JP2017147308A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本発明の基板処理装置は、前記表示装置が、前記第1表示態様で表示された前記ユニットを特定する操作がなされた場合に、前記第1表示態様で表示された前記ユニットの内部を、異常が検知された機器の表示態様を他の機器の表示態様とは異なる第2表示態様にして表示する。
また、本発明の基板処理装置は、前記表示装置が、前記第2表示態様で表示された機器を特定する操作がなされた場合に、当該機器に対する作業の手順を示す手順書を表示させるための第1ボタン(B1)と、当該機器の機器情報を表示させるための第2ボタン(B2)との少なくとも一方を表示する。
また、本発明の基板処理装置は、前記表示装置が、前記第1ボタンを押圧する操作がなされた場合には、前記手順書を表示し、前記第2ボタンを押圧する操作がなされた場合には、前記機器情報を表示する。
また、本発明の基板処理装置は、前記表示装置が、表示機能と操作機能とを兼ね備える操作パネルを備えており、前記操作が、該操作パネルに対する操作である。
また、本発明の基板処理装置は、前記ユニットに対応して設けられ、対応するユニットに設けられた機器の異常が検知された旨を表示する表示灯(LP1〜LP8)を備える。
また、本発明の基板処理装置は、前記ユニットに設けられた機器の異常が検知された場合に、異常が検知された機器が設置されているユニットを示す情報を音声で出力する音声出力装置(V1)を備える。
また、本発明の基板処理装置は、前記ユニットが、前記基板に対する研磨処理を行う第1ユニット(20A〜20D)と、前記基板の洗浄処理を行う第2ユニット(31A、31B)と、を含む。
図1は、本発明の一実施形態による基板処理装置の平面透視図である。図1に示す通り、本実施形態の基板処理装置1は、ロード/アンロード部10、研磨部20、及び洗浄部30に区画された略矩形状のハウジングHを備え、ウェハ(基板)に対する研磨処理及び洗浄処理(乾燥処理を含む)を行う研磨装置である。
次に、上記構成における基板処理装置1の動作について説明する。以下では、まずウェハの処理時に基板処理装置1で行われる動作の一例(ウェハ研磨動作例)を大まかに説明し、続いて基板処理装置1で異常が生じた場合に行われる動作(異常発生時動作)を説明する。
フロントロード部11に搭載されたウェハカセットから搬送ロボット13によって取り出されたウェハは、搬送ロボット13によってフロントロード部11の並びに沿って搬送された後に、不図示のシャッタを介して搬送ロボット13から、研磨部20に設けられた第1リニアトランスポータ26に受け渡される。第1リニアトランスポータ26に受け渡されたウェハは、第1リニアトランスポータ26によって搬送されつつ、第1研磨ユニット20Aに設けられたトップリング22、及び第2研磨ユニット20Bに設けられたトップリング22に順次受け渡され、第1研磨ユニット20A及び第2研磨ユニット20Bで順次研磨され、仮置き台Qに載置される。
図3は、本発明の一実施形態による基板処理装置の異常発生時における動作の概略を示すフローチャートである。図3に示すフローチャートの処理は、基板処理装置1に設けられた各種センサの検出結果、及び基板処理装置1に設けられた各種機器から出力されるアラームに基づいて、基板処理装置1の異常が制御部40で検出された場合に開始される。尚、以下では、理解を容易にするために、洗浄部30の第1洗浄ユニット31Aに設けられた圧力センサ(例えば、洗浄液の水圧を測定する圧力センサ)の異常が生じた場合を例に挙げて説明する。
12 ロード/アンロードユニット
20A 第1研磨ユニット
20B 第2研磨ユニット
20C 第3研磨ユニット
20D 第4研磨ユニット
31A 第1洗浄ユニット
31B 第2洗浄ユニット
32A 第1搬送ユニット
32B 第2搬送ユニット
33 乾燥ユニット
34A,34B ユーティリティユニット
35 制御ユニット
50 操作パネル
B1 手順書ボタン
B2 機器情報ボタン
LP1〜LP8 表示灯
V1 音声出力装置
Claims (8)
- 基板に対する処理を行う複数のユニットを備える基板処理装置において、
前記ユニットに設けられた機器の異常が検知された場合に、前記基板処理装置の外観を、異常が検知された機器が設置されているユニットの表示態様を他のユニットの表示態様とは異なる第1表示態様にして表示する表示装置を備える基板処理装置。 - 前記表示装置は、前記第1表示態様で表示された前記ユニットを特定する操作がなされた場合に、前記第1表示態様で表示された前記ユニットの内部を、異常が検知された機器の表示態様を他の機器の表示態様とは異なる第2表示態様にして表示する請求項1記載の基板処理装置。
- 前記表示装置は、前記第2表示態様で表示された機器を特定する操作がなされた場合に、当該機器に対する作業の手順を示す手順書を表示させるための第1ボタンと、当該機器の機器情報を表示させるための第2ボタンとの少なくとも一方を表示する請求項2記載の基板処理装置。
- 前記表示装置は、前記第1ボタンを押圧する操作がなされた場合には、前記手順書を表示し、
前記第2ボタンを押圧する操作がなされた場合には、前記機器情報を表示する、
請求項3記載の基板処理装置。 - 前記表示装置は、表示機能と操作機能とを兼ね備える操作パネルを備えており、
前記操作は、該操作パネルに対する操作である、
請求項2から請求項4の何れか一項に記載の基板処理装置。 - 前記ユニットに対応して設けられ、対応するユニットに設けられた機器の異常が検知された旨を表示する表示灯を備える請求項1から請求項5の何れか一項に記載の基板処理装置。
- 前記ユニットに設けられた機器の異常が検知された場合に、異常が検知された機器が設置されているユニットを示す情報を音声で出力する音声出力装置を備える請求項1から請求項6の何れか一項に記載の基板処理装置。
- 前記ユニットは、前記基板に対する研磨処理を行う第1ユニットと、
前記基板の洗浄処理を行う第2ユニットと、
を含む請求項1から請求項7の何れか一項に記載の基板処理装置。
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2016
- 2016-02-16 JP JP2016027322A patent/JP2017147308A/ja active Pending
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