JP2013201331A - 自動生産ラインおよび処理装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】ホストコンピュータとの通信を要することなく、当該自動生産ライン10での異常停止を的確に報知すること。
【解決手段】自動運転時に基板Wの流動をモニタするモニタ手段としてのセンサ類70(基板検出センサ71、72)と、モニタ手段が基板Wの流動の停止を検出した場合に、当該流動の停止時間が予め設定された最大待ち時間を超えているか否かを判定する判定手段としての制御ユニット30と、判定手段が最大待ち時間を超えていると判定した場合に、自動運転の異常停止を報知する報知手段としてのブザー50等とを自動生産ライン10の処理装置Aの少なくとも一台に設ける。
【選択図】図1

Description

本発明は、自動生産ラインおよび処理装置に関する。
一般に複数の処理装置を用いた自動生産ラインにおいては、例えば、特許文献1に示すように、各処理装置と通信可能に接続されたホストコンピュータを設け、このホストコンピュータによって、生産状況や、個々の処理装置の稼働状況が監視されている。
特許文献1に開示されているように、複数の処理装置がホストコンピュータによって監視されている設備では、電源忘れや、コンピュータのハングアップ等の不具合が何れかの処理装置に生じた場合、リアルタイムで当該処理装置の故障を検出し、オペレータに報知することが可能となる。
再公表WO2007−034957号公報
しかしながら、小規模の自動生産ラインでは、特許文献1に開示されているようなホストコンピュータが省略されているケースも少なくない。そのような設備では、当然のことながら、個々の処理装置の稼働状況を監視することができず、何らかの原因で自動生産ラインが異常停止している場合に、当該異常停止が看過される可能性も高くなる。また、ホストコンピュータを設けている場合であっても、当該ホストコンピュータと通信不能な処理装置や搬送装置が自動生産ラインの中に併用されている場合もある。その場合には、当該処理装置や搬送装置の稼働状況をホストコンピュータで監視することができなくなり、やはり、異常停止が看過されるおそれがある。
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、複数の処理装置を用いた自動生産ラインにおいて、ホストコンピュータとの通信を要することなく、当該自動生産ラインでの異常停止を的確に報知することのできる自動生産ラインおよび処理装置を提供することを課題としている。
上記課題を解決するために、本発明は、基板の処理工程に準じて直列に配置された複数の処理装置を備え、前記処理工程順に複数の基板を前記処理装置に搬送する自動生産ラインにおいて、前記自動生産ラインの自動運転時における前記基板の流動をモニタするモニタ手段と、前記モニタ手段が前記基板の流動の停止を検出した場合に、当該流動の停止時間が予め設定された最大待ち時間を超えているか否かを判定する判定手段と、前記判定手段が前記最大待ち時間を超えていると判定した場合に、自動運転の異常停止を報知する報知手段とを前記処理装置の少なくとも一台に設けていることを特徴とする自動生産ラインである。
また、本発明の別の態様は、基板の処理工程に準じて自動生産ラインの基板搬送経路上に直列に配置される処理装置において、前記自動生産ラインの自動運転時における前記基板の流動をモニタするモニタ手段と、前記モニタ手段が前記基板の流動の停止を検出した場合に、当該流動の停止時間が予め設定された最大待ち時間を超えているか否かを判定する判定手段と、前記判定手段が前記最大待ち時間を超えていると判定した場合に、自動運転の異常停止を報知する報知手段とを備えていることを特徴とする処理装置である。
