, um verschiedene Teile des Systems voneinander abzudichten. Viele Systeme setzen zum Beispiel eine Schleusenkammer (d. h. eine Kammer, die sowohl Werkstücklade- als auch Entladefunktionen ermöglicht), eine Überführungskammer und eine oder mehrere Prozesskammern ein. Werkstücke werden typischerweise zwischen der Schleusenkammer und der Prozesskammer durch die Überführungskammer überführt. Es ist in solch einer Konfiguration notwendig, die Schleusenkammer von der Überführungskammer wahlweise abzudichten. Zum Zwecke der Werkstücküberführung wird im Allgemeinen ein Schlitz oder Spalt zwischen den beiden Kammern definiert. Das Abdichten wird oft durch Verwenden einer Spalttüranordnung ausgeführt, in der ein plattenförmiges Türglied verwendet wird, um den gestreckten Spalt abzudichten. Bedenken in Bezug auf Spalttüranordnungen des Standes der Technik umfassen Kontaminationsproduktion, den Bedarf an einer präzisen Ausrichtung und Dichtungsmechanismen.
Eine Spalttürkonfiguration des Standes der Technik ist in dem US-Patent Nummer 6,095,741 (nachfolgend das '741-Patent) beschrieben, das ein Blattglied hat, das in seinem Betätigungsarm für eine Drehbewegung um eine ho rizontale Achse angelenkt ist. Diese Anordnung wird als inakzeptabel angesehen, insbesondere in Bezug auf die präzise Ausrichtung der gestreckten, horizontalen Dimension des Dichtungsblattes und die potentielle Produktion von Kontaminationsteilchen bei Fehlen einer solchen präzisen Ausrichtung, wie in Anbetracht der folgenden Beschreibungen eingesehen wird.
In Bezug auf den Dichtungsmechanismus verwendet das '741-Patent einen Faltenbalg as Teil seiner Spalttüranordnung, dargestellt als Element Nummer 704 in der 6A des Patents. Während ein solcher Faltenbalgmechanismus für die Zwecke des '741-Patents wirksam sein mag, wird er aus Gründen für problematisch erachtet, die Kosten und Verlässlichkeitsbedenken betreffen. Wie weiter beschrieben werden wird, hat der Stand der Technik andere Ansätze als Alternativen zum Faltenbalgmechanismus angenommen.
Eine solche Alternative zu dem Faltenbalgmechanismus ist in der 29 dargestellt, die eine teilweise aufgeschnittene Ansicht einer Spalttürkonfiguration des Standes der Technik ist, die allgemein mit der Bezugszahl 1700 bezeichnet ist. Diese Konfiguration des Standes der Technik umfasst eine Schwenkwelle 1702, die an einem oberen Ende mit einem Dichtungsblatt (nicht gezeigt) für eine Schwenkbewegung verbunden ist, wie durch einen doppelköpfigen Pfeil 1704 um eine Schwenkachse 1706 angezeigt ist. Die Schwenkwelle 1702 ist in einem Gehäuse 1710 aufgenommen. Eine Dichtung zwischen dem Gehäuse 1710 und der Schwenkwelle 1702 wird durch Verwenden eines Dichtungsflansches 1712 bewerkstelligt, der auf dem Gehäuse 1710 aufgenommen ist und unter Verwendung eines O-Rings 1714 dagegen abgedichtet ist. Ein Dichtungskopf 1716 ist auf der Schwenkwelle 1702 gelagert und unter Verwendung eines O-Rings 1718 dagegen abgedichtet. Der Dichtungskopf 1716 trägt einen O-Ring 1720 zum Abdichten gegen eine Dichtungsoberfläche 1722, die durch den Dichtungsflansch 1712 derart definiert ist, dass eine seitliche Bewegung des O-Rings 1720 gegen die Dichtungsoberfläche 1722 aufgenommen ist. Unglücklicherweise erlaubt die Schwenkbewegung der Schwenkwelle 1702 jedoch auch ein Kippen des Dichtungskopfes 1716, wodurch ein Teil des O-Rings 1720 komprimiert wird, während ein entgegen gesetzter Teil des O-Rings freigegeben wird. Dieses Verhalten wird unvorteilhaft als den Bereich der Schwenkbewegung der Schwenkwelle 1702 beschränkend angesehen.
Die vorliegende Erfindung löst die vorangegangenen Beschränkungen und Bedenken, während sie noch weitere Vorteile liefert.
Zusammenfassung der Erfindung
Ein System zum Prozessieren von Werkstücken sowie eine zugehörige Vorrichtung und ein Verfahren werden beschrieben. Eine Vielzahl von Werkstücken ist zu und von einer Prozesskammeranordnung in dem System bewegbar. Die Prozesskammeranordnung verwendet wenigstens zwei nebeneinander liegende erste und zweite Prozessierstationen, von denen jede zum Ausführen eines Behandlungsprozesses an einem der Werkstücke konfiguriert ist, das an jeder der ersten und zweiten Prozessierstationen angeordnet ist, so dass zwei Werkstücke gleichzeitig dem Behandlungsprozess ausgesetzt werden können. In einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Werkstückhalteanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, verwendet, um wenigstens zwei der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung zu halten, um eine Werkstücksäule zu bilden. Eine Werkstücküberführungsanordnung, die ebenfalls von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, wird zum Transportieren von wenigstens zwei der Werkstücke zwischen der Werkstücksäule und der Prozesskammeranordnung verwendet durch gleichzeitiges Bewegen der beiden Werkstücke wenigstens allgemein jeweils entlang erster und zweiter Überführungswege, die zwischen der Werkstücksäule und der ersten und zweiten Prozessierstation definiert sind.
Bei einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung sind Werkstücke zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens zwei nebeneinander liegende Prozessierstationen verwendet, von denen jede zur Behandlung einzelner der Werkstücke konfigu riert ist, die an jeder der Prozessierstationen angeordnet sind, so dass wenigstens zwei Werkstücke gleichzeitig behandelt werden können. Eine Werkstückhalteanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, hält wenigstens zwei der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung, um eine Werkstücksäule zu bilden. Eine Werkstücküberführungsanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, ist konfiguriert, um wenigstens gleichzeitig zwei Werkstücke vor der Behandlung von der Werkstücksäule zu jeder der nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu bewegen.
Bei noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung sind Werkstücke zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen. Eine Werkstückhalteanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, hält wenigstens eines der Werkstücke für die Bewegung in Bezug auf die Prozesskammeranordnung. Eine Schwingarmanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, umfasst wenigstens einen ersten Schwingarm zum Vorsehen einer Schwenkdrehung von wenigstens einem Werkstück um eine Drehachse als Teil des Transports des Werkstücks zwischen der Werkstückhalteanordnung und der Prozesskammeranordnung, und zum Bewegen in einer Richtung, die wenigstens allgemein entlang der Drehachse ist, als einen andere Teil des Transports des Werkstücks, um eine Höhe des Schwingarms zu ändern, so dass das Werkstück, das transportiert wird, zwischen verschiedenen voneinander beabstandeten Höhenebenen bewegt werden kann, zusätzlich zu der Schwenkdrehung.
Bei noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung sind Werkstücke zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen. Eine Schwingarmanordnung umfasst wenigstens einen ersten Schwingarm zum Vorsehen einer Schwenkdrehung von wenigstens einem Werkstück um eine Drehachse als Teil des Transports des Werkstücks wenigstens in Bezug auf die Prozesskammeranordnung, und zum Bewegen in einer Richtung, die wenigstens allgemein entlang der Rotationsachse ist, als einen anderen Teil des Transports des Werkstücks, um eine Höhe des Schwingarm so zu ändern, dass das Werkstück, das transportiert wird, zwischen verschiedenen voneinander beabstandeten Höhenebenen bewegt werden kann, zusätzlich zu der Schwenkdrehung.
Bei einem weiterführenden Aspekt der vorliegenden Erfindung sind Werkstücke zu und von einer Prozesskammeranordnung in einem System bewegbar, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens eine Prozessierstation verwendet, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen. Eine Werkstückhalteanordnung ist in einer beabstandeten Beziehung zu der Prozesskammeranordnung angeordnet, um wenigstens eines der Werkstücke zu halten. Eine Schwingarmanordnung ist in einer anderen beabstandeten Beziehung von der Prozesskammeranordnung angeordnet, wobei sie wenigstens einen ersten Schwingarm und einen zweiten Schwingarm umfasst, die für eine koaxiale Drehung um eine gemeinsame Drehachse konfiguriert sind zur Verwendung beim Transportieren der Werkstücke zwischen der Werkstückhalteanordnung und der Prozesskammeranordnung.
Bei einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung sind Werkstücke zu und von einer Prozesskammeranordnung in einem System bewegbar. Die Prozesskammeranordnung verwendet wenigstens eine Prozessierstation, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen. Eine Schwingarmanordnung, die einen Teil des Systems bildet, umfasst wenigstens einen ersten Schwingarm und einen zweiten Schwingarm, die für eine koaxiale Drehung um eine gemeinsame Drehachse konfiguriert sind zur Verwendung beim Transport der Werkstücke in Bezug auf die Prozesskammeranordnung.
Bei einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung zum Prozessieren von Werkstücken unter Verwendung eines Behandlungsprozesses umfasst eine Systemkonfiguration ein Paar von nebeneinander liegenden ersten und zwei ten Prozessierstationen, wobei jede Prozessierstation konfiguriert ist, um den Behandlungsprozess an einem der Werkstücke anzuwenden. Eine Werkstückhalteanordnung ist konfiguriert, um ein oder mehrere der Werkstücke zu halten. Die Werkstückhalteanordnung ist in einem ersten Abstand wenigstens ungefähr gleich von jeder der Prozessierstationen angeordnet. Erste und zweite Schwingarmanordnungen sind angeordnet, um um eine erste Achse und eine zweite Achse jeweils zu schwenken, so dass sowohl die erste Achse als auch die zweite Achse wenigstens ungefähr in einem zweiten Abstand von der Werkstückhalteanordnung angeordnet ist, während die erste Achse wenigstens ungefähr von der ersten Prozessierstation um den zweiten Abstand beabstandet ist und die zweite Achse wenigstens ungefähr von der zweiten Prozessierstation um den zweiten Abstand beabstandet ist, so dass die erste Prozessierstation, die zweite Prozessierstation, die erste Achse, die zweite Achse und die Wafersäule zusammenwirken, um eine fünfeckige Form zu definieren.
Bei noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst ein Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken unter Verwendung eines Behandlungsprozesses eine Konfiguration, die ein Paar nebeneinander liegender erster und zweiter Prozessierstationen hat, die eine Linie definieren, die sich durch ein erstes Zentrum der ersten Prozessierstation und ein zweites Zentrum der zweiten Prozessierstation erstreckt, wobei jede der Prozessierstationen konfiguriert ist, um den Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke anzuwenden. Eine Werkstückhalteanordnung ist konfiguriert, um wenigstens eines der Werkstücke seitlich von der Linie versetzt zu halten. Erste und zweite Schwingarmanordnungen, von denen jede jeweils um eine erste Achse und eine zweite Achse schwenken, sind an einem ersten Schwingarmort und einem zweiten Schwingarmort angeordnet, und sowohl der erste Schwingarmort als auch die zweite Schwingarmort ist von der Linie an einer gemeinsamen Seite derselben gegen die, aber nicht jenseits der, Werkstückhalteanordnung versetzt, so dass die erste Prozessierstation, die zweite Prozessierstation, die erste Achse, die zweite Achse und die Wafersäule zusammenwirken, um eine fünfeckige Form zu definieren.
Bei einem weiterführenden Aspekt der vorliegenden Erfindung, bei Verwenden einer ersten angetriebenen Welle, um eine zweite Welle drehend anzutreiben, umfasst eine Konfiguration erste und zweite gezähnte flexible geschlossene Schleifenglieder. Eine erste Rollenanordnung in auf der ersten Welle montiert und eine zweite Rollenanordnung ist auf der zweiten Welle montiert, um die ersten und zweiten gezähnten flexiblen Glieder in einer nebeneinander liegenden Beziehung aufzunehmen, so dass wenigstens eine bestimmte der Rollenanordnungen eine erste Rolle umfasst, die mit dem ersten gezähnten flexiblen Glied eingreift, und eine zweite Rolle mit dem zweiten gezähnten flexiblen Glied eingreift, wobei sowohl die erste als auch die zweite Rolle eine zahnaufnehmende Konfiguration hat, die mit dem ersten und zweiten gezähnten flexiblen Glied zusammenwirkt, um eine gegebene Spiellücke vorzusehen, wenn sie jeweils mit dem ersten und zweiten gezähnten Riemenglied eingegriffen ist. Die erste Rolle und die zweite Rolle sind mit einer Drehversetzung zwischen ihnen montiert, so dass die zahnaufnehmende Konfiguration der ersten Rolle drehbar in Bezug auf die zahnaufnehmende Konfiguration der zweiten Rolle versetzt ist, basierend auf der gegebenen Spiellücke, auf eine Weise, die ein betriebsbedingtes Spiel der bestimmten Rollenanordnung in Bezug auf die Bewegung des ersten und des zweiten gezähnten flexiblen Gliedes auf einen Wert begrenzt, der geringer ist als die gegebene Spiellücke.
Bei noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung werden eine Ventilvorrichtung und ein Verfahren beschrieben zur Verwendung in einem Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken. Das System umfasst wenigstens zwei benachbarte Kammern mit einem zwischen ihnen definierten Schlitz, durch den die Werkstücke transportierbar sind, und eine Kammerabdichtungsoberfläche, die wenigstens allgemein eben ist, und die den Schlitz umgibt und eine Dichtungsanordnung trägt, die den Schlitz umgibt. Die Ventilanordnung ist konfiguriert, um den Schlitz selektiv zu öffnen und zu schließen unter Verwendung eines Dichtungsblattgliedes, das eine Blattoberfläche umfasst, die konfiguriert ist, um an der Dichtungsanordnung dichtend anzugreifen. Eine Betätigungsvorrichtung bewegt das Dichtungsblattglied zwi schen einer offenen Position von dem Schlitz weg, um einen Durchgang für die Werkstücke dort hindurch vorzusehen, und einer geschlossenen Position, in der das Dichtungsblattglied in Dichtungskontakt mit wenigstens der Dichtungsanordnung gebracht wird, und um das Dichtungsblattglied auf eine Weise zu halten, die eine Bewegung der Blattoberfläche vorsieht, die wenigstens auf ein Angreifen an der Dichtungsanordnung ansprechend ist, das gekennzeichnet ist durch zwei Freiheitsgrade zum Ausrichten der Blattoberfläche mit der Dichtungsanordnung und dadurch der Dichtungsoberfläche.
Bei noch einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Konfiguration beschrieben zur Verwendung in einem Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken. Das System hat wenigstens zwei benachbarte Kammern, die einer Kontamination durch intern und extern produzierte Kontaminationsteilchen ausgesetzt sind. Die Konfiguration umfasst eine Kammerkörperanordnung, die dazu dient, um die benachbarten Kammern zu definieren, und einen Schlitz zwischen den benachbarten Kammern, durch den die Werkstücke transportierbar sind, und einer Kammerdichtungsoberfläche, die wenigstens allgemein eben ist und die den Schlitz umgibt. Die Kammerkörperanordnung definiert ferner eine Kammermulde, die dem Schlitz benachbart und unterhalb demselben ist, um einen Teil einer bestimmten der benachbarten Kammern zu bilden, so dass die Kammermulde einen niedrigsten Bereich der Kammerkörperanordnung bildet, der als ein Sammelbereich für die Kontaminationsteilchen dient, die sich wenigstens unter einem Einfluss der Erdgravitation befinden, und wobei die Kammerkörperanordnung ferner einen Pumpanschluss definiert wenigstens zur Verwendung bei der Evakuierung der bestimmten Kammer. Eine Ventilanordnung ist in der bestimmten Kammer gelagert zur wahlweisen Bewegung zwischen einer geschlossenen Position, in der das Dichtungsblatt davon gegen den Schlitz abdichtet, um die benachbarten Kammern voneinander zu isolieren, und einer offenen Position, in der sich das Dichtungsblatt in die Mulde zurückzieht. Eine Pumpanordnung ist mit dem Pumpanschluss verbunden wenigstens zur Verwendung bei der Evakuierung der bestimmten Kammer durch Pumpen von der Mulde auf eine Weise, die dazu dient, um wenigstens einen Teil der in der Mulde gesammelten Kontaminierungsteilchen zu entfernen.
Bei einem zusätzlichen Aspekt der vorliegenden Erfindung werden ein Waferbehandlungssystem und ein zugehöriges Verfahren beschrieben, bei denen wenigstens ein Wafer zwischen einer Schleuse und einer Prozesskammer bewegbar ist. Der Wafer umfasst einen Waferdurchmesser. Eine Überführungskammer ist zur wahlweisen Druckkommunikation mit der Schleuse und der Prozesskammer angeordnet. Die Transferkammer hat eine Konfiguration seitlicher Ausdehnung, so dass der Wafer durch die Überführungskammer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer entlang eines Waferüberführungsweges bewegbar ist, und die Konfiguration der seitlichen Ausdehnung den Wafer dazu veranlasst, der den Waferdurchmesser hat und sich entlang des Waferüberführungsweges bewegt, sich mit wenigstens der Schleuse oder der Prozesskammer für irgendeine gegebene Position entlang des Waferweges gegenseitig zu beeinflussen. Bei einem Merkmal umfasst der Wafer eine Wafermitte, und der Waferüberführungsweg ist durch Bewegung der Wafermitte durch die Überführungskammer definiert.
Bei einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung, werden ein System und ein Verfahren zum Prozessieren von Wafern beschrieben, die wenigstens eine Schleuse umfassen. Eine Überführungskammer ist in wahlweiser Kommunikation mit der Schleuse angeordnet. Eine Prozesskammer umfasst wenigstens eine Prozessierstation, so dass die Prozesskammer in wahlweiser Kommunikation mit der Überführungskammer ist und die Wafer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer durch die Überführungskammer überführt werden können. Eine Schwingarmanordnung ist konfiguriert, um wenigstens einen Schwingarm zu umfassen, der drehbar in der Überführungskammer angeordnet ist und ein fernes Ende hat, das konfiguriert ist, um die Wafer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer zu bewegen. Der Schwingarm ist in einer Grundposition innerhalb der Überführungskammer positionierbar, wenn die Schleuse und die Überführungskammer voneinander isoliert sind, und der Schwingarm ist konfiguriert, um das ferne Ende um eine erste Win kelversetzung in einer Richtung von der Grundposition zu der Schleuse zu schwingen, und um das ferne Ende um eine zweite Winkelversetzung in einer entgegengesetzten Richtung von der Grundposition zu der Prozessierstation zu schwingen, so dass die erste Winkelversetzung von der zweiten Winkelversetzung verschieden ist. Bei einem Merkmal ist die erste Winkelversetzung geringer als die zweite Winkelversetzung.
Bei noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung werden ein System und ein zugehöriges Verfahren zum Prozessieren von Wafern beschrieben, die wenigstens eine Schleuse, die eine Waferstation hat, und eine Prozesskammer, die eine Prozessierstation hat, umfassen. Eine Überführungsanordnung ist konfiguriert, um eine Schwingarmanordnung zu umfassen, die wenigstens einen ersten Schwingarm und einen zweiten Schwingarm hat, die für eine koaxiale Drehung um eine gemeinsame Drehachse konfiguriert sind, zur Verwendung beim Transportieren der Wafer zwischen der Waferstation in der Schleuse und der Prozessierstation in der Prozesskammer. Der erste und zweite Schwingarm sind konfiguriert, so dass sich einer der Schwingarme auf die Prozessierstation zu drehen kann, während sich der andere der Schwingarme unabhängig auf die Waferstation zu dreht. Bei einem Merkmal bewegen sich sowohl der erste als auch der zweite Schwingarm durch eine Grundposition beim Drehen zwischen der Waferstation und der Prozessierstation, und die Waferstation wird durch Drehen um einen ersten Winkelversatz von der Grundposition erreicht, wobei die Prozessierstation durch Drehen um einen zweiten Winkelversatz von der Grundposition erreicht wird, so dass der erste Winkelversatz von dem zweiten Winkelversatz verschieden ist. Bei einem verwandten Merkmal ist der erste Winkelversatz geringer als der zweite Winkelversatz. Bei einem anderen Merkmal ist die Schwingarmanordnung konfiguriert, um eine Antriebsanordnung zu umfassen um wenigstens den ersten Schwingarm und den zweiten Schwingarm wahlweise bei verschiedenen Winkelgeschwindigkeiten zu drehen. Bei noch einem anderen Merkmal ist die Schwingarmanordnung konfiguriert, um eine Antriebsanordnung zu umfassen, um wenigstens den ersten Schwingarm und den zweiten Schwingarm in entgegen gesetzte Richtungen um verschiedene Winkelbeträge wahlweise zu drehen. Bei einem anderen verwandten Merkmal drehen sich sowohl der erste Schwingarm als auch der zweite Schwingarm wenigstens ungefähr mit der gleichen gegebenen Winkelgeschwindigkeit in den entgegen gesetzten Richtungen, so dass sich einer der Schwingarme für eine erste Zeitdauer von der Grundposition dreht, um die Waferstation zu erreichen, und der andere der Schwingarme sich für eine zweite Zeitdauer, die von der ersten Zeitdauer verschieden ist, von der Grundposition dreht, um die Prozessierstation zu erreichen.
Bei noch einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung werden ein System und ein Verfahren zum Prozessieren von Wafern beschrieben, die wenigstens eine Schleuse umfassen, die eine Waferstation hat, und eine Prozesskammer, die eine Prozessierstation hat. Eine Überführungsanordnung ist konfiguriert, um einen Schwingarm zu umfassen, der zur Drehung um eine Drehachse konfiguriert ist zur Verwendung beim Transport der Werkstücke zwischen der Waferstation und der Prozessierstation. Der Schwingarm ist konfiguriert, um sich in einer Richtung um einen ersten Winkelwert von der Grundposition zu der Prozessierstation zu drehen, und um sich in einer entgegen gesetzten Richtung um einen zweiten Winkelwert von der Grundposition zu drehen, um die Waferstation zu erreichen, und wobei der erste Winkelwert von dem zweiten Winkelwert verschieden ist. Bei einem Merkmal bilden die Schleuse und die Prozesskammer Teile einer gesamten Kammeranordnung, die mit der Überführungsanordnung auf eine Weise zusammenwirkt, die wenigstens zum Teil dazu dient, die Grundposition des Schwingarms zu definieren. Bei einem anderen Merkmal sind die Schleuse und die Prozesskammer voneinander druckisolierbar, im Wesentlichen nur wenn der Schwingarm in der Grundposition ist. Bei noch einem anderen Merkmal umfasst die gesamte Kammeranordnung eine Überführungskammer, die in wahlweiser Kommunikation mit sowohl der Schleuse als auch der Prozesskammer ist, und die Überführungsanordnung in der Überführungskammer gelagert ist, so dass die Grundposition innerhalb der Überführungskammer definiert ist. Bei noch einem anderen Merkmal ist die Schleuse in direkter Kommunikation mit der Prozesskammer und die Überführungsanordnung ist in der Schleuse gelagert, so dass die Grundposition innerhalb der Schleuse definiert ist.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Die vorliegende Erfindung kann unter Bezugnahme auf die folgende detaillierte Beschreibung verstanden werden, die in Verbindung mit den Zeichnungen erfolgt, die untenstehend kurz beschrieben sind.
1a ist eine schematische räumliche Ansicht eines Werkstückprozessiersystems, das in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist;
1b ist eine schematische Draufsicht des Systems der 1a, das hier gezeigt ist, um weitere Einzelheiten von dessen Struktur zu zeigen;
2 ist eine schematische räumliche Ansicht einer Schleuse, die in dem System der 1a verwendet wird, die hier gezeigt ist, um Einzelheiten ihrer Struktur zu zeigen;
3 ist eine andere schematische räumliche Ansicht der Schleuse der 2, die ferner sowohl das Aussehen einer Schlitztüranordnung als auch weitere Einzelheiten der Struktur der Schleuse zeigt;
4 ist eine schematische räumliche Ansicht, die eine Überführungskammer zeigt, die in dem System der 1a verwendet wird, und die mit der Schleuse verbunden ist, die auch in dem System verwendet wird und in weiteren Einzelheiten in den 2 und 3 gezeigt ist;
5a ist eine schematische räumliche getrennte Ansicht, die Einzelheiten einer dualen Schwingarmanordnung darstellt, die in der Überführungskammer der 4 verwendet wird;
5b ist eine schematische teilweise aufgeschnittene Ansicht im Querschnitt, die Einzelheiten einer Endeffektorhöheneinstellanordnung darstellt, die hier gezeigt ist, um Merkmale darzustellen, die in der Ansicht der 5a nicht sichtbar sind;
6 ist eine schematische vergrößerte aufgeschnittene Ansicht im Querschnitt der Schwingarmanordnung der 5a, die hier gezeigt ist, um weitere Einzelheiten ihrer Struktur darzustellen;
7 ist eine schematische vergrößerte aufgeschnittene Ansicht im Querschnitt der Schwingarmanordnung der 6, die weiter vergrößert ist, um Einzelheiten in Bezug auf innere und äußere Schwingarmwellen als auch einem Gehäuse dafür darzustellen;
8 und 9 sind schematische Draufsichten von Nocken, die in der Schwingarmanordnung der 5a-7 verwendet werden zur Verwendung beim Einrichten der Höhe jedes Schwingarmes;
10a ist eine schematische räumliche Ansicht einer Brückenklammer, die einen Nockenstößel trägt zum Eingriff mit den Nocken der 8 und 9;
10b ist eine schematische teilweise Querschnittsansicht des Nockenstößels und eines Teil der Brückenklammer der 10a, die hier gezeigt ist, um weitere Einzelheiten der Struktur dieser Komponenten darzustellen;
11 ist eine schematische räumliche Ansicht, die weitere Einzelheiten in Bezug auf eine Schwingarmanordnung der dualen Schwingarmanordnung der 5a zeigt;
12 ist eine andere schematische vergrößerte aufgeschnittene Ansicht im Querschnitt der Schwingarmanordnung der 6, die weiter ver größert ist, um Einzelheiten in Bezug auf den Schwingarmantriebsaufbau darzustellen;
13 ist eine schematische räumliche Ansicht, die einen Gegendrehantriebsriemen und eine Rollenanordnung darstellt, die verwendet wird, um einen Schwingarm eines koaxialen Paars von Schwingarmen entgegen gesetzt zu drehen;
14 ist eine schematische räumliche Ansicht, die einen Antriebsriemen und eine Rollenanordnung darstellt, die verwendet wird, um den anderen Schwingarm des koaxialen Paars von Schwingarmen zu drehen;
15 ist eine vereinfachte räumliche Darstellung eines Antriebsriemens und einer Rollenanordnung, die zum Zwecke der Minimierung des Antriebsriemenspiels verwendet wird;
16a und 16b sind schematische Draufsichten des Antriebsriemens und der Rollenanordnung der 15, die hier gezeigt sind, um weitere Einzelheiten in Bezug auf deren Anordnung darzustellen;
17a ist eine schematische räumliche Ansicht, die eine Schlitzventilanordnung darstellt, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist;
17b ist eine schematische Ansicht im Querschnittsaufriss, welche die Schlitzventilanordnung der 17a zeigt, um weitere Einzelheiten ihrer Struktur darzustellen;
17c ist eine schematische teilweise aufgeschnittene Ansicht im Querschnittsaufriss, die einen vergrößerten Bereich der Ansicht der 17b zeigt, die noch weitere Einzelheiten ihrer Struktur zeigt;
17d ist eine schematische räumliche Ansicht der Schlitzventilanordnung der 17a, die weitere Einzelheiten in Bezug auf einen Blattaufhängungsmechanismus zeigt;
17e ist eine schematische Ansicht im Querschnitt, die Einzelheiten in Bezug auf eine Merkmal des Blattaufhängungsmechanismus darstellt;
18a-18e bilden eine Reihe schematischer Draufsichten, die einen Prozess zum Implementieren von Werkstücküberführung und -behandlung auf eine sehr vorteilhafte Weise darstellen;
19a-19l bilden eine Reihe schematischer Aufrissansichten, die mit den Draufsichten der 18a-18e zusammenwirken, um weitere Einzelheiten des Prozesses darzustellen;
20 ist eine schematische Draufsicht, die eine Prozesskammer, eine Überführungskammer und eine Schleuse darstellt zum Zwecke des Beschreibens einer Weise, auf die eine Änderung des Abstands von Prozessierstation zu Prozessierstation angepasst werden kann;
21 ist eine schematische Draufsicht einer Ausführung eines Systems, das eine Schwingarmanordnung der vorliegenden Erfindung in Verbindung mit Prozessierstationen verwendet, die in individuellen Prozesskammern aufgenommen sind;
22 ist eine schematische Draufsicht einer anderen Ausführung eines Systems, das in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, das einen linearen Werkstückantrieb und eine tragbare Werkstücksäule verwendet;
23 ist eine schematische Draufsicht einer alternativen Ausführung eines Systems, das in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, das einen linearen Werkstückantrieb verwendet;
24a-d sind schematische Draufsichten des linearen Antriebs und der Schleuse des Systems der 23, die hier gezeigt sind, um Werkstückbewegung unter Verwendung eines drehbaren Werkstückträgers darzustellen;
25-27 sind Draufsichten von zusätzlichen alternativen Ausführungen von Systemen, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt sind;
28 ist eine schematische Draufsicht einer anderen Ausführung eines Systems, das eine Schwingarmanordnung der vorliegenden Erfindung in Verbindung mit Prozessierstationen verwendet, die in individuellen Prozesskammern beherbergt sind;
29 ist eine schematische teilweise aufgeschnittene Querschnittsansicht im Aufriss einer Ausführung einer Spalttüranordnung des Standes der Technik, die hier gezeigt ist, um Einzelheiten ihrer Dichtungskonfiguration darzustellen;
30 ist eine schematische räumliche Ansicht einer anderen Ausführung einer Schwingarmanordnung, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist;
31 ist eine schematische räumliche Ansicht eines der Schwingarmbetätigungsmechanismen der 30, die hier gezeigt ist, um weitere Einzelheiten seiner Struktur darzustellen;
32 ist eine vergrößerte räumliche Ansicht eines Teils des Schwingarmmechanismus der 31, die hier gezeigt ist, um klarer die Einzelheiten seiner dualen Motorantriebsanordnung darzustellen;
33 ist eine schematische Draufsicht eines Systems, das in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, und das die Schwingarmanordnung der 30-32 verwendet, die hier gezeigt ist, um Einzelheiten der Struktur des Systems und seiner zugehörigen Vorteile darzustellen;
34 ist eine andere schematische Draufsicht des Systems der 33, welche die Schwingarmanordnung in einer gedrehten Orientierung zeigt sowie zugehörige Einzelheiten;
35 ist eine schematische Draufsicht der Schleuse und der Überführungskammer, die in dem System der 33 und 34 verwendet wird, die hier gezeigt ist, um eine Anordnung eines Detektors zu zeigen, der durch die Überführungskammer und Schleusenklappen getragen wird;
36a und 36b sind schematische Draufsichten des Systems der 33-35, die hier gezeigt sind, um die Betriebsweise und weitere Einzelheiten in Bezug auf die Wafererfassungsanordnung darzustellen;
37 ist eine schematische Draufsicht eines anderen Systems, das in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, und das die Schwingarmanordnung der 30-32 verwendet, die hier gezeigt ist, um Einzelheiten der Struktur des Systems und seiner zugehörigen Vorteile darzustellen, wobei eine Überführungskammer nicht umfasst ist.
Detaillierte Beschreibung
Die folgende Beschreibung wird dargeboten, um den Fachmann in die Lage zu versetzen, die Erfindung auszuführen und zu verwenden, und sie wird im Zusammenhang einer Patentanmeldung und ihrer Erfordernisse geliefert. Verschiedene Modifikationen der beschriebenen Ausführungen werden für den Fachmann leicht ersichtlich sein, und die hierin enthaltenen grundlegenden Prinzipien können auf andere Ausführungen angewandt werden. Daher ist nicht beabsichtigt, dass die vorliegende Erfindung auf die gezeigten Ausführungen beschränken wird, sondern es ist ihr der weiteste Umfang einzuräu men, der mit den Prinzipien und Merkmalen vereinbar ist, die hierin beschrieben sind, einschließlich Alternativen, Modifikationen und Äquivalenten, wie sie innerhalb des Umfangs der beigefügten Ansprüche definiert sind. Es wird bemerkt, dass die Zeichnungen nicht maßstabsgerecht und von schematischer Natur sind auf eine Weise, von der angenommen wird, dass sie interessante Merkmale am besten darstellt. Ferner werden gleiche Bezugszahlen für gleiche Komponenten verwendet, wann immer dies praktikabel erscheint, innerhalb der gesamten vorliegenden Offenbarung. Beschreibende Terminologie wie zum Beispiel oberst/unterst, rechts/links, vorder/hinter und dergleichen wurde zum Zwecke der Verbesserung der Verständlichkeit für den Leser in Bezug auf die verschiedenen Ansichten, die in den Figuren gegeben sind, eingeführt, und sie sind in keinster Weise als beschränkend gedacht.
