JP2013030708A - 基板処理装置、プログラム、コンピュータ記憶媒体、警報表示方法及び基板処理装置の点検方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の処理ユニットと、各処理ユニットでの異常発生を表示する表示手段とを備えた基板処理装置は、異常発生の警報の内容と当該異常発生により点検が必要になる部位とを関連付けた情報と、点検対象部位を、異常が発生していない他の部位からアイソレートするために操作される機器の情報と、点検対象部位の配置及びアイソレートの際の操作対象機器の配置と、アイソレートの際の操作対象機器の操作手順と、を記憶する記憶手段と、記憶手段の情報に基づいて、異常発生により点検が必要となる部位をアイソレートするために操作される機器を特定し、さらに特定された機器の配置を特定して表示手段に出力する異常特定手段と、記憶手段の情報に基づいて、異常特定手段で特定された機器の操作手順を特定して表示手段に出力する操作手順特定手段と、を有している。
【選択図】図5
Description
(1)点検が必要になる部位と異常が発生していない他の部位との間の電気的な接続を遮断する遮断器
(2)点検が必要になる部位と異常が発生していない他の部位との間に流れる流体の流れを遮断する流体遮断機構
(3)前記表示手段に出力される異常発生の警報信号を遮断するためのスイッチ
(4)点検が必要になる部位と当該部位を駆動させていた駆動機構との間に設けられた駆動力伝達部材
(5)点検が必要となる部位を外部の環境から遮断する環境遮断機構
(6)点検が必要となる部位に対してアクセス可能な他の駆動機構への電源供給を遮断する他の遮断器、又は前記他の駆動機構の動作を停止させる操作機構
2 カセットステーション
3 処理ステーション
4 露光装置
5 インターフェイスステーション
6 制御装置
10 カセット搬入部
11 ウェハ搬送部
12 カセット載置台
13 カセット載置板
20 搬送路
21 ウェハ搬送機構
30 現像処理ユニット
31 下部反射防止膜形成ユニット
32 レジスト塗布ユニット
33 上部反射防止膜形成ユニット
40〜46 熱処理ユニット
50〜56 受け渡しユニット
60〜62 受け渡しユニット
70〜73 ウェハ搬送機構
80 シャトル搬送機構
90 ウェハ搬送機構
91 ウェハ搬送機構
100 欠陥検査ユニット
200 搬送制御手段
201 ウェハ処理制御手段
202 記憶手段
203 異常特定手段
204 操作手順特定手段
205 表示手段
210 警報テーブル
220 動力電源システム
221a〜g 遮断器
230 冷却水システム
231a〜g バルブ
232 チラー
W ウェハ
F1〜F3 カップ
D ウェハ搬送領域
C カセット
Claims (8)
- 複数の基板を並行して処理する複数の処理部と、前記各処理部での異常発生を警報表示する表示手段と、を備えた基板処理装置であって、
異常発生の警報の内容と当該異常発生により点検が必要になる部位とを関連付けた情報と、
前記点検が必要になる部位を、異常が発生していない他の部位からアイソレートするために操作される機器の情報と、
前記点検が必要になる部位の位置情報及び前記アイソレートのために操作される機器の位置情報と、
前記アイソレートのために操作される機器の操作手順の情報と、
を記憶する記憶手段と、
前記各処理部で発生した異常を検出し、且つ前記記憶手段の情報に基づいて、当該異常発生により点検が必要となる部位及び前記アイソレートのために操作される機器を特定し、さらにこれらの部位及び機器の位置を特定して前記表示手段に出力する異常特定手段と、
前記記憶手段の情報に基づいて、前記異常特定手段で特定された機器の操作手順を特定して前記表示手段に出力する操作手順特定手段と、を有していることを特徴とする、基板処理装置。 - 前記表示手段は、タッチパネル、モニタ又は液晶ディスプレイのいずれかを備えたユーザインターフェイスであり、
前記アイソレートのために操作される機器は、前記ユーザインターフェイスから遠隔操作可能であることを特徴とする、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記アイソレートのために操作される機器は、少なくとも以下の(1)〜(6)のいずれかであることを特徴とする、請求項1〜2のいずれかに記載の基板処理装置。
(1)点検が必要になる部位と異常が発生していない他の部位との間の電気的な接続を遮断する遮断器
(2)点検が必要になる部位と異常が発生していない他の部位との間に流れる流体の流れを遮断する流体遮断機構
(3)前記表示手段に出力される異常発生の警報信号を遮断するためのスイッチ
(4)点検が必要になる部位と当該部位を駆動させていた駆動機構との間に設けられた駆動力伝達部材
(5)点検が必要となる部位を外部の環境から遮断する環境遮断機構
(6)点検が必要となる部位に対してアクセス可能な他の駆動機構への電源供給を遮断する他の遮断器、又は前記他の駆動機構の動作を停止させる操作機構 - 前記基板を搬送する基板搬送機構と、
前記基板搬送機構による基板の搬送を制御する搬送制御手段と、をさらに有し、
前記搬送制御手段は、異常が発生した処理部を迂回して基板を搬送するように前記基板搬送機構を制御することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置。 - 請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理装置における警報の表示方法であって、
前記異常特定手段により、処理部で発生した異常を検出し、その後前記記憶手段の情報に基づいて、当該異常発生により点検が必要となる部位及び前記アイソレートのために操作される機器、並びにこれらの部位及び機器の位置を特定して前記表示手段に出力し、
さらに、操作手順特定手段により、前記記憶手段の情報に基づいて前記アイソレートのために操作される機器の操作手順を特定し、前記表示手段に出力することを特徴とする、警報表示方法。 - 複数の基板を並行して処理する複数の処理部と、前記各処理部での異常発生を警報表示する表示手段と、を備えた基板処理装置の点検方法であって、
前記処理部の少なくともいずれか一つで異常が発生した際に警報を発報し、
その後、異常発生の警報の内容に基づいて当該異常発生により点検が必要になる部位を特定し、
前記点検が必要になる部位を異常が発生していない他の部位からアイソレートするために操作される機器の特定と、当該特定された機器の操作手順の特定とを行い、
さらに、前記点検が必要になる部位の位置及び前記特定された機器の位置を特定し、
前記点検が必要になる部位の位置及び前記特定された機器の位置、並びに前記特定された機器の操作手順を前記表示手段に表示し、
前記表示手段に表示された、前記点検が必要になる部位及び前記特定された機器の位置、並びに前記特定された機器の操作手順に従って、当該特定された機器の操作と前記点検が必要になる部位の点検を行うことを特徴とする、基板処理装置の点検方法。 - 請求項5の警報表示方法を基板処理装置によって実行させるために、当該基板処理装置を制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項6に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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