JP2008510317A - 高度な低コスト・高スループット処理プラットフォーム - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2004年8月17日に出願した「低コスト・高スループット処理プラットフォーム」という名称の米国特許出願番号10/919582号の一部継続出願である。この米国特許出願番号10/919582号全体は、参照することにより、本明細書に組み込まれる。
Claims (39)
- ロードロックと処理チャンバとの間を、ウエハ直径を有する少なくとも1つのウエハが移動可能なウエハ処理システムにおける装置であって、
前記ロードロックおよび前記処理チャンバと選択的に圧力連通するように配置された移送チャンバであって、前記移送チャンバは、前記ウエハが前記移送チャンバを通って前記ロードロックと前記処理チャンバとの間をウエハ移送路に沿って移動可能であるような横方向への広がり構成を有し、前記横方向への広がり構成により、前記ウエハ移送路に沿って移動する前記ウエハ直径を有する前記ウエハは、前記ウエハ移送路に沿った任意の所与の位置で前記ロードロックと前記処理チャンバとのうちの少なくとも1つと干渉する、移送チャンバ
を備えたことを特徴とする装置。 - 前記ウエハは、ウエハ中心部を含み、前記ウエハ移送路は、前記移送チャンバを通る前記ウエハ中心部の移動により画定されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ロードロックと前記処理チャンバとの間で前記ウエハ移送路に沿って前記ウエハを移動させるために前記移送チャンバ内で支持され、かつ、前記移送チャンバの前記横方向への広がり構成と協働する移送装置構成を含む移送装置であって、前記移送装置は、前記ウエハを支持することなく、前記移送チャンバ内で、定位置において、前記ロードロックおよび前記処理チャンバの両方から圧力分離できる、移送装置
をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記システムは、前記ロードロックと前記移送チャンバとの間にある第1のドアと、前記処理チャンバと前記移送チャンバとの間にある第2のドアとを含み、前記移送チャンバが、前記ロードロックおよび前記処理チャンバの各々から選択的に圧力分離されるように、前記第1のドアおよび前記第2のドアの各々は、開位置と閉位置との間を移動可能であり、前記定位置にある前記移送装置は、前記ウエハを支持することなく、両方の前記ドアが前記閉位置にある状態で、前記第1のドアと前記第2のドアとの間に受け入れられるように構成されることを特徴とする請求項3に記載の装置。
- 前記定位置にある前記移送装置により支持される前記ウエハは、前記ドアが前記閉位置にあるときに、前記第1のドアと前記第2のドアとのうちの少なくとも1つと干渉することを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記移送装置は、細長い長さを有する少なくとも1つのスイングアームを含み、前記スイングアームは、前記ウエハをパドル上で受け入れるために、前記パドルを画定する遠位端まで伸び、前記パドルを含む前記スイングアームは、前記スイングアームが前記定位置にあるときに、前記移送チャンバが画定する圧力分離が可能な容量内に完全に受け入れられることを特徴とする請求項5に記載の装置。
- 前記移送装置上の前記ウエハの存在を検出するための検出装置であって、前記検出装置は、前記ウエハの存在の検出に応答して、前記第1のドアと前記第2のドアとのうちの少なくとも1つを閉じることを中止するために使用される、検出装置
をさらに備えたことを特徴とする請求項4に記載の装置。 - ウエハを処理するためのシステムであって、
少なくとも1つのロードロックと、
前記ロードロックに選択的に圧力連通する移送チャンバと、
少なくとも1つの処理ステーションを含む処理チャンバであって、前記処理チャンバは、前記移送チャンバに選択的に連通し、前記移送チャンバを通って前記ロードロックと前記処理チャンバとの間で前記ウエハを移送することができる、処理チャンバと、
前記移送チャンバ内で枢動自在に支持された少なくとも1つのスイングアームを含むスイングアーム装置であって、前記スイングアームは、前記ロードロックと前記処理チャンバとの間で前記ウエハを移動させるように構成された遠位端を有し、前記ロードロックと前記移送チャンバとが互いから分離されるときに、前記スイングアームは、前記移送チャンバ内の定位置に配置することができ、前記スイングアームは、前記遠位端を前記定位置から前記ロードロックへ1方向に第1の角度変位だけスイングし、かつ、前記遠位端を前記定位置から前記処理ステーションへ反対方向に第2の角度変位だけスイングするように構成され、前記第1の角度変位と前記第2の角度変位とは異なる、スイングアーム装置と