Mit Bezug auf die 1a und 1b ist die erstere eine schematische Ansicht im Aufriss eines Prozessiersystems, das allgemein mit der Bezugszahl 10 bezeichnet ist, entsprechend einer Ausführung der vorliegenden Erfindung. 1b ist eine schematische Draufsicht des Systems 10. Das Prozessiersystem ist allgemein aus einem vorderen Ende 12, einer Schleusensektion 14, einer Waferhandhabungssektion 15 und einer Prozessiersektion 16 aufgebaut. Dieses System kann eingesetzt werden, um eine große Vielzahl von Prozessen an geeigneten Werkstücken auszuführen wie zum Beispiel verschiedene Implementierungen des Ätzens (Plasmaätzen, photochemisches Ätzen, chemisches Dampfätzen, thermisch getriebenes Ätzen, Ionenätzen usw.), Planarisierung (Kombination aus Ätzen und Abscheiden), Reinigung und Rückstandsentfernung, und verschiedene Implementierungen der chemischen, physikalischen und Ionenabscheidung (PECVD, ALD, MOCVD, Sputtern, Aufdampfen usw.). Geeignete Werkstücktypen umfassen, sind jedoch nicht darauf beschränkt, Halbleiter, opto-elektronische, Speichermedien und flache Anzeigefelder. Geeignete Werkstückmaterialien umfassen, sind jedoch nicht darauf beschränkt, Silizium, Silizium Germanium, Glas und Plastik. Geeignete plasmabasierte Prozessquellen umfassen zum Beispiel induktiv gekoppelte Plasmaquellen (ICP), Mikrowellenquellen, Oberflächenwellenplasmaquellen, ECR-Plasmaquellen und kapazitiv gekoppelte (parallele Platte) Plasmaquellen. Jeder geeignete prozessdefinierte Druck kann verwendet werden.
Noch mit Bezug auf die 1a und 1b, ist das vordere Ende 12 im Allgemeinen bei Atmosphärendruck und definiert eine „Mini-Umgebung", die konfiguriert ist, um eine Vielzahl von Kassetten oder FOUPs (Frontöffnungs-Einheitshalter, Front Opening Unified Pods, in 1a gezeigt) 18 oder andere geeignete Werkstücküberführungsteile aufzunehmen, von denen jedes im vorliegenden Beispiel konfiguriert ist, um 25 Halbleiterwafer zu tragen. Den Aufnahmeoberflächen für die FOUPs gegenüberliegend ist das vordere Ende 12 konfiguriert, um ein Paar von ersten und zweiten Schleusen 20a und 20b (nur die erste Schleuse 20a ist in der Ansicht der 1a sichtbar) aufzunehmen, die gemeinsam oder einzeln als Schleuse(n) 20 bezeichnet werden. 1b stellt eine Zwischenstation 21 dar, die zum Beispiel eine Kühlstation aufweisen kann, die zwischen den Schleusen 20a und 20b positioniert ist. Die erste und die zweite Schleuse sind einander im Allgemeinen identisch und mit ersten und zweiten Überführungskammern verbunden, die einzeln durch die Bezugszahlen 22a und 22b bezeichnet sind, und gemeinsam oder einzeln als Überführungskammer(n) 22 bezeichnet werden. Die Überführungskammern wiederum sind mit ersten und zweiten Prozesskammern 24a und 24b verbunden, die gemeinsam oder einzeln als Prozesskammer(n) 24 bezeichnet werden können. Jede Prozesskammer, wie unten gesehen wird, setzt eine nebeneinander liegende Werkstückanordnung oder nebeneinander liegende Prozessierstationen ein, in der jede Prozesskammer gleichzeitig ein Paar von Werkstücken demselben Prozess aussetzen kann. Selbstverständlich können die Prozesskammern 24a und 24b verwendet werden, um den gleichen Prozess ausführen oder um verschiedene Prozesse auszuführen.
Mit anhaltendem Bezug auf die 1a und 1b werden im vorliegenden Beispiel vier Plasmaquellen 26a-d verwendet, entsprechend den vier Prozessierstationen, die gemeinsam von den Prozesskammern aus Gründen der Einfachheit bereitgestellt werden. Die Bezugszahlen 26a-d können verwendet werden, um zugehörige der Prozessierstationen zu bezeichnen. Es wird ver merkt, dass eine geeignete Prozesskammerkonfiguration, die im Kontext der vorliegenden Erfindung nützlich ist, in der anhängigen US-Patentanmeldung Nummer 10/828,614 (Anwaltsaktenzeichen MAT-17) beschrieben ist, die gemeinsam mit der vorliegenden Erfindung besessen wird, und die durch Verweis hierein aufgenommen ist. Geeignete Ventile sind zwischen den verschiedenen Kammern vorgesehen, wie weiter beschrieben werden wird, da das Prozessieren für gewöhnlich auf eine Art einer gestuften Vakuumsequenz erreicht wird, beginnend beim vorderen Ende 12. In einem solchen Prozessierprogramm können die Schleusen 20 von Atmosphärendruck auf einen Behandlungs- oder Zwischendruck herabgepumpt werden, bevor die Werkstücke zu und von den Prozesskammern 24 durch die Überführungskammern 22 überführt werden. Es sollte anerkannt werden, dass das System 10 leicht mit nur einer Prozesskammer 24 konfiguriert werden kann, einer Überführungskammer 22 und einer Schleuse 20, zum Beispiel in dem Fall, in dem eine Prozesskammer einen gewünschten Grad des Durchsatzes erreichen kann oder wo sequentielles Prozessieren nicht erforderlich ist. Eine Leitstation 20, umfassend eine Anzeige 32 und ein Eingabegerät 34, ist vorgesehen, die mit einem Computer 40 verbunden ist zur Verwendung bei der Steuerung des Systems. Es wird erwogen, dass der Fachmann in der Lage ist, den Computer 40 geeignet zu programmieren, um die hierin beschriebene Funktionalität zu erreichen in Anbetracht dieser gesamten Offenbarung.
Es wird bemerkt, dass Rohrleitungs- und Pumpeinrichtungen aus Gründen der darstellenden Klarheit in der 1 nicht dargestellt wurden. Ein gemeinsamer Einrichtungseinlass kann für die Verteilung von Pneumatikluft, Spülgas, Prozessgas(e) und Kühlwasser zu einer oder zwei Modulkonfigurationen verwendet werden. Auf ähnliche Weise kann eine einzelne Vakuumpumpe eingebaut werden zur Pumpversorgung von einzelnen oder dualen Schleusenmodulen. Getrennte Gaskonsolen können verwendet werden, um Prozessgase zu jedem Modul zu liefern, und jedes Prozessmodul wurde mit seiner eigenen Vakuumpumpe und Drucksteuergeräten konfiguriert, was parallele Prozessierungsfähigkeiten erlaubt. An den Schleuse(n), Überführungskammer(n) und Prozesskammer(n) befestigte Druckfühler werden verwendet, um Drücke zu kommunizieren die, mit der Prozessierfunktionalität assoziiert sind. Zusätzlich wird ein Sortiment von Vakuum- und Druckschaltern, die an Vorvakuumleitungen befestigt sind, für Sperrzwecke verwendet. In Anbetracht dieser gesamten Offenbarung wird erachtet, dass der Fachmann in der Lage ist, solche Einrichtungen einzubauen.
Die Aufmerksamkeit wird nur auf die 2 gelenkt, die eine der Schleusen 20 vom Rest des Systems getrennt zeigt. Es wird bemerkt, dass die obere Platte der Schleuse nicht gezeigt wird, um eine Sicht auf die inneren Einzelheiten ihrer Struktur zu ermöglichen. Die Schleuse 20 umfasst einen gesamten Körper, der eine Spaltöffnung 50 zum Kommunizieren mit einer der Überführungskammern 22 definiert. Ein O-Ring 52 ist an einer Vorderfläche oder Kammerdichtungsoberfläche 54 der Schleuse aufgenommen, um gegen die zugehörige Überführungskammer abzudichten. Eine Mulde 56 ist in dem Schleusenkammerkörper ausgebildet, um eine Ventilanordnung (nicht gezeigt) aufzunehmen, die ein Blattglied hat, das verwendet wird, um gegen die Oberfläche der Wand abzudichten, die der Vorderfläche 54 entgegen gesetzt ist, wie weiter unten im Einzelnen beschrieben wird. Für den Augenblick ist es angebracht zu vermerken, dass sich das Blattglied vorteilhaft in die Mulde 56 zurückzieht, wenn die Ventilanordnung in einer offenen Position ist. An einem entgegen gesetzten Teil des Überführungskammerkörpers, im Wesentlichen der Spaltöffnung 50 entgegen gesetzt, ist ein vorderer Spalt 60 definiert, durch den Werkstücke zu und von dem vorderen Teil 12 der 1a überführt werden. Jede geeignete Spalttüranordnung kann zum Zwecke des Abdichtens der vorderen Spaltöffnung 60 verwendet werden, einschließlich zum Beispiel der Anordnung, die an der Spaltöffnung 50 verwendet wird, die noch zu beschreiben ist. Andere geeignete Türanordnungen einschließlich einer Magnettür und einer pneumatischen Tür werden in dem US-Patent Nummer 6,315,512 beschrieben, das gemeinsam mit der vorliegenden Anmeldung besessen wird und durch Verweis hierin aufgenommen ist.
Noch mit Bezug auf 2 ist eine Ablageanordnung 64 vorgesehen, um Werkstücke in der Schleuse 20 zu haltern, wenn diese Werkstücke zu und von sowohl dem vorderen Ende und der Prozesskammer der 1a und 1b überführt werden. Die Ablageanordnung ist aus zwei Sätzen voneinander beabstandeter Blattglieder aufgebaut, die zwischen einem langen Blatt 66 und einem kurzen Blatt 68 in einer gesamten gestapelten Beziehung alternieren. Entsprechend umfasst jeder Satz von Blattgliedern zwei lange Blätter 66 und zwei kurze Blätter 68. Es sollte vermerkt werden, dass ein langes Blatt in Kombination mit einem kurzen Blatt dazu dient, eine Ablage für ein einzelnes Werkstück aufzubauen, so dass jede Ablage eine asymmetrische Konfiguration umfasst. Die langen und kurzen Ablageblätter können unter Verwendung jedes geeigneten Materials gebildet werden, wie zum Beispiel Aluminium. Weitere Einzelheiten werden unten in Bezug auf die Verwendung dieser asymmetrischen Konfiguration geliefert. Jede Ablageanordnung wird unter Verwendung eines Paars von Befestigungsmitteln 70 gehaltert, die von jedem geeigneten Typ sein können, wie zum Beispiel rostfreiem Stahl. Abstandshalter können verwendet werden, um ein geeignetes voneinander beabstandetes Verhältnis zwischen den Ablageblattgliedern zu erhalten. Die Abstandshalter können zum Beispiel unter Verwendung desselben Materials gebildet werden, aus dem die Ablageblätter gebildet sind. Die Ablageanordnung ist konfiguriert, um vier Werkstücke in vier vertikal voneinander beabstandeten Haltestationen zu halten. Wie unten in weiteren Einzelheiten beschrieben wird, sind die zwei obersten Werkstückhalteablagen zur Verwendung beim Halten eines Paars von Werkstücken vor der Prozessierung bestimmt, während die beiden untersten Werkstückhalteablagen zur Verwendung beim Halten eines Paars von Werkstücken nach der Prozessierung bestimmt sind. Daher werden die Werkstücke vor der Prozessierung immer von dem vorderen Ende 12 der 1a zu den Vorprozesswerkstückhalteablagen und dann zu einer zugehörigen der Prozessierstationen 26 bewegt. Umgekehrt ist das untere Paar der Werkstückhaltestationen für die Werkstücke nach der Prozessierung bestimmt, so dass prozessierte Werkstücke immer von einer zugehörigen der Prozessierstationen 26 zur dem Nachprozesspaar der Ablagen bewegt werden. Werkstücke werden in den Ablagen gestapelt, um eine Werkstücksäule zu bilden, wie unten weiter beschrieben wird. Es ist für den Augenblick ange bracht zu vermerken, dass Paare von Werkstücken gleichzeitig zu und von dieser Werkstücksäule bewegt werden können.
Nimmt man nun Bezug auf die 3 in Verbindung mit der 2, stellt die erstere die Schleuse 20 in räumlicher Ansicht dar, um weitere Einzelheiten ihrer Konstruktion darzustellen, wobei die Ablageanordnung 64 entfernt wurde. Es wird wieder vermerkt, dass die obere Platte der Schleuse nicht gezeigt ist, um eine Sicht auf innere Einzelheiten ihrer Struktur zu ermöglichen. Insbesondere ist die Spaltöffnung 60 des vorderen Endes von einer O-Ringdichtung 74 umgeben gezeigt. Ferner ist eine Spalttürventilanordnung 80 gezeigt, die zum Abdichten der Spaltöffnung 50 eingebaut ist. Die Spaltventilanordnung umfasst ein Dichtungsblatt 82, das in die Mulde 56 des Schleusenkörpers zurückgezogen gezeigt ist. Die Schleuse 20 ist wie andere Kammern in den verschiedenen Figuren mit ihrem Deckel oder ihrer Klappe entfernt dargestellt aus Gründen der darstellerischen Klarheit. 1a zeigt jedoch diese Deckel, so wie sie eingebaut erscheinen. Eine geeignete Dichtung, wie zum Beispiel eine O-Ringdichtung 84, kann verwendet werden, um die Klappe gegen den Kammerkörper abzudichten. Die Spaltventilanordnung 80 wird in dem vorliegenden Beispiel unter Verwendung eines pneumatischen linearen Stellgliedes 86 betätigt. Die Schleuse 20 definiert ein Paar von Pumpanschlüssen, von denen nur einer sichtbar ist, die durch die Bezugszahl 87 bezeichnet sind. Es ist interessant zu vermerken, dass diese Pumpanschlüsse angeordnet sind, um aus der Mulde 56 zu pumpen. Diese Anordnung wird als vorteilhaft angesehen, da diese Mulde einen niedrigen Punkt innerhalb der gesamten Schleuse hat. Entsprechend dient die Mulde als Sammelbereich für Partikel und andere Kontaminationsteilchen, die in die Schleuse während des normalen Betriebs des Systems eingebracht werden. Durch Pumpen aus der Mulde als einem niedrigen Punkt, wird beabsichtigt, Partikel und Kontaminationsteilchen als eine normale Folge des Betriebes des Systems zu entfernen. Die Schleuse 20 umfasst auch einen Boden 88 oberhalb der Mulde 50, der ein Paar von Spülanschlüssen definiert, von denen nur einer in dem Boden sichtbar ist, bezeichnet mit der Bezugszahl 89. Die Spülanschlüsse 89 können in Zusammenwirkung mit den Pumpanschlüssen 87 ver wendet werden, um einen Querstrom während des Pumpens der Schleuse vorzusehen. Das heißt, geeignete Gase können durch die Spülanschlüsse 89 eingeführt werden, während das Pumpen an den Pumpanschlüssen 87 stattfindet. Auf diese Weise können Kontaminationsteilchen vorteilhaft dazu veranlasst werden, in Richtung auf und in die Mulde 56 zu strömen, um sie daraus durch Pumpen zu entfernen, wie weiter beschrieben werden wird. In 2 wird vermerkt, dass der dargestellte Spülanschluss einen Diffusor 90 aufnimmt, der zum Beispiel aus gesintertem Metall oder porösem Keramik oder einem Kompositmaterial (wie zum Beispiel unter anderem Edelstahl, Aluminiumoxid, imprägnierte Kohlenstofffasern) gebildet werden kann.
Die Aufmerksamkeit wird nun auf die 4 gelenkt, welche die Schleuse 20 mit der Überführungskammer 22 verbunden zeigt. Es wird auch vermerkt, dass verschiedene Merkmale, die Gegenstand der vorliegenden Diskussion sind, in vorherigen Figuren gesehen werden können, wie zum Beispiel den 1a und 1b. Ferner sind die obere Platte von sowohl der Schleuse als auch der Überführungskammer nicht gezeigt, um eine Sicht von inneren Einzelheiten ihrer Merkmale zu ermöglichen. Die zwei Kammern können auf jede geeignete Weise aneinander befestigt werden, wie zum Beispiel durch Verwenden von mit einem Gewinde versehenen Befestigungsmitteln, die durch die Montagelöcher 92 eingesetzt werden, wie in den 2-4 gezeigt ist. Die Überführungskammer 22 definiert eine Prozesskammerspalttür 100, die konfiguriert ist, um mit einer der Prozesskammern 24 zu koppeln, wie in den 1a und 1b gezeigt ist. Bei dem vorliegenden Beispiel wird die Spaltventilanordnung 80 auch zum Zwecke des Öffnens und Schließens der Prozesskammerspalttür 100 verwendet. Die Prozesskammer 22 ist konfiguriert, um eine Schwingarmanordnung 120 zu halten, die aus vier einzelnen Schwingarmen aufgebaut ist, die in sich entgegen gesetzt drehenden Paaren angeordnet sind, wie nachfolgend sofort beschrieben wird.
Wendet man sich nun der 5a in Verbindung mit der 4 zu, stellt die erstere Figur eine Schwingarmanordnung 120 in einer räumlichen Ansicht und von der Überführungskammer 22 entfernt dar aus Gründen der darstelleri schen Klarheit. Es wird vermerkt, dass 1b schematisch die Schwingarmanordnung 120 in Bezug auf die Gegendrehung darstellt, jedoch sind ihre vollen symmetrischen Bewegungsfähigkeiten in noch zu beschreibenden Figuren zu sehen. Eine gesamte Basisblatte 122 trägt jeweils Schwingarmpaare 124a und 124b. Es wird vermerkt, dass identische Bezugszahlen verwendet werden, um auf die ersten und zweiten Schwingarmpaare zu verweisen, bei denen Komponenten, die zu einem bestimmten Paar gehören unter Verwendung von „a" oder „b" bezeichnet werden, die an die entsprechende Bezugszahl angehängt werden. Somit können Komponenten, die in jedem der Schwingarmpaare identisch sind, einzeln oder gemeinsam ohne anhängen von „a" oder „b" bezeichnet werden. Zum Beispiel umfassen die Schwingarmpaare gemeinsam obere Blätter 128a und 128b, die gemeinsam oder einzeln aus Gründen der Einfachheit als obere(s) Blatt (Blätter) 128 bezeichnet werden können. Die Schwingarmpaare umfassen ferner ein unteres Schwingarmblatt (untere Schwingarmblätter) 130. Jedes der oberen Schwingarmblätter erstreckt sich zu einem fernen Ende 140, das zum Anbringen eines Endeffektors 142 konfiguriert ist, was am besten für den an das Schwingarmblatt 130b angebrachten in der 5a gesehen wird. Eine Gruppe von mit einem Gewinde versehenen Befestigungsmitteln 144 wird verwendet, um den Endeffektor 142 einstellbar an jedes Schwingarmblatt anzubringen. Auf diese Weise werden Ausrichtungseinstellungen vorgesehen, so dass sich die Endeffektoren geeignet mit den Ablagen der Ablageanordnung 64 der 2 und 4 verschachteln und auch einer mit dem anderen auf eine nicht behindernde Weise richtig verschachtelt ist, sogar wenn sie mit Werkstücken beladen sind. Es wird vermerkt, dass die Schwingarme in einer zweckdienlichen „Grund" Position oberhalb der Basisplatte 122 gezeigt sind, wie weiter beschrieben werden wird. Ferner kann ein Verweis auf einen Schwingarm (Schwingarme) auf die Kombination von einem oder mehreren Schwingarmblättern mit einem zugehörigen Endeffektor verweisen. Somit verweist der Schwingarm 130b auf das Schwingarmblatt 130a in Kombination mit einem angebrachten der Endeffektoren 142.
Mit Bezug auf die 5b in Verbindung mit der 5a ist die erstere eine Querschnittsansicht auf die einstellbare Weise, auf welche der Endeffektor 142 an dem fernen Ende 140 jedes Schwingarmblattes angebracht ist, wie zum Beispiel dem Schwingarmblatt 130b. Insbesondere umfasst die Befestigungsmittelgrupppe 144 ein Paar von schließenden Flachkopfbefestigungsmitteln 146a und 146b, obwohl jedes geeignete Befestigungsmittel verwendet werden kann. Ein Passstift 147 ist in eine Öffnung pressgepasst, die durch das Schwingarmblatt 130b definiert ist, und er hat ein freies Ende, das durch eine andere Öffnung ragt, die durch den Endeffektor 142 definiert ist. Eine schraubenförmige Spiralfeder 148 umgibt den Passstift 147 und spannt den Endeffektor nachgiebig und lokal von dem Schwingarmblatt weg vor. Eine Sechskantschraube 149 oder ein anderes geeignetes mit einem Gewinde versehenes Bauteil ist von dem Schwingarmblatt 130b mittels eines Gewindes aufgenommen zur Verwendung beim Einstellen der Endeffektorhöhe in Kombination mit den Befestigungsmitteln 146a und 146b. Es wird vermerkt, dass die Oberfläche des Schwingarmblattes 130b, die dem Endeffektor 142 zugewandt ist und das Befestigungsmittel 146 umgibt, eine gebogene Konfiguration hat, um Änderungen des Winkels des Endeffektors 142 relativ dazu bei der Höheneinstellung aufzunehmen. Die Endeffektorhöheneinstellung kann auf eine beispielhafte Weise bewirkt werden, indem das Befestigungsmittel 146b anfänglich „schmiegend" angezogen wird und das Befestigungsmittel 146a wenigstens leicht von einer gesetzten Position zurückgezogen wird. Das Befestigungsmittel 146a wird dann eingestellt, um den Endeffektor 142 auf einen gewünschten Winkel zu setzen. Die Sechskantschraube 149 wird dann angezogen, um die gewünschte Endeffektororientierung festzustellen.
Mit Bezug auf die 5a, erstreckt sich eine Klammer 150 von der Basisplatte 122 nach unten zum Halten eines Hubmotors 152, der eine Hubmotorrolle 154 dreht, die wiederum mit einem Hubriemen 156 eingreift. Der Hubriemen 156 ist um einer Hubrolle 158 aufgenommen, die auf einer Welle 160 gelagert ist, die ihrerseits von der Klammer 150 drehend gelagert ist. Es wird vermerkt, dass der Hubriemen 156 auf jede geeignete Weise gespannt werden kann, die im Stand der Technik verfügbar ist. Als ein Beispiel können ein oder mehrere Befestigungsmittel, die verwendet werden, um den Hubmotor 152 zu montieren, in geschlitzten Löchern aufgenommen werden, so dass der Motor geschwenkt werden kann, um den Hubriemen 156 zu spannen. Nachdem das Spannen ausgeführt wurde, werden die Befestigungsmittel anschließend angezogen. Jeder geeignete Motor kann als Hubmotor 152 verwendet werden, wie zum Beispiel ein Servo- oder Schrittmotor. Wie gesehen werden wird, wird nicht mehr als eine volle Umdrehung der Rolle 158 benötigt. Es wird bemerkt, dass dieser Motor einen Geber umfasst, um die Position seiner Ausgangswelle zu lesen und dadurch die Position der Hubrolle 158 mit einem geeigneten Genauigkeitsgrad zu identifizieren. Entgegengesetzte Enden der Welle 160 sind in Kupplungsstücken 162 aufgenommen, von denen jeder mit einer Nockenantriebswelle 164 eingreift. Die Nocken 166a und 166b werden unten in weiteren Einzelheiten beschrieben. Für den Augenblick ist es ausreichend zu bemerken, dass diese Nocken eine angepasste vertikale Bewegung jedes Schwingarmpaares ermöglichen, ansprechend auf die Drehung des Hubmotors 152. Die hierin beschriebene Anordnung ist vorteilhaft in Bezug auf das Vorsehen synchroner vertikaler Bewegung bei voneinander beabstandeten Schwingarmkonfigurationsorten unter Verwendung eines einzelnen Antriebsmotors. Als Alternative können jedoch getrennte Antriebsmotoren verwendet werden, um eine vertikale Bewegung jedes Schwingarmpaares zu bewirken. In diesem Fall kann jeder Motor einen Geber umfassen, oder es kann ein getrennter Geber vorgesehen sein zur Verwendung beim Lesen der vertikalen Position jedes Schwingarmpaares.
Mit Bezug auf die 6 in Verbindung mit der 5a, wird die Aufmerksamkeit nun auf Einzelheiten des Schwingarmmechanismus gelenkt. Dazu ist 6 eine teilweise, weiter vergrößerte Querschnittsdarstellung im Aufriss des Schwingarmes 124b. Es ist selbstverständlich, dass das Schwingarmpaar 124a im Wesentlichen identisch konfiguriert ist, mit gewissen noch zu bemerkenden Ausnahmen. Das erste und das zweite Schwingarmpaar sind durch Verwendung von Klammern 170a und 170b gelagert, die geeignet an der Basisplatte 122 angebracht sind, so dass sie sich nach unten von dieser erstrecken. Eine lineare Stufe 172 wird verwendet, um mit einem Schwingarmge häuse 176 einzugreifen, um eine lineare Auf-/Abbewegung des Schwingarmgehäuses 176 relativ zu den Klammern 170 vorzusehen. Eine geeignete lineare Stufe 172 ist von NSK Japan erhältlich, jede Anzahl alternativer Konfigurationen vorgesehen werden kann, welche die gewünschte lineare Bewegung bewerkstelligen. Pneumatische Zylinder 178 sind vorgesehen, die zwischen der Basisplatte 122 und dem Gehäuse 176 jeder Schwingarmanordnung schwenkbar eingreifen und eingenommen sind. Die Zylinder 178 sind zu Gegengewichtszwecken vorgesehen und können eine nach unten und oben gerichtete Vorspannkraft für die Schwingarmanordnungen in Bezug auf die Basisplatte 122 vorsehen. Zum Beispiel können die Zylinder eine Kraft bereitstellen, die derjenigen des Atmosphärendrucks entgegenwirkt, wenn die Überführungskammer unter Vakuum steht. Als ein anderes Beispiel kann, wenn die Überführungskammer bei Atmosphärendruck betrieben wird, eine Kraft bereitgestellt werden, um dem Gewicht des Roboters unter der Gravitationskraft entgegenzuwirken. In diesem Zusammenhang wird eine Druckregulierung zu den Zylindern auf eine bekannte Weise vorgesehen, um die angelegte Vorspannkraft herzustellen und zu ändern. Darüber hinaus können ein oder mehr zusätzliche Zylinder vorgesehen werden, abhängig von den Ladeanforderungen, oder es kann ein einzelner Zylinder verwendet werden.
Mit Bezug auf die 5a-7 wird die Aufmerksamkeit nun auf weitere Einzelheiten in Bezug auf die Konfiguration der Schwingarmanordnung 120 gelenkt. 7 ist eine weitere vergrößerte Ansicht, die Einzelheiten innerhalb eines gestrichelten Kreises 180 zeigt, der in der 6 erscheint. Das Gehäuse 176, das für eine vertikale Bewegung gelagert ist, ist gegen den Überführungskammerboden unter Verwendung einer Dichtungsanordnung 182 abgedichtet. Die letztere umfasst eine ringförmige L-Klammer 184 (7), die ein Ende hat, das zwischen einem ringförmigen Dichtungsring 186 und einer Bodenwand 188 der Überführungskammer 20 eingenommen ist (siehe auch 4). Der Dichtungsring 186 kann in der Position gehalten werden, zum Beispiel durch Verwenden von mit einem Gewinde versehenen Befestigungsmitteln 189. Ein O-Ring 190 ist innerhalb einer ringförmigen O-Ringrille eingenommen, um die L-Klammer 184 gegen eine periphere Stufe 191 (6 und 7) abzudichten, das durch den Überführungskammerboden 188 definiert ist. Ein entgegen gesetztes Ende der L-Klammer 184 umfasst eine ringförmige Dichtungsanordnung, die aus einer Viererdichtung 200 aufgebaut ist, die unter Verwendung eines Paares von Fettbügeln 202 und 204 in Position gehalten wird, die jeweils oberhalb und unterhalb der Viererdichtung positioniert sind. Diese Viererdichtung sollte wie alle anderen derartigen Dichtungen, die hierin beschrieben sind, geschmiert sein unter Verwendung eines geeigneten Schmiermittels, wie zum Beispiel eines fluorierten Fettes, das von den Fettbügeln 202 und 204 getragen wird. Bewegt man sich in Bezug auf das Gehäuse 176 nach Innen, trägt eine äußere Schwingarmwelle 210 die untersten Schwingarme 130 jedes Schwingarmpaares. Die äußere Schwingarmwelle 210 ist für eine Drehung gelagert, wenigstens teilweise, innerhalb eines durchgehenden Durchgangs 212, der durch das Gehäuse 176 definiert ist, unter Verwendung eines Lagers und der Dichtungsanordnung 214 (7). Die letztere umfasst eine andere Viererdichtung 200 und Fettbügel 202 und 204, die innerhalb einer ringförmigen Rillenkonfiguration eingenommen sind, die eine oberste Öffnung umgibt, die in einen durchgehenden Durchgang 216 führt, der durch die äußere Schwingarmwelle 210 definiert ist. Unter der Dichtungsanordnung, in der Ansicht der 7, ist ein Lager 220 zum drehbaren Lagern des oberen Endes der äußeren Schwingarmwelle 210 aufgenommen. Ein ähnliches Lager 220 (6) trägt ein unterstes Ende der äußeren Schwingarmwelle 210. Eine innere Schwingarmwelle 226 ist für eine Drehung innerhalb des durchgehenden Durchgangs 216 der äußeren Schwingarmwelle 210 aufgenommen.
7 stellt die Weise dar, in der ein oberes Ende der inneren Schwingarmwelle 226 zur Drehung gelagert ist unter Verwendung einer Lager-/Dichtungsanordnung 228, die im Wesentlichen, von einem funktionalen Standpunkt aus, mit der Dichtungsanordnung identisch ist, die zwischen dem Gehäuse 176 und dem obersten Ende der äußeren Schwingarmwelle 210 verwendet wird. Es wird bemerkt, dass jeder geeignete Typ an Lager verwendet werden kann, um sowohl die innere als auch die äußere Schwingarmwellen drehbar zu lagern. Geeignete Lagertypen umfassen, sind aber nicht darauf beschränkt, Schräg- und Radialkugellager. Die Lageranordnung 228 ist zwischen den inneren und äußeren Schwingarmwellen gehalten durch Anbringen des unteren Schwingarms 130 an die äußere Schwingarmwelle 210 unter Verwendung einer Vielzahl von mit einem Gewinde versehenen Befestigungsmitteln 230 (von denen nur einer gezeigt ist), die um die Symmetrieachse 232 der Schwingarmanordnung verteilt sind. Somit dient der untere Schwingarm als eine Dichtung und Lagerbügel. Das Lager 220 (6) kann auch zwischen den untersten Enden der inneren und äußeren Schwingarmwellen verwendet werden, und wird daher aus Gründen der Kürze nicht beschrieben. Es wird vermerkt, dass der obere Schwingarm 128 an die innere Schwingarmwelle 226 befestigt ist unter Verwendung einer Klammeranordnung (5a), die eine Klammerschale 234 hat, die mit einem Klammerende des oberen Schwingarms 128 über mit einem Gewinde versehene Befestigungsmittel eingreift, die in Klammeröffnungen 238 aufgenommen sind, so dass die Drehposition des oberen Schwingarms in Bezug auf den unteren Schwingarm eingestellt werden kann. Jede Anzahl von Alternativen kann für Zwecke des Sicherstellens, dass die Schwingarme richtig miteinander verschachteln, eingesetzt werden. Als ein Beispiel (nicht gezeigt) können die äußere Schwingarmwelle 210 und die innere Schwingarmwelle 226 der Schwingarmanordnung 124a angemessen länger sein als die entsprechenden Komponenten, die in der Schwingarmanordnung 124b verwendet werden. Als ein anderes Beispiel, kann eine Erweiterungsabstandshalteranordnung 239 zugefügt werden, wie unten in weiteren Einzelheiten beschrieben wird.