本発明の態様では、自動生産ラインに設置される何れかの処理装置にモニタ手段、判定手段、報知手段を設けているので、自動生産ラインにホストコンピュータがなくても、当該自動生産ラインが長時間停止していることをオペレータに報知することが可能となる。すなわち、自動生産ラインの何れかのユニット(処理装置または搬送装置)で故障や電源投入忘れ、或いは、制御装置のマイクロプロセッサがハングアップを来している等の不具合が生じている場合、基板は、そのユニットで停止する。そのため、当該ユニットから上流側では、基板が滞留する。また、不具合を来したユニットの下流側では、基板が搬送されなくなる。従って、不具合を来したユニットが、自動生産ラインの何れの設置場所にあるときでも、基板の流動をモニタすることにより、ラインの異常停止を検出することが可能となる。そして、異常停止の検出時には、処理装置に設けられた報知手段によって報知することができるので、オペレータは、ホストコンピュータによる生産管理機能に頼ることなく、自動生産ラインの異常停止を知ることができる。多くの場合、処理装置に既設されているセンサや、制御ユニットにより、モニタ手段、判定手段、報知手段を構成することができるので、極めて廉価な方法で本発明を実施することが可能となる。さらに、自動生産ラインにおいては、個々の処理装置の特性や、仕様設定のため、基板は、しばしば一時停止する。そのため、単に基板の停止/流動を判定しているだけでは、基板がユニットの故障によって異常停止しているのか、或いは、許容可能な一時停止であるのか、判定することが困難である。しかるに本態様では、予め設定された最大待ち時間に基づいて、基板の流動の停止を評価し、異常停止か否かを判定することとしているので、簡素な構成であるにも拘わらず、正確な異常停止検出を実現することができる。
好ましい態様において、前記処理装置は、当該処理装置と、当該処理装置が処理する基板との組み合わせごとに前記最大待ち時間を記憶する記憶部を備えている。この態様では、処理装置と基板との組み合わせに基づき、当該組み合わせごとに好適な最大待ち時間を設定することができるので、精緻な異常停止判定を実現することができる。
好ましい態様において、前記記憶部は、当該処理装置に前記基板を搬入する前工程での基板搬送タイミングに基づいて設定される最大搬入待ち時間を前記最大待ち時間として記憶している。この態様では、基板の流動をモニタする処理装置の前工程での処理特性に応じて、好適な最大待ち時間を設定することができる。従って、基板の流動の停止が異常停止であるのか、或いは、許容可能な一時停止であるのかを精緻に判定することができる。
好ましい態様において、前記記憶部は、当該処理装置が前記基板を搬出する次工程への基板搬送タイミングに基づいて設定される最大搬出待ち時間を前記最大待ち時間として記憶している。この態様では、基板の流動をモニタする処理装置の次工程での処理特性に応じて、好適な最大待ち時間を設定することができる。従って、基板の流動の停止が異常停止であるのか、或いは、許容可能な一時停止であるのかを精緻に判定することができる。
また、自動生産ラインの態様としては、前記基板を搬送する経路の少なくとも一部は、2本の平行なレーンで構成されたデュアルレーン方式であり、前記モニタ手段、前記判定手段、及び前記報知手段は、当該2本の平行なレーンと直列な関係にある経路に設置された前記処理装置に設けられていることが好ましい。この態様では、近年、需要が増加している、いわゆるデュアルレーン方式の自動生産ラインにおいても、好適な異常停止報知を図ることが可能となる。
以上説明したように、本発明によれば、複数の処理装置を用いた自動生産ラインにおいて、当該処理装置のモニタ手段により、基板の流動をモニタし、基板の流動が停止しているときに、異常停止であるか否かの判定を的確に行うことができるので、ホストコンピュータとの通信を要することなく、当該自動生産ラインでの異常停止を的確に報知することができるという顕著な効果を奏する。
本発明の実施の一形態に係る自動生産ラインの概略図である。 図1の自動生産ラインに採用されている処理装置の要部を示すブロック図である。 図2の処理装置に記憶されているデータテーブル(エンティティ)の一例を示す図であり、(A)は、同データテーブルのエンティティリレーションシップ(ER)を示す図、(B)は、図3(A)の自動運転条件テーブルの設定例を示すビュー表である。 図2の処理装置が「標準処理時間」、「最大搬入待ち時間」、「最大搬出待ち時間」の設定を実行する場合の一例を示すフローチャートである。 図2の処理装置が「標準処理時間」、「最大搬入待ち時間」、「最大搬出待ち時間」の設定を実行する場合の別の例を示すフローチャートである。 図1の実施形態に係る異常停止検出プログラムの実行例を示すフローチャートである。 図1の実施形態に係る異常停止検出プログラムの別の実行例を示すフローチャートである。 図1の実施形態に係る異常停止検出プログラムのさらに別の実行例を示すフローチャートである。 本発明の別の実施の一形態(デュアルレーン方式)に係る自動生産ラインの概略図である。