を備えたことを特徴とするシステム。 - 前記第1の角度変位は、前記第2の角度変位よりも小さいことを特徴とする請求項8に記載のシステム。
- ウエハステーションを有するロードロックと、処理ステーションを有する処理チャンバとを少なくとも含む、ウエハを処理するためのシステムにおける改良であって、
前記ロードロック内の前記ウエハステーションと、前記処理チャンバ内の前記処理ステーションとの間で前記ウエハを移送する際に使用される少なくとも第1のスイングアームと第2のスイングアームとを有するスイングアーム装置を含む移送装置であって、前記第1のスイングアームと前記第2のスイングアームとは、共通の回転軸周りを同軸回転するように構成され、前記第1のスイングアームと前記第2のスイングアームとのうちの一方は、前記処理ステーションに向かって回転でき、前記第1のスイングアームと前記第2のスイングアームとのうちの他方は、前記ウエハステーションに向かって独立に回転するように構成される、移送装置
を備えたことを特徴とする改良。 - 前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームの各々は、前記ウエハステーションと前記処理ステーションとの間で回転する際に、定位置を通って移動し、前記ウエハステーションには、前記定位置から第1の角度オフセットだけ回転することにより到達し、前記処理ステーションには、前記定位置から第2の角度オフセットだけ回転することにより到達し、前記第1の角度オフセットと前記第2の角度オフセットとは異なることを特徴とする請求項10に記載の改良。
- 前記第1の角度オフセットは、前記第2の角度オフセットよりも小さいことを特徴とする請求項11に記載の改良。
- 前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームは、前記ウエハの第1のウエハと、第2のウエハとのうちの少なくとも1つの存在を検出するように、前記定位置において前記ウエハの前記第1のウエハおよび前記第2のウエハをそれぞれ支持することを特徴とする請求項11に記載の改良。
- ほぼ離間した併置関係で支持されるときに、前記第1のウエハと、前記第2のウエハとのうちの少なくとも1つの存在を検出するためのセンサ装置
をさらに備えたことを特徴とする請求項13に記載の改良。 - 前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームは、前記ウエハステーションと前記処理ステーションとの間で移動する際に、前記ウエハの第1のウエハおよび第2のウエハの各々の存在を、前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームの中間の角度変位した位置で独立に検出するように、前記ウエハの前記第1のウエハおよび前記第2のウエハをそれぞれ支持することを特徴とする請求項10に記載の改良。
- 前記スイングアーム装置は、前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームを異なる角速度で少なくとも選択的に回転させるための駆動装置を含むことを特徴とする請求項10に記載の改良。
- 前記スイングアーム装置は、前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームを反対方向に異なる角度量だけ少なくとも選択的に回転させるための駆動装置を含むことを特徴とする請求項10に記載の改良。
- 前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームの各々は、前記反対方向に少なくともほぼ同じ所与の角速度で回転し、前記第1のスイングアームと前記第2のスイングアームとのうちの一方は、前記定位置から第1の時間の長さの間回転して前記ウエハステーションに到達し、前記第1のスイングアームと前記第2のスイングアームとのうちの他方は、前記定位置から第2の時間の長さの間回転して前記処理ステーションに到達し、前記第1の時間の長さと前記第2の時間の長さとは異なることを特徴とする請求項17に記載の改良。