Mit Bezug auf die 5a-10a wird die Aufmerksamkeit nun auf die Konfiguration der dualen Schwingarmanordnung gelenkt in Bezug auf die Weise, in der vertikale Bewegung erreicht wird und Verwendung der Nocken 166. Jeder dieser Nocken umfasst eine Nockenmontageplatte 240 (6), die befestigend an einer Nockenplatte 242 anliegt, so dass sich die Nocken mit den Nockenantriebswellen 164a und 164b drehen können. 8 und 9 stellen jeweils das Aussehen der Nockenvorderseiten 243a und 243b der Nockenplatten 242a und 242b dar, wie unten weiter beschrieben wird.
Mit Bezug auf die 8-9, 10a und 10b definiert jede Nockenplatte eine Nockennut 246, die einen Nockenmitläufer 248 aufnimmt. 8 und 9 stellen dar, dass die Nockennuten 246a und 246b Spiegelbilder voneinander sind. Drehung jeder Nocke bewegt die zugehörigen Schwingarme zwischen den Höhen 1-4, die um jede Nockennut mittels Eingriff durch den Nockenmitläufer 248 identifiziert sind. in 8 und 9 sind die Nocken und dadurch die Schwingarmpaare auf der Höhe 1, weil jeder Nockenmitläufer an einem niedrigen Punkt in jeder Nockennut aufgenommen ist (wie er in 8 und 9 als verdeckte Linie gezeigt ist), obwohl viele alternative Konfigurationen vorgesehen werden können. Die Schwingarmhöhe, die mit jeder der Nockenhöhen verbunden ist, wird in Verbindung mit nachfolgenden der Figuren beschrieben. Es sollte anerkannt werden, dass die Nockenplatten 242a und 242b untereinander austauschbar sind, solange ein solches Austauschen von einem Umdrehen der Drehrichtung begleitet ist. Bei dem vorliegenden Beispiel dreht sich die Nockenplatte 242a in einer eingezeichneten Richtung gegen den Uhrzeigersinn (CCW), während die Nockenplatte 242b in einer eingezeichneten Richtung (CW) im Uhrzeigersinn rotiert. Öffnungen 247 sind zur Verwendung beim Anbringen der Nockenplatten an die Nockenmontageplatten vorgesehen. 10a ist eine teilweise aufgeschnittene Ansicht, in teilweisen Querschnitt, des Nockenmitläufers 248, der in einer Brückenklammer 256 aufgenommen ist. Zum Beispiel umfasst der Nockenmitläufer 248 eine mit einem Gewinde versehenen Montagewelle 257a, die in einer Öffnung aufgenommen ist, die durch eine Brückenklammer 256 definiert ist. Eine Mutter 257a greift über ein Gewinde mit der Welle 257a ein. Ein entgegen gesetztes Ende der Welle 257a trägt eine Nockenrolle 257c zum Drehen. Die Nockenrolle ist so bemessen, um in einer der Nockennuten 246 aufgenommen zu werden. Solche drehbare Lagerung kann auf viele wohlbekannte Arten vorgesehen werden, wie zum Beispiel durch Verwenden eines Lagers (nicht gezeigt). Die Brückenklammer 256 ist mit dem Gehäuse 176 (5a) verbunden unter Verwendung von mit einem Gewinde versehenen Befestigungsmitteln, die in Öffnungen 258 aufgenommen sind, und umfasst eine U-förmige Konfiguration zum Zwecke des Überbrückens der Klammer 170, so dass der Nockenmitläufer 248 eine vertikale Bewegung des Gehäuses 176 bereitstellt, wie sie durch die lineare Stufe 172 beschränkt ist, und die darin gelagerten Schwingarmwellen.
Mit hauptsächlichem Bezug auf die 6, 11 und 12 wird eine Drehantriebsanordnung, die allgemein mit der Bezugszahl 300 in der 1 bezeichnet ist, zur Verwendung beim Gegendrehen des oberen und unteren Schwingarms jedes Schwingarmpaares nun im Einzelnen beschrieben. 11 liefert eine allgemeine räumliche Ansicht dieser Anordnung für das Schwingarmpaar 124a, wobei die Schwingarmblätter entfernt sind, während 12 eine vergrößerte Ansicht innerhalb einer gestrichelten Linie 301, die in 6 gezeigt ist, liefert. Die Antriebsanordnung 300 umfasst eine Antriebsbasisplatte 302, die an einem untersten Ende des Gehäuses 176 montiert ist. Eine U-Klammer 304 umfasst eine unterste Oberfläche, an welche ein Getriebeantrieb 306 montiert ist und der wiederum von einem Motor 310 angetrieben wird (5a, 6 und 11). Der Motor 310 kann jeden geeigneten Typ von Motor aufweisen, wie zum Beispiel einen Servo- oder Schrittmotor. Der Getriebeantrieb 306 treibt eine gezähnte Rolle 308 an (6). Diese letztere Rolle wird in weiteren Einzelheiten unten beschrieben, jedoch ist es für den Augenblick ausreichend zu vermerken, dass die Rolle ausreichend lang sein muss, um in der Lage zu sein, gleichzeitig eine Vielzahl von vier voneinander beabstandeten Zahnriemen entlang ihrer gesamten Länge anzutreiben. Die Abstandshalteranordnung 239 ist in der 11 gezeigt, und sie ist aus einem oberen Schwingarmabstandshalter 311a und einem unteren Schwingarmabstandshalter 311b aufgebaut, um die Schwingarmanordnung 124a in Bezug auf die Schwingarmanordnung 124b angemessen anzuheben, um für die Schwingarmverschachtelung zu sorgen, die in der 5a gezeigt ist.
Mit hauptsächlichem Bezug auf die 12 ist eine erste Rollenanordnung 312 aus einer ersten und zweiten nebeneinander liegenden Rolle 314 und 316 aufgebaut, die von dem untersten Ende der äußeren Schwingarmwelle 210 aufgenommen ist. Diese letztere Rollenanordnung kann als eine gespaltete Rollenanordnung bezeichnet werden. Eine zweite Rollenanordnung 320 ist ähnlich aus ersten und zweiten Rollen 322 und 324 aufgebaut, die von einem untersten Ende der inneren Schwingarmwelle 226 aufgenommen sind. Mit kurzem Verweis auf die 11 wird vermerkt, dass eine Anordnung gestreckter Öffnungen durch die Rolle 324 für Rollenversetzzwecke definiert ist. Eine Klammer 325 hält eine Markierungsplatte 326 in Position auf einem fernen Ende mit verringertem Durchmesser des untersten Endes der inneren Schwingarmwelle. Die Markierungsplatte ist konfiguriert, um Licht abzublocken, dass von einem optischen Sensor 330 emittiert wird (11), der auf der Basisplatte 302 montiert ist, über reine Winkelversetzung, die gleich der gesamten Winkelbewegung des oberen Schwingarms 128a zwischen der Werkstücksäule und dessen entsprechender Prozessierstation ist. Eine dritte Umlenkrollenanordnung 350 umfasst eine Rolle 352, die konfiguriert ist, um Riemen 366 und 368 aufzunehmen, die ihrerseits drehbar durch eine Umlenkrollenbefestigung 356 gehalten ist, die einstellbar mit der Basisplatte 302 eingreift, so dass sich die Rolle 352 ein einer Umlenkrollenwelle 358 dreht. In diesem Zusammenhang sind sowohl der Getriebeantrieb 306 als auch die Rollenbefestigung 356 auf eine Weise montiert, die einen Grad der Schwenkdrehung bereitstellt, im Allgemeinen auf eine Weise, die oben in Bezug auf den Hubmotor 152 der 5a beschrieben ist, zum Beispiel durch Verwenden von Befestigungsmitteln, die durch geschlitzte Löcher auf eine Weise hindurchgehen, die in den gebräuchlichen Techniken bekannt ist. Eine solche Schwenkdrehung ist für Zwecke des Einstellens der Riemenspannung nützlich, wie nachfolgend sofort beschrieben wird.
Noch mit hauptsächlichem Bezug auf die 12 werden vier Riemen von der angetriebenen Rolle 308 gedreht. Ein erstes Paar unterer Schwingarmzahnriemen umfasst einen unteren Armvorlaufriemen 360 und einen unteren Armnachlaufriemen 362, die jeweils mit den Rollen 314 und 316 eingreifen. Ein zweites Paar oberer Schwingarmzahnriemen umfasst einen oberen Armvorlaufriemen 366 und einen oberen Armnachlaufriemen 368. Der Grund für die Verwendung der „Nachlauf-" und „Vorlauf-" Nomenklatur, die beim Benennen dieser Riemen angewendet wird, wird unten augenscheinlich gemacht. Geeignete Riemen zur Verwendung in dieser Anmeldung, einschließlich des Hubriemens 156 der 5a, sollten aus Materialien gebildet sein, die widerstandsfähig gegen Strecken sind, wie zum Beispiel Polyurethan und/oder Kevlar verstärktes Neopren. Ein Paar von Bolzen 369 (12) ist dargestellt, um die Rollen 322 und 324 in einem festen Drehversatz zu halten.
Kehrt man nun zu den 13 und 14 in Verbindung mit der 12 zurück, wird die Aufmerksamkeit nun auf die Anordnung des Riemenantriebs gelenkt, der in 12 gezeigt ist, wie er in schematischen räumlichen Ansichten erscheint, von unten gesehen, für Zwecke des allgemeinen Darstellens der von den Riemen genommenen Wege. Dazu stellt 13 Rollenanordnungen 320 und 350 in Bezug auf die angetriebene Rolle 308 dar bei Eingriff durch die Riemen 366 und 368. Es wird vermerkt, dass Zähne an nur einem Teil der Rollen dargestellt wurden aus Gründen der Einfachheit, obwohl es selbstverständlich ist, dass jede Rolle eine im Wesentlichen identische gezähnte Konfiguration umfasst, die mit allen im Gebrauch befindlichen Riemen zusammenpasst. Jede der Rollenanordnungen 320 und 312 umfasst ein Muster gestreckte Schlitze, um mit einem Gewinde versehene Befestigungsmittel aufzunehmen (siehe Bolzen 369 der 12), um das Zahnmuster jedes Rollenpaares fest zu versetzen, aus Gründen die offensichtlich gemacht werden.
Es sollte anerkannt werden, dass die Riemen 366 und 368 konfiguriert sind, um Zähne an beiden entgegen gesetzten Hauptoberflächen der Riemen zu haben. Deshalb greift die „Vorderseite" jedes Riemens mit den Rollenanordnungen 320 und 350 ein, während die „Rückseite" jedes Riemens mit der angetriebenen Rolle 308 eingreift. In dem Fall, in dem sich die angetriebene Rolle 308 im Uhrzeigersinn dreht, wie durch einen Pfeil 380 angezeigt ist, werden sich die Rollenanordnungen 320 und 350 dementsprechend gegen den Uhrzeigersinn drehen, wie durch einen Pfeil 382 angezeigt ist.
14 stellt die Rollenanordnung 312 im Bezug zur angetriebenen Rolle 308 dar bei Engriff durch die Riemen 360 und 361. In diesem Fall bewirkt die Drehung der angetriebenen Rolle 308 eine Drehung der Rollenanordnung 312 im Uhrzeigersinn. Deshalb drehen sich die Rollenanordnungen 312 und 320 in Bezug aufeinander koaxial gegeneinander, da alle Rollenanordnungen von einer gemeinsamen angetriebenen Rolle 308 angetrieben werden. Weil die Rollenanordnung 312 von der äußeren Schwingarmwelle 210 getragen ist während die Rollenanordnung 320 von der inneren Schwingarmwelle 226 getragen ist, drehen sich die inneren und äußeren Schwingarmwellen deshalb gleichermaßen in Bezug aufeinander gegeneinander ansprechend auf eine Drehung der angetriebenen Rolle 308.
Mit kurzem Bezug auf die 5a und 6 wird sich der Leser erinnern, dass die äußere Schwingarmwelle 210 einen der unteren Schwingarme 130 trägt, während die innere Schwingarmwelle 226 einen der oberen Schwingarme 128 trägt. Die oberen und unteren Schwingarme jedes Schwingarmpaares drehen sich daher mit Bezug aufeinander entgegengesetzt, um einen Betrag gleichen Winkels für eine gegebene Drehung der Rolle 308. In diesem Zusammenhang wird vermerkt, dass die Markierungsplatte 326 (11) sich mit der inneren Schwingarmwelle 226 mitdreht. Als ein Ergebnis der Gegendrehkonfiguration, die verwendet wird, nach anfänglicher Ausrichtung, bewirkt die Identifizierung der Position der inneren Schwingarmwelle auch, dass die Position der äußeren Schwingarmwelle bekannt ist. Wie aus dem Kontext dieser Anmeldung offensichtlich sein sollte, wird zum Antreiben von Schwingarmen nicht mehr als eine volle Umdrehung jedes Schwingarmes erfordert, und es ist im Allgemeinen oft erheblich weniger als eine Umdrehung erforderlich. Bei dem vorliegenden Beispiel rotiert jeder Schwingarm ungefähr um +/–60 Grad von einem Zentrum oder einer Grundposition, wodurch er eine Gesamtdrehung von ungefähr dem doppelten dieses Wertes vollführt. Die Schwingarmanordnung der vorliegenden Erfindung stellt vorteilhaft eine Einstellung der gesamten Winkelversetzung in Anbetracht einer bestimmten Einrichtung bereit, wie nachfolgend hierin im Einzelnen an einer geeigneten Stelle weiter beschrieben wird.
Verweist man nun auf die 15, wird nun ein vereinfachtes Beispiel geliefert für Zwecke des Erläuterns des Spielkompensationskonzeptes der vorliegenden Erfindung unter Verwendung einer schematischen räumlichen Ansicht einer Rollenanordnung, die allgemein mit der Bezugszahl 400 bezeichnet ist. Die letztere ist aus der Rolle A, der Rolle B und der Rolle C aufgebaut. Rolle A ist von einer geeigneten Anordnung angetrieben, wie zum Beispiel einem Motor (nicht gezeigt), und funktioniert auf eine Weise, die der oben in Bezug auf die Rolle 308 der 12 beschriebenen ähnlich ist, wobei die Rolle ausreichend gestreckt ist, um eine Vielzahl von voneinander beabstandeten gezähnten Riemen zu tragen. Alle diese Rollen umfassen ein identisches Zahnaufnahmemuster.
Mit Bezug auf die 16a und 16b in Verbindung mit der 15 sind die Rollen B und C auf einer gemeinsamen Welle montiert, die aus Gründen der darstellenden Klarheit nicht gezeigt ist, so dass das Zahnaufnahmemuster der Rolle B in Bezug auf dasjenige der Rolle C versetzt ist, was zum Beispiel durch Verwenden einer gestreckten Schlitzöffnungskonfiguration erreicht werden kann, wie oben beschrieben. Dieser Versatz kann von der Ordnung des Spielwertes sein, das zwischen einer der Rollen und ihrem eingreifenden Riemen vorhanden ist. Es wird vermerkt, dass der Spielwert in den Figuren aus darstellerischen Gründen übertrieben wurde. Ein solcher Wert kann zum Beispiel von einem Hersteller bestimmt werden. Bei dem vorliegenden Beispiel wird ein Spielwert von ungefähr 0,02 Zoll gesehen. Deshalb kann der Versatz zwischen den Rollen auf diesen Wert oder etwas weniger gesetzt werden. Abhängig von einer bestimmten Drehrichtung kann einer der Riemen oder eine der Rollen als den anderen Riemen vorauslaufend oder nachlaufend beschrieben werden, wie oben erwähnt. Natürlich kann die relative Vorauslauf-/Nachlaufphase des jeweiligen Riemens umgedreht werden, indem man einfach die Rollen in einer entgegen gesetzten Richtung in Bezug aufeinander drehend versetzt.
Noch mit Bezug auf die 15, 16a und 16b greift in dem vorliegenden Beispiel ein Riemen 402 mit Rollen A und B ein, während ein Riemen 404 mit Rollen A und C eingreift. Rolle A wird in einer Richtung entgegen dem Uhrzeigersinn gedreht, wie durch einen Pfeil 406 angezeigt wird. Aus Gründen der Einfachheit wurde nur eine begrenzte Anzahl an Zähnen 410 auf den Riemen 402 und 404 dargestellt. Es wird vermerkt, dass die vorliegenden Figuren die Rollenanordnung zu einem gegebenen Zeitpunkt darstellen, so dass die Rolle A in allen Figuren in der gleichen Drehposition ist. Die Rollen B und C sind selbstverständlich koaxial auf eine Weise montiert, die ein Einstellen eines Winkelversatzes zwischen ihnen vorsieht. Es wird erachtet, dass der Fachmann in der Lage ist, eine solche Versatzanordnung in Anbetracht dieser gesamten Offenbarung einzubauen. Der Winkelversatz wird durch einen Versatzwinkel α angezeigt, der in 16a gezeigt ist. Bei diesem Beispiel läuft die Rolle C der Rolle B um den Winkel α vor. Der Spielwert ist durch einen Winkel β in 16a dargestellt. Bei dem vorliegenden Beispiel wird der Versatzwinkel als ungefähr dem doppelten des Spielwertes gezeigt, um Spiel auszugleichen, das durch die Riemen 402 und 404 eingeführt wird.
Mit weiterer Betrachtung der Rollenanordnung 400, werden die Zähne 410a und 410b des Riemens 402 von der Rolle A (16a) eingegriffen, wodurch sie den Riemen 402 dazu veranlassen, sich in einer Richtung zu bewegen, die durch einen Pfeil 414 angezeigt ist. Ansprechend auf die Bewegung des Riemens 402, greifen die Zähne 410c und 410d mit der Rolle B ein, um sie dazu zu veranlassen, sich in einer Richtung 406 entgegen dem Uhrzeigersinn zu drehen. Die Rolle C (16b) dreht sich mit der Rolle B mit, so dass sie mit den Riemenzähnen 410e und 410f eingreift. Dieser Ablauf veranlasst wiederum die Zähne 410g und 410h des Gürtels 404 dazu, mit der Rolle A einzugreifen, so dass ein führender Rand von jedem Riemenzahn die Rolle A dreht. Auf diese Weise schleppt der Spielwinkel β die Riemenzähne 410g und 410h, wie in der 16b in Bezug auf den Riemenzahn 410g dargestellt ist. Wenn nachfolgend die Rolle A zu einer Drehung im Uhrzeigersinn wechselt, werden die Riemenzähne 410g und 410h sofort von den Rollenzähnen 414a und 414b der Rolle A jeweils eingegriffen. Ansprechend darauf werden die Riemenzähne 410e und 410f sofort mit den Rollenzähnen 414c und 414d der Rolle C in einer Richtung im Uhrzeigersinn eingreifen, so dass Spiel behoben wird, wenigstens von einem praktischen Standpunkt aus. Zur selben Zeit geht Spannung vom Riemen 402 auf den Riemen 404 über. Es ist selbstverständlich, dass diese sehr vorteilhafte Konfiguration, obwohl sie im Kontext des Antrei bens dich gegenläufig drehender Schwingarme beschrieben wird, nicht auf die hierin beschriebenen Anwendungen beschränkt ist, sondern sich eines weiten Bereichs der Anwendbarkeit erfreuen kann in praktisch jeder Situation, in der es gewünscht ist, Spiel zu beheben, das von der Verwendung von gezähnten Rollen und flexiblen Antriebsmitteln herrührt.
Mit allgemeinem Bezug auf die 17a bis 17d wird die Aufmerksamkeit nun auf Einzelheiten in Bezug auf die Spalttüranordnung 80 gelenkt, die zuvor in den 3 und 4 gezeigt wurde. 17 bietet eine räumliche Ansicht der Spalttüranordnung 80, während die 17b eine schematische Querschnittsansicht ist, die entlang einer Linie 17b-17b genommen wurde, die in der 17a gezeigt ist. 17c ist eine weitere vergrößerte Ansicht eines Teils der Spalttüranordnung innerhalb eines Bereichs 500, die durch eine gestrichelte Linie in der 17b angezeigt ist. 17d ist eine räumliche Ansicht, die schräg nach unten auf einen oberen Teil der Anordnung 80 blickt.
Mit Bezug auf die 17a und 17b umfasst die Spalttüranordnung 80 ein lineares Stellglied 502, wie zum Beispiel ein pneumatisches lineares Stellglied. Dieses Stellglied umfasst eine Antriebswelle 504, die zu einer vertikalen Bewegung in der Lage ist in der Ansicht dieser Figuren. Die Welle 504 ist mit einer Anschlussanordnung 506 verbunden, die ein erstes Anschlussmittel 508 und ein zweites Anschlussmittel 510 aufweist. Ein Ende des ersten Anschlussmittels 508 ist schwenkbar an einer Gleitklammer 512 angebracht, während sein entgegen gesetztes Ende schwenkbar an der Welle 504 angebracht ist. Das Anschlussmittel 510 weist ein Ende auf, das schwenkbar an einem Blatthebel 514 angebracht ist und ein entgegen gesetztes Ende, das schwenkbar an der Welle 504 angebracht ist. Der Blatthebel 514 ist an einer Achse 516 innerhalb einer Schwenkwelle 518 gelagert, so dass der Hebel 514 um die Achse 516 innerhalb der Schwenkwelle 518 gedreht werden kann ansprechend auf die Bewegung des untersten Endes des Hebels, die durch die Anschlussanordnung 506 hergestellt wird, wie beschrieben werden wird. Die Schwenkwelle 518 wird von der linearen Gleitklammer 512 getragen, welche wiederum gleitend eine feste Klammer 520 eingreift. Die Klammer 520 trägt auch das Stellglied 502 auf eine geeignete Weise, wie zum Beispiel durch die Verwendung eines geeigneten Befestigungsmittels 522, so dass das Stellglied in der Position fixiert ist, um Bewegungskräfte auf den Blatthebel 514 über den Anschluss 506 anzulegen. Dementsprechend kann der Hebel 514 nach oben und unten bewegt werden ansprechend auf das Stellglied 502. Bewegungskräfte werden dann zu der Schwenkachse 516 durch die Länge des Blatthebels übertragen, der wiederum die Schwenkwelle 518 dazu veranlasst, sich in Übereinstimmung mit dem Blatthebel zu bewegen. Ein oberstes Ende der Schwenkwelle 518 erreicht abdichtend einen Kugelflansch 530. Das Abdichten kann zum Beispiel durch Verwenden eines O-Ringes erreicht werden, der innerhalb einer ringförmigen Nut 532 aufgenommen ist. Der Kugelflansch 530 kann fest an der Schwenkwelle 518 angebracht sein auf jede geeignete Weise, wie zum Beispiel durch einen Eingriff mittels eines Gewindes. Eine Dichtungs- und Führungsanordnung 540 umfasst eine ringförmige Buchse 542, die dazu dient, nichtvertikale Bewegungen der Schwenkwelle 518 zu beschränken. Eine Dichtungsanordnung 546 ist unmittelbar oberhalb der Buchse 542 positioniert zur Abdichtung gegen die Schwenkwelle 518. Jede geeignete Dichtungsanordnung kann verwendet werden, einschließlich zum Beispiel der Viererdichtungsanordnung, die oben im Zusammenhang mit 7 beschrieben wurde. Während des Betriebs veranlasst die Aufwärtsbewegung den Blatthebel anfänglich dazu, sich ohne Drehung nach oben zu bewegen, bis ein harter Anschlag 548a des peripheren Deckels (17b) auf eine Schwenkwellenanschlagsstufe 548b trifft und jedes weitere vertikale Ansteigen beschränkt. An diesem Punkt schwenken die Anschlüsse 506 und 508 auf eine Weise, die das untere Ende des Blatthebels 514 im Uhrzeigersinn aus der Sicht der 17b dreht. Ein Dichtungsblatt 549 spricht darauf an, indem es vorrückt, um mit einer zugewandten Kammerdichtungsoberfläche in Kontakt zu treten (siehe 3). Das Dichtungsblatt und andere Komponenten können aus jedem geeigneten Material geformt werden, wie zum Beispiel dem bestimmten Material, aus dem der eingreifende Kammerkörper gebildet ist und Aluminium. Abwärtsbewegung der Schwenkwelle 518 führt natürlich zu einem entgegen gesetzten Verhalten des Mechanismus.
Mit neuerlichem Bezug auf die 17a-17d ist die Dichtungs- und Führungsanordnung 540 (17b) in einer obersten Öffnung aufgenommen, die durch ein oberes Ende 550 (17a) der Klammer 520 definiert ist. In diesem Zusammenhang wird vermerkt, dass die Klammer 520 eine im Allgemeinen umgedrehte L-Form hat. Das obere Ende 550 der Klammer 520 ist an einer Adapterplatte 552 auf jede geeignete Weise angebracht, wie zum Beispiel unter Verwendung von mit einem Gewinde versehenen Befestigungsmitteln (nicht gezeigt). Es sollte anerkannt werden, dass ein oberstes Ende 560 des Hebels 514 sich seitlich bewegen kann, aus der Sicht der Figur, mit einer Schwenkbewegung des Hebels in Bezug auf den Kugelflansch 530. Daher muss eine geeignete Dichtungsanordnung zwischen dem obersten Hebelende 560 und dem Kugelflansch 530 vorgesehen sein. Dazu ist ein Sockelaufsatz 562 um das obere Hebelende 560 gegen eine ringförmige Stufe 564 aufgenommen, die dadurch definiert ist. Der Sockelaufsatz 562 ist gegen das oberste Hebelende 560 abgedichtet, zum Beispiel unter Verwendung eines O-Rings, der in einer ringförmigen Nut 566 aufgenommen ist. Eine äußerste ringförmige Peripherie des Sockelaufsatzes 562 ist gegen den Kugelflansch 530 abgedichtet unter Verwendung eines O-Rings 570 (17c), der innerhalb einer ringförmigen Nut 572 aufgenommen ist. Eine Blockiermutter 574 oder ein anderes geeignetes mechanisches Hilfsmittel wird verwendet, um den Sockelaufsatz 562 gegen den Kugelflansch 530 zurückzuhalten, während eine Ausrichtungsgabel 576 dazwischen eingefasst wird. Die Blockiermutter 574 kann mittels eines Gewindes an einem mit einem Gewinde versehenen Teil 578 mit vergrößertem Durchmesser des obersten Endes 560 des Hebels 514 aufgenommen sein. Bei der vorliegenden Ausführung wird die Blockiermutter 574 angezogen, bis sie einen Hartanschlag erreicht. Dies stellt sicher, dass die Position des Sockelaufsatzes 562 in einer mit einer Toleranz versehenen Nähe zum Kugelflansch 530 gehalten wird. Idealerweise teilen die sphärischen Oberflächen, die sowohl der Sockelaufsatz als auch der Kugelflansch aufweisen, einen gemeinsamen Mittelpunkt. Die Kugel- und Sockeldichtungskonfiguration, die von dieser Konfiguration vorgesehen wird, wird als vorteilhaft angesehen in Bezug auf die Aufnahme von bedeutenden seitlichen Bewegungen, während eine Dichtung zwischen dem Kugelflansch 530 und dem Sockelanschlag 560 aufrechterhalten wird.
Im Vergleich mit dem Stand der Technik, der zum Beispiel durch die Spalttür 1500 der 29 verkörpert wird, nimmt die Türanordnung 80 mehr Schwenkbewegung auf, was eine größere Bewegung von der Dichtungsoberfläche weg erlaubt, was wiederum die Möglichkeit von Reibungskontakt während der vertikalen Bewegungsphase reduziert. Noch weitere Vorteile werden durch die Fähigkeit zur Bewegung mit doppeltem Bewegungsgrad geboten, um die Notwendigkeit von präzisen Einstellungen bei der Installation zu vermeiden.
Mit hauptsächlichem Bezug auf die 17a, 17c und 17d umfasst das oberste Hebelende 560 ein fernes Ende 580 (17c), das wiederum ein Blattaufhängeglied 582 trägt, zum Tragen des Dichtungsblattes 549. Das Blattaufhängeglied 582 ist seinerseits schwenkbar an dem fernen Ende 580 getragen unter jeweiliger Verwendung erster und zweiter Lager 588a und 588b. Diese Lager sind konfiguriert, um eine Drehbewegung der Aufhängestufe bereitzustellen. Das erste Lager 588a in dem vorliegenden Beispiel ist ein Kugellager, während das zweite Lager 588b ein Nadellager ist. Es wird erwogen, dass jede Anzahl alternativer Lageranordnungen verwendet werden kann, um das Blattaufhängungsglied 582 zu tragen, solange eine geeignete Schwenkbewegung erzielt wird in Verbindung mit der Fähigkeit ausreichend Radialkräfte zu überführen. Das Aufhängeglied und das Lager 588 werden an dem fernen Ende 580 gehalten, zum Beispiel durch Verwenden einer Ansatzschraube 590, die mittels eines Gewindes mit dem fernen Ende eingreift und die Lager 588a und 588b zurückhält. Das Aufhängeglied 582 umfasst ein Paar sich seitlich erstreckender Aufhängearme 592 (17a und 17d). Die fernen Enden der Arme 592 sind schwenkbar in Schwenkblöcken 594 aufgenommen, die fest an der hinteren Oberfläche des Dichtungsblattes 549 angebracht sind, zum Beispiel durch Verwenden von mit einem Gewinde versehenen Befestigungsmitteln (nicht gezeigt), die in einem Paar von Öffnungen 596 aufgenommen sind und sich in das Dichtungsblatt 549 in einer bekannten Weise erstrecken. Eine Abstandsvorspannfeder 598 ist an einem Ende angebracht unter Verwendung von Befestigungsmitteln 600 an dem Blatt 549. Die Abstandsvorspannfeder, die am besten in der 17d zu sehen ist, wickelt sich dann um das Aufhängeglied 582 zur Anbringung an einer Oberfläche derselben, die dem Dichtungsblatt 549 entgegen gesetzt ist, unter Verwendung eines anderen Paars von Befestigungsmitteln 600. Ein ausgeschnittener Bereich 602 (17d) der Vorspannfeder liefert einen Zugangsrand für die Ansatzschraube 590. Während die Schraube 598 an einer hinteren zugewandten Oberfläche des Blattgliedes 549 in den 17a-c und 17e angebracht gezeigt ist, kann sie zum Anbringen an der oberen Oberfläche des Blattgliedes ausgelegt sein, wie in der 17d gezeigt ist, abhängig von der Dichtungsblattgeometrie und Abstandserfordernissen in einer bestimmten Anwendung. Es wird vermerkt, dass die Abstandsvorspannfeder 598 eine gewünschte Drehposition des Blatts 549 in Bezug auf die Drehung um eine Achse 599 (angezeigt durch eine gestrichelte Linie in der 17a) des Blattaufhängeglieds 582 aufrechterhält, wenn die Ventilanordnung 80 in ihrer offenen Position ist. Das heißt, dass diese gewünschte Drehposition hervorgerufen wird, wenn das Blattglied 549 eine Kammerwanddichtungsoberfläche, die eine Schlitzöffnung umgibt, nicht kontaktiert oder sich von ihr zurückzieht (siehe 3). Wenn andererseits das Blattglied 549 eine solche Kammerwanddichtungsoberfläche kontaktiert, erlaubt die Abstandsvorspannfeder 598 eine Schwenkdrehung um die Achse 599 des Aufhängegliedes 582, so dass sich das Blattglied dreht, um eine vertikale Toleranz zwischen dem Blattglied und der Kammerwand aufzunehmen, um eine annehmbare Dichtung bereitzustellen, ohne die Notwendigkeit von Präzisionstoleranzeinstellungen.
Mit Bezug auf die 17a und 17d, umfasst die Gabel 576 entgegen gesetzte Arme 608 (17d), die sich vertikal erstreckende ferne Enden 610 haben, von denen jedes eine durchgängige Öffnung definiert zum Aufnehmen eines mit einem Gewinde versehenen Befestigungsmittels 612, das mittels eines Gewindes mit Armen 592 des Aufhängeglieds 582 eingreift.