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図1を参照して、本発明の実施形態に係る自動生産ライン10は、基板Wにスクリーン印刷を施すスクリーン印刷ステーションと、スクリーン印刷が施された基板Wに電子部品を実装する部品実装ステーションと、電子部品が実装された基板Wにリフロー処理を施すリフローステーションと、リフロー処理後の基板Wを撮像して検査する検査ステーションとを備えている。スクリーン印刷ステーションには、例えば、1台のスクリーン印刷装置11が直列に配置されている。部品実装ステーションには、例えば、2セットの部品実装機12が直列に配置されている。リフローステーションには、1台のリフロー装置14が配置されている。さらに、検査ステーションには、画像検査を実施する1台の検査装置16が配置されている。また、スクリーン印刷装置11の上流側と、各ステーションの間と、検査装置16の下流側には、基板搬送コンベア21が設置されている。
スクリーン印刷装置11、部品実装機12、リフロー装置14、並びに検査装置16は、何れも本発明の「処理装置」の一例であり、以下の説明では、これらの装置を処理装置Aとも総称する。
図2を参照して、処理装置Aは、何れもハードウェア上は、公知の装置であり、マイクロプロセッサ等で具体化される制御ユニット30を備えている点で共通している。制御ユニット30は、演算ユニット31と、ROM、RAM、補助記憶装置等で具体化される記憶部32とを備えている。制御ユニット30には、表示/操作ユニット40と、ブザー50と、点灯表示装置60とが接続されている。
表示/操作ユニット40は、ディスプレイ41や、キーボード等のポインティングディバイスを備えており、処理装置Aのプログラムの実行状況や、処理装置A自身のエラーメッセージ等を表示する機能や、或いは、表示された情報に基づき、オペレータが制御ユニット30に対して各種データや指令などの情報を入力するために操作することのできる機能を備えている。本実施形態においては、この表示/操作ユニット40を操作することによって、後述する「最大待ち時間」を設定することができるようになっている。
ブザー50、点灯表示装置60は、当該処理装置Aの運転状況を報知、または表示するための出力要素である。
さらに制御ユニット30には、種々のセンサ(図2において、「センサ類70」と総称している)が接続されている。センサ類70には、搬送経路に沿って当該処理装置Aに搬入される基板Wを検出する搬入基板検出センサ71と、当該処理装置Aから搬出される基板Wを検出する搬出基板検出センサ72とが含まれる(図1参照)。これらは、光学センサ、或いは、リミットスイッチ等で具体化されており、ある処理装置Aに基板Wが搬入されるタイミングや、当該処理装置Aから基板Wが搬出されるタイミングを検出することが可能になっている。制御ユニット30には、搬入基板検出センサ71がON/OFFするタイミングと、搬出基板検出センサ72がON/OFFするタイミングとの組み合わせによって、自動生産ラインの自動運転時に、基板Wが流動しているか否かを決定するプログラムがインストールされている。本実施形態においては、制御ユニット30と、センサ類70の各基板検出センサ71、72とが、基板Wの流動をモニタするモニタ手段の一例である。
図1に示す自動生産ラインでは、個々の処理装置Aを個別に稼動させるマニュアル運転モードと、個々の処理装置Aを連係させて、自動的に基板Wを順次処理する自動運転モードとを択一的に選択することができるようになっている。この運転モードは、制御ユニット30によって、制御される。また、各処理装置Aには、搬入基板検出センサ71と搬出基板検出センサ72の検出信号に基づいて、基板Wの流動をモニタすることができるようになっている。また、各処理装置Aには、各基板検出センサ71、72の検出に基づいて、下流側の処理装置Aが基板Wを受け入れ可能であるか否かを判定し、下流側の処理装置Aが基板Wの受け入れることができる場合にだけ基板Wを搬出するようにプログラムされている。