- 前記駆動装置は、前記第1のスイングアームを選択的に回転させるための第1のモータと、前記第1のスイングアームの回転とは独立に前記第2のスイングアームを選択的に回転させるための第2のモータとを含むことを特徴とする請求項16に記載の改良。
- ウエハステーションを有するロードロックと、処理ステーションを有する処理チャンバとを少なくとも含む、ウエハを処理するためのシステムにおける改良であって、
前記ウエハステーションと前記処理ステーションとの間で前記ウエハを移送する際に使用されるスイングアームを含む移送装置であって、前記スイングアームは、回転軸周りを回転するように構成され、定位置から1方向に第1の角度値だけ前記処理ステーションに回転し、かつ、前記定位置から反対方向に第2の角度値だけ回転して前記ウエハステーションに到達するように構成され、前記第1の角度値と前記第2の角度値とは異なる、移送装置
を備えたことを特徴とする改良。 - 前記ロードロックおよび前記処理チャンバは、全体のチャンバ装置の部分を形成し、前記全体のチャンバ装置は、前記スイングアームの前記定位置を少なくとも部分的に画定するように、前記移送装置と協働することを特徴とする請求項20に記載の改良。
- 前記スイングアームが前記定位置にあるときのみ、前記ロードロックおよび前記処理チャンバは、互いに実質的に圧力分離が可能であることを特徴とする請求項21に記載の改良。
- 前記全体のチャンバ装置は、前記ロードロックおよび前記処理チャンバの各々と選択的に連通する移送チャンバを含み、前記移送装置は、前記定位置が前記移送チャンバ内に画定されるように、前記移送チャンバ内で支持されることを特徴とする請求項21に記載の改良。
- 前記ロードロックは、前記処理チャンバと直接連通し、前記移送装置は、前記定位置が前記ロードロック内に画定されるように、前記ロードロック内で支持されることを特徴とする請求項21に記載の改良。
- ロードロックと処理チャンバとの間を、ウエハ直径を有する少なくとも1つのウエハが移動可能なウエハ処理システムにおける方法であって、
前記ロードロックおよび前記処理チャンバと選択的に圧力連通するように移送チャンバを配置することと、
前記ウエハが前記移送チャンバを通って前記ロードロックと前記処理チャンバとの間をウエハ移送路に沿って移動可能であるように、横方向への広がり構成を含む前記移送チャンバを構成することであって、前記横方向への広がり構成により、前記ウエハ移送路に沿って移動する前記ウエハ直径を有する前記ウエハは、前記ウエハ移送路に沿った任意の所与の位置で前記ロードロックと前記処理チャンバとのうちの少なくとも1つと干渉する、構成することと
を備えることを特徴とする方法。 - 前記ウエハは、ウエハ中心部を含み、前記ウエハ移送路は、前記移送チャンバを通る前記ウエハ中心部の移動により画定されることを特徴とする請求項25に記載の方法。
- 前記ロードロックと前記処理チャンバとの間で前記ウエハ移送路に沿って前記ウエハを移動させるために前記移送チャンバ内で移送装置を支持することであって、前記移送装置は、前記移送チャンバの前記横方向への広がり構成と協働する移送装置構成を含み、前記移送装置は、前記ウエハを支持することなく、前記移送チャンバ内で、定位置において、前記ロードロックおよび前記処理チャンバの両方から圧力分離できる、支持すること
をさらに備えることを特徴とする請求項25に記載の方法。 - 前記システムの一部として、前記ロードロックと前記移送チャンバとの間にある第1のドアと、前記処理チャンバと前記移送チャンバとの間にある第2のドアとを提供することを含み、前記移送チャンバが、前記ロードロックおよび前記処理チャンバの各々から選択的に圧力分離されるように、前記第1のドアおよび前記第2のドアの各々は、開位置と閉位置との間を移動可能であり、前記定位置にある前記移送装置は、前記ウエハを支持することなく、両方のドアが前記閉位置にある状態で、前記第1のドアと前記第2のドアとの間に受け入れられるように構成されることを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記定位置にある前記移送装置により支持される前記ウエハは、前記ドアが前記閉位置に移動するときに、前記第1のドアと前記第2のドアとのうちの少なくとも1つと干渉することを特徴とする請求項28に記載の方法。
- ウエハを処理するシステムを構成するための方法であって、
少なくとも1つのロードロックを提供することと、
前記ロードロックと選択的に圧力連通する移送チャンバを配置することと、