Wie in der 17e gesehen wird, die eine Querschnittsansicht ist, die entlang der Linie 17e-17e in der 17d genommen ist, werden Vorspannfedern 614 von Befestigungsmitteln 612 zwischen jedem fernen Ende 610 der Gabel 576 und jedem der Aufhängearme eingefasst, um jedes ferne Ende 610 von seinem zugehörigen Aufhängearm 592 weg nachgiebig vorzuspannen. Die Federn 614 dienen dadurch auf eine vorteilhafte Weise dazu, das Blattglied 549 in Bezug auf die Drehung um eine Achse 616 (angezeigt durch Verwendung einer gestrichelten Linie in der 17a) des Hebels 514 zu zentrieren, wenn das Blattglied eine Kammerdichtungsoberfläche nicht kontaktiert. Wenn jedoch die Kammerdichtungsoberfläche von dem Blattglied kontaktiert wird, nehmen die Federn 614 eine begrenzte Drehung des Blattglieds um den Hebel 514 auf, um eine seitliche oder horizontale Toleranz zwischen dem Blattglied 549 und einer Kammerdichtungsoberfläche durch Drehung um die Achse 616 zu kompensieren. Damit liefert die Konfiguration der Ventilanordnung 80 vorteilhaft zwei Freiheitsgrade für das Blattglied 549, wenn es an einer Kammerdichtungsoberfläche angreift, um einen Bedarf an einer hoch präzisen Ausrichtung zu vermeiden, da ein beträchtlicher Bereich des Toleranzbereichs in Bezug auf die vertikalen und horizontalen Drehachsen kompensiert werden kann. Zum Beispiel sind Variationen des Aufbaus von ungefähr 0,100 Zoll gewährbar. Darüber hinaus sollte anerkannt werden, dass die „Kugel und Sockel-" Konfiguration, die von dem Kugelflansch 530 und dem Sockelaufsatz 562 bereitgestellt wird, wesentliche seitliche Bewegungen des Blattgliedes 549 auf die Kammerdichtungsoberfläche zu und davon weg aufnimmt. Auf diese Weise erlaubt die wesentliche seitliche Bewegung vor der vertikalen Bewegung des Dichtungsblattes erhöhte Drehtoleranzen und/oder relativ größere Dichtungsblätter, die durch erheblich größere Abstände zwischen der Kammerwand und dem Dichtungsblatt während der vertikalen Bewegung vorgesehen sind, um einen Reibkontakt zu vermeiden, der Partikel erzeugen kann.
Nachdem die verschiedenen Komponenten des Systems 10 oben im Einzelnen beschrieben wurden, wird die Aufmerksamkeit nun auf die Betriebsweise des Systems gelenkt, mit besonderer Beachtung auf die Verwendung der Schwingarmanordnung der vorliegenden Erfindung. Eine erste Reihe von 18a-e stellen schematisch das System 10 in einer Draufsicht dar, und zeigen sequentiell die Überführung von Werkstücken bei anhaltender Prozessierung. Die erste Reihe von Figuren wird von einer zweiten Reihe von 19a-l ergänzt, die schematisch sequentielle Bewegungen der Werkstücke aus einer erhöhten Sicht bei anhaltender Prozessierung darstellen. Aus Gründen der Einfachheit kann die vorliegende Beschreibung die Werkstücke als Wafer bezeichnen. Die meisten der betreffenden Figuren sind darauf beschränkt, die Kombination einer Schleuse 20 darzustellen, die mit einer Überführungskammer 22 gekoppelt ist, die wiederum mit einer Prozesskammer 24 gekoppelt ist, die duale Prozessierstationen 26a und 26b hat. Komponenten des vorderen Endes 12 werden dargestellt, falls notwendig. Eine Werkstück- oder Wafersäule 700 ist in der Schleuse 20 positioniert, wie durch die Ablageanordnung 64 der 2 und 4 definiert ist. Wie in der 19a gesehen wird, umfasst die Werkstücksäule 700 ein Paar von Vorprozessablagen 702 und ein Paar von Nachprozessablagen 704. In diesem Zusammenhang sollte anerkannt werden, dass die Vorprozesswafer immer von dem vorderen Ende zu den Vorprozessablagen 702 bewegt werden und Nachprozesswafer immer von den Nachprozessablagen 704 zurück zum vorderen Ende bewegt werden. Spalttüren sind bedarfsweise als geschlossen zwischen den verschiedenen Kammern angezeigt unter Verwendung von Rechtecken in der Reihe der 18 und unter Verwendung von Kreuzschaffierung in der Reihe der 19. Zum Beispiel sind die Spalttüren 706 und 708 in den 18a-d und den 19-a-g und 19l offen, während sie in den 18e und den 19h-k als geschlossen gezeigt sind. 18b, 18d und 18e sowie die 19c, 19d und 19g-l stellen ferner die Schwingarmanordnung in einer Grund- oder ruhenden Position an einem Punkt während des anhaltenden Betriebs des Systems dar, wie weiter beschrieben werden wird.
Wendet man sich der 18a in Verbindung mit der 19a zu, ist die letztere Figur, so wie es mit allen Figuren aus der Reihe der 19 der Fall ist, eine Aufrissansicht des Systems 10, bei der eine Werkstücksäule 700 auf der linken Seite gezeigt ist und Prozessierstationen 26 auf der rechten Seite aus der Sicht der Figur. Ein oberes Schwingarmpaar, wie es zuvor mit Bezug auf die 5a beschrieben wurde, umfasst Schwingarme 128a und 128b zur Verwendung beim Bewegen von Vorprozesswafern, während ein längeres Schwingarmpaar Schwingarme 130a und 130b umfasst zur Verwendung beim Bewegen von Nachprozesswafern. Obere Schwingarme 128 werden zur Werkstücksäule 700, gedreht während die längeren Schwingarmpaare 130 zu den Prozessierstationen 26 gedreht werden. In der 19a sind die oberen Schwingarme 128 ausbalanciert, um eine Paar von Vorprozesswafern 710 von Vorprozessablagen 702 anzuheben, während die Schwingarme 130 gerade ausbalanciert werden, um ein Paar von Nachprozesswafern 712 an Prozessierstationen 26a und 26b anzuheben. Es wird vermerkt, dass die Höhe 4 in den 8 und 9 diese Schwingarmhöhe bewirkt. Nachprozesswafer 712 werden an verschiedenen, voneinander beabstandeten Höhen h1 und h2 jeweils gehalten, oberhalb der Prozessierstationen, durch erste und zweite Sätze von Hubstiften 716 und 718, so dass die unteren Schwingarme 130 ausbalanciert werden, um Nachprozesswafer 712 von den Hubstiften aufzunehmen.
Mit Bezug auf die 18a sollte anerkannt werden, dass die Vorprozess- und Nachprozesswafer entlang erster und zweiter gebogener, halbrunder Überführungswege 720 und 722 bewegt werden, die durch gestrichelte Linien angezeigt sind, zwischen der Werkstücksäule 700 und den Prozessierstationen 26. Es ist von Interesse, dass sich die Wege 720 an der Werkstücksäule 700 schneiden, sich aber einander kreuzen, wodurch sie sich wieder schneiden, nahe den Prozessierstationen. Ein Winkel γ stellt die Drehung jedes Schwingarmes von einer Grundposition, die der Position einer gestrichelten Linie 724 entspricht, entlang der Wege 720 und 722 dar. Daher ist der volle zurückgelegte Weg jedes Schwingarms zwischen der Werkstücksäule 700 und ihren zugehörigen Prozessierstationen 26 2 γ. Es ist von weiterem Interesse, dass die Wafersäule, die Schwenkachse der beiden Schwingarmanordnungen und die zwei Prozessierstationen zusammenwirkend eine fünfeckige Form definieren. Eine oberste Ablage der Ablagenanordnung 64 ist teilweise sichtbar, die ein langes Blatt 66 und ein kurzes Blatt 68 aufweist (siehe auch 2). Diese Blätter sind auf eine Weise angeordnet, die einen besonderen Eintrittswinkel durch den Schwingarm aufnimmt, der eine bestimmte Ablage bedient, um ein gegenseitiges Beeinflussen dort dazwischen zu vermeiden. Bei dem vorliegenden Beispiel erreicht der obere Schwingarm 128a die oberste Ablage. Das kurze Blatt 68 ist deshalb an der linken Seite der Ablagenanordnung positioniert aus der Sicht der Figur, um ein gegenseitiges Beeinflussen mit dem Endeffektor 142a des oberen Schwingarmes 128a zu vermeiden. Da der obere Schwingarm 128b von einer entgegen gesetzten Richtung in Bezug auf den oberen Schwingarm 128a einschwingt, werden die Ablageblätter für ihre zugehörige Ablage umgedreht, wie am besten in der 2 gesehen werden kann. Daher ist die Ablagenblattkonfiguration aus der Sicht des Annäherungswinkels jedes zugreifenden Schwingarmes angepasst.
In 19b haben die Schwingarmpaare 124a und 124b eine aufwärtige vertikale Bewegung ausgeführt unter Verwendung des Hubmotors 152 der 5a, um die oberen Schwingarme 128 dazu zu verwenden, Vorprozesswafer 710 von Vorprozessablagen 702 anzuheben, während die unteren Schwingarme 130 verwendet werden, um Nachprozesswafer 712 von Hubstiften 716 und 718 anzuheben. Es wird vermerkt, dass die Drehung der Nockenplatten 242a und 242b der 8 und 9 von der Höhe 4 zur Höhe 1 jeweils diese aufwärtige vertikale Bewegung bewirkt.
Wendet man sich den 18b und 19c zu, drehen sich die Schwingarme 128a, 128b, 130a und 130b alle gleichzeitig in die Grundposition, so dass Vorprozesswafer 710 und Nachprozesswafer 712 in einer voneinander beabstandeten vertikalen Beziehung stehen (19c), aber nur die Vorprozesswafer aus der Sicht der 18b sichtbar sind. Die Nockenplatten 242a und 242b der 8 und 9 verbleiben jeweils bei der Höhe 1.
Mit Bezug auf die 19d in Verbindung mit 18b wird, während die Schwingarme in der Ruheposition verbleiben, eine abwärts gerichtete vertikale Bewegung in einer Richtung, die durch einen Pfeil 730 angezeigt ist, ausgeführt, ansprechend auf den Hubmotor 152 der 5a. Es wird vermerkt, dass die Hubstifte 716 und 718 in ihrer „auf"-Position verbleiben können, wie auch in der 19c gezeigt ist. Es wird bemerkt, dass die Drehung der Nockenplatten 242a und 242b der 8 und 9 jeweils von der Höhe 1 zur Höhe 2 diese abwärts gerichtete vertikale Bewegung bewirkt.
18c und 19e stellen zusammenwirkend das Ergebnis der Drehung der unteren Schwingarme 130a und 130b zur Wafersäule 700 dar, um Nachprozesswafer 712 zu liefern, während jeder der oberen Schwingarme 128a und 128b einen Vorprozesswafer 710 zu einer der Prozessierstationen 26a und 26b liefert. Die Hubstifte 716 und 718 können in ihren auf-Positionen verbleiben, während die Nockenplatten 242a und 242b der 8 und 9 auf der Höhe 2 orientiert verbleiben.
In 19f wird die Schwingarmanordnung nach unten in einer Richtung bewegt, die durch einen Pfeil 740 angezeigt ist, um die Vorprozesswafer 710 auf den Hubstiften 716 und 718 zu platzieren, während die Nachprozesswafer 712 auf Nachprozessablagen 704 platziert werden. Es wird vermerkt, dass die Drehung der Nockenplatten 242a und 242b der 8 und 9 jeweils von der Höhe 2 zur Höhe 3 diese nach unten gerichtete vertikale Bewegung bewirkt. Ferner hat das Zurückbringen der Nachprozesswerkstücke eine Umkehr der Drehung der Nockenplatten 242a und 242b zur Folge, wie dem Fachmann in Anbetracht der vorangegangenen Offenbarung offensichtlich sein wird.
Die 18d und 19g stellen Schwingarme 128a, 128b, 130a und 130b dar, die dann in die Grundposition gedreht sind. An diesem Punkt tragen die Schwingarme keine Wafer und die Hubstifte 716 und 718 verbleiben erhöht, um Vorprozesswafer 710 zu tragen.
Mit Bezug auf die 18e und 19h wird vermerkt, dass die erstere Figur einen Vorderendroboter 750 darstellt, der konfiguriert ist, um Wafer zwischen der Schleuse 20, den FOUPs 18 und der Zwischenstation 21 (1b) am vorderen Ende zu bewegen. Es wird vermerkt, dass die Zwischenstation 21 für eine Vielzahl verschiedener Funktionen verwendet werden kann, ein schließlich einer Kühlstation, einer Waferausrichtstation, einer Vor- und/oder Nachprozessmessstation, oder es können zwei oder mehrere Funktionen in diesen Raum eingebracht werden. Der Vorderendroboterarm trägt ein Paar von Wafern unter Verwendung eines oberen/unteren Paars von Schaufeln, und er ist konfiguriert, um auf Vorprozessablagen 702 zu platzieren und von Nachprozessablagen 704 aufzunehmen. Natürlich kann der Vorderendroboterarm von irgendeinem Paar benachbarter Positionen aufnehmen und platzieren oder von irgendeiner Position in irgendeiner FOUP oder irgendeiner Position in der Kühlstation 21 (1b). Im vorliegenden Beispiel ist der Vorderendroboter 750 ausbalanciert, um ein neues Paar von Vorprozesswafern 710' (8e) bei Atmosphärendruck zu den Vorprozessablagen 702 zu liefern. In diesem Zusammenhang wird eine geeignete Türkonfiguration zwischen dem vorderen Ende 12 und der Schleuse 20 verwendet, die nicht gezeigt ist, da solche Türkonfigurationen bekannt sind. Es ist ausreichend zu sagen, dass diese Tür in einer offenen Position sein muss, bevor der Vorderendroboter in die Schleuse 20 eintreten kann. 19h stellt dar, dass die Hubstifte 716 und 718 herabgelassen worden sind, um Vorprozesswafer 710 an ihren jeweiligen Prozessierstationen zu platzieren. Beide 183 und 19h stellen Spalttüren 706 und 708 als für den Prozessierungsmodus geschlossen dar. Es sollte anerkannt werden, dass die Beziehung zwischen diesen verschiedenen Ereignissen sowie der tatsächliche Beginn der Prozessierung auf viele geeignete Weisen in einer zeitlichen Beziehung zueinander geändert werden können. Das Prozessieren fährt dann fort, um die Vorprozesswafer in Nachprozesswafer 712 an den Stationen 25a und 26b umzuwandeln.
Mit kurzem Bezug auf die 1a und 1b wird bezüglich des Vorderendroboters 750 bemerkt, dass, während zwei Wafer zu selben Zeit überführt werden können, der Roboter leicht die Überführung des 25ten Wafers in einem 25-Wafer FOUP einzeln anpasst durch Verwenden unabhängiger Bewegung und seiner oberen/unteren Schaufeln. Darüber hinaus ist dieser Roboter von sich aus darin flexibel, um leicht eine Vielzahl von Waferpositionen innerhalb der FOUPs und der Kühlstation anzupassen, zum Beispiel, wenn nicht alle FOUPs vollbeladen hereinkommen, da einer oder zwei Wafer zur selben Zeit wahlweise überführt werden. Das heißt, der Roboter 750 kann leicht einen Wafer aus einem FOUP aufnehmen und einen anderen Wafer aus einem anderen FOUP, falls notwendig, unter Verwendung unabhängiger Schaufelbewegung, um den Durchsatz des Systems zu erhöhen. Das Umgekehrte trifft gleichermaßen auf die Platzierung der Wafer in den FOUPs zu.
Mit Bezug auf die 19i platziert der Vorderendroboter 750 während des Prozessierens ein neues Paar von Vorprozesswafern 710 auf Vorprozessablagen 702. Zu dieser Zeit sind die Nachprozess- und Vorprozessablagen der Wafersäule 700 alle gefüllt.
Mit Bezug auf die 19j nimmt der Vorderendroboter 750 sofort nach Platzieren der neuen Vorprozesswafer Nachprozesswafer 712 von Nachprozessablagen 704 auf. Es sollte anerkannt werden, dass diese Bewegung vom Ablegen der neuen Vorprozesswafer zum sofortigen Aufnehmen der Nachprozesswafer sehr schnell ausgeführt werden kann, wenn sie von einer relativ kurzen Prozessierzeit gefordert wird, und daher als ein „schneller Wafertausch" bezeichnet werden kann.
In der 19k ist das System für die Beendigung der Prozessierung bereit mit leeren Nachprozessablagen 704 und mit dem neuen Paar von Vorprozesswafern 710', die auf den Vorprozessablagen 702 warten. Wafers an den Prozessierstationen werden als in Nachprozesswafer umgewandelt bezeichnet.
19l stellt die Beendigung der Prozessierung dar mit geöffneten Spalttüren und neu prozessierten Wafern 712, die von den Hubstiften 716 und 718 angehoben sind. Der nächste Schritt ist im Wesentlichen identisch zu demjenigen der zuvor beschriebenen 19a, so dass der Prozesszyklus wiederholt werden kann, falls notwendig.
Nachdem das System oben im Einzelnen beschrieben wurde und ebenso das Verfahren seiner Betriebsweise, ist es hier nun angebracht, gewisse Vorteile zu diskutieren, die es liefert, insbesondere in Bezug auf den Systemdurchsatz im Fall relativ kurzer Prozessierzeiten. Wenn die Prozessierzeiten kurz sind, ist es wichtig, die Überführung von Werkstücken auf eine Weise zu bewirken, die keine zusätzliche Zeit zu der Gesamtzeit hinzufügt, die benötigt wird, um ein Werkstück zu prozessieren. Das heißt, zusätzliche Zeit, während der Werkstücke überführt werden ohne gleichzeitiges Aussetzen von Werkstücken dem Behandlungsprozess. In diesem Zusammenhang sollte anerkannt werden, dass das System 10 prozessierte Werkstücke aus den Prozesskammern gleichzeitig mit dem Überführen neuer Vorprozesswerkstücke zu den Prozesskammern überführt. Wenn die prozessierten Werkstücke an der Schleuse ankommen, kommen Vorprozesswerkstücke gleichzeitig an der Prozesskammer an. Darüber hinaus wird diese Überführung auf eine schnelle Weise bewerkstelligt. Zum Beispiel werden Überführungszeiten von der Größenordnung von weniger als ungefähr 8 Sekunden in Erwägung gezogen. Zur selben Zeit sollte anerkannt werden, dass die Verwendung einer Werkstücksäule in der Schleuse das vorsieht, was als Mini-Schleuse bezeichnet werden kann. Das heißt, dass das Schleusenvolumen so begrenzt ist, dass es ein rasches Abpumpen von Atmosphärendruck auf einen Zwischendruck oder dem Prozessdruck selbst vorsieht. Zum Beispiel wird ein Schleusenvolumen von ungefähr 20 Litern in Erwägung gezogen wird. Schleusenabpumpzeiten von ungefähr 10 Sekunden oder weniger werden in Erwägung gezogen.
Mit neuerlichem Bezug auf die 3 wird, wie zuvor erwähnt, das Abpumpen der Schleuse durch Anschlüsse 87 bewerkstelligt, von denen nur einer in der Ansicht der 3 sichtbar ist. Da ein so schnelles Abpumpen wenigstens zum Teil aufgrund des kleinen Volumens der Schleuse ermöglicht wird, wird empfohlen, eine so trocken wie mögliche Umgebung zu verwenden, wenn die Schleuse mit dem vorderen Ende kommuniziert. Auf diese Weise kann eine blitzartige Kondensation von Wasserdampf vermieden werden. Darüber hinaus können Spülanschlüsse 89, von denen nur einer sichtbar ist, verwendet werden, um einen konstanten Vorhang eines Gasflusses zu bilden, wenn die Schleuse mit dem vorderen Ende kommuniziert, um ein Vermischen von Umgebungsgasen am vorderen Ende mit denjenigen Gasen, die in der Schleuse vorhanden sind, zu vermeiden. Somit kann eine Pump- oder Spülroutine verwendet werden, um ein solches Vermischen von Gasen zu jeder Zeit zu vermeiden, an der die Tür zwischen der Schleuse und dem vorderen Ende offen ist, wodurch Gase, die durch die Spülanschlüsse 89 eintreten, durch die Schleuse fließen und sofort durch die Pumpanschlüsse 87 evakuiert werden. Dies geht mit dem weiteren Vorteil einher, der oben kurz beschrieben ist, dass Kontaminationsteilchen in die Mulde 87 fließen und evakuiert werden als ein Ergebnis des Pumpens aus diesem tief liegenden Bereich der Schleuse.
Mit Bezug auf die 20 ist das System 10 in einer Draufsicht schematisch dargestellt ohne vorderes Ende 12 zum Zwecke des Beschreibens eines Merkmals, as in Bezug auf den Prozessierstationsabstand vorteilhaft ist. Das heißt, die Distanz zwischen der Mitte einer Prozessierstation zur Mitte der anderen Prozessierstation. Aus Gründen der Klarheit wurde nur ein Schwingarmpaar 124b dargestellt, obwohl es selbstverständlich ist, dass die vorliegende Diskussion in Bezug auf das andere Schwingarmpaar gleichermaßen anwendbar ist. Es wird vermerkt, dass die 20 schematisch eine Schwingarmanordnung 120 in Bezug auf die Gegendrehung darstellt, jedoch werden deren volle symmetrischen Bewegungsfähigkeiten zum Beispiel in den 18a-e gesehen. Im vorliegenden Beispiel sind die Prozessierstationen 26a und 26b um eine Distanz S1 voneinander beabstandet gezeigt. Es kann jedoch gewünscht sein, diesen Abstand zu ändern, zum Beispiel durch erhöhen des Abstands, so dass die Distanz zwischen den voneinander beabstandeten Prozessierstationen 26a' und 26b' auf eine Distanz S2 erhöht wird. Diese Änderung wird leicht vom System 10 bewerkstelligt, wie hierin nachfolgend sofort beschrieben wird.
Kehrt man zur 5a in Verbindung mit der 20 wie oben beschrieben zurück, wird vermerkt, dass der obere Schwingarm 128a an die innere Schwingarmantriebswelle geklammert ist, während der untere Schwingarm 130a an die äußere Schwingarmantriebswelle verstiftet oder fest angebracht ist. Um jede gegebene Prozessierstation an den Prozessierstationsabstand oder dessen Änderung anzupassen, wird der untere Schwingarm 130a anfänglich vollständig in der Richtung der Prozessierstationen gedreht, wobei ein Motor 310 verwendet wird. Das Gehäuse 176, das in 5a gezeigt ist, kann dann auf eine Weise gedreht werden, die ein Positionieren des untersten Schwingarms 130a an einer zugehörigen der Prozessierstationen wie zum Beispiel 26a' erlaubt. Das Gehäuse 176 wird dann in einer Position fixiert. Nachdem dieses Positionieren bewerkstelligt wurde und mit dem oberen Schwingarm 128a von der inneren Schwingarmantriebswelle entklammert, wird der obere Schwingarm 128a frei an seine gewünschte Position an der Wafersäule 700 gedreht. Der obere Schwingarm wird dann an die innere Schwingarmwelle geklammert. Als ein Ergebnis der Gegendrehung der oberen und unteren Schwingarme wird die Grundposition winklig um einen Betrag versetzt, welcher der Hälfte der zusätzlichen Drehung gleich ist, die in die Schwingarmwege zwischen der Wafersäule und den jeweiligen Prozessierstationen eingeführt wird. Wenn in der 20 die erhöhte Drehung als ein Winkel δ gegeben ist, wird die Grundposition der Werkstücksäule 700 drehend um die Hälfte von δ auf die Prozessierstationen zu versetzen. Wenn natürlich die Schwingarmlänge geändert wird, wird sich die Wafersäulenposition entsprechend ändern. Die Ablagenanordnung 64 kann kleinere Änderungen der Schwingarmlänge so wie sie ist aufnehmen. Größere Änderungen machen jedoch die Bewegung der Ablagenposition innerhalb der Schleuse 20 entlang einer Linie 802 notwendig, die den Abstand von Prozessierstation zu Prozessierstation 804 halbiert und dazu normal ist.
Als weiteren Vorteil des Systems 10 werden duale Waferzuführkapazitäten bereitgestellt unter Verwendung nur einer einzigen Waferlade-/entladearchitektur von der Verschlussbauweise. Diese bewirkt eine erheblich reduzierte Überführungskammergröße und vereinfacht die Mechanik, die mit dem Waferaustausch verbunden ist. Der Schleusenentwurf erlaubt einen schnellen Waferaustausch bei Atmosphärendruck, der durch die beschriebenen unabhängigen oberen/unteren Roboterschaufeln des Vorderendroboters ermöglicht wird. Dies wiederum ist seinem Wesen nach flexibel mit kleinen Plätzen, die bei FOUP-basierter Prozessierung oft angetroffen werden. Eine kleinvolumige Schleuse erlaubt eine schnelles Entlüften und Pumpen; was zwingend ist für hohe Durchsatzfähigkeiten des Systems. Vakuumbasierte Überführung koppelt sowohl die Schleuse als auch den Prozessmodulwaferaustausch an gemeinsame Bewegungen; was den Bedarf an zusätzlichen Verzögerungen aufgrund von Sequenzierung beseitigt und die Waferaustauschzeiten minimiert. Eine „Mini-Stapel"-Prozessiertechnologie kann eingesetzt werden (Prozessieren von nebeneinander liegenden Wafer), während die physikalische Größe und Kosten, die mit der Waferhandhabung verbunden sind, reduziert werden. In diesem Zusammenhang ist auch die Überführungskammer von einer relativ kleinen Größe. Als ein weiterer Vorteil werden während des Schleusenaustauschs bei Atmosphärendruck zwei neue Wafer gleichzeitig von dem Vorderendroboter platziert, der dann die zuvor prozessierten Wafer entfernt. Dieser Austausch von Wafern geschieht sehr schnell und, wenn eine Kopplung mit einem schnellen Ventil und Pumpzeiten vorliegt, die mit dem reduzierten Schleusenvolumen zusammenhängt, erlaubt eine fast nicht zu merkende zusätzliche Handhabungszeit. In der Tat ist es das Hauptziel der Plattform für eine hohe Durchsatzkapazität alle Zeiten zu verstecken, die mit einer Waferwiederauffüllung gänzlich innerhalb der Zeit zusammenhängen, die benötigt wird, um die anderen Wafer zu prozessieren. Das Ergebnis wird als System erachtet, das zu einer wahrhaft kontinuierlichen Prozessierung in der Lage ist. Als ein noch weiterer Vorteil liefert die Anordnung der entgegen gesetzten dualen Schwingarme eine Trajektorie, die es einer Lade-/Entladeverschlußarchitektur vom Einzelwafertyp erlaubt, wirkungsvoll die Prozessgeometrie der nebeneinander liegenden Wafer anzunehmen mit einer merklich kleineren Bodenfläche als die Ausführungen der Entwürfe des Standes der Technik.
Wie mit Bezugnahme auf eine Anzahl spezifischer Beispiele ans Licht gebracht werden wird, die hierin nachfolgend sofort zu beschreiben sind, können die hierein gelehrten Konzepte auf eine breite Vielzahl alternativer Systemkonfigurationen und -anordnungen ausgeführt werden, von denen alle als unter den Umfang der vorliegenden Erfindung fallend betrachtet werden.
Die Aufmerksamkeit wird sofort auf die 21 gelenkt, die schematisch eine Prozessieranordnung darstellt, die allgemein mit der Bezugszahl 800 bezeichnet ist. Es wird bemerkt, dass die 21 schematisch eine Schwingarmanordnung 120 in Bezug auf die Gegendrehung darstellt, jedoch werden ihre vollen symmetrischen Bewegungsfähigkeiten zum Beispiel in den 18a-e gesehen. Die Prozessieranordnung 800 umfasst jeweils erste und zweite Prozessierkammern 802 und 804. Dieses System umfasst ferner die Schwingarmanordnung 120 mit dualen Schwingarmaufbauten 124a und 124b. Eine Schleuse 810 ist vorgesehen, die eine Wafersäule 700 aufnimmt. Die Prozesskammern 802 und 804 sind zusammen mit der Schleuse 810 innerhalb einer Gesamtkammer 812 aufgenommen. Es wird bemerkt, dass jede Anzahl an Ventilanordnungen verwendet werden kann, um die verschiedenen Kammern miteinander zu verbinden, die in der Prozessieranordnung 800 verwendet werden, einschließlich zum Beispiel einer in den 3 und 4 des US-Patents Nummer 6,429,139 beschriebenen, die in Verbindung mit gebogenen Kammerwänden verwendet wird. Dementsprechend werden solche Beschreibungen aus Gründen der Kürze hierin nicht wiederholt.
Noch mit Bezug auf die 21 sollte anerkannt werden, dass die Schwingarmanordnungen 124a und 124b synchron bewegt werden können, wie oben beschrieben, während die Prozesskammern 802 und 804 beide in Gebrauch sind. Als eine Alternative kann jedoch eine Schwingarmanordnung in Bezug auf ihre Drehbewegung deaktiviert werden, zum Beispiel durch Abschalten ihres Drehantriebsmotors, so dass die Schwingarmanordnung in ihrer Grundposition verbleibt, während die andere Schwingarmanordnung voll betriebsfähig verbleibt. Der deaktivierte Schwingarmaufbau fährt damit fort, sich vertikal zu bewegen, wie er es normalerweise tun würde, mit dem arbeitenden Schwingarmaufbau derart, dass es keine gegenseitige Beeinflussung zwischen den beiden Schwingarmaufbauten gibt. Die besondere Prozesskammer, die mit dem deaktivierten Schwingarmaufbau zusammengehört, kann so konfiguriert sein, dass ihre Funktionen vom Rest des Systems getrennt werden können (d.h. abgeschaltet), so dass die besondere Prozesskammer bedient werden kann, während die andere Prozesskammer vollständig betriebs bereit verbleibt. Dieses Merkmal wird an und für sich als sehr vorteilhaft angesehen.
Mit Bezug auf die 22 wird eine andere Ausführung eines Systems, das in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, allgemein mit dem Bezugszeichen 1000 bezeichnet. Das System 1000 teilt die Vorteile des Systems 10, während es noch weitere Vorteile liefert. Dieses System verwendet die Waferhandhabungssektion 15 und die Prozessierstation 16 in Verbindung mit einem vorderen Ende 1002. Das letztere umfasst eine gestreckte Transportkammer 1004, die einen Transportmechanismus 1006 von der Form eines linearen Antriebs zum Bewegen der Werkstücke, wie durch den Pfeil 1007 bezeichnet, aufnimmt. Eine geeignete Form eines linearen Antriebs weist einen linearen magnetischen Levitationsantrieb auf, obwohl jeder geeignet Typ eingesetzt werden kann. Eine Schleuse 1010 ist an einem Ende der Transportkammer 1004 zur Kommunikation mit dem Inneren der Transportkammer durch eine Tür 1111 stationiert. In diesem Zusammenhang sollte anerkannt werden, dass die Transportkammer 1004 bei Prozessdruck arbeiten kann. Die Schleuse 1010 ist wiederum zur Kommunikation mit einer atmosphärischen Miniumgebung 1012 durch eine Tür 1114 konfiguriert. Die Miniumgebung 1012 ist nicht im Einzelnen gezeigt, da ihre allgemeinen Konstruktionseinzelheiten für den Fachmann offensichtlich sind in Anbetracht der vorangegangenen Diskussionen, die aber zum Beispiel einen Vorderendroboter und Anschlüsse für jede geeignete Anzahl an FOUPs umfassen kann. Tür 1111 und Tür 1114 können von jedem geeigneten Typ sein, einschließlich, aber nicht darauf beschränkt, Spalttüren des Typs, der zuvor mit Bezug auf die Reihe der 17 beschrieben wurde, abhängig von der Konfiguration, die für den Transport von Werkstücken dort hindurch vorgesehen ist, wie weiter beschrieben wird.
Noch mit Bezug auf 22 ist in einer Ausführung der Transportmechanismus 1006 konfiguriert, um einen Werkstückträger 1118 dort entlang zu bewegen, der eine oder mehrere Werkstücksäulen trägt. Der Träger 1118 ist für den Zugriff durch die Schwingarmanordnung 120b stationiert gezeigt, was als eine Werkstücksäule 700a bezeichnet ist, die vom Transport 1006 getragen wird, und mit verdeckten Linien als eine Werkstücksäule 700b bezeichnet ist. Jede dieser Werkstücksäulen ähnelt der zuvor beschriebenen Werkstücksäule 700 mit dem Unterschied, dass jede Werkstücksäule beweglich ist, wie weiter beschrieben werden wird. Es sollte anerkannt werden, dass der Träger 1118 die zuvor beschriebene Ablageanordnung 64 für den Zugriff durch die Schwingarmanordnungen 120a und 120b trägt.