なお、本実施形態に係る制御ユニット30には、バーコードリーダ80が接続されている。バーコードリーダ80は、基板Wに貼着されているバーコードを読み取って、当該基板Wに関する情報を読み取るためのものである。バーコードリーダ80を設けた場合には、例えば、マニュアル運転モードでロット数の少ない基板Wを処理する場合、或いは、新製品の基板Wをテストで処理する場合等、種々のニーズに応えることができる。
制御ユニット30の記憶部32には、当該処理装置Aを運転するために必要なプログラムや、種々のデータが記憶されている。ここで、本実施形態においては、記憶部32に以下のようなマスタデータやトランザクションデータが記憶されるように構成されている。
図3(A)を参照して、記憶部32に記憶されるマスタデータには、処理対象となる基板Wに関する情報を記憶する基板テーブル321と、この基板テーブル321に登録されている基板Wごとの運転条件を設定する自動運転条件テーブル322とが含まれている。これらのテーブル321、322は、実体(エンティティ)と呼称されるデータの集まりである。テーブル321、322は、一般にアトリビュートと呼称される列(以下、アトリビュートは{}でくくって示す)と、タプルと呼称される行(以下、タプルの値は「」でくくって示す)とで構成されるマトリックス状に論理的に構成される。アトリビュートとは、テーブル321、322に設定される列に関する情報(例えば、{基板品番}{部品点数}{外寸}等)のことをいう(図3(B)参照)。また、タプルとは、「BD001」「10(sec)」・・・といった行ごとの情報(インスタンス)の集まりのことをいう(図3(B)参照)。
基板テーブル321は、基板Wの品番を登録する{基板品番}や、基板品番毎の外寸、面取り数等を登録する{外寸、面取り数}等を含んでいる。{基板品番}には、「BD001」「BD002」・・・といった品番の基板Wが含まれている。この{基板品番}の値を特定することにより、基板Wに関する情報を特定することが可能となる。
自動運転条件テーブル322は、基板テーブル321に含まれる基板Wの品番を登録する{基板品番}と、処理装置Aと基板Wの組み合わせごとに設定される標準処理時間を登録する{標準処理時間}と、搬入時において、上流側の処理装置Aから基板Wが搬送されるときの「最大搬入待ち時間」を登録する{TMin}と、下流側の処理装置Aへ基板を搬出するときの「最大搬出待ち時間」を登録する{TMout}とを含んでいる。
{基板品番}が設定されることにより、自動運転条件テーブル322は、基板テーブル321と関連づけられている。これにより、自動運転条件テーブル322には、基板テーブル321に登録された基板Wごとに、種々の運転条件を設定することが可能になっている。
標準処理時間は、基板テーブル321の基板情報に基づき、当該処理装置Aが標準的に必要な処理時間であり、処理装置Aの工程と基板Wの仕様とに基づいて、演算される値である。
最大搬入待ち時間は、ある処理装置A(例えば、検査装置16)に対し、上流側の処理装置A(リフロー装置14)から基板Wが搬入されてから次の基板Wが搬入されるまでに当該処理装置A(検査装置16)が待機することのできる最大(最長)の時間である。また、最大搬出待ち時間は、ある処理装置A(例えば、リフロー装置14)が、下流側の処理装置A(検査装置16)に対し、基板Wを搬出する際に、当該処理装置A(リフロー装置14)が下流側の処理装置Aの受け入れを待機することのできる最大(最長)の時間である。最大搬入待ち時間や最大搬出待ち時間は、何れも本発明における最大待ち時間の一例である。最大待ち時間を設定することにより、処理装置Aは、基板Wの流動が停滞しているときに、正常時の一時停止が生じているのか、或いは、何れかの処理装置Aまたは、基板搬送コンベア21に異常を来しているのかを判定することが可能となる。
また、図示の実施形態において、基板テーブル321と、自動運転条件テーブル322とは、関連づけられており、処理対象となっている全ての基板Wの品番ごとに{標準処理時間、TMin、TMout}等の値が設定されるようになっている。このように最大待ち時間を基板Wと処理装置Aごとに組み合わせて記憶部32に登録しておくことにより、個々の生産過程において、極めて適切な異常停止判定を実現することが可能になる。