少なくとも1つの処理ステーションを含む処理チャンバを構成することであって、前記処理チャンバは、前記移送チャンバと選択的に圧力連通し、前記ウエハを、前記ロードロックと前記処理チャンバとの間で前記移送チャンバを通じて移送できる、構成することと、
枢動自在に支持される少なくとも1つのスイングアームを含むスイングアーム装置を前記移送チャンバ内に配置することであって、前記スイングアームは、前記ロードロックと前記処理チャンバとの間で前記ウエハを移動させるように構成される遠位端を有し、少なくとも前記ロードロックおよび前記移送チャンバが互いから分離されるときに、前記スイングアームは、前記移送チャンバ内で定位置に配置することができ、前記スイングアームは、前記遠位端を前記定位置から前記ロードロックへ1方向に第1の角度変位だけスイングし、かつ、前記遠位端を前記定位置から前記処理ステーションへ反対方向に第2の角度変位だけスイングするように構成され、前記第1の角度変位と前記第2の角度変位とは異なる、配置することと
を備えることを特徴とする方法。 - 前記第1の角度変位は、前記第2の角度変位よりも小さいことを特徴とする請求項30に記載の方法。
- ウエハステーションを有するロードロックと、処理ステーションを有する処理チャンバとを少なくとも含む、ウエハを処理するためのシステムにおける方法であって、
前記ロードロック内の前記ウエハステーションと、前記処理チャンバ内の前記処理ステーションとの間で前記ウエハを移送する際に使用される、少なくとも第1のスイングアームおよび第2のスイングアームを有するスイングアーム装置を含む移送装置を構成することであって、前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームは、共通の回転軸周りを同軸回転するように構成され、前記第1のスイングアームと前記第2のスイングアームとのうちの一方は、前記処理ステーションに向かって回転でき、前記第1のスイングアームと前記第2のスイングアームとのうちの他方は、前記ウエハステーションに向かって独立に回転する、構成すること
を備えることを特徴とする方法。 - 前記スイングアーム装置は、前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームの各々が、前記ウエハステーションと前記処理ステーションとの間で回転する際に、定位置を通って移動し、前記ウエハステーションには、前記定位置から第1の角度オフセットだけ回転することにより到達し、前記処理ステーションには、前記定位置から第2の角度オフセットだけ回転することにより到達し、前記第1の角度オフセットと前記第2の角度オフセットとは異なることを特徴とする請求項32に記載の方法。
- 前記第1の角度オフセットは、前記第2の角度オフセットよりも小さいことを特徴とする請求項33に記載の方法。
- 前記スイングアーム装置を構成することは、前記第1のスイングアームおよび前記第2のスイングアームを異なる角速度で少なくとも選択的に回転させるための駆動装置を配置することを含むことを特徴とする請求項32に記載の方法。
- ウエハステーションを有するロードロックと、処理ステーションを有する処理チャンバとを少なくとも含む、ウエハを処理するためのシステムにおける方法であって、
前記ウエハステーションと前記処理ステーションとの間で前記ウエハを移送する際に使用されるスイングアームを含む移送装置を構成することであって、前記スイングアームは、回転軸周りを回転し、定位置から1方向に第1の角度値だけ前記処理ステーションに回転し、かつ、前記定位置から反対方向に第2の角度値だけ回転して前記ウエハステーションに到達するように構成され、前記第1の角度値と前記第2の角度値とは異なる、構成すること
を備えることを特徴とする方法。 - 前記ロードロックおよび前記処理チャンバは、全体のチャンバ装置の部分を形成し、前記全体のチャンバ装置は、前記スイングアームの前記定位置を少なくとも部分的に画定するように、前記移送装置と協働することを特徴とする請求項36に記載の方法。
- 前記全体のチャンバ装置は、前記ロードロックおよび前記処理チャンバの各々と選択的に連通する移送チャンバを含み、前記移送装置は、前記定位置が前記移送チャンバ内に画定されるように、前記移送チャンバ内で支持されることを特徴とする請求項36に記載の方法。
- 前記ロードロックは、前記処理チャンバと直接連通し、前記移送装置は、前記定位置が前記ロードロック内に画定されるように、前記ロードロック内で支持されることを特徴とする請求項36に記載の方法。
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