Noch mit Bezug auf die 22, kann die Tür 1111 jede geeignete Türanordnung aufweisen, wenn ein beweglicher Werkstückträger verwendet wird. Ein Vorderendroboter (der mit dem Vorderendroboter 750 der 18e identisch sein kann), der einen Teil des vorderen Endes 1012 bildet, kann den beweglichen Werkstückträger bei 700b' durch die Tür 1114 auf eine Weise erreichen, die im Wesentlichen identisch ist mit der mit Bezug auf das System 10 beschriebenen durch Bewegen des Werkstückträgers an den Ort 700b'. Insbesondere kann der Vorderendroboter unabhängige obere/untere Schaufeln haben, die für eine Werkstücksäule von vier Positionen verwendet werden können. Dieser Ort kann auch eine drehbare Ablageanordnung umfassen, die entweder der Tür 1114 für den Zugang vom vorderen Ende her oder der Tür 1111 für den Zugang des linearen Transportmechanismus 1006 gegenüber liegt. Alternativ dazu kann die Tür 1114 konfiguriert sein, um eine gesamte Werkstücksäule oder Werkstückträger dort hindurch zu bewegen mit Verwendung einer geeigneten Vorderendrobotik. Auf diese Weise kann eine frische Vorprozesswerkstücksäule entweder durch die Schleuse 1010 eintreten, während eine andere Schleuse (nicht gezeigt, aber an einem entgegen gesetzten Ende des Transports 1006) von dem vorderen Ende verwendet werden kann, um eine Nachprozesswerkstücksäule zu besorgen. Die Werkstücksäulen 700a und 700b sind wahlweise mit den Überführungskammern 22b und 22a jeweils ausgerichtet. Es sollte anerkannt werden, dass mehr als ein beweglicher Werkstückträger zur selben Zeit verwendet werden kann, so dass, wenn die Werkstücksäulen 700a und 700b wie gezeigt positioniert sind, die Überführung von Werkstücken zu und von diesen Säulen wie oben mit Bezug auf das System 10 beschrieben fortfahren kann. Aus Gründen der Beschreibung kann eine Überführungskammer in Kombination mit einer Prozesskammer als eine Prozessplattform bezeichnet werden. Dementsprechend sind beim vorliegenden Beispiel die Prozessplattformen 1120 und 1122 vorgesehen. Eine Werkstücksäule 700a' weist einen Ort auf, an den der bewegliche Werkstückträger bewegt werden kann, der zum Beispiel als eine Kühl und/oder Pufferstation dient. Die Puffer/Kühlstation kann konfiguriert sein, um sich um 180 Grad zu drehen, abhängig von Erfordernissen für den Zugang des linearen Transports 1006 und des Waferträgers 1118. Es wird bemerkt, dass dies einen anderen Schleusenort aufweisen kann, wie oben erwähnt, und mit geeigneten Ventilen, um im Wesentlichen gleich wie die Schleuse 1010 zu erscheinen, um einen Durchsatz des Systems zu erhöhen, wenn die reduzierte zusätzliche Zeit des Systems gekoppelt mit den Prozesszeiterfordernissen ein solches Merkmals lohnt. Dementsprechend sind die Vorteile, die der Verwendung einer stationären Werkstücksäule in der Schleuse zugesprochen werden können, ebenfalls durch das System 1000 vorgesehen, während noch weitere Vorteile vorgesehen werden, indem man die Werkstücksäule beweglich macht. Wenn darüber hinaus die Prozesskammer 24a verwendet wird, um einen anderen Prozess als die Prozesskammer 24a auszuführen, liefert die Konfiguration des Systems 1000 den weiteren Vorteil, dass es sequentielle Prozessierung erlaubt ohne die Notwendigkeit, das Vakuum zu unterbrechen.
Wendet man sich nun der 23 zu, wird eine andere Ausführung eines Systems, das in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, allgemein mit der Bezugszahl 1200 bezeichnet. Es wird bemerkt, dass in allen geeigneten der verbliebenen Figuren die Schwingarmanordnung 120 in Bezug auf die Gegendrehung dargestellt ist, ihre vollen symmetrischen Bewegungsfähigkeiten jedoch oben im Einzelnen beschrieben sind, und zum Beispiel in den 18a-e gesehen werden können. Das System 1200 umfasst ein modifiziertes vorderes Ende 1012', das eine Schleusenzugangstür 1114 hat, die an einer Seite desselben zentriert ist. Eine modifizierte Transportkammer 1004' umfasst eine modifizierte Schleuse 1010', die Türen 1114 und 1111 hat, die an entgegen gesetzten Seiten derselben angeordnet sind, um jeweils dem vorderen Ende 1012' und der Transportkammer 1004' zuge wandt zu sein. Die Werkstücksäule 700a ist in der Schleuse 1010' dargestellt, so dass sie von dem vorderen Ende erreichbar ist unter Verwendung des Vorderendroboters, oder sie kann in die Transportkammer 1004' bewegt werden. Die Werkstücksäule 700b und der Träger 1118 sind in einer mit den Prozessplattformen 1120 und 1122 ausgerichteten Position dargestellt. In dieser Konfiguration kann entweder die Prozessplattform Werkstücke zu und von dieser Werkstücksäule bewegen unter Verwendung der Schwingarmanordnungen 120a und 120b. Eine Kühl- und/oder Pufferstation (siehe 22), kann leicht vorgesehen werden. In einer Ausgestaltung kann eine geeignete Anordnung zum Heben einer Werkstücksäule vorgesehen sein, zum Beispiel von der Schleuse 1010' oder von einer Kühl-/Pufferstation, so dass viele Werkstücksäulen in einer gestapelten Beziehung angeordnet werden können. In diesem Zusammenhang kann eine „zweite Geschichte" zu der Transportkammer 1004' und zu der Schleuse 1010' hinzugefügt werden, um einen höheren Grad der Flexibilität in Bezug auf die Bewegung der Werkstücksäulenträger in diesem System bereitzustellen. Es sollte vermerkt werden, dass das System 1200 auch in Bezug auf das Vorsehen der Fähigkeit vorteilhaft ist, sequentielle Prozessschritte auszuführen ohne die Notwendigkeit, das Vakuum zu unterbrechen. Das heißt, dass, wie es auch der Fall mit dem System 1000 und anderen noch zu beschreibenden Systemen ist, die Plattform 1120 verwendet werden kann, um einen ersten Prozessschritt auszuführen. Nachdem sie diesem ersten Prozessschritt ausgesetzt worden sind, können Werkstücke dann zur Plattform 1122 transportiert werden, um einem zweiten Prozessschritt ausgesetzt zu werden.
Mit Bezug auf die 24a-d in Verbindung mit 23 werden nun weitere Einzelheiten in Bezug auf den linearen Transport 1006 gegeben, wie in 23 gezeigt, obwohl es selbstverständlich ist, dass diese Konzepte an jeden linearen und/oder drehbare Wafersäule angewendet werden können, die hierin verwendet werden. 24a stell den Werkstückträger 1118 dar, der seinerseits ein Roboter mit Dreh- und Ausfahrfähigkeiten sein kann, der von einem linearen Transport 1006 getragen und gedreht wird, um der Plattform 1122 zugewandt zu sein, um Werkstücke von dieser Plattform zu empfangen bzw. an diese Plattform zu übergeben.
24b stellt den Werkstückträger 1118 in eine „neutrale" Position gedreht dar, in Vorbereitung auf das Austauschen der Werkstücke in der Schleuse 1010'.
In 24c bewegt der Werkstückträger 1118 die Wafersäule 700b in die Schleuse 1010' für den Zugriff durch das vordere Ende 1012' der 23 mit der Tür 1111 in einer geöffneten Position. Es wird bemerkt, dass lineare Bewegung ermöglicht wird, wie durch die Pfeile 1123 angezeigt ist.
24d stellt den Werkstückträger 1118 gedreht dar, um der Plattform 1120 zugewandt zu sein (23), um Werkstücke von dieser Plattform zu empfangen bzw. an diese Plattform zu übergeben
Kehrt man nun zur 25 zurück, wird die Aufmerksamkeit zu noch einer anderen alternativen Systemkonfiguration gelenkt, die allgemein durch die Bezugszahl 1300 bezeichnet ist. Es sollte anerkannt werden, dass vieles der vorangegangenen Diskussion in Bezug auf alternative Ausführungen gleicherweise in Bezug auf das System 1300 anwendbar ist. Aus diesem Grund werden einige Einzelheiten aus Gründen der Kürze nicht wiederholt. Das System 1300 platziert Prozessierplattformen 1120 und 1122 in einer nebeneinander liegenden Beziehung für den Zugriff unter Verwendung einer Transportkammer 1004'' auf eine Weise, die ähnlich ist zu derjenigen des zuvor beschriebenen Systems 1000. Auf diese Weise wurde jedoch das vordere Ende 1012' um 90° gedreht und zur Kommunikation mit der Schleuse 1010' durch eine Tür 1114 angeordnet. Wie dargestellt, können die Werkstücksäulen 700a-700d in dem System verwendet werden. Die Werkstücksäule 700a ist in der Schleuse 1010' stationiert, die Werkstücksäule 700b ist für den Zugriff durch die Plattform 1120 stationiert, die Werkstücksäule 700c ist für den Zugriff durch die Plattform 1122 stationiert und die Werkstücksäule 700d ist außerhalb der Werkstücksäule 700c an etwas positioniert, das eine Kühl- und/oder Pufferstation sein kann. Der Werkstückträger 1118 ist die Werkstücksäule 700c tragend gezeigt und mit verdeckten Linien die Werkstücksäule 700a tragend. Wieder kann die sequentielle Prozessierung ohne die Notwendigkeit, das Vakuum zu unterbrechen, ausgeführt werden.
Mit Bezug auf die 26 wird noch eine andere alternative Systemkonfiguration allgemein mit der Bezugszahl 1400 bezeichnet. Das System 1400 repräsentiert eine Kombination der zuvor beschriebenen Systeme 1200 und 1300. Insbesondere wird die Transportkammer 1004'' der 25 mit den Plattformen 1120 und 1122 verwendet, die nebeneinander liegend an einer Seite der Transportkammer positioniert sind, während an der anderen Seite der Transportkammer Plattformen 1120' und 1122' nebeneinander liegend in einer einander zugewandten Beziehung mit den Plattformen auf der gegenüberliegenden Seite der Transportkammer stationiert sind. Dementsprechend teilt das System 1400 all die Vorteile der Systeme 1200 und 1300, um robuste Werkstückprozessierfähigkeiten bereitzustellen.
Mit Bezug auf die 27 wird eine zusätzliche alternative Systemkonfiguration allgemein mit der Bezugszahl 1500 bezeichnet. Das System 1500 teilt eine Anzahl von Aspekten seiner Konfiguration mit dem System 1400 der 26, mit noch zu bemerkenden Ausnahmen. Bei dem vorliegenden Beispiel nimmt eine Transportkammer 1502 einen linearen Antrieb 1504 von der Form eines Miniroboters auf. Der letztere umfasst einen Schaufelaufbau 1506, der mit oberen/unteren Schaufeln konfiguriert sein kann, wie oben beschrieben, zu Zwecken des Transportierens von einem oder zwei Werkstücken zur selben Zeit. Ein Schaufelaufbau des linearen Antriebs 1504 ist in einer unteren Position in der vorliegenden Ansicht gezeigt, so dass seine Schaufelblätter innerhalb der Schleuse 1010' positioniert sind. Eine Pufferstation 1510 ist im vorliegenden Beispiel am obersten Ende des linearen Antriebs angeordnet. Die Pufferstation kann zum Beispiel 1-30 Waferpositionen umfassen. Einige der Werkstückpufferpositionen können verwendet werden, um Testwerkstücke zur Prozesseinstellung und/oder Kalibration zu lagern. Es ist von Interesse zu bemerken, dass die Schwenkachsen der Schwingarmanordnungen 120a-120d nun in der Transportkammer 1502 angeordnet sind. Ferner kann die Transportkammer auf dem Prozessdruck gehalten werden, falls das so gewünscht ist. Schlitztüren 1512 (von denen nur eine bezeichnet ist) sind vorgesehen, die jede geeignete Ventilanordnung verwenden können wie zum Beispiel die Ventilanordnung 80, wie oben beschrieben. Wie im Falle der anderen Systeme, die oben beschrieben sind, kann dementsprechend sequentielle oder parallele Prozessierung unter Verwendung dieses Systems bewerkstelligt werden.
Noch mit Bezug auf die 27 ist bei einer Modifikation des Systems 1500 die Schleuse 1010' nicht erforderlich. Das heißt, die Tür 1111 kann entfernt werden, so dass das dargestellte Schleusenvolumen ein Teil der Transportkammer wird. Daher kann diese niedrigere dargestellte Position des Miniroboters 1506 als eine Pufferstation dienen oder für andere geeignete Zwecke. Es sollte anerkannt werden, dass die vorliegende Erfindung Systemkonfigurationen in Erwägung zieht, die von Prozessparametern getrieben sind. Insbesondere ist eine kleinvolumige Schleuse sehr vorteilhaft im Falle einer schnellen Prozesszeit, wobei die schnelle Prozesszeit geringer wäre als oder von der Größenordnung einer gegebenen zusätzlichen Zeit, die erforderlich ist, um eines oder mehrere Werkstücke zu transportieren, einschließlich der Pumpzeiten. Andererseits können langsame Prozesszeiten dazu dienen, den Bedarf an einer Schleuse zu beseitigen, wobei Konfigurationen, wie es zum Beispiel in 27 dargestellt ist, nützlich werden. Das heißt, eine langsame Prozesszeit ist von einer Länge, die im Allgemeinen länger ist als die Zeitperiode, die für den Wafertransport erforderlich ist. In diesem Sinne gibt es keine zusätzliche Zeit, wenn die letztere als eine Zeit angesehen wird, die dem Wafertransport zugedacht ist während eine Prozessstation inaktiv ist.
Wendet man sich nun der 28 zu, wird eine weitere Ausführung eines Systems, das in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung konfiguriert ist, allgemein mit der Bezugszahl 1600 bezeichnet. Es wird bemerkt, dass das System 1600 eine Gesamtkonfiguration umfasst, die dem System 1200 der 23 ähnelt, das oben beschrieben ist. Dementsprechend wird die vorlie gende Diskussion auf gewisse Unterschiede zwischen diesen beiden Systemen beschränkt. Insbesondere wurde die gewöhnliche nebeneinander liegende Prozessumgebung der 23 durch ein Paar getrennter Prozesskammern 1602 und 1604 ersetzt, die mit „a" und „b" bezeichnet sind, die in der Figur angehängt sind. Jede dieser Kammern ist in der Lage, einen Prozess auszuführen, der von der anderen Kammer isoliert ist. Daher kann ein erster Prozess in der Kammer 1602 ausgeführt werden, während ein zweiter Prozess in der Kammer 1604 ausgeführt wird in einer sequentiellen Prozessumgebung, obwohl dies nicht erforderlich ist. Dementsprechend ist jede der Prozesskammern innerhalb der Überführungskammer angeordnet und sie ist von ihr isolierbar, zum Beispiel durch Verwendung einer vertikal bewegbaren Prozesskammerspalttür 1606, wie in dem oben aufgenommenen US-Patent Nummer 6,429,139 beschrieben ist. Es sollte vermerkt werden, dass diese Ausführung Vorteile mit der Ausführung der 21 teilt. Insbesondere kann eine Prozesskammer, und damit verbunden eine Schwingarmanordnung mit dem Betrieb fortfahren, während die andere Prozesskammer einer Wartung oder Überholung unterzogen wird.
Wendet man sich nun der 30 zu, wird eine andere Ausführung einer Schwingarmanordnung, die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, allgemein mit der Bezugszahl 1800 bezeichnet und in einer räumlichen Ansicht gezeigt. Es wird bemerkt, dass die Schwingarmanordnung 1800 mit zuvor beschriebenen Kammeranordnungen verwendet werden kann, wie zum Beispiel in der zuvor beschriebenen Überführungskammer 22 eingebaut oder mit alternativen Kammerausführungen, die unter zu beschreiben sind. Ferner teilt die Schwingarmanordnung 1800 viele Komponenten mit der zuvor beschriebenen Schwingarmanordnung 120. Darum werden Beschreibungen dieser Komponenten aus Gründen der Kürze nicht wiederholt und gleiche Bezugszeichen wurden in den verschiedenen Figuren angewendet. Es wird bemerkt, dass der Begriff „Wafer" breit ausgelegt werden sollte, um nicht nur Halbleiterwafer zu umfassen sondern jedes geeignete Substrat.
Mit Bezug auf die 31 in Verbindung mit der 30 unterscheidet sich die Schwingarmanordnung 1800 von der zuvor beschriebenen Schwingarmanordnung 120, da die gesamte Basisplatte 122 (siehe 5a) nicht gebraucht wird. 30 stellt beide Schwingarmanordnungen dar, welche die Schwingarme umfassen, während 31 eine Schwingarmbetätigungsanordnung ohne daran angebrachte Schwingarme darstellt zum Zweck des Aufdeckens zusätzlicher Einzelheiten in Bezug auf deren Struktur. Daher beinhalten in 30 sowohl ein erstes Schwingarmpaar 1802a als auch ein zweites Schwingarmpaar 1802b eine Montageplatte 1804, so dass jedes Schwingarmpaar einzeln montierbar ist. Wie die zuvor beschriebene Schwingarmanordnung 120 ist der obere und untere Schwingarm, der jedes Schwingarmpaar in der Schwingarmanordnung 1800 aufbaut, koaxial für Drehbewegungen in Ebenen montiert, die voneinander um eine feste Distanz beabstandet sind. Wie in der 30 gesehen wird, sind die oberen und unteren Schwingarme des Schwingarmpaars 1802a jeweils mit den Bezugszahlen 1806-1 und 1806-2 bezeichnet, während die oberen und unteren Schwingarme des Schwingarmpaars 1802b jeweils mit den Bezugszeichen 1808-1 und 1808-2 bezeichnet sind. Jeder Schwingarm umfasst ein fernes Ende, das eine Waferschaufel 1810 trägt, so dass die Waferschaufel den breitesten Punkt entlang der gesamten Länge des Schwingarms definiert. Die innere Schwingarmwelle 1812 und die äußere Schwingarmwelle 1814 zum jeweiligen Lagern des oberen und unteren Schwingarms können identische Montagemerkmale zum Aufnehmen der Schwingarme umfassen, da Betrachtungen der Drehausrichtung leicht aufgenommen werden unter Verwendung getrennter Antriebsmotoren 310-1 und 310-2. Es wird vermerkt, dass die Schwingarme 1810 eine Waferführung 1816 umfassen zum Unterstützen beim Zurückhalten eines Wafers auf dem Schwingarm. In diesem Zusammenhang wird vermerkt, dass die Konfiguration der Waferführung ein Ergebnis der Tatsache ist, dass jeder Schwingarm, wie oben beschrieben, Wafer in einer Richtung zwischen der Schleuse und der Prozesskammer bewegt.
Noch mit Bezug auf die 30 und 31 unterscheidet sich die Schwingarmanordnung 1800 von der Schwingarmanordnung 120 auch in Bezug auf die Anordnung ihrer vertikalen Bewegungsstufe sowie auf gewisse Einzelheiten in Bezug auf die Konfiguration der vertikalen Bewegungsstufe. Insbesondere ist eine Klammer 1820 an der Klammer 170b angebracht, um den Hubmotor 152 zu tragen. Der Hubmotor ist an der Klammer 1820 über einen Getriebekasten 1822 angebracht. Eine Rolle 158 ist direkt an einem Nocken 166b angebracht und wird vom Hubmotor 152 unter Verwendung eines Riemens 156 angetrieben. Eine Wellenanordnung 1824 umfasst Paar von von Kopplern, von denen jeder durch die Referenzzahl 1825 bezeichnet ist, und die Rolle 158 drehbar an den Nocken 166a koppelt. Die Drehung der Wellenanordnung 1824 wird zum Bestimmen der vertikalen Höhe der Schwingarme ansprechend auf den Hubmotor 152 unter Verwendung einer Sensoranordnung 1826 erfasst, die zum Beispiel ein Sender/Detektorpaar 1827a umfasst, die in weiteren Einzelheiten unten beschrieben werden, aber an entgegen gesetzten Seiten eines Flansches 1827b angeordnet sind zum Zwecke des Erfassens eines Durchgangsloches, das durch den Flansch definiert ist, der eine vertikale Grundposition bezeichnet. Natürlich kann eine von dieser festen vertikalen Grundposition versetzte leicht durch geeignete Steuerung des Hubmotors 152 bestimmt werden.
Mit Bezug auf die 30-32 werden die zuvor beschriebenen Rollenanordnungen 312 und 320 zu Zwecken des jeweiligen Drehens der äußeren Schwingarmwelle 1814 und der inneren Schwingarmwelle 1812 konfiguriert. In diesem Fall verwendet jedoch ein erster Motor 310-1 Riemen 360-1 und 362-1, während ein zweiter Motor 310-2 Riemen 360-2 und 362-2 verwendet, um einen getrennten Antriebsmotor für jede Rollenanordnung und dadurch für jeden Schwingarm vorzusehen. Die Motoren werden durch Verwendung von Getriebeantrieben 306-1 und 306-2 gelagert, die wiederum durch Klammern 304-1 und 304-2 gelagert sind. Es wird erachtet, dass der Fachmann in der Lage ist, den Computer 40 der 1a zu programmieren, um die erforderliche Funktionalität zu erhalten in Anbetracht dieser gesamten Offenbarung. Da die Schwingarmanordnung 1800, anders als die zuvor beschriebene Schwingarmanordnung 120, Gegendrehung nicht einsetzt, wird eine getrennte Positi onssensoranordnung benötigt für den oberen und unteren Schwingarm jedes Schwingarmpaares, wie hierin nachfolgend sofort beschrieben werden wird.
Mit hauptsächlichem Bezug auf die 30 und 32 wurde die obere Schwingarmpositionssensorplatte 1830 fest zwischen den Versatzrollen positioniert, welche die zweite Rollenanordnung 320 aufbauen, und einer unteren Schwingarmpositionsplatte 1832, die fest zischen den Rollen positioniert wurde, welche die erste Rollenanordnung 312 aufbauen. Die erste und die zweite Rollenanordnung werden oben im Einzelnen in Bezug auf die 12 beschrieben. Bei einer Ausführung sind die obere und untere Schwingarmpositionsplatte in Bezug aufeinander identisch, außer dass sie winkelversetzt sind, wie am besten in 32 gesehen werden kann. Jede Positonsplatte kann eine scheibenähnliche Gesamtkonfiguration umfassen (nicht gezeigt) und eine geschlitzte Öffnungsanordnung (nicht gezeigt), die mit den gestreckten Schlitzen zusammenwirkt, die durch die Rollen jeder Spaltrollenanordnung definiert sind, was für den Fachmann angesichts der 12 und 32 offensichtlich ist, zum Zwecke des Einfassens der Positionssensorplatte zwischen den Rollen, die jedes Spaltrollenpaar aufbauen. Alternativ dazu kann ein Sensorunterbrecherflansch an einen seitlichen Rand jeder Rolle des Spaltrollenpaars angebracht werden, um auf eine äquivalente Weise zu funktionieren. Eine untere Sensoranordnungsklammer 1834 trägt eine untere Rollenpositionssensoranordnung 1836a, die einen Sender 1838 und einen Detektor 1840 hat, die in der Position untereinander austauschbar sind, zum Zwecke des Detektierens der Kanten der oberen Schwingarmpositionsplatte 1830. Bei einer Ausführung zeigt einer der Übergänge die Grundposition des zugehörigen Schwingarms an. Falls es so gewünscht ist, kann die Kalibration dieser Grundposition durch Drehung des Schwingarms in einer gewünschten Richtung bewerkstelligt werden unter Verwendung einer Präzisionssteuerung des zugehörigen Motors auf eine Weise, die dem Fachmann in Anbetracht dieser gesamten Offenbarung vertraut ist. Es wird vermerkt, dass die elektrische Verkabelung zum Sender 1838 und Detektor 1840 aus Gründen der Klarheit der Darstellung nicht gezeigt wurde. Eine obere Rollenpositionssensoranordnung 1836b (30) ist im Wesentlichen identisch mit der unteren Rollen positionssensoranordnung mit der Ausnahme, dass eine obere Sensoranordnungsklammer 1842 verwendet wird, um ihr Sender/Detektorpaar passend zu positionieren. Somit sind die oberen und unteren Sensoranordnungen an entgegen gesetzten Seiten der Schwingarmantriebsrollen positioniert. Ferner sind der Sender 1838 und der Detektor 1840 als Sender/Detektorpaar 1827a der 30 nützlich.
Die Anmelder haben erkannt, dass eine Anzahl von Vorteilen mit der Verwendung eines getrennten Antriebsmotors für jeden Schwingarm verbunden ist. Natürlich wird eine Gegendrehung leicht erreicht, falls so gewünscht, auf eine Weise, welche die Bewegung nachahmt, die durch die zuvor beschriebene Schwingarmanordnung 120 vorgesehen ist. Es wurde gefunden, dass die Schwingarmanordnung 1800 überraschenderweise das ermöglicht, was als bemerkenswerte Modifikationen und Vorteile in Bezug auf die Kammeranordnung in der sie verwendet wird betrachtet wird, wie weiter beschrieben werden wird.
Mit Bezug auf die 33 wird die Schwingarmanordnung 1800 in einer Draufsicht als in einer Kammeranordnung 1900 eingebaut dargestellt, welche die zuvor beschriebene Schleuse 20 und Prozesskammer 24 umfasst. Es wird vermerkt, dass die Klappen an den Kammern aus darstellerischen Gründen nicht gezeigt sind. Die Kammeranordnung 1900 umfasst eine Überführungskammer 1920, die zwischen der Schleuse 20 und der Prozesskammer 24 angeordnet ist, so dass Wafer dort dazwischen über die Überführungskammer 1920 bewegt werden können. Eine Spalttür 706 wird verwendet, um wahlweise die Schleuse 20 von der Überführungskammer 1920 abzudichten, und eine Spalttür 708 wird verwendet, um wahlweise die Prozesskammer 24 von der Überführungskammer 1920 abzudichten. Dementsprechend ist die Überführungskammer 1920 wahlweise von der Prozesskammer und/oder der Schleuse druckisolierbar.
Noch mit Bezug auf die 33 werden Wafer durch die Überführungskammer 1920 jeweils entlang erster und zweiter Waferüberführunswege 1930 und 1932 bewegt, von denen jeder als eine halbkreisförmige gestrichelte Linie gezeigt ist und durch den Weg definiert ist, der von der Mitte des Wafers durch die Überführungskammer genommen wird. Bei dem vorliegenden Beispiel sind Spalttüren 706 und 708 in ihren geschlossenen Positionen gezeigt, wobei sowohl das erste und zweite Schwingarmpaar dort dargestellt ist, was als eine Grundposition bezeichnet werden kann, ohne Wafer zu tragen, aus Gründen, die noch zu beschreiben sind. Für die dargestellte Grundposition der Schwingarme wird vermerkt, dass die oberen und unteren Schwingarme jedes Schwingarmpaars vertikal ausgerichtet sind und die Breite der Waferschaufeln 1810 vollständig innerhalb des druckisolierbaren Volumens aufgenommen ist, das durch die Überführungskammer definiert ist. Auf eine etwas andere Weise ausgedrückt definiert die Überführungskammer eine Konfiguration seitlicher Ausdehnung, in der die Überführungsanordnung in einer Druckisolierung von der Schleuse und der Prozesskammer aufgenommen werden kann. In diesem Zusammenhang sind Teile 1934 der Waferschaufeln, die mit der Schwingarmanordnung 1802b verbunden sind, mit verdeckten Linien gezeigt unter Verwendung gestrichelter Linien, die sich in die Spalttüröffnung erstrecken, die zur Schleuse 20 führt. Somit sind diese Teile der Waferschaufeln der geschlossenen Spalttür 706 benachbart. Es ist selbstverständlich, dass jede Grundposition innerhalb der Überführungskammer verwendet werden kann, so lange sich die Schwingarme nicht mit den Spalttürventilen gegenseitig beeinflussen, die an deren entgegen gesetzten Seiten angeordnet sind. Darüber hinaus kann die Grundposition einen leichten Drehversatz zwischen dem oberen und unteren Schwingarm jedes Schwingarmpaares einsetzen, der ein individuelles Erfassen oder Detektieren der Anwesenheit oder Abwesenheit eines Wafers auf jeder Waferschaufel ermöglichen kann.
Mit Bezug auf die vertikale oder „Z"-Bewegung unter Verwendung des Hubmotors 152 (in 30 gezeigt), ist eine solche Bewegung nicht auf die Grundposition beschränkt, sie kann aber an jeder geeigneten Position ausgeführt werden oder während der Drehbewegung der Schwingarme, so dass die vertikale Bewegung über einen Bereich der Drehung der Schwingarme stattfindet. Aufmerksamkeit sollte der vertikalen Höhe oder Weite der Spalttüren gezollt werden, da wenigstens die Wafer einer vertikalen Bewegung innerhalb der beschränkten vertikalen Ausdehnung von wenigstens einer der Spalttüren unterzogen werden, wie weiter beschrieben werden wird.
Eine Außenlinie eines Wafers 1950 ist unter Verwendung einer gestrichelten Linie in 33 dargestellt. Gegründet auf dem letzteren, ist es offensichtlich, dass die seitliche Ausdehnung der Überführungskammer 1920 in Bezug auf die Distanz zwischen der Spalttür 706 und der Spalttür 708, während sie in der Lage ist, die Weite der Schaufeln 1820 dort dazwischen aufzunehmen, geringer ist als der Durchmesser des Wafers, wie weiter beschrieben werden wird.
Mit Bezug auf die 34 in Verbindung mit 33 ist die erstere eine schematische Draufsicht, welche die Schwingarmanordnung 1802a beim Ausführen eines Überführungsbetriebes darstellt. Es wird vermerkt, dass die Spalttüren 706 und 708 aus Gründen der Klarheit in den Figuren nicht gezeigt wurden, dass sie aber notwendigerweise während eines Überführunsbetriebes offen sind. Während die Schwingarmanordnung 1802b verwendet werden könnte, um gleichzeitig einen ähnlichen Betrieb auszuführen, dient das vorliegende Beispiel dazu, die unabhängige Natur der beiden Schwingarmanordnungen darzustellen. Die Schwingarmanordnung 1802a ist mit dem Schwingarm 1806-1 an der Prozessierstation 26b positioniert gezeigt und dem Schwingarm 1806-2 an der Wafersäule 700 positioniert. Während die Wafer an der Wafersäule oder der Prozessierstation nicht dargestellt wurden, ist es selbstverständlich, dass in Bezug auf das Aufnehmen und Platzieren der Wafer diese Ausführung im Wesentlichen auf die gleiche Weise arbeitet wie die oben beschriebene Ausführung. Die Schwingarmanordnung 1802a ist an ihrer Grundposition auch mit verdeckten Linien dargestellt, während sie den Wafer 1950 trägt. Drehung von der Grundposition zu/von der Wafersäule 700 erfordert eine Bewegung um einen Winkel α, während Drehung zu/von der Grundposition zur Prozessierstation 26a Bewegung um einen Winkel β erfordert. Es wird vermerkt, dass sich diese Winkelwerte in Bezug darauf, ob ein Schwingarm ein oberer oder unterer jedes Schwingarmpaares ist nicht, ändern. An ders als die zuvor beschriebene Ausführung der 20 sind diese beiden Winkelwerte, wie in 34 deutlich gesehen wird, voneinander verschieden. Insbesondere ist der Winkel α kleiner als der Winkel β. Wie oben erwähnt wird die Anpassung an die Verwendung verschiedener Winkelversatzwerte durch die Verwendung von getrennten und unabhängig voneinander gesteuerten Schwingarmantriebsmotoren erreicht.
Nachdem erreicht wurde, dass der Winkelversatz α von der Grundposition zu der Wafersäule in der Schleuse von dem Winkelversatz β von der Grundposition zu der Prozessierstation verschieden ist, sollte anerkannt werden, dass eine Anzahl von alternativen Ansätzen verwendet werden kann in Bezug auf die Drehbewegung des oberen und unteren Schwingarms eines bestimmten Schwingarmpaars zu und von der Grundposition bei Verwendung getrennter Antriebsmotoren. Zum Beispiel können die Schwingarme mit verschiedenen Winkelgeschwindigkeiten gedreht werden, um an ihren Zielen zu ungefähr derselben Zeit zu gelangen. Alternativ dazu können die Schwingarme wenigstens ungefähr bei derselben Winkelgeschwindigkeit gedreht werden, so dass der Schwingarm, der um den Winkel α wandert, an seinem Ziel vor dem Schwingarm ankommt, der um den Winkel β wandert. Natürlich wird in Erwägung gezogen, dass viele bidirektionale und gegendrehende Bewegungen des Schwingarms zwischen der Schleuse und einer der Prozessierstationen stattfinden werden (d. h. ein Winkelwert von α+β). In diesem Fall werden sich beide Schwingarme um denselben Gesamtwinkel α+β drehen und somit werden beide Schwingarme an ihren Zielen zu ungefähr derselben Zeit eintreffen, wie wenn sie mit ungefähr derselben Winkelgeschwindigkeit gedreht werden.
Mit Bezug auf die 34 wird deutlich gesehen, dass sich der Wafer 1950, der so gezeigt wird, als ob er von der Schwingarmanordnung 1802a in ihrer Grundposition getragen wird, teilweise in die Schleuse 20 erstreckt. Es sollte in diesem Zusammenhang anerkannt werden, dass die seitliche Ausdehnung der Schleuse ungenügend ist, um einen Wafer aufzunehmen. Daher muss aus Gründen der Darstellung dieser Figur wenigstens die Spalttür, die in die Schleuse führt, in ihrer geöffneten Position sein, wenn ein Wafer von einer Waferschaufel in ihrer Grundposition getragen wird. Wenn darüber hinaus eine vertikale Bewegung in der Grundposition ausgeführt wird, erstreckt sich der Wafer 1950 in die Schleuse 20 durch die zugehörige Spalttür, so dass die vertikale Ausdehnung dieser Spalttür ausreichend sein muss, um die vertikale Bewegung aufzunehmen. In Übereinstimmung mit dieser Ausführung sind Wafer niemals an der Transportanordnung vorhanden, wenn beide Spalttüren geschlossen sind. Das heißt, Wafer werden durch die Schleuse überführt, so dass die Waferschaufeln immer leer sind, wenn die Überführungskammer von der Schleuse und der Prozesskammer vakuumisoliert ist. Für irgendeine gegebene Position eines Wafers entlang der Waferüberführungswege 1930 und 1932 während des Transports zwischen der Schleuse und der Prozesskammer würden sich die Wafer wenigstens mit der Schleuse oder der Prozesskammer auf eine Weise gegenseitig beeinflussen, die eine Druckisolierung der Überführungskammer von der Schleuse und der Überführungskammer nicht liefern würde. Aus diesem Grund wird unten eine sehr vorteilhafte Erfassungsanordnung beschrieben, um sicherzustellen, dass die Waferschaufeln leer sind, bevor die Spalttüren geschlossen werden.
Mit abermaligem Bezug auf die 33 und 34 wurde das Konzept des Verwendens verschiedenen Winkelversatzes an den Prozessierstationen und der Waferstation/-säule von der Grundposition von den Anmeldern in Bezug auf des Vorsehen einer Anzahl von Vorteilen in Bezug auf die Kammeranordnung erkannt, die eingesetzt wird. Aus Gründen der vorliegenden Anmeldung kann dieses Konzept unten als eine „asymmetrische Versatzkonfiguration" bezeichnet werden. Zum Beispiel erlaubt es die asymmetrische Versatzkonfiguration der Überführungskammer 1920, merklich kleiner zu sein als die zuvor beschriebene Überführungskammer 22 (siehe zum Beispiel 20). Es ist leicht ersichtlich, dass die Distanz, die als die Überführungskammerlänge bezeichnet werden kann, zwischen den entgegen gesetzten Wänden der Überführungskammer 1920, die Spalttüren 706 und 708 definieren, reduziert ist. Als ein anderes Beispiel sind wegen der Längenreduktion der Überführungskammer die Schwingarme ebenfalls in der Länge reduziert. Bei einer aktuellen Einrichtung wurde die Schwingarmlänge um ungefähr 28% reduziert.
Eine Anzahl von Vorteilen ergibt sich aus der Verwendung von relativ kürzeren Schwingarmen als Teil der asymmetrischen Versatzkonfiguration. Zum Beispiel führen kürzere Schwingarme zu einer Reduktion der Breite der Überführungskammer 1920. Als ein anderes Beispiel wird die Tendenz der Schwingarme durchzuhängen reduziert. Als noch ein Beispiel kann die Vibration des fernen Endes jedes Schwingarmes dramatisch reduziert werden, da solche Vibrationen im Allgemeinen eine Funktion mehrerer Ordnungen von der Länge der Schwingarme sind. Als noch ein anderes Beispiel sind Waferüberführungszeiten reduziert basierend auf wenigstens zwei Faktoren. Als ein erster Faktor wird die Distanz zwischen den Prozessierstationen 26 und den Wafersäulen 700 tatsächlich reduziert. Als ein zweiter Faktor reduziert die Verwendung eines Schwingarms mit kürzerem Radius Kräfte, die im Zusammenhang mit der Drehung stehen, denen der Wafer während der Überführung ausgesetzt ist. Deshalb können relativ höhere Drehraten eingesetzt werden. In Kombination wirken diese Faktoren zusammen, um eine bemerkenswert verbesserte Leistung zu liefern.
Wendet man sich den 33 und 35 wie oben erwähnt zu, ist es wichtig, dass die Waferschaufeln leer sind, bevor die Schwingarmtüren 706 und 708 geschlossen werden. Dementsprechend wird eine Erfassungsanordnung eingesetzt, wobei die Anwesenheit eines Wafers unabhängig von jeder Schwingarmschaufel 1810 erfasst wird. Dies wird erreicht durch Verwenden einer „durch-den-Strahl"-Sensorkonfiguration, die in den diskutierten Figuren dargestellt ist, wobei vier Sensoren auf eine sehr vorteilhafte Weise angeordnet sind. Jeder Sensor weist einen Sender auf, der auf dem Boden der Schleuse und Überführungskammer nahe den Anschlüssen montiert ist, die durch die jeweiligen Kammern definiert sind. Die Sender sind in 33 als T1-T4 bezeichnet. 35 stellt eine Schleuse 20 und Überführungskammer 1920 dar, die jeweils Klappen 1960 und 1962 umfassen, die daran eingebaut sind, welche die Detektoren D1-D4 in einem zugewandten Verhältnis in Bezug auf einen der Sender T-T4 tragen, so dass der Signalweg zwischen jedem Sender/Detektorpaar unterbrochen wird, wenn ein Wafer dort hindurch geht. Jeder geeignete Typ von Sender/Detektorpaaren kann verwendet werden und ist für diesen Zweck leicht kommerziell erhältlich. Es wird vermerkt, dass die Sender/Detektorpaare unten als S1-S4 bezeichnet werden können.
Mit Bezug auf die 36a und 36b ist das System 1900 schematisch dargestellt, einschließlich der Sensoren S1-S4. In 36a sind Schwingarmanordnungen 1802a und 1802b drehbar positioniert, so dass der obere und untere Schwingarm jedes Schwingarmpaars wenigstens ungefähr vertikal ausgerichtet ist. Während diese Position eine Grundposition sein kann, ist dies kein Erfordernis. Es wird jedoch erachtet, dass diese Position sehr vorteilhaft ist in Zusammenwirkung mit den Positionen der Sensorpaare S3 und S4 zum Zwecke des Bestätigens, dass die Schaufeln aller Schwingarme leer sind. Eine solche Bestätigung ist nützlich bevor die Spalttüren geschlossen werden, wie oben beschrieben ist, um eine gegenseitige Beeinflussung zwischen einer Tür und einem unerwarteten Wafer zu vermeiden.
In 36b sind alle Schwingarmschaufeln Wafer tragend dargestellt, bezeichnet als 1950-1 bis 1950-4, und die Sensoren sind gezeigt, als ob die Wafer transparent wären aus Gründen der vorliegenden Diskussion. Obere Schwingarme 1806-1 und 1808-1 sind als nach unten gedreht gezeigt aus der Sicht der Figur, so dass diese Schwingarme mit den Sensoren S2 und S1 jeweils ausgerichtet sind zum Zwecke des Erfassens der Anwesenheit von Wafern 1950-2 und 1950-1. Somit kann die Anwesenheit oder Abwesenheit eines Wafers in Bezug auf einzelne der Schwingarme bestätigt werden, zum Beispiel wenn erwartet wird, dass alle Schaufeln Wafer tragen. Dementsprechend wird diese Sensoranordnung als sehr vorteilhaft angesehen in Bezug auf das Bestätigen eines erwarteten Status jeder Waferschaufel. An irgendeinem Punkt, an dem der erfasste Waferstatus nicht mit dem erwarteten Status übereinstimmt, kann ein Alarm ertönen, um das erfasste Problem zu korrigieren.
Eine andere Ausführung eines Systems, das in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung hergestellt ist, ist in 37 dargestellt und allgemein mit dem Bezugszeichen 2000 bezeichnet. Das System 2000 umfasst die zuvor beschriebene Schwingarmanordnung 1800, die in einer Schleuse 2002 eingebaut ist. Bei dieser Ausführung wird keine Überführungskammer verwendet, um einen etwas breiteren Bereich an Positionen vorzusehen, der als eine Grundposition verwendet werden kann, sowie um die Spalttür zwischen der Überführungskammer und der Schleuse (wie in 33 gezeigt) zu beseitigen. Ausführungen, die keine Überführungskammer verwenden, sind bei Umständen nützlich, wie zum Beispiel wenn lange Prozesszeiten eingesetzt werden, wobei die Waferüberführungszeit eine relativ kleiner Bruchteil der Prozesszeit ist.
Mit Bezug auf 30 wird vermerkt, dass alle hierin betrachteten Ausführungen, die einen Hubmotor 152 verwenden oder irgendeine äquivalente vertikale Hubstufe, vorteilhaft sind in Bezug auf eine Fähigkeit, das Bewegungsprofil abzustimmen, das von den zugehörigen Schwingarmen erfahren wird. Das heißt, wenn der Motor 152 aktiviert ist, um die Höhe des Schwingarms zu ändern, werden zu einer Zeit während der Periode, wenn sich die Schwingarme zwischen der Prozesskammer und der Schleuse bewegen, die Schwingarme basierend auf dem Bewegungsprofil reagieren sowie ihren mechanischen Eigenschaften. Von Belang in Bezug auf das Bewegungsprofil ist ihre Beschleunigungskomponente, und insbesondere ihre vertikale Beschleunigungskomponente, die bei Verwendung der vertikalen Hubstufe verursacht wird, die ein Rückprallen und/oder Schwingen verursachen kann, das Partikelerzeugung mit sich bringen kann durch Herstellen einer relativen Bewegung zwischen einer Schaufel und dem von ihr getragenen Wafer. Dementsprechend kann der Motor 152 in Übereinstimmung mit Bewegungsprofilen angetrieben werden in Verbindung mit den mechanischen Eigenschaften der Schwingarme, was in einem minimalen Rückprallen und/oder Schwingen der Schwingarme und Schaufeln resultiert. Es wird erachtet, dass der Fachmann in der Lage ist, geeignete Bewegungsprofile zu entwickeln in Anbetracht der hierein ans Licht gebrachten Erkenntnis.
Obwohl jede der zuvor beschriebenen physikalischen Ausführungen mit verschiedenen Komponenten dargestellt wurde, die besondere jeweilige Orientierungen haben, ist es selbstverständlich, dass die vorliegende Erfindung eine Vielzahl spezifischer Konfigurationen annehmen kann, wobei die verschiedenen Komponenten an einer großen Vielzahl von Positionen und gegenseitigen Orientierungen angeordnet sein können. Darüber hinaus können die hierin beschriebenen Verfahren auf eine unbegrenzte Anzahl von Weisen modifiziert werden, zum Beispiel durch Umordnen, Modifizieren und Rekombinieren der verschiedenen Schritte. Dementsprechend sollte es offensichtlich sein, dass die hierin offenbarten Anordnungen und zugehörigen Verfahren in einer Viel zahl verschiedener Konfigurationen vorgesehen werden können und auf eine unbegrenzte Zahl verschiedener Weisen modifiziert werden können, und dass die vorliegende Erfindung in vielen anderen spezifischen Formen ausgestaltet werden kann, ohne vom Umfang oder der Reichweite der Erfindung abzuweichen. Deshalb sind die vorliegenden Beispiele und Verwahren als darstellend und nicht als einschränkend anzusehen und die Erfindung ist nicht auf die hierin gegebenen Einzelheiten zu beschränken.
Zusammenfassung
Waferprozessiersystem und -verfahren, bei dem ein Wafer, mit einem Durchmesser, zwischen einer Ladeschleuse und einer Prozesskammer bewegbar ist. Eine Transferkammer ist angeordnet für selektive Druckkommunikation mit der Ladeschleuse und der Prozesskammer. Die Transferkammer besitzt eine Konfiguration mit seitlichen Abmessungen, die derart gewählt sind, dass der Wafer durch die Transferkammer zwischen der Ladeschleuse und der Prozesskammer entlang eines Transferpfades bewegbar ist, und die Konfiguration der seitlichen Maße bewirkt, dass der Wafer mit dem Waferdurchmesser, der sich entlang des Wafertransferpfades bewegt mit wenigstens der Ladeschleuse und/oder der Prozesskammer in jeder Position entlang des Wafertransferpfades interferiert. Der Wafer umfasst eine Mitte und der Wafertransferpfad kann definiert werden durch eine Bewegung der Mitte durch die Transferkammer. Schwenkarme sind vorgesehen die sich unabhängig um unterschiedliche Winkel in entgegensetzten Richtungen aus einer Ruheposition bewegen können.

Claims

Vorrichtung für ein Waferprozessiersystem, in dem wenigstens ein Wafer zwischen einer Schleuse und einer Prozesskammer bewegbar ist, wobei der Wafer einen Waferdurchmesser umfasst, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist: eine Überführungskammer, die für eine wahlweise Druckkommunikation mit der Schleuse und der Prozesskammer angeordnet ist, wobei die Überführungskammer eine Konfiguration seitlicher Ausdehnung hat, so dass der Wafer durch die Überführungskammer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer entlang eines Waferüberführungsweges bewegbar ist und die Konfiguration seitlicher Ausdehnung den Wafer, der den Waferdurchmesser hat und sich entlang des Waferüberführungsweges bewegt, dazu veranlasst, sich mit wenigstens entweder der Schleuse oder der Prozesskammer für jede gegebene Position entlang des Waferüberführungsweges gegenseitig zu beeinflussen.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Wafer eine Wafermitte umfasst und der Waferüberführungsweg durch die Bewegung der Wafermitte durch die Überführungskammer definiert ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, die ferner aufweist: eine Überführungsanordnung, die in der Überführungskammer gelagert ist, um den Wafer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer entlang des Waferüberführungsweges zu bewegen, und die eine Überführungsanordnungskonfiguration umfasst, die mit der Konfiguration der seitlichen Ausdehnung der Überführungskammer derart zusammenwirkt, dass die Überführungsanordnung, ohne den Wafer zu tragen, in der Überführungskammer in Druckisolierung von sowohl der Schleuse und der Prozesskammer in einer Grundposition sein kann.
Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei das System eine erste Tür zwischen der Schleuse und der Überführungskammer umfasst und eine zweite Tür zwischen der Prozesskammer und der Überführungskammer, wobei sowohl die erste als auch die zweite Tür zwischen einer offenen Position und einer geschlossenen Position bewegbar ist, so dass die Überführungskammer wahlweise von sowohl der Schleuse als auch der Prozesskammer druckisolierbar ist, und wobei die Überführungsanordnung in der Grundposition und ohne den Wafer zu tragen konfiguriert ist, um zwischen der ersten Tür und der zweiten Tür aufgenommen zu werden, wobei beide Türen in der geschlossenen Position sind.
Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei der Wafer, der von der Überführungsanordnung in der Grundposition getragen ist, sich wenigstens mit der ersten oder der zweiten Tür gegenseitig beeinflusst, wenn die Türen in der geschlossenen Position sind.
Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Überführungsanordnung wenigstens einen Schwingarm umfasst, der eine gestreckte Länge hat, die sich von einem fernen Ende erstreckt, die eine Schaufel definiert, um den Wafer darauf aufzunehmen, und der Schwingarm, der die Schaufel umfasst, gänzlich innerhalb eines druckisolierten Volumens aufnehmbar ist, das durch die Überführungskammer definiert ist, wenn der Schwingarm in der Grundposition ist.
Vorrichtung nach Anspruch 4, die ferner eine Erfassungsanordnung zum Detektieren der Anwesenheit des Wafers auf der Überführungsanordnung aufweist zur Verwendung beim Abbrechen des Schließens von wenigstens entweder der ersten Tür oder der zweiten Tür ansprechend auf das Detektieren der Anwesenheit des Wafers.
System zum Prozessieren von Wafern, das folgendes umfasst: wenigstens eine Schleuse; eine Überführungskammer, die in wahlweiser Druckkommunikation mit der Schleuse ist; eine Prozesskammer, die wenigstens eine Prozessierstation umfasst, so dass die Prozessierstation in wahlweiser Kommunikation mit der Überfüh rungskammer ist und die Wafer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer durch die Überführungskammer überführbar sind; und eine Schwingarmanordnung, die wenigstens einen Schwingarm umfasst, der schwenkbar in der Überführungskammer gelagert ist und ein fernes Ende hat, das konfiguriert ist, um die Wafer zwischen der Schleuse und der Prozessierkammer zu bewegen, wobei der Schwingarm in einer Grundposition innerhalb der Überführungskammer positionierbar ist, wenn die Schleuse und die Überführungskammer voneinander isoliert sind, und der konfiguriert ist, um das ferne Ende um eine erste Winkelversetzung in einer Richtung von der Grundposition zu der Schleuse zu schwingen, und um das ferne Ende um eine zweite Winkelversetzung in einer entgegen gesetzten Richtung von der Grundposition zu der Prozessierstation zu schwingen, so dass die erste Winkelversetzung von der zweiten Winkelversetzung verschieden ist.
System nach Anspruch 8, wobei die erste Winkelversetzung geringer ist als die zweite Winkelversetzung.
Verbesserung für ein System zum Prozessieren von Wafern, das wenigstens eine Schleuse umfasst, die eine Waferstation hat, und eine Prozesskammer, die eine Prozessierstation hat, wobei die Verbesserung folgendes aufweist: eine Überführungsanordnung, die eine Schwingarmanordnung umfasst, die wenigstens einen ersten Schwingarm und einen zweiten Schwingarm hat, die für eine koaxiale Drehung um eine gemeinsame Drehachse konfiguriert sind zur Verwendung beim Transportieren von Wafern zwischen der Waferstation in der Schleuse und der Prozessierstation in der Prozesskammer, wobei der erste und der zweite Schwingarm konfiguriert sind, so dass sich einer der Schwingarme auf die Prozessierstation zu drehen kann, während sich der andere der Schwingarme unabhängig auf die Waferstation zu dreht.
Verbesserung nach Anspruch 10, wobei sich sowohl der erste als auch der zweite Schwingarm durch eine Grundposition bewegt beim Drehen zwischen der Waferstation und der Prozessierstation, und die Waferstation durch Drehen um einen ersten Winkelversatz aus der Grundposition erreicht wird, wobei die Prozessierstation durch Drehen um einen zweiten Winkelversatz von der Grundposition erreicht wird, so dass der erste Winkelversatz von dem zweiten Winkelversatz verschieden ist.
Verbesserung nach Anspruch 11, wobei der erste Winkelversatz geringer ist als der zweite Winkelversatz.
Verbesserung nach Anspruch 11, wobei der erste und zweite Schwingarm in der Grundposition jeweils einen ersten und einen zweiten der Wafer auf eine Weise tragen, die ein Erfassen der Anwesenheit von wenigstens dem ersten oder dem zweiten Wafer vorsieht.
Verbesserung nach Anspruch 13, die ferner aufweist: eine Sensoranordnung zum Erfassen der Anwesenheit von wenigstens dem ersten oder dem zweiten Wafer, wenn sie in einer nebeneinander liegenden, im Allgemeinen voneinander beabstandeten Beziehung getragen werden.
Verbesserung nach Anspruch 10, wobei der erste und zweite Schwingarm beim Bewegen zwischen der Waferstation und der Prozessierstation jeweils einen ersten und einen zweiten der Wafer auf eine Weise tragen, die ein individuelles Erfassen der Anwesenheit von sowohl dem ersten und dem zweiten Wafer an zwischenliegenden und um einen Winkel versetzten Positionen des ersten und zweiten Schwingarms vorsieht.
Verbesserung nach Anspruch 10, wobei die Schwingarmanordnung eine Antriebsanordnung umfasst, um den ersten Schwingarm und den zweiten Schwingarm wahlweise bei verschiedenen Winkelgeschwindigkeiten zu drehen.
Verbesserung nach Anspruch 10, wobei die Schwingarmanordnung eine Antriebsanordnung umfasst, um den ersten Schwingarm und den zweiten Schwingarm wahlweise in entgegen gesetzte Richtungen um verschiedene Winkelbeträge zu drehen.
Verbesserung nach Anspruch 17, wobei sich der erste Schwingarm und der zweite Schwingarm wenigstens ungefähr mit der gleichen gegebenen Winkelgeschwindigkeit in die entgegen gesetzten Richtungen drehen, so dass sich einer der Schwingarme für eine erste Zeitdauer aus der Grundposition dreht, um die Waferstation zu erreichen, und sich der andere der Schwingarme um eine zweite Zeitdauer, die von der ersten Zeitdauer verschieden ist, aus der Grundposition dreht, um die Prozessierstation zu erreichen.
Verbesserung nach Anspruch 16, wobei die Antriebsanordnung einen ersten Motor umfasst, um den ersten Schwingarm wahlweise zu drehen, und einen zweiten Motor, um den zweiten Schwingarm wahlweise zu drehen, unabhängig von der Drehung des ersten Schwingarms.
Verbesserung für ein System zum Prozessieren von Wafern, das wenigstens eine Schleuse umfasst, die eine Waferstation hat, und eine Prozesskammer, die eine Prozessierstation hat, wobei die Verbesserung folgendes aufweist: eine Überführungsanordnung, die einen ersten Schwingarm umfasst, der zur Drehung um eine Rotationsachse konfiguriert ist zur Verwendung beim Transportieren der Wafer zwischen der Waferstation und der Prozessierstation, wobei der Schwingarm konfiguriert ist, um sich in einer Richtung um einen ersten Winkelwert aus der Grundposition zu der Prozessierstation zu drehen und um sich in einer entgegen gesetzten Richtung um einen zweiten Winkelwert aus der Grundposition zu drehen, um die Waferstation zu erreichen, wobei der erste Winkelwert von dem zweiten Winkelwert verschieden ist.
Verbesserung nach Anspruch 20, wobei die Schleuse und die Prozesskammer Teile einer gesamten Kammeranordnung bilden, die mit der Überführungsanordnung auf eine Weise zusammenwirkt, die wenigstens zum Teil dazu dient, die Grundposition des Schwingarms zu definieren.
Verbesserung nach Anspruch 21, wobei die Schleuse und die Prozesskammer im Wesentlichen nur voneinander druckisolierbar sind, wenn der Schwingarm in der Grundposition ist.
Verbesserung nach Anspruch 21, wobei die gesamte Kammeranordnung eine Überführungskammer umfasst, die in wahlweiser Kommunikation mit sowohl der Schleuse als auch der Prozesskammer steht, und die Überführungsanordnung in der Überführungskammer gelagert ist, so dass die Grundposition innerhalb der Überführungskammer definiert ist.
Verbesserung nach Anspruch 21, wobei die Schleuse in direkter Kommunikation mit der Prozesskammer steht und die Überführungsanordnung in der Schleuse angeordnet ist, so dass die Grundposition innerhalb der Schleuse definiert ist.
Verfahren für ein Waferprozessiersystem, in dem wenigstens ein Wafer zwischen einer Schleuse und einer Prozesskammer bewegbar ist, wobei der Wafer einen Waferdurchmesser umfasst, wobei das Verfahren folgendes aufweist: Anordnen einer Überführungskammer zur wahlweisen Druckkommunikation mit der Schleuse und der Prozesskammer; und Konfigurieren der Überführungskammer, um eine Konfiguration seitlicher Ausdehnung zu umfassen, so dass der Wafer durch die Überführungskammer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer entlang eines Waferüberführungsweges bewegbar ist, und die Konfiguration der seitlichen Ausdehnung den Wafer, der den Waferdurchmesser hat und sich entlang des Waferüberführungsweges bewegt, dazu veranlasst, sich mit wenigstens der Schleuse oder der Prozesskammer gegenseitig zu beeinflussen für jede gegebene Position entlang des Waferüberführungsweges.
Verfahren nach Anspruch 25, wobei der Wafer eine Wafermitte umfasst und der Waferüberführungsweg durch Bewegen dieser Wafermitte durch die Überführungskammer definiert ist.
Verfahren nach Anspruch 25, das ferner aufweist: Lagern einer Überführungsanordnung in der Überführungskammer, um den Wafer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer entlang des Waferüberführungsweges zu bewegen, die eine Überführungsanordnungskonfiguration hat, die mit der Konfiguration der seitlichen Ausdehnung der Überführungskammer zusammenwirkt, so dass die Überführungsanordnung, ohne den Wafer zu tragen, in der Überführungskammer in Druckisolation von sowohl der Schleuse als auch der Prozesskammer in einer Grundposition sein kann.
Verfahren nach Anspruch 27, das als Teil des Systems Vorsehen einer ersten Tür zwischen der Schleuse und der Überführungskammer umfasst und einer zweiten Tür zwischen der Prozessierkammer und der Überführungskammer, wobei sowohl die erste als auch die zweite Tür zwischen einer offenen Position und einer geschlossenen Position bewegbar ist, so dass die Überführungskammer wahlweise von sowohl der Schleuse als auch der Prozesskammer druckisolierbar ist, und wobei die Überführungsanordnung in der Grundposition, ohne den Wafer darauf zu tragen, konfiguriert ist, um zwischen der ersten Tür und der zweiten Tür aufgenommen zu werden, wobei beide Türen in der geschlossenen Position sind.
Verfahren nach Anspruch 28, wobei der Wafer, der von der Überführungsanordnung getragen ist, in der Grundposition sich mit wenigstens der ersten oder der zweiten Tür gegenseitig beeinflusst, wenn die Türen in die geschlossene Position bewegt werden.
Verfahren zum Konfigurieren eines Systems zum Prozessieren von Wafern, wobei das Verfahren aufweist: Vorsehen von wenigstens einer Schleuse; Anordnen einer Überführungskammer in wahlweiser Druckkommunikation mit der Schleuse; Konfigurieren einer Prozesskammer, um wenigstens eine Prozessierstation zu umfassen, so dass die Prozesskammer in wahlweiser Druckkommunikation mit der Überführungskammer ist und die Wafer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer durch die Überführungskammer überführt werden können; und Positionieren einer Schwingarmanordnung in der Überführungskammer, die wenigstens einen Schwingarm umfasst, der schwenkbar gelagert ist, und der Schwingarm ein fernes Ende hat, das konfiguriert ist, um die Wafer zwischen der Schleuse und der Prozesskammer zu bewegen, wobei der Schwingarm in einer Grundposition innerhalb der Überführungskammer positionierbar ist, wenigstens wenn die Schleuse und die Überführungskammer voneinander isoliert sind, und konfiguriert ist, um das ferne Ende um eine erste Winkelversetzung in einer Richtung aus der Grundposition zu der Schleuse zu schwingen, und um das ferne Ende um eine zweite Winkelversetzung in eine entgegen gesetzte Richtung aus der Grundposition zu der Prozessierstation zu schwingen, so dass die erste Winkelversetzung von der zweiten Winkelversetzung verschieden ist.
Verfahren nach Anspruch 30, wobei die erste Winkelversetzung geringer ist als die zweite Winkelversetzung.
Verfahren für ein System zum Prozessieren von Wafern, das wenigstens eine Schleuse umfasst, die eine Waferstation hat, und eine Prozesskammer, die eine Prozessierstation hat, wobei das Verfahren folgendes aufweist: Konfigurieren einer Überführungsanordnung, um eine Schwingarmanordnung zu umfassen, die wenigstens einen ersten Schwingarm und einen zweiten Schwingarm hat, die für eine koaxiale Drehung um eine gemeinsame Drehachse konfiguriert sind zur Verwendung beim Transportieren der Wafer zwischen der Waferstation in der Schleuse und der Prozessierstation in der Prozesskammer, wobei der erste und der zweite Schwingarm konfiguriert sind, so dass sich einer der Schwingarme auf die Prozessierstation zu drehen kann, während der andere der Schwingarme sich unabhängig auf die Waferstation zu dreht.
Verfahren nach Anspruch 32, wobei die Schwingarmanordnung konfiguriert ist, so dass sich sowohl der erste und der zweite Schwingarm durch eine Grundposition bewegt beim Drehen zwischen der Waferstation und der Prozessierstation, und die Waferstation durch Drehen um einen ersten Winkelversatz aus der Grundposition erreicht wird und die Prozessierstation durch Drehen um einen zweiten Winkelversatz aus der Grundposition erreicht wird, so dass der erste Winkelversatz von dem zweiten Winkelversatz verschieden ist.
Verfahren nach Anspruch 33, wobei der ersten Winkelversatz geringer ist als der zweite Winkelversatz.
Verfahren nach Anspruch 32, wobei das Konfigurieren der Schwingarmanordnung Anordnen einer Antriebsanordnung wenigstens zum wahlweisen Drehen des ersten Schwingarms und des zweiten Schwingarms bei verschiedenen Winkelgeschwindigkeiten umfasst.
Verfahren für ein System zum Prozessieren von Wafern, das wenigstens eine Schleuse umfasst, die eine Waferstation hat, und eine Prozesskammer, die eine Prozessierstation hat, wobei das Verfahren folgendes aufweist: Konfigurieren einer Überführungsanordnung, die einen Schwingarm umfasst zum Drehen um eine Drehachse zum Verwenden beim Transportieren der Wafer zwischen der Waferstation und der Prozessierstation, wobei der Schwingarm konfiguriert ist, um sich in einer Richtung um einen ersten Winkelwert aus der Grundposition zu der Prozessierstation zu drehen, und um sich in einer entgegen gesetzten Richtung um einen zweiten Winkelwert aus der Grundposition zu drehen, um die Waferstation zu erreichen, und wobei der erste Winkelwert von dem zweiten Winkelwert verschieden ist.
Verfahren nach Anspruch 36, wobei die Schleuse und die Prozesskammer Teile einer gesamten Kammeranordnung bilden, die mit der Überführungsanordnung auf eine Weise zusammenwirkt, die wenigstens zum Teil dazu dient, die Grundposition des Schwingarms zu definieren.
Verfahren nach Anspruch 36, wobei die gesamte Kammeranordnung eine Überführungskammer umfasst, die in wahlweiser Kommunikation mit sowohl der Schleuse als auch der Prozesskammer ist, und das Lagern der Überführungsanordnung in der Überführungskammer umfasst, so dass die Grundposition innerhalb der Überführungskammer definiert ist.
Verfahren nach Anspruch 36, wobei die Schleuse in direkter Kommunikation mit der Prozesskammer ist, und Lagern der Überführungsanordnung in der Schleuse, so dass die Grundposition innerhalb der Schleuse definiert ist.
Vorrichtung für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl von Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens zwei nebeneinander liegende erste und zweite Prozessierstationen verwendet, von denen jede konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an einem der Werkstücke auszuführen, das an jeder der ersten und zweiten Prozessierstationen angeordnet ist, so dass zwei Werkstücke gleichzeitig dem Behandlungsprozess ausgesetzt werden können, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist: eine Werkstückhalteanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, um wenigstens zwei der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung zueinander zu halten, um eine Werkstücksäule zu bilden; und eine Werkstücküberführungsanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, um wenigstens zwei der Werkstücke zwischen der Werkstücksäule und der Prozesskammeranordnung zu transportieren durch gleichzeitiges Bewegen der beiden Werkstücke wenigstens allgemein jeweils entlang erster und zweiter Überführungswege, die zwischen der Werkstücksäule und der ersten und zweiten Prozessierstation definiert sind.
Vorrichtung nach Anspruch 40, wobei die beiden Werkstücke in gleicher Richtung entlang des ersten und zweiten Überführungsweges zwischen der Prozesskammeranordnung und der Werkstücksäule bewegt werden.
Vorrichtung nach Anspruch 40, wobei die Werkstücküberführungsanordnung konfiguriert ist, um Drehung zu verwenden, um die beiden Werkstücke zwischen der Werkstücksäule und jeder der ersten und zweiten Prozessierstationen entlang des ersten und zweiten Überführungsweges zu bewegen, so dass eine Drehkomponente der Bewegung zwischen der Werkstücksäule und der ersten und zweiten Prozessierstation im Allgemeinen den ersten und zweiten Überführungsweg kennzeichnet.
Vorrichtung nach Anspruch 42, wobei sich der erste und zweite Überführungsweg wenigstens teilweise überlappen, wenn sie auf eine Ebene projiziert werden, die im Allgemeinen parallel zu der Drehkomponente der Bewegung ist.
Vorrichtung nach Anspruch 42, wobei der erste und zweite Überführungsweg eine einander zugewandte Beziehung zwischen den beiden Werkstücken an der Werkstücksäule vorsehen und eine Bewegung der beiden Werkstücke durch eine andere einander zugewandte Beziehung an einer Position zwischen den Werkstücksäulen und der Prozesskammeranordnung vorsehen.
Vorrichtung nach Anspruch 40, wobei das System eine Schleuse und eine Überführungskammer umfasst, so dass die Werkstücke zwischen der Prozesskammeranordnung und der Schleuse durch die Überführungskammer bewegbar sind und die Wafersäule in der Schleuse angeordnet ist, während die Werkstücküberführungsanordnung in der Überführungskammer gelagert ist.
Vorrichtung nach Anspruch 40, wobei die Werkstücküberführungsanordnung konfiguriert ist, um gleichzeitig zwei der Werkstücke vor der Behandlung von der Werkstücksäule zu der ersten und zweiten Prozessierstation zu überführen, wobei zwei der Werkstücke nach der Behandlung aus der ersten und zweiten Prozessierstation zu der Werkstücksäule zurückgebracht werden.
Vorrichtung nach Anspruch 46, wobei zu jeder gegebenen Zeit während der Überführung der Werkstücke vor und nach der Behandlung die Werkstücküberführungsanordnung die Werkstücke vor und nach der Behandlung in einer vertikal voneinander beabstandeten positionalen Beziehung entlang des ersten und zweiten Überführungsweges trägt.
Vorrichtung nach Anspruch 46, wobei die Werkstücküberführungsanordnung erste und zweite Sätze von Schwingarmen umfasst, wobei jeder der Schwingarmsätze einen oberen Schwingarm und einen unteren Schwingarm umfasst, die koaxial schwenken, um gemeinsam ein Paar von oberen Schwingarmen und ein Paar von unteren Schwingarme vorzusehen, und das obere Schwingarmpaar konfiguriert ist, um die Werkstücke in einer Richtung zwischen der Werkstücksäule und den nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu bewegen, während das untere Schwingarmpaar konfiguriert ist, um die Werkstücke in einer entgegen gesetzten Richtung zwischen der Werkstücksäule und den nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu bewegen.
Vorrichtung nach Anspruch 48, wobei sowohl der erste als auch der zweite Schwingarmpaarsatz für eine vertikale Translation konfiguriert ist, um den ersten und zweiten Überführungsweg zwischen der Werkstücksäule und der ersten und zweiten Prozessierstation in der Höhe zu ändern.
Vorrichtung nach Anspruch 49, das einen ersten Nocken umfasst, der dem ersten Schwingarmsatz zugeordnet ist, und einen zweiten Nocken, der dem zweiten Schwingarmsatz zugeordnet ist, um eine wählbare Höhe für so wohl den ersten als auch den zweiten Schwingarmsatz in Bezug auf die Drehung zwischen der Wafersäule und der Prozesskammeranordnung vorzusehen.
Vorrichtung nach Anspruch 48, wobei die Werkstücksäule ein Paar von Vorbehandlungswerkstückpositionen umfasst, um zwei Werkstücke vor der Behandlung aufzunehmen, und ein Paar von Nachbehandlungswerkstückpositionen, um zwei Werkstücke nach der Behandlung aufzunehmen, und das obere Schwingarmpaar für die Bewegung der beiden Werkstücke vor der Behandlung von dem Paar der Vorbehandlungspositionen in der Werkstücksäule zu der ersten und zweiten Prozessierstation bestimmt ist, und das untere Schwingarmpaar für die Bewegung der beiden Werkstücke nach der Behandlung von der ersten und zweiten Prozessierstation zu dem Paar der Nachbehandlungswerkstückpositionen in der Werkstücksäule bestimmt ist.
Vorrichtung nach Anspruch 48, wobei die Werkstücksäule ein Paar von Vorbehandlungswerkstückpositionen umfasst zum Aufnehmen von zwei Werkstücken vor der Behandlung und ein Paar von Nachbehandlungswerkstückpositionen zum Aufnehmen von zwei Werkstücken nach der Behandlung, und das obere Schwingarmpaar dazu bestimmt ist, die beiden Werkstücke nach der Behandlung von der ersten und zweiten Prozessierstation zu dem Paar der Nachbehandlungspositionen in der Werkstücksäule zu bewegen, und das untere Schwingarmpaar dazu bestimmt ist, die beiden Werkstücke vor der Behandlung von dem Paar der Vorbehandlungswerkstückpositionen in der Werkstücksäule zu der ersten und zweiten Prozessierstation zu bewegen.
Vorrichtung nach Anspruch 48, wobei der obere Schwingarm und der untere Schwingarm jedes Schwingarmsatzes auf eine Weise bewegt werden, die den oberen Schwingarm dazu veranlasst, an einer bestimmten der Prozessierstationen anzukommen, wenn der untere Schwingarm an der Werkstücksäule ankommt und, wenn sie gegensätzlich gedreht werden, um den oberen Schwingarm dazu zu veranlassen, an der Werkstücksäule anzukom men, wenn der untere Schwingarm an der bestimmten der Prozessierstationen ankommt.
Vorrichtung nach Anspruch 48, wobei der obere Schwingarm und der untere Schwingarm, die jeden Satz an Schwingarmen aufbauen, sich gegenläufig drehen in Bezug aufeinander, um sich gleichzeitig in entgegen gesetzte Richtungen zwischen der Prozesskammeranordnung und der Werkstücksäule zu bewegen.
Vorrichtung nach Anspruch 54, wobei der erste und zweite Satz an Schwingarmen jeweils unter Verwendung erster und zweiter Motoren gedreht wird, so dass ein einzelner Motor jeden Satz an Schwingarmen drehend antreibt.
Vorrichtung nach Anspruch 55, die eine Anordnung zum Synchronisieren der Drehung des ersten und zweiten Motors umfasst, so dass das obere Paar von Schwingarmen an einer der Prozesskammeranordnungen ankommt und die Werkstücksäule im Wesentlichen zur selben Zeit, an der das untere Paar von Schwingarmen an der anderen der Prozesskammeranordnungen und der Werkstücksäule ankommt.
Vorrichtung nach Anspruch 46, wobei die Werkstücküberführungsanordnung erste und zweite Sätze an Schwingarmen umfasst, wobei jeder der Schwingarmsätze einen oberen Schwingarm und einen unteren Schwingarm umfasst, die koaxial schwenken, um gemeinsam ein Paar von oberen Schwingarmen und ein Paar von unteren Schwingarmen vorzusehen und konfiguriert sind, um entweder das obere Schwingarmpaar oder das untere Schwingarmpaar für das gleichzeitige Bewegen der Werkstücke vor der Behandlung von der Werkstücksäule zu den nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu verwenden, und um das andere des oberen Schwingarmpaares und des unteren Schwingarmpaares für das gleichzeitige Bewegen der Werkstücke nach der Behandlung von den nebeneinander liegenden Prozessierstation zu der Werkstücksäule zu verwenden.
Vorrichtung nach Anspruch 57, wobei jeder der oberen und unteren Schwingarme der ersten und zweiten Schwingarmsätze konfiguriert ist, um von einer ersten Höhenebene der Bewegung zu einer zweiten Höhenebene der Bewegung überzugehen beim Bewegen zwischen der Werkstücksäule und der Prozesskammeranordnung entlang der ersten und zweiten Überführungswege, so dass die erste und zweite Ebene der Bewegung vertikal voneinander beabstandet sind.
Vorrichtung nach Anspruch 57, wobei der erste und zweite Schwingarmsatz zusammenwirken, um gleichzeitig die Werkstücke vor der Behandlung von der Wafersäule aufzunehmen.
Vorrichtung nach Anspruch 59, wobei der erste und zweite Schwingarmsatz zusammenwirken, um gleichzeitig die Werkstücke nach der Behandlung von der ersten und zweiten Prozessierstation aufzunehmen, wenn die Werkstücke vor der Behandlung von der Wafersäule aufgenommen werden.
Vorrichtung nach Anspruch 59, wobei ein erstes Werkstück vor der Behandlung und ein zweites Werkstück vor der Behandlung an einem ausgewählten vertikalen Versatz voneinander aufgenommen werden und der erste und zweite Schwingarmsatz konfiguriert sind, um die ersten und zweiten Werkstücke vor der Behandlung zu der ersten und zweiten Prozessierstation zu bewegen, während der vertikale Versatz aufrechterhalten wird, so dass die ersten und zweiten Werkstücke an der ersten und zweiten Prozessierstation auf einer ersten Höhe und auf einer zweiten Höhe ankommen, die sich um den ausgewählten vertikalen Versatz unterscheiden.
Vorrichtung nach Anspruch 61, wobei die Prozessierstationen eine Prozessierebene definieren, in der die Werkstücke prozessiert werden, und die Werkstücküberführungsanordnung eine Werkstückhubanordnung umfasst, um die ersten und zweiten Werkstücke zwischen der Prozessierebene und der ersten und zweiten Höhe an der ersten und zweiten Prozessierstation jeweils vertikal zu bewegen.
Vorrichtung nach Anspruch 57, wobei der untere Schwingarm des ersten Schwingarmsatzes sich drehend zwischen dem oberen Schwingarm und dem unteren Schwingarm des zweiten Schwingarmsatzes bewegt, und der obere Schwingarm des zweiten Schwingarmsatzes sich drehend zwischen dem oberen Schwingarm und dem unteren Schwingarm des ersten Schwingarmsatzes bewegt.
Vorrichtung nach Anspruch 40, wobei der erste und zweite Überführungsweg sich in erste und zweite Richtungen von der Werkstücksäule trennen und die Werkstückhalteanordnung eine Ablageanordnung umfasst, die eine Vielzahl von Werkstückpositionen hat, und die Ablageanordnung für jede Werkstückposition konfiguriert ist basierend auf einer Zugehörigkeit der ersten und zweiten Bewegungsrichtungen mit einzelnen der Werkstückpositionen.
Vorrichtung nach Anspruch 64, wobei die Werkstückpositionen abwechselnd mit dem ersten und zweiten Überführungsweg in der Werkstücksäule zugehörig sind.
Vorrichtung nach Anspruch 40, wobei die Werkstücke Halbleitersubstrate sind.
Vorrichtung nach Anspruch 40, wobei die Prozesskammeranordnung die erste und zweite Prozessierstation in einer gemeinsamen Prozessumgebung aufnimmt.
Vorrichtung nach Anspruch 40, wobei die Prozesskammeranordnung eine erste Prozesskammer umfasst zum Aufnehmen der ersten Prozessierstation und eine zweite Prozesskammer, die von der ersten Prozesskammer getrennt ist, zum Aufnehmen der zweiten Prozessierstation.
Verfahren für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl an Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens zwei nebeneinander liegende erste und zweite Prozessstationen verwendet, von denen jede konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an einem der Werkstücke auszuführen, das an jeder ersten und zweiten Prozessierstation angeordnet ist, so dass zwei Werkstücke gleichzeitig dem Behandlungsprozess ausgesetzt werden können, wobei das Verfahren folgendes umfasst: Anordnen einer Werkstücktrageanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, um wenigstens zwei der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung zu tragen, um eine Werkstücksäule zu bilden; und Lagern einer Werkstücküberführungsanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, um wenigstens zwei der Werkstücke zwischen der Werkstücksäule und der Prozesskammeranordnung zu transportieren durch jeweiliges gleichzeitiges Bewegen der beiden Werkstücke wenigstens allgemein entlang erster und zweiter Überführungswege, die zwischen der Werkstücksäule und der ersten und zweiten Prozessierstation definiert sind.
Verfahren nach Anspruch 69, das Bewegen der beiden Werkstücke in gleicher Richtung entlang des ersten und zweiten Überführungsweges zwischen der Prozesskammeranordnung und der Werkstücksäule umfasst.
Verfahren nach Anspruch 69, das Konfigurieren der Werkstücküberführungsanordnung umfasst zum Verwenden von Drehung, um die beiden Werkstücke zwischen der Werkstücksäule und jeder der ersten und zweiten Prozessierstation entlang des ersten und zweiten Überführungsweges zu bewegen, so dass die Drehkomponent der Bewegung zwischen der Werkstücksäule und der ersten und zweiten Prozessierstation allgemein den ersten und zweiten Überführungsweg kennzeichnet.
Verfahren nach Anspruch 71, wobei der erste und zweite Überführungsweg wenigstens teilweise überlappen, wenn sie auf eine Ebene projiziert werden, die im Allgemeinen parallel zu der Drehkomponente der Bewegung ist.
Verfahren nach Anspruch 71, wobei der erste und zweite Überführungsweg eine einander zugewandte Beziehung zwischen den beiden Werkstücken an der Werkstücksäule vorsehen, und ferner eine Bewegung der beiden Werkstücke durch eine andere einander zugewandte Beziehung an einer Position zwischen den Werkstücksäulen und der Prozesskammeranordnung vorsehen.
Verfahren nach Anspruch 69, wobei das System eine Schleuse und eine Überführungskammer umfasst, so dass die Werkstücke zwischen der Prozesskammeranordnung und der Schleuse durch die Überführungskammer bewegbar sind, und das Verfahren Anordnen der Wafersäule in der Schleuse umfasst, während die Werkstücküberführungsanordnung in der Überführungskammer gelagert wird.
Verfahren nach Anspruch 69, das Konfigurieren der Werkstücküberführungsanordnung umfasst zum gleichzeitigen Überführen von zwei der Werkstücke vor der Behandlung von der Werkstücksäule zu der ersten und zweiten Prozessierstation, während zwei der Werkstücke nach der Behandlung von der ersten und zweiten Prozessierstation zu der Werkstücksäule zurückgebracht werden.
Verfahren nach Anspruch 75, wobei zu jeder gegebenen Zeit während der Überführung der Werkstücke vor und nach der Behandlung, die Werkstücküberführungsanordnung verwendet wird, um die Werkstücke vor und nach der Behandlung in einer vertikal voneinander beabstandeten positionalen Beziehung entlang des ersten und zweiten Überführungsweges zu halten.
Verfahren nach Anspruch 75, das Konfigurieren der Werkstücküberführungsanordnung umfasst, um erste und zweite Sätze von Schwingarmen zu umfassen, wobei jeder der Schwingarmsätze einen oberen Schwingarm und einen unteren Schwingarm umfasst, die koaxial schwenken, um gemeinsam ein Paar oberer Schwingarme und ein Paar unterer Schwingarme vorzusehen, und das obere Schwingarmpaar konfiguriert ist, um die Werkstücke in eine Richtung zwischen der Werkstücksäule und der nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu bewegen, während das untere Schwingarmpaar konfiguriert ist, um die Werkstücke in einer entgegen gesetzten Richtung zwischen der Werkstücksäule und den nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu bewegen.
Verfahren nach Anspruch 77, das Verwenden jedes der ersten und zweiten Schwingarmsätze für eine vertikale Translation umfasst, um den ersten und zweiten Überführungsweg zwischen der Werkstücksäule und der ersten und zweiten Prozessierstation in der Höhe zu ändern.
Verfahren nach Anspruch 78, das Vorsehen eines ersten Nockens umfasst, der zu dem ersten Schwingarmsatz zugehörig ist, und Vorsehen eines zweiten Nockens, der zu dem zweiten Schwingarmsatz zugehörig ist, um eine wählbare Höhe jedes des ersten und zweiten Schwingarmsatzes in Bezug auf die Drehung zwischen der Wafersäule und der Prozesskammeranordnung herzustellen.
Verfahren nach Anspruch 79, das Anordnen einer Antriebswelle umfasst, um den ersten und zweiten Nocken für ein Mitdrehen ihrerseits miteinander zu verbinden, und ferner Anordnen eines Höhensteuermotors umfasst, um die Antriebswelle anzutreiben, um den ersten und zweiten Nocken wahlweise zu drehen, was dadurch jeden Schwingarm vertikal bewegt.
Verfahren nach Anspruch 77, das Anordnen der Werkstücksäule umfasst, um ein Paar von Vorbehandlungswerkstückpositionen zum Aufnehmen von zwei Werkstücken vor der Behandlung und ein Paar von Nachbehandlungswerkstückpositionen zum Aufnehmen von zwei Werkstücken nach der Behandlung zu umfassen, und Bestimmen des oberen Schwingarmpaares zum Bewegen der beiden Werkstücke vor der Behandlung von dem Paar der Vorbehandlungspositionen in der Werkstücksäule zu der ersten und zweiten Prozessierstation, und Bestimmen des unteren Schwingarmpaares zum Bewegen der beiden Werkstücke nach der Behandlung von der ersten und zweiten Prozessierstation zu dem Paar der Nachbehandlungswerkstückpositionen in der Werkstücksäule.
Verfahren nach Anspruch 77, das Konfigurieren des oberen Schwingarmes und des unteren Schwingarmes umfasst, die jeden Satz von Schwingarmen aufbauen, um sich in Bezug aufeinander gegenläufig zu drehen, um sich gleichzeitig in entgegen gesetzte Richtungen zwischen der Prozesskammeranordnung und der Werkstücksäule zu bewegen.
Verfahren nach Anspruch 82, das Verwenden eines ersten Motors und eines zweiten Motors umfasst, um die ersten und zweiten Sätze von Schwingarmen drehend anzutreiben.
Verfahren nach Anspruch 83, das Synchronisieren der Drehung des ersten und zweiten Motors umfasst, so dass das obere Paar von Schwingarmen an entweder der Prozesskammeranordnung oder der Werkstücksäule im Wesentlichen zur selben Zeit ankommt, zu der das untere Paar der Schwingarme an dem anderen der Prozesskammeranordnung oder der Werkstücksäule ankommt.
Verfahren nach Anspruch 75, das Konfigurieren der Werkstücküberführungsanordnung umfasst, um erste und zweite Sätze an Schwingarmen zu umfassen, wobei jeder der Schwingarmsätze einen oberen Schwingarm und einen unteren Schwingarm umfasst, die koaxial schwenken, um gemeinsam ein Paar oberer Schwingarme und ein Paar untere Schwingarme vorzusehen, und weiter konfiguriert wird, um das obere Schwingarmpaar oder das untere Schwingarmpaar zum Bewegen der Werkstücke vor der Behandlung gleichzeitig von der Werkstücksäule zu den nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu verwenden, und um das andere des oberen Schwingarmpaares und des unteren Schwingarmpaares zum Bewegen der Werkstücke nach der Behandlung gleichzeitig von den nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu der Werkstücksäule zu bewegen.
Verfahren nach Anspruch 85, das Wechseln jedes der oberen und unteren Schwingarmpaare der ersten und zweiten Schwingarmsätze von einer ersten Höhenebene der Bewegung zu einer zweiten Höhenebene der Bewegung umfasst beim Bewegen zwischen der Werkstücksäule und der Prozesskammeranordnung entlang des ersten und zweiten Überführungsweges, so dass die erste und zweite Ebene der Bewegung vertikal voneinander beabstandet sind.
Verfahren nach Anspruch 85, das Verwenden des ersten und zweiten Schwingarmsatzes umfasst, um gleichzeitig die Werkstücke vor der Behandlung von der Wafersäule aufzunehmen.
Verfahren nach Anspruch 87, das Bewirken der ersten und zweiten Schwingarmsätze umfasst, gleichzeitig die Werkstücke nach der Behandlung von der ersten und zweiten Prozessierstation aufzunehmen, wenn die Werkstücke vor der Behandlung von der Wafersäule aufgenommen werden.
Verfahren nach Anspruch 87, wobei das Aufnehmen der Werkstücke vor der Behandlung das Aufnehmen eines ersten Werkstücks vor der Behandlung und eines zweiten Werkstücks vor der Behandlung umfasst an einem ausgewählten vertikalen Versatz voneinander, und Konfigurieren der ersten und zweiten Schwingarmsätze, um die ersten und zweiten Werkstücke vor der Behandlung zu den ersten und zweiten Prozessierstationen zu bewegen, während der ausgewählte vertikale Versatz beibehalten wird, so dass die ersten und zweiten Werkstücke an den ersten und zweiten Prozessierstationen auf einer ersten Höhe und einer zweiten Höhe ankommen, die sich um den vertikalen Versatz unterscheiden.
Verfahren nach Anspruch 89, wobei die Prozessierstationen eine Prozessierebene definieren, in der die Werkstücke prozessiert werden, und Kon figurieren einer Werkstückhubeinrichtung als Teil der Werkstücküberführungsanordnung, um die ersten und zweiten Werkstücke vertikal zwischen der Prozessierebene und der ersten und zweiten Höhe an der ersten und zweiten Prozessierstation jeweils zu bewegen.
Verfahren nach Anspruch 85, das drehendes Bewegen des unteren Schwingarmes des ersten Schwingarmsatzes zwischen dem oberen Schwingarm und dem unteren Schwingarm des zweiten Schwingarmsatzes umfasst, und drehendes Bewegen des oberen Schwingarmes des zweiten Schwingarmsatzes zwischen dem oberen Schwingarm und dem unteren Schwintarm des ersten Schwingarmsatzes.
Verfahren nach Anspruch 69, das Trennen des ersten und zweiten Überführungsweges in erste und zweite Richtungen von der Werkstücksäule umfasst, und Vorsehen einer Ablageanordnung als Teil der Werkstückhalteanordnung, die eine Vielzahl von Werkstückpositionen hat, und Konfigurieren der Ablageanordnung für jede Werkstückposition basierend auf einer Zugehörigkeit der ersten und zweiten Bewegungsrichtungen mit einzelnen der Werkstückpositionen.
Verfahren nach Anspruch 92, das wechselndes Zugehören der Werkstückpositionen mit dem ersten und zweiten Überführungsweg in der Werkstücksäule umfasst.
Verfahren nach Anspruch 69, wobei die Werkstücke Halbleitersubstrate sind.
Verfahren nach Anspruch 69, wobei die Prozesskammeranordnung die erste und zweite Prozessierstation in einer gemeinsamen Prozessumgebung aufnimmt.
Verfahren nach Anspruch 69, wobei die Prozesskammeranordnung eine erste Prozesskammer umfasst, um die erste Prozessierstation aufzunehmen, und eine zweite Prozesskammer, die von der ersten Prozesskammer getrennt ist, um die zweite Prozessierstation aufzunehmen, und das Verfahren Konfigurieren der Werkstücküberführungsanordnung umfasst, um auf die erste und zweite Prozesskammer gleichzeitig zuzugreifen.
Vorrichtung für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl an Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens zwei nebeneinander liegende Prozessierstationen verwendet, von denen jede konfiguriert ist, um einzelne der Werkstücke zu behandeln, die in jeder der Prozessierstationen angeordnet sind, so dass wenigstens zwei Werkstücke gleichzeitig behandelt werden können, wobei die Vorrichtung folgendes umfasst: eine Werkstückhalteanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, um wenigstens zwei der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung zueinander zu halten, um eine Werkstücksäule zu bilden; und eine Werkstücküberführungsanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, um wenigstens gleichzeitig zwei der Werkstücke vor der Behandlung von der Werkstücksäule zu jeder der nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu bewegen.
Vorrichtung nach Anspruch 97, wobei die Werkstücke vor der Behandlung drehend bewegt werden entlang erster und zweiter Drehwege von der Wafersäule zu den nebeneinander liegenden Prozessierstationen.
Vorrichtung nach Anspruch 97, wobei die ersten und zweiten Drehwege erste und zweite voneinander beabstandete Transportebenen definieren, durch welche die ersten und zweiten Werkstücke gedreht werden.
Vorrichtung nach Anspruch 97, wobei die Werkstücküberführungsanordnung konfiguriert ist, um zwei der Werkstücke nach der Behandlung von den nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu der Werkstücksäule zu bewegen gleichzeitig mit der Bewegung der Werkstücke vor der Behandlung.
Verfahren für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl an Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens zwei nebeneinander liegende Prozessierstationen verwendet, von denen jede für die Behandlung einzelner der Werkstücke konfiguriert ist, die in jeder der Prozessierstationen angeordnet sind, so dass wenigstens zwei Werkstücke gleichzeitig behandelt werden können, wobei das Verfahren folgendes aufweist: Bilden einer Werkstücksäule unter Verwendung einer Werkstückhalteanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, um wenigstens zwei der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung zu halten; und gleichzeitiges Bewegen zweier der Werkstücke vor der Behandlung von der Werkstücksäule zu jeder der nebeneinander liegenden Prozessierstationen unter Verwendung einer Werkstücküberführungsanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist.
Verfahren nach Anspruch 101, das drehendes Bewegen der Werkstücke vor der Behandlung entlang erster und zweiter Drehwege von der Werkstücksäule zu den nebeneinander liegenden Prozessierstationen umfasst.
Verfahren nach Anspruch 101, wobei beim drehenden Bewegen die ersten und zweiten Werkstücke vor der Behandlung in ersten und zweiten voneinander beabstandeten Transportebenen entlang des ersten und zweiten Drehweges gedreht werden.
Verfahren nach Anspruch 101, das Konfigurieren der Werkstücküberführungsanordnung umfasst zum Bewegen von zwei der Werkstücke nach der Behandlung von den nebeneinander liegenden Prozessierstationen zu der Werkstücksäule gleichzeitig mit der Bewegung der Werkstücke vor der Behandlung.
Vorrichtung für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl von Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen, wobei die Vorrichtung folgendes umfasst: eine Werkstückhalteanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, um wenigstens eines der Werkstücke für die Bewegung in Bezug auf die Prozesskammeranordnung zu halten; und eine Schwingarmanordnung, die einen Teil des Systems bildet, und die wenigstens einen ersten Schwingarm umfasst, um eine Schwenkdrehung von wenigstens einem Werkstück um eine Drehachse vorzusehen als Teil des Transports des Werkstücks zwischen der Werkstückhalteanordnung und der Prozesskammeranordnung, und zum Bewegen in einer Richtung, die wenigstens allgemein entlang dieser Drehachse ist, als einen anderen Teil des Transportierens des Werkstücks, um eine Höhe des Schwingarms so zu ändern, dass das Werkstück, das transportiert wird, zwischen verschiedenen voneinander beabstandeten Höhenebenen bewegt werden kann zusätzlich zu der Schwenkdrehung.
Vorrichtung nach Anspruch 105, wobei der erste Schwingarm konfiguriert ist, um sich wenigstens allgemein entlang der Drehachse zu bewegen, um wenigstens eines der Werkstücke an der Werkstückhalteanordnung oder der Prozesskammeranordnung aufzunehmen oder zu platzieren.
Vorrichtung nach Anspruch 105, wobei das System eine Schleuse und eine Überführungskammer umfasst, so dass das Werkstück, das transportiert wird, zwischen der Prozesskammeranordnung und der Schleuse durch die Überführungskammer bewegbar ist, und die Werkstückhalteanordnung in der Schleuse angeordnet ist, während die Schwingarmanordnung in der Überführungskammer gelagert ist.
Vorrichtung nach Anspruch 105, wobei die Schwingarmanordnung einen zweiten Schwingarm umfasst, der koaxial mit dem ersten Schwingarm ist, und wobei jeder der Schwingarme konfiguriert ist, um sich schwenkend um die Drehachse zu drehen.
Vorrichtung nach Anspruch 105, wobei der erste Schwingarm ein erstes Wellenglied umfasst, das zur Drehung um die Drehachse gelagert ist und ein erstes Armglied hat, das sich quer von dem ersten Wellenglied erstreckt und das ein fernes Ende hat, das konfiguriert ist, um eines der Werkstücke zu halten, und das erste Wellenglied zur Translationsbewegung wenigstens allgemein entlang der Drehachse gelagert ist.
Vorrichtung nach Anspruch 105, wobei der erste Schwingarm ein erstes Wellenglied und ein erstes Armglied umfasst, das sich quer davon erstreckt und das ein erstes fernes Ende hat, um ein erstes der Werkstücke zu halten, und die Schwingarmanordnung ferner einen zweiten Schwingarm umfasst, der ein zweites Wellenglied und ein zweites Armglied umfasst, das sich quer davon erstreckt und ein zweites fernes Ende hat, um ein zweites der Werkstücke zu halten, und das zweiten Wellenglied eine Durchgangsöffnung definiert, die entlang dieser Drehachse angeordnet ist, um koaxial das erste Wellenglied des ersten Schwingarmes aufzunehmen.
Vorrichtung für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl von Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist: eine Schwingarmanordnung, die einen Teil des Systems bildet, und die wenigstens einen ersten Schwingarm umfasst, um eine Schwenkdrehung von wenigstens einem Werkstück um eine Drehachse vorzusehen als Teil des Transports des Werkstücks wenigstens in Bezug auf die Prozesskammeranordnung, und zum Bewegen in einer Richtung, die wenigstens allgemein entlang dieser Rotationsachse ist, als einen anderen Teil des Transports des Werkstücks, um eine Höhe des Schwingarms zu ändern, so dass das Werkstück, das transportiert wird, zwischen verschiedenen voneinander beabstandeten Höhenebenen bewegt werden kann zusätzlich zu der Schwenkdrehung.
Verfahren für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl von Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen, wobei das Verfahren folgendes umfasst: Anordnen einer Werkstückhalteanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist, um wenigstens eines der Werkstücke für die Bewegung in Bezug auf die Prozesskammeranordnung zu halten; Schwenkdrehen wenigstens eines der Werkstücke um eine Drehachse als Teil des Transports des Werkstücks zwischen der Werkstückhalteanordnung und der Prozesskammeranordnung unter Verwendung einer Schwingarmanordnung, die von der Prozesskammeranordnung getrennt ist; und Bewegen der Schwingarmanordnung in einer Richtung, die wenigstens allgemein entlang der Drehachse ist als einen anderen Teil des Transports des Werkstücks, um eine Höhe des Schwingarmes zu ändern, so dass das Werkstück, das transportiert wird, zwischen verschiedenen voneinander beabstandeten Höhenebenen bewegt werden kann zusätzlich zu der Schwenkdrehung.
Verfahren nach Anspruch 112, wobei Bewegen des Schwingarms wenigstens allgemein entlang der Drehachse wenigstens Aufnehmen und Platzieren eines der Werkstücke an der Werkstückhalteanordnung und der Prozesskammeranordnung umfasst.
Verfahren nach Anspruch 112, wobei das System eine Schleuse und eine Überführungskammer umfasst, so dass das Werkstück, das transportiert wird, zwischen der Prozesskammeranordnung und der Schleuse durch die Überführungskammer bewegbar ist, und das Verfahren Anordnen der Werkstückhalteanordnung in der Schleuse umfasst, während die Schwingarmanordnung in der Überführungskammer angeordnet wird.
Verfahren nach Anspruch 112, das Konfigurieren der Schwingarmanordnung umfasst, um erste und zweite koaxiale Schwingarme zu umfassen, von denen jeder konfiguriert ist, um sich schwenkend um die Drehachse zu drehen.
Verfahren nach Anspruch 112, das Konfigurieren des ersten Schwingarms umfasst, um ein Wellenglied zu umfassen, das für die Drehung um die Drehachse gelagert ist und ein Armglied hat, das sich quer von dem Wellenglied erstreckt, der ein fernes Ende hat, das konfiguriert ist, um eines der Werkstücke zu halten, und das Wellenglied für eine Translationsbewegung wenigstens allgemein entlang der Drehachse gelagert ist.
Verfahren nach Anspruch 112, das Konfigurieren des ersten Schwingarms umfasst, um ein erstes Wellenglied zu umfassen und ein erstes Armglied, das sich quer dazu erstreckt und das ein erstes fernes Ende hat zum Halten eines ersten der Werkstücke, und Konfigurieren der Schwingarmanordnung, um ferner einen zweiten Schwingarm zu umfassen, der ein zweites Wellenglied umfasst und ein zweites Armglied, das sich quer dazu erstreckt und das ein zweites fernes Ende, um ein zweites der Werkstücke zu halten, und Definieren einer Durchlassöffnung in dem zweiten Wellenglied, die entlang der Drehachse angeordnet ist, um koaxial das erste Wellenglied des ersten Schwingarms aufzunehmen.
Verfahren für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl an Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen, wobei das Verfahren folgendes aufweist: Schwenkdrehen von wenigstens einem Werkstück um eine Drehachse als Teil des Transports des Werkstücks in Bezug auf die Prozesskammeranordnung unter Verwendung einer Schwingarmanordnung; und Bewegen der Schwingarmanordnung in einer Richtung, die wenigstens allgemein entlang der Drehachse ist als einen anderen Teil des Transports des Werkstücks, um eine Höhe des Schwingarms zu ändern, so dass das Werkstück, das transportiert wird, zwischen verschiedenen voneinander beabstandeten Höhenebenen bewegt werden kann zusätzlich zu der Schwenkdrehung.
Vorrichtung für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl an Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens eine Prozessierstation verwendet, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen, wobei die Vorrichtung aufweist: eine Werkstückhalteanordnung in einer voneinander beabstandeten Beziehung zu der Prozesskammeranordnung, um wenigstens eines der Werkstücke zu halten; und eine Schwingarmanordnung in einer anderen voneinander beabstandeten Beziehung von der Prozesskammeranordnung, die wenigstens einen ersten Schwingarm und einen zweiten Schwingarm umfasst, die konfiguriert sind, um sich koaxial um eine gemeinsame Drehachse zu drehen zur Verwendung beim Transport der Werkstücke zwischen der Werkstückhalteanordnung und der Prozesskammeranordnung.
Vorrichtung nach Anspruch 119, wobei der erste Schwingarm ein erstes Wellenglied umfasst und ein erstes Armglied sich quer dazu erstreckt, das ein erstes fernes Ende hat um ein erstes der Werkstücke zu halten, und der zweite Schwingarm ein zweites Wellenglied und ein zweites Armglied umfasst, das sich quer dazu erstreckt und ein zweites fernes Ende hat, um ein zweites der Werkstücke zu halten, und das zweite Wellenglied ein Durchlassöffnung definiert, die entlang der Drehachse angeordnet ist, um koaxial das erste Wellenglied des ersten Schwingarmes aufzunehmen.
Vorrichtung nach Anspruch 119, wobei der erste Schwingarm und der zweite Schwingarm für eine gegenläufige Drehung konfiguriert sind, so dass sich einer der Schwingarme auf die Prozesskammeranordnung zu dreht, während sich der andere auf die Werkstückhalteanordnung zu dreht.
Vorrichtung vor ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl von Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens eine Prozessierstation verwendet, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen, wobei die Vorrichtung folgendes aufweist: eine Schwingarmanordnung, die einen Teil des Systems bildet, die wenigstens einen ersten Schwingarm und einen zweiten Schwingarm umfasst, die für eine koaxiale Drehung um eine gemeinsame Drehachse konfiguriert sind zur Verwendung beim Transport von Werkstücken in Bezug zu der Prozesskammeranordnung.
Verfahren für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl von Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar sind, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens eine Prozessierstation verwendet, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen, wobei das Verfahren aufweist: Positionieren einer Werkstückhalteanordnung in einer voneinander beabstandeten Beziehung von der Prozesskammeranordnung, um wenigstens eines der Werkstücke zu halten; und Halten einer Schwingarmanordnung in einer anderen voneinander beabstandeten Beziehung von der Prozesskammeranordnung, die wenigstens einen ersten Schwingarm und einen zweiten Schwingarm umfasst, die für eine koaxiale Drehung um eine gemeinsame Drehachse konfiguriert sind zur Verwendung beim Transportieren des Werkstückes zwischen der Werkstückhalteanordnung und der Prozesskammeranordnung.
Verfahren nach Anspruch 123, das Konfigurieren des ersten Schwingarms, um eine erstes Wellenglied zu umfassen und ein erstes Armglied, das sich quer dazu erstreckt und das ein erstes fernes Ende hat zum Halten eines ersten der Werkstücke, und Konfigurieren des zweiten Schwingarms, um ein zweites Wellenglied zu umfassen und ein zweites Armglied, das sich quer dazu erstreckt und ein zweites fernes Ende hat, um ein zweites der Werkstücke zu halten, und Definieren einer Durchgangsöffnung in dem zweiten Wellen glied, die entlang der Drehachse angeordnet ist, um das erste Wellenglied des ersten Schwingarms koaxial aufzunehmen.
Verfahren nach Anspruch 123, wobei der erste Schwingarm und der zweite Schwingarm für eine gegenläufige Drehung konfiguriert sind, so dass einer der Schwingarme sich auf die Prozesskammeranordnung zu dreht, während sich der andere auf die Werkstückhalteanordnung zu dreht.
Verfahren für ein Werkstückprozessiersystem, in dem eine Vielzahl von Werkstücken zu und von einer Prozesskammeranordnung bewegbar ist, wobei die Prozesskammeranordnung wenigstens eine Prozessierstation verwendet, die konfiguriert ist, um einen Behandlungsprozess an wenigstens einem der Werkstücke auszuführen, wobei das Verfahren folgendes aufweist: Lagern einer Schwingarmanordnung als Teil des Systems, die wenigstens einen ersten Schwingarm und einen zweiten Schwingarm umfasst, die für eine koaxiale Drehung um eine gemeinsame Drehachse konfiguriert sind zur Verwendung beim Transport des Werkstücks in Bezug auf die Prozesskammeranordnung.
Systemkonfiguration für ein Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken, das einen Behandlungsprozess verwendet, wobei die Systemkonfiguration folgendes aufweist: ein Paar von nebeneinander liegenden ersten und zweiten Prozessierstationen, wobei jede Prozessierstation konfiguriert ist, um den Behandlungsprozess an einem der Werkstücke anzuwenden; eine Werkstückhalteanordnung um eines oder mehrere der Werkstücke zu halten, wobei die Werkstückhalteanordnung in einem ersten Abstand positioniert ist, der wenigstens ungefähr von jeder der Prozessierstationen gleich ist; und ein Paar erster und zweiter Schwingarmanordnungen, die angeordnet sind, um jeweils um eine erste Achse und eine zweite Achse zu schwenken, und sowohl die erste Achse als auch die zweite Achse wenigstens ungefähr in einem zweiten Abstand von der Werkstückhalteanordnung positioniert ist, während die erste Achse wenigstens ungefähr um den zweiten Abstand von der ersten Prozessierstation beabstandet ist und die zweite Achse wenigstens ungefähr um den zweiten Abstand von der zweiten Prozessierstation beabstandet ist, so dass die erste Prozessierstation, die zweite Prozessierstation, die erste Achse, die zweite Achse und die Wafersäule zusammenwirken und eine fünfeckige Form definieren.
Systemkonfiguration nach Anspruch 127, wobei die Werkstückhalteanordnung konfiguriert ist, um eine Vielzahl der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung zu halten, um eine Werkstücksäule zu bilden.
Systemkonfiguration nach Anspruch 127, wobei die erste Schwingarmanordnung konfiguriert ist, um Werkstücke zwischen der Werkstückhalteanordnung und der ersten Prozessierstation zu bewegen, und die zweite Schwingarmanordnung konfiguriert ist, um Werkstücke zwischen der Werkstückhalteanordnung der zweiten Prozesszierstation zu bewegen.
Systemkonfiguration nach Anspruch 127, die eine Überführungskammer umfasst, die das Paar der Schwingarmanordnungen lagert.
Systemkonfiguration nach Anspruch 130, die eine Schleuse zum Aufnehmen der Wafersäule umfasst, so dass die Werkstücke zwischen der Prozesskammeranordnung und der Schleuse durch eine Überführungskammer bewegt werden.
Systemkonfiguration nach Anspruch 127, wobei der zweite Abstand geringer ist als der erste Abstand.
Verfahren für ein Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken unter Verwendung eines Behandlungsprozesses, wobei das Verfahren folgendes aufweist: Vorsehen eines Paares nebeneinander liegender erster und zweiter Prozessierstationen, wobei jede Prozessierstation konfiguriert ist, um den Behandlungsprozess an eines der Werkstücke anzuwenden; Positionieren einer Werkstückhalteanordnung um eines oder mehr der Werkstücke in einem ersten Abstand zu halten, der wenigstens ungefähr von jeder der Prozessierstationen gleich ist; Anordnen eines Paares von ersten und zweiten Schwingarmanordnungen, die angeordnet sind, um jeweils um eine erste Achse und eine zweite Achse zu schwenken, so dass sowohl die erste als auch die zweite Achse wenigstens ungefähr in einem zweiten Abstand von der Werkstückhalteanordnung positioniert ist, während die erste Achse wenigstens ungefähr um den zweiten Abstand von der ersten Prozessierstation beabstandet ist, und die zweite Achse wenigstens ungefähr um den zweiten Abstand von der zweiten Prozessierstation beabstandet ist, so dass die erste Prozessierstation, die zweite Prozessierstation, die erste Achse, die zweite Achse und die Wafersäule zusammenwirken, um eine fünfeckige Form zu definieren.
Verfahren nach Anspruch 133, das Konfigurieren der Werkstückhalteanordnung umfasst, um eine Vielzahl der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung zu halten, um eine Werkstücksäule zu bilden.
Verfahren nach Anspruch 133, das Konfigurieren der ersten Schwingarmanordnung umfasst, um Werkstücke zwischen der Werkstückhalteanordnung und der ersten Prozessierstation zu bewegen, und die zweite Schwingarmanordnung konfiguriert ist, um Werkstücke zwischen der Werkstückhalteanordnung und der zweiten Prozessierstation zu bewegen.
Verfahren nach Anspruch 133, das Vorsehen einer Überführungskammer umfasst und das Paar von Schwingarmanordnungen in der Überführungskammer lagert.
Verfahren nach Anspruch 136, das Vorsehen einer Schleuse umfasst, um die Wafersäule aufzunehmen, so dass die Werkstücke zwischen der Pro zesskammeranordnung und der Schleuse durch die Überführungskammer bewegt werden.
Verfahren nach Anspruch 136, das Bewirken umfasst, dass der zweite Abstand geringer ist als der erste Abstand.
Systemkonfiguration in einem Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken unter Verwendung eines Behandlungsprozesses, wobei die Systemkonfiguration folgendes aufweist: ein Paar nebeneinander liegender erster und zweiter Prozessierstationen, die eine Linie definieren, die sich durch ein erstes Zentrum der ersten Prozessierstation und ein zweites Zentrum der zweiten Prozessierstation erstreckt, wobei jede Prozessierstation konfiguriert ist, um den Behandlungsprozess auf wenigstens eines der Werkstücke anzuwenden; eine Werkstückhalteanordnung zum Halten von wenigstens einem der Werkstücke seitlich versetzt von der Linie; und einem Paar von ersten und zweiten Schwingarmanordnungen, von denen jede jeweils um eine erste Achse und eine zweite Achse schwenkt, angeordnet an einem ersten Schwingarmort und einem zweiten Schwingarmort, und wobei sowohl der erste Schwingarmort als auch der zweite Schwingarmort von der Linie auf einer gemeinsamen Seite davon versetzt ist gegen, aber nicht jenseits, der Werkstückhalteanordnung, so dass die erste Prozessierstation, die zweite Prozessierstation, die erste Achse, die zweite Achse und die Wafersäule zusammenwirken, um eine fünfeckige Form zu definieren.
Systemkonfiguration nach Anspruch 139, wobei die Werkstückhalteanordnung konfiguriert ist, um eine Vielzahl der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung zu halten, um eine Werkstücksäule zu bilden.
Verfahren für ein Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken unter Verwendung eines Behandlungsprozesses, wobei das Verfahren folgendes umfasst: Vorsehen eines Paares von nebeneinander liegenden ersten und zweiten Prozessierstationen, die eine Linie definieren, die sich durch ein erstes Zentrum der ersten Prozessierstation und ein zweites Zentrum der zweiten Prozessierstation erstreckt, wobei jede der Prozessierstationen konfiguriert ist, um den Behandlungsprozess auf wenigstens eines der Werkstücke anzuwenden; Positionieren einer Werkstückhalteanordnung zum Halten von wenigstens einem der Werkstücke seitlich von der Linie versetzt; und Anordnen einer ersten Achse und einer zweiten Achse eines Paares von ersten und zweiten Schwingarmanordnungen jeweils an einem ersten Schwingarmort und einem zweiten Schwingarmort, so dass sowohl der erste Schwingarmort als auch der zweite Schwingarmort von der Linie versetzt ist auf einer gemeinsamen Seite derselben gegen, aber nicht jenseits, die Werkstückhalteanordnung, so dass die erste Prozessierstation, die zweite Prozessierstation, die erste Achse, die zweite Achse und die Wafersäule zusammenwirken, um eine fünfeckige Form zu definieren.
Verfahren nach Anspruch 141, das Konfigurieren der Werkstückhalteanordnung umfasst zum Halten einer Vielzahl der Werkstücke wenigstens allgemein in einer gestapelten Beziehung, um eine Werkstücksäule zu bilden.
Konfiguration für ein System zum Verwenden einer ersten, angetriebenen Welle, um eine zweite Welle drehbar anzutreiben, wobei die Konfiguration aufweist: erste und zweite gezähnte flexible geschlossene Schleifenglieder; und eine erste Rollenanordnung, die auf der ersten Welle montiert ist, und eine zweite Rollenanordnung, die an der zweiten Welle montiert ist, um die ersten und zweiten gezähnten flexiblen Glieder in einer nebeneinander liegenden Beziehung aufzunehmen, so dass wenigstens eine bestimmte der Rollenanordnungen eine erste Rolle umfasst, die mit dem ersten gezähnten flexiblen Glied eingreift, und eine zweite Rolle, die mit dem zweiten gezähnten flexiblen Glied eingreift, wobei jede der ersten und zweiten Rollen eine zahnaufnehmende Konfiguration hat, die mit den ersten und zweiten gezähnten flexiblen Gliedern zusammenwirkt, um eine gegebene Spiellücke vorzusehen, wenn sie jeweils mit dem ersten und zweiten gezähnten Riemenglied eingreift, und die erste Rolle und die zweite Rolle mit einem Drehversatz dazwischen montiert sind, so dass die zahnaufnehmende Konfiguration der ersten Rolle drehen versetzt ist in Bezug auf die zahnaufnehmende Konfiguration der zweiten Rolle, basierend auf der gegebenen Spiellücke auf eine Weise, die ein Betriebsspiel der bestimmten Rollenanordnung in Bezug auf die Bewegung der ersten und zweiten gezähnten flexiblen Glieder auf einen Wert beschränkt, der geringer ist als die gegebene Spiellücke.
Konfiguration nach Anspruch 143, wobei das System konfiguriert ist, um Werkstücke zu prozessieren, und wobei die erste Welle von einem Motor angetrieben ist und die zweite Welle verwendet wird, um wenigstens einen Schwingarm anzutreiben zur Verwendung beim Bewegen von Werkstücken innerhalb des Systems.
Konfiguration nach Anspruch 143, wobei die ersten und zweiten gezähnten flexiblen Glieder flexible Riemen sind.
Verfahren für ein System zum Verwenden einer ersten, angetriebenen Welle, um drehend eine zweite Welle anzutreiben, wobei das Verfahren folgendes aufweist: Vorsehen erster und zweiter gezähnter flexibler geschlossener Glieder; und Montieren einer erster Rollenanordnung auf der ersten Welle und einer zweiten Rollenanordnung an der zweiten Welle, um die ersten und zweiten gezähnten flexiblen Glieder in einer nebeneinander liegenden Beziehung aufzunehmen, so dass wenigstens eine bestimmte der Rollenanordnungen eine erste Rolle umfasst, die mit dem ersten gezähnten flexiblen Glied eingreift, und eine zweite Rolle, die mit dem zweiten gezähnten flexiblen Glied eingreift, wobei sowohl die erste als auch die zweite Rolle eine zahnaufnehmende Konfiguration hat, die mit dem ersten und zweiten gezähnten flexiblen Glied zusammenwirkt, um eine gegebene Spiellücke vorzusehen, wenn sie jeweils mit dem ersten und zweiten gezähnten Riemenglied eingreifen, und die erste Rolle und die zweite Rolle mit einem Drehversatz dazwischen montiert sind, so dass die zahnaufnehmende Konfiguration der ersten Rolle drehversetzt ist in Bezug auf die zahnaufnehmende Konfiguration der zweiten Rolle, basierend auf der gegebenen Spiellücke auf eine Weise, die ein Betriebsspiel der besonderen Rollenanordnung in Bezug auf die Bewegung der ersten und zweiten gezähnten flexiblen Glieder auf einen Wert beschränkt, der geringer ist als die gegebene Spiellücke.
Verfahren nach Anspruch 146, wobei das System konfiguriert ist, um Werkstücke zu prozessieren, und wobei die erste Welle von einem Motor angetrieben wird und das Verfahren Verwenden der zweiten Welle zum Antreiben eines Schwingarms umfasst zur Verwendung beim Bewegen von Werkstücken innerhalb des Systems.
Konfiguration nach Anspruch 147, wobei die ersten und zweiten gezähnten flexiblen Glieder flexible Riemen sind.
Ventilvorrichtung für ein Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken, wobei das System wenigstens zwei benachbarte Kammern mit einen dazwischen definierten Spalt hat, wobei durch den Spalt die Werkstücke transportierbar sind und eine Kammerdichtungsoberfläche, die wenigstens allgemein eben ist, diesen Spalt umgibt und eine Dichtungsanordnung trägt, die diesen Spalt umgibt, wobei die Ventilvorrichtung wahlweise diesen Spalt öffnet oder schließt, und wobei die Ventilvorrichtung folgendes aufweist: ein Dichtungsblattglied, das eine Blattoberfläche umfasst, die konfiguriert ist, um dichtend mit der Dichtungsanordnung einzugreifen; und eine Stellgliedanordnung zum Bewegen des Dichtungsblattglieds zwischen einer offenen Position vom Spalt weg, um einen Durchlass für die Werkstücke dort hindurch vorzusehen, und einer geschlossenen Position, in der das Dichtungsblattglied in Dichtungskontakt mit wenigstens der Dichtungsanordnung gebracht ist und zum Tragen des Dichtungsblattglieds auf eine Weise, die eine Bewegung der Blattoberfläche vorsieht, wenigstens ansprechend auf das Eingreifen mit der Dichtungsanordnung, was gekennzeichnet ist durch zwei Freiheitsgrade zum Ausrichten der Blattoberfläche mit der Dichtungsanordnung und dadurch der Dichtungsoberfläche.
Ventilvorrichtung nach Anspruch 149, wobei die Stellgliedanordnung eine Schwenkwelle umfasst, die eine gestreckte Achse hat, und die Stellgliedanordnung eine Aufhängeanordnung umfasst, die das Dichtungsblattglied trägt, und die schwenkend von der Schwenkwelle getragen ist für eine Drehung um die verlängerte Achse.
Ventilvorrichtung nach Anspruch 150, wobei das Dichtungsblattglied ein Paar entgegen gesetzter Breitenkanten umfasst, wobei die Aufhängeanordnung ein Aufhängeglied umfasst, das ein Paar entgegen gesetzter ferner Enden hat, von denen jedes beim Tragen des Dichtungsblattglieds nahe bei einer der Breitenkanten verwendet wird, und das Aufhängeglied schwenkend von der Schwenkwelle an einem Schwenkpunkt aufgenommen ist, der zwischen den entgegen gesetzten fernen Enden ist.
Ventilvorrichtung nach Anspruch 151, wobei das Aufhängeglied ein Paar von Aufhängearmen umfasst, von denen jeder eine Aufhängearmlänge umfasst, die sich wenigstens ungefähr von dem Schwenkpunkt zu einem der fernen Enden erstreckt, und die Aufhängevorrichtung ferner eine erste nachgiebige Vorspannanordnung umfasst, die nachgiebig jeden der Aufhängearme an einem Vorspannpunkt entlang der Aufhängearmlänge auf das Dichtungsblattglied zu vorspannt, um eine Drehung des Dichtungsblattglieds um die gestreckte Achse der Schwenkwelle vorzusehen, wenn die Blattoberfläche an der Dichtungsanordnung angreift, und welche das Dichtungsblattglied in eine nachgiebig gebildete offene Position bringt in Bezug auf die Drehung um die gestreckte Achse der Schwenkwelle, wenn die Blattoberfläche von der Dichtungsanordnung getrennt ist.
Ventilvorrichtung nach Anspruch 152, wobei die Aufhängevorrichtung ein Paar von Schwenkblöcken umfasst, von denen jeder an dem Dichtungsblattglied angebracht ist, wenigstens ungefähr einer der Breitenkanten benachbart, und von denen jeder Schwenkblock schwenkend eines der Paare entgegen gesetzter ferner Enden des Aufhängegliedes aufnimmt zur Drehung des Dichtungsblattglieds um eine seitliche Drehachse, die wenigstens ungefähr orthogonal ist zu der gestreckten Achse der Schwenkwelle.
Ventilanordnung nach Anspruch 153, wobei die Aufhängevorrichtung eine zweite nachgiebige vorspannende Anordnung umfasst, die ein nachgiebiges Glied hat, das sich von dem Aufhängeglied zu dem Dichtungsblattglied erstreckt, um sich mit dem Dichtungsblattglied zusammen um die gestreckte Achse des Aufhängeglieds zu drehen, und um nachgiebig das Dichtungsblattglied in Bezug auf die Drehung um die seitliche Drehachse anzuordnen, wenn die Blattoberfläche von der Dichtungsanordnung getrennt ist, und um eine Drehung des Dichtungsblattglieds um die seitliche Drehachse des Aufhängeglieds vorzusehen, wenn die Blattoberfläche mit der Dichtungsanordnung eingreift.
Ventilvorrichtung nach Anspruch 149, wobei die Stellgliedanordnung eine Schwenkwelle umfasst, die eine gestreckte Achse hat, die für schwenkende Bewegung innerhalb eines Schwenkwellengehäuses gelagert ist, um das Dichtungsblattglied schwenkend in eine einander zugewandte Beziehung mit der Dichtungsoberfläche zu bewegen, und das Schwenkwellengehäuse ein fernes Ende umfasst, an dem die Schwenkwelle daraus hervortritt, um mit dem Dichtungsblattglied einzugreifen, wobei das ferne Ende eine kugelförmige Konfiguration hat und die Stellgliedanordnung ferner einen Sockelaufsatz umfasst, um entlang einer Länge der Schwenkwelle zu gleiten, während eine Dichtung dazwischen aufrechterhalten wird, und eine sockelförmige Konfiguration definiert ist, um eingeschachtelt mit der kugelförmigen Konfiguration des fernen Endes einzugreifen, so dass das ferne Ende des Schwenkwellengehäuses gegen den Sockelaufsatz abdichtet in der einander zugewandten Beziehung, wenn sich der Sockelaufsatz schwenkend mit der Schwenkwelle bewegt.
Verfahren zur Verwendung in einem Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken, wobei das System wenigstens zwei benachbarte Kammern mit einem Spalt hat, der dort dazwischen definiert ist, wobei durch den Spalt die Werkstücke transportierbar sind und eine Kammerdichtungsoberfläche, die wenigstens allgemein eben ist, den Spalt umgibt und eine Dichtungsanordnung trägt, die den Spalt umgibt, wobei das Verfahren zum wahlweisen Öffnen und Schließen des Spalts ist, und wobei das Verfahren folgendes aufweist: Vorsehen eines Dichtungsblattgliedes, das eine Blattoberfläche umfasst, die konfiguriert ist, um dichtend mit der Dichtungsanordnung anzugreifen; und Konfigurieren einer Stellgliedanordnung zum Bewegen des Dichtungsblattglieds zwischen einer offenen Position weg vom Spalt, um einen Durchgang der Werkstücke dort hindurch vorzusehen, und einer geschlossenen Position, in der das Dichtungsblattglied in dichtenden Kontakt mit wenigstens der Dichtungsanordnung gebracht wird und zum Tragen des Dichtungsblattglieds auf eine Weise, die eine Bewegung der Blattoberfläche vorsieht, wenigstens ansprechend auf den Eingriff mit der Dichtungsanordnung, die gekennzeichnet ist durch zwei Freiheitsgrade zum Ausrichten der Blattoberfläche zur Dichtungsanordnung und dadurch der Dichtungsoberfläche.
Verfahren nach Anspruch 156, das Vorsehen einer Schwenkwelle umfasst als Teil der Stellgliedanordnung, die eine gestreckte Achse hat, und Aufhängen des Blattglieds unter Verwendung einer Aufhängeanordnung, um das Dichtungsblattglied zu tragen und die Aufhängeanordnung schwenkend auf der Schwenkwelle zu tragen zur Drehung um die gestreckte Achse, wodurch sich das Dichtungsblattglied schwenkend mitdreht.
Verfahren nach Anspruch 157, wobei das Dichtungsblattglied ein Paar von entgegen gesetzten Breitenkanten umfasst und das Verfahren Bilden der Aufhängevorrichtung umfasst, um ein Aufhängeglied zu umfassen, das ein Paar entgegen gesetzter ferner Enden hat, und Tragen des Dichtungsblattgliedes unter Verwendung der fernen Enden des Aufhängegliedes nahe bei jeder der Breitenkanten, und das Aufhängeglied schwenkend von der Schwenkwelle an einem Schwenkpunkt aufgenommen ist, der zwischen den entgegen gesetzten fernen Enden ist.
Verfahren nach Anspruch 158, das Anordnen des Aufhängeglieds umfasst, um ein Paar von Aufhängearmen zu umfassen, von denen jeder eine Aufhängearmlänge umfasst, die sich wenigstens ungefähr von dem Schwenkpunkt zu einem der fernen Enden erstreckt, und Vorsehen einer ersten nachgiebigen Vorspannanordnung als Teil der Aufhängeanordnung, die nachgiebig jeden der Aufhängearme vorspannt an einem Vorspannpunkt entlang jeder Aufhängearmlänge auf das Dichtungsblattglied zu, um eine Drehung des Dichtungsblattglieds um die gestreckte Achse der Schwenkwelle vorzusehen, wenn die Blattoberfläche an der Dichtungsanordnung angreift, und die das Dichtungsblattglied in eine nachgiebig erstellte offene Position bringt in Bezug auf die Drehung um die gestreckte Achse der Schwenkwelle, wenn die Blattoberfläche von der Dichtungsanordnung getrennt ist.
Verfahren nach Anspruch 159, das Vorsehen eines Paars von Schwenkblöcken als Teil der Aufhängevorrichtung umfasst, die jeden der Schwenkblöcke an die Dichtungsblattglieder anbringt, wenigstens ungefähr benachbart zu einer der Breitenkanten, und schwenkendes Aufnehmen eines der Paare entgegen gesetzten freier Enden des Aufhängegliedes in jedem der Schwenkblöcke zur Drehung des Dichtungsblattgliedes um eine seitliche Drehachse, die wenigstens ungefähr orthogonal zu der gestreckten Achse der Schwenkwelle ist.
Verfahren nach Anspruch 160, das Konfigurieren einer zweiten nachgiebigen Vorspannanordnung umfasst als Teil der Aufhängevorrichtung durch Erweitern eines nachgiebigen Gliedes von dem Aufhängeglied zu dem Dichtungsblattglied, um sich mit dem Dichtungsblattglied um die gestreckte Achse des Aufhängegliedes mitzudrehen, und um nachgiebig das Dichtungsblattglied in Bezug auf die Drehung um die seitliche Drehachse anzuordnen, wenn die Blattoberfläche von der Dichtungsanordnung getrennt ist, und um eine Drehung des Dichtungsblattglieds um die seitliche Drehachse des Aufhängegliedes vorzusehen, wenn die Blattoberfläche an der Dichtungsanordnung angreift.
Verfahren nach Anspruch 156, das schwenkendes Lagern einer Schwenkwelle umfasst, die eine gestreckte Achse hat als Teil der Stellgliedanordnung innerhalb eines Schwenkwellengehäuses zum schwenkenden Bewegen des Dichtungsblattgliedes, während es in einer einander zugewandten Beziehung mit der Dichtungsoberfläche steht, und Konfigurieren des Schwenkwellengehäuses, um eine fernes Ende zu umfassen, an dem die Schwenkwelle daraus hervortritt, um mit dem Dichtungsblattglied einzugreifen, wobei das ferne Ende eine kugelförmige Konfiguration hat, und Konfigurieren der Stellgliedanordnung, um ferner einen Sockelaufsatz zu umfassen, um entlang einer Länge der Schwenkwelle zu gleiten, während die Dichtung dort aufrechterhalten wird, und zum Definieren einer sockelförmigen Konfiguration, um eingeschachtelt mit der kugelförmigen Konfiguration des fernen Endes einzugreifen, so dass das ferne Ende des Schwenkwellengehäuses gegen den Sockelaufsatz dichtet, in der einander zugewandten Beziehung, wenn sich der Sockelaufsatz schwenken mit der Schwenkwelle bewegt.
Konfiguration zur Verwendung in einem Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken, wobei das System wenigstens zwei benachbarte Kammern hat, die einer Kontamination von intern und extern produzierten Kontaminationsteilchen ausgesetzt sind, wobei die Konfiguration folgendes aufweist: eine Kammerkörperanordnung, die dazu dient, die benachbarten Kammern zu definieren und einen Spalt zwischen den benachbarten Kammern, wobei durch den Spalt die Werkstücke transportierbar sind, und eine Kammerdichtungsoberfläche, die wenigstens allgemein eben ist und den Spalt umgibt, wobei die Kammerkörperanordnung ferner eine Kammermulde defi niert, die dem Spalt benachbart und unterhalb desselben ist, um einen Teil einer bestimmten der benachbarten Kammern zu bilden, so dass die Kammermulde einen niedrigsten Bereich der Kammerkörperanordnung bildet, die als Sammelgebiet für die Kontaminationsteilchen dient, die wenigstens unter einem Einfluss der Erdgravitation sind, und wobei die Kammerkörperanordnung ferner einen Pumpanschluss definiert wenigstens zur Verwendung beim Evakuieren der bestimmten Kammer; eine Ventilanordnung, die in der bestimmten Kammer gelagert ist für die wahlweise Bewegung zwischen einer geschlossenen Position, in der ein Dichtungsblatt derselben gegen den Spalt dichtet, um die benachbarten Kammern voneinander zu isolieren, und einer offenen Position, der sich das Dichtungsblatt in die Mulde zurückzieht; und eine Pumpanordnung, die mit dem Pumpanschluss verbunden ist wenigstens zur Verwendung beim Evakuieren der bestimmten Kammer durch Pumpen von der Mulde auf eine Weise, die dazu dient, wenigstens einen Teil der Kontaminationsstoffe zu entfernen, die in der Mulde gesammelt sind.
Konfiguration nach Anspruch 163, wobei die Pumpanordnung konfiguriert ist, um von der Mulde zu Pumpen mit dem Dichtungsblatt in der geschlossenen Position.
Konfiguration nach Anspruch 163, wobei die bestimmte Kammer eine Schleuse ist.
Konfiguration nach Anspruch 163, wobei der Kammerkörper, der die bestimmte Kammer definiert, ferner einen Spülanschluss definiert, um wenigstens ein Spülgas in die bestimmte Kammer einzulassen, um einen Gasfluss von dem Spülanschluss zu dem Pumpanschluss in der Mulde hervorzurufen auf eine Weise, welche die Kontaminationsteilchen in der bestimmten Kammer dazu veranlasst, im Allgemeinen in die Mulde zu fließen und danach in den Pumpanschluss.
Verfahren zur Verwendung in einem Werkstückprozessiersystem zum Prozessieren von Werkstücken, wobei das System wenigstens zwei benachbarte Kammern hat, die einer Kontamination von intern und extern produzierten Kontaminationsteilchen ausgesetzt sind, wobei das Verfahren folgendes ausweist: Vorsehen einer Kammerkörperanordnung, die dazu dient, die benachbarten Kammern zu definieren und einen Spalt zwischen den benachbarten Kammern, wobei durch den Spalt die Werkstücke transportierbar sind, und eine Kammerdichtungsoberfläche, die wenigstens allgemein eben ist und den Spalt umgibt, wobei die Kammerkörperanordnung ferner eine Kammermulde definiert, die dem Spalt benachbart und unterhalb desselben ist, um einen Teil einer bestimmten der benachbarten Kammern zu bilden, so dass die Kammermulde einen niedrigsten Bereich der Kammerkörperanordnung bildet, die als Sammelgebiet für die Kontaminationsteilchen dient, die wenigstens unter einem Einfluss der Erdgravitation sind, und wobei die Kammerkörperanordnung ferner einen Pumpanschluss definiert wenigstens zur Verwendung beim Evakuieren der bestimmten Kammer; Lagern einer Ventilanordnung in der bestimmten Kammer für die wahlweise Bewegung zwischen einer geschlossenen Position, in der ein Dichtungsblatt derselben gegen den Spalt dichtet, um die benachbarten Kammern voneinander zu isolieren, und einer offenen Position, in der sich das Dichtungsblatt in die Mulde zurückzieht; und Pumpen von dem Pumpanschluss unter Verwendung einer Pumpanordnung, die damit verbunden ist, wenigstens zur Verwendung beim Evakuieren der bestimmten Kammer auf eine Weise, die dazu dient, wenigstens einen Teil der Kontaminationsteilchen zu entfernen, die in der Mulde gesammelt sind.
Verfahren nach Anspruch 167, das Konfigurieren der Pumpanordnung umfasst, um von der Mulde zu Pumpen mit dem Dichtungsblatt in der geschlossenen Position.
Verfahren nach Anspruch 167, das Konfigurieren der bestimmten Kammer als eine Schleuse umfasst.
Verfahren nach Anspruch 167, das Verwenden des Kammerkörpers umfasst, der die bestimmte Kammer definiert, um ferner einen Spülanschluss zu definieren, um wenigstens ein Spülgas in die bestimmte Kammer einzulassen, um einen Gasfluss von dem Spülanschluss zu dem Pumpanschluss in der Mulde auf eine Weise hervorzurufen, welche die Kontaminationsteilchen in der bestimmten Kammer dazu veranlasst, im Allgemeinen in die Mulde zu fließen und danach in den Pumpanschluss.