図3(B)を参照して、一例を挙げると、基板品番が「BD001」という基板Wを処理する場合、ある処理装置Aでの標準処理時間は、10secである。また、上流側の処理装置AからBD001の自動運転時に搬入を待機することのできる時間は、120secである。さらに、この処理装置Aが処理を終了してから、下流側の処理装置Aに搬出する際に、当該下流側の処理装置Aの受け入れを待機することのできるTMoutは、120secである。
このような条件下では、ある処理装置Aが「BD001」という基板Wを受け入れる際、120secまでは、タクトや処理仕様の影響で、基板Wの搬入を待機し、120secを越えて基板Wが搬入されない場合には、上流側で異常停止が発生していると判定することが可能となる。同様に、この処理装置Aが「BD001」という基板Wを処理した後、120secまでは、下流側の処理装置Aが基板Wの受け入れを開始するのを待機し、120secを越えて下流側の処理装置Aが基板Wの受け入れを開始しない場合には、下流側で異常停止が発生していると判定することが可能となる。
上流側と下流側の処理装置Aの関係は、リフロー装置14と検査装置16といった異種装置の関係ばかりではなく、上流側の部品実装機12と下流側の部品実装機12といった同種装置の関係であってもよい。何れの場合であっても、基板Wの品番と上流側、下流側の処理装置Aとの関係でTMin、TMoutを設定することができるので、各処理装置Aにおいては、その前後での異常停止を検出することが可能となる。
次に、本実施形態においては、生産実績Hテーブル323(Hは、Historyの略)が標準仕様として処理装置Aに既設されている。この生産実績Hテーブル323は、{基板品番、基板製造番号、製造年月日、実績処理時間、実績TMin、実績TMout}等を含んでいる。
{基板品番}には、実際に製造した基板Wの基板品番が登録されている。このときの「基板品番」は、処理装置Aに設けられたバーコードリーダ80によって、当該基板Wに貼着されているバーコード等から読み取った値を登録することとしている。そのため、基板テーブル321に登録されている基板W以外の基板品番も登録されている場合がある。
{基板製造番号}は、実際に処理した基板Wを特定するための番号を登録する列である。{基板製造番号}に登録される値は、全ての処理装置Aにとって共通の値であってもよく、個々の処理装置Aが個別に設定する値であってもよい。
{製造年月日}には、実際に製造した基板Wの処理日が登録されている。
{実績処理時間、実績TMin、実績TMout}には、当該基板Wを処理した場合の実績値として、「処理時間」、「最大搬入待ち時間」、「最大搬出待ち時間」がそれぞれ登録される。
次に、本実施形態においては、自動運転条件テーブル322に登録される値を自動登録するための標準値テーブル324が用意されている。標準値テーブル324は、{標準処理時間、TMin、TMout}を備えている。これらの列{標準処理時間、TMin、TMout}は、自動運転条件テーブル322の{標準処理時間、TMin、TMout}のデフォルト値を登録する。標準値テーブル324が設けられている場合には、新しい基板Wの基板品番を基板テーブル321に登録したタイミングをトリガーとして、当該基板品番について、デフォルト値を標準値テーブル324から読み出し、自動運転条件テーブル322に自動的に登録することが可能となる。或いは、未登録の基板Wが処理される場合に、標準値テーブル324に登録されたデフォルト値を読み出して、トランザクションに供することも可能となる。
本実施形態では、生産実績Hテーブル323や、標準値テーブル324が用意されているので、以下のような処理を行うことが可能になっている。
まず、図4を参照して、自動運転モードで運転する場合に、異常停止検知を実行するために、制御ユニット30は、「標準処理時間」、「最大搬入待ち時間」、「最大搬出待ち時間」の設定を実行する必要がある。この過程で、制御ユニット30は、まず、基板テーブル321(または、自動運転条件テーブル322)から、生産対象となる「基板品番」を検索する(ステップS1)。仮に、検索した「基板品番」が発見された場合(ステップS2において、YESの場合)、制御ユニット30は、自動運転条件テーブル322から、当該「基板品番」に係るタプルを読み出し、データを取得する(ステップS3)。そして、読み出したデータに基づき、「標準時間」、「最大搬入待ち時間」、「最大搬出待ち時間」を設定し、事後の処理をこれらの設定値に基づいて実行する。
一方、ステップS1で検索した「基板品番」が発見されなかった場合(ステップS2において、NOの場合)、制御ユニット30は、まず、生産実績Hテープ323から当該「基板品番」を検索する(ステップS5)。仮に、検索した「基板品番」が発見された場合(ステップS6において、YESの場合)、制御ユニット30は、生産実績Hテープ323から当該「基板品番」に係るタプルを読み出し、データを演算する(ステップS7)。
この演算処理では、当該「基板品番」に係るデータを集計する。この集計処理では、{実績処理時間}ごとのカウント値、{TMin}ごとのカウント値、{TMout}ごとのカウント値を集計し、それぞれにおいて、全体の95パーセントをカバーする値を抽出する。そして、ステップS4に移行し、抽出された値に基づいて、「標準時間」、「最大搬入待ち時間」、「最大搬出待ち時間」を設定し、事後の処理をこれらの設定値に基づいて実行する。なお、上述した集計処理は、本実施形態の一例であって、例えば、上記カウント値は、80パーセントであってもよく、98パーセントであってもよい。また、{実績処理時間、TMin、TMout}ごとに抽出される条件を変更してもよい。
一方、ステップS5で検索した「基板品番」が発見されなかった場合(ステップS6において、NOの場合)、制御ユニット30は、今度は、標準値テーブル324からデータを取得する(ステップS8)。その後、ステップS4に移行することにより、制御ユニット30は、処理対象となる基板Wについて、標準加工時間、最大搬送待ち時間、最大搬出待ち時間を確実に設定することができる。なお、標準値テーブル324に設定されるデフォルト値は、図4のステップS7で実行される集計処理に基づいて、設定することが好ましい。尤も、図4のステップS7で実行される集計処理以外の処理に基づいて設定されていてもよい。
図5を参照して、標準値テーブル324に設定されるデフォルト値が信用できる場合、或いは、図4のステップS7で実行される集計処理が困難な場合には、図4のステップS4〜S7を省略してもよい。図5の態様では、ステップS1において検索した「基板品番」が発見されなかった場合(ステップS2において、NOの場合)、直ちにステップS8が実行され、標準値テーブル324に設定されるデフォルト値に基づいて、異常停止判定が処理されることになる。
次に、この異常停止判定の詳細について説明する。以下の説明では、自動生産ラインがロット生産を実行する場合を例に説明する。
図1及び図6を参照して、上述のような異常検出機能が設けられた処理装置Aにおいては、搬入基板検出センサ71と、搬出基板検出センサ72とによって、自動運転時における基板Wの流動がモニタされる(ステップS20)。
基板Wの流動をモニタしている状態において、基板Wの流動がないと判定される場合、制御ユニット30は、運転モードが自動運転モードであるか否かを判定する(ステップS21)。
仮にステップS21の判定において、運転モードが自動運転モードではないと判定した場合、このプログラムは、終了する。
一方、ステップS21の判定において、運転モードが自動運転モードであると判定した場合、制御ユニット30は、カウンタ変数Cを0にリセットし、基板Wの流動の停止を検出してからの時間をカウントする(ステップS22)。このカウントを開始してから、制御ユニット30は、基板Wが上流側の処理装置Aから搬入されたか否かを判定する(ステップS23)。自動生産ライン10の何れかのユニット(処理装置Aまたは基板搬送コンベア21)で故障や電源投入忘れ、或いは、制御ユニット30のマイクロプロセッサがハングアップを来している等の不具合が生じている場合、基板Wは、そのユニットで停止する。そのため、当該ユニットの下流側では、基板Wが搬送されなくなるからである。
仮にステップS23の判定において、基板Wが当該処理装置Aに搬入されたと判定した場合、制御ユニット30は、基板Wのロット生産が終了したか否かを判定し(ステップS24)、ロット生産が終了した場合には、プログラムを終了する一方、ロット生産が終了していない場合には、ステップS20に戻って、基板Wのモニタを再開する。
仮にステップS23の判定において、基板Wが当該処理装置Aに搬入されなかったと判定した場合、制御ユニット30は、カウンタ変数Cを単位時間(図示の例では、秒)だけインクリメントし(ステップS25)、インクリメント後のカウンタ変数Cの値が、図4または図5の処理で設定された「最大搬入待ち時間」を超えているか否かを判定する(ステップS26)。
例えば、図3(B)に示す例において、品番が「BD002」の基板Wを処理している場合、ステップS26では、{TMin}の「BD002」に対応する値「120」が図4または図5の処理で設定された「最大搬入待ち時間」として読み取られる。そして、インクリメントしたカウンタ変数Cが値「120」と比較され、基板Wの流動が停止してからカウントした時間が、最大搬入待ち時間を超えているか否かが判定される。
ステップS26の判定において、仮にカウンタ変数Cが120以下と判定した場合には、制御ユニット30は、ステップS23に移行し、基板Wの搬入の有無をモニタする。一方、ステップS26の判定において、仮にカウンタ変数Cが120を越えていると判定した場合には、制御ユニット30は、異常停止報知処理サブルーチンを実行する(ステップS27)。この異常停止報知処理サブルーチンでは、表示/操作ユニット40のディスプレイ41に「異常停止発生中」等の文字列を表示する他、ブザー50や点灯表示装置60を作動して、オペレータに異常停止の検出を報知する処理が実行される。これにより、オペレータは、自動生産ラインのホストコンピュータを設置していない運転状況下においても、電源忘れや、コンピュータのハングアップ等の不具合が何れかの処理装置に生じた場合、リアルタイムで当該処理装置の故障を検出し、オペレータに報知することが可能となる。
次に、図7に示す態様について説明する。
同図に示す態様では、図6のステップS23、S25〜S27に代えて、ステップS30〜S32を実行する点が相違している。
まず、図7のステップS30では、基板Wの流動が停止したことを検出した後、基板Wを当該処理装置Aが保持しているか否かを判定することとしている。自動生産ライン10の何れかのユニット(処理装置Aまたは基板搬送コンベア21)で故障や電源投入忘れ、或いは、制御ユニット30のマイクロプロセッサがハングアップを来している等の不具合が生じている場合、基板Wは、そのユニットで停止する。そのため、当該ユニットから上流側では、基板Wが滞留するからである。
ステップS30の判定において、基板Wの搬出が終了し、基板Wを保持していないと判定した場合には、図6と同様に、ステップS24に移行する。
ステップS30の判定において、基板Wを当該処理装置Aが保持していると判定した場合には、ステップS31に移行し、カウンタ変数Cを単位時間(図示の例では、秒)だけインクリメントし(ステップS31)、インクリメント後のカウンタ変数Cの値が、図4または図5の処理で設定された「最大搬出待ち時間」を超えているか否かを判定する(ステップS32)。
例えば、図3(B)に示す例において、品番が「BD003」の基板Wを処理している場合、ステップS32では、{TMout}の「BD003」に対応する値「140」が読み取られる。そして、インクリメントしたカウンタ変数Cが図4または図5の処理で設定された「最大搬出待ち時間」として値「140」と比較され、基板Wの流動が停止してからカウントした時間が、最大搬入待ち時間を超えているか否かが判定される。
ステップS32の判定において、仮にカウンタ変数Cが140以下の場合には、制御ユニット30は、ステップS30に移行し、基板Wの保持状態(基板Wを搬出したか否か)をモニタする。一方、ステップS32の判定において、仮にカウンタ変数Cが140を越えている場合には、制御ユニット30は、図6の場合と同様に、異常停止報知処理サブルーチンを実行する(ステップS27)。これにより、オペレータは、自動生産ラインのホストコンピュータを設置していない運転状況下においても、電源忘れや、コンピュータのハングアップ等の不具合が何れかの処理装置に生じた場合、リアルタイムで当該処理装置の故障を検出し、オペレータに報知することが可能となる。
さらに、図8の態様を実施することも可能である。図8は、図6の判定と図7の判定を組み合わせた例である。
具体的には、図6の態様と同様に、ステップS20〜S22を実行した後、まず、ステップS40において、カウンタ変数Cをインクリメントする。
次いで、制御ユニット30は、ステップS41において、基板Wを当該処理装置Aが保持しているか否かを判定することとしている。
ステップS41の判定において、基板Wを当該処理装置Aが保持している場合には、ステップS42に移行し、インクリメント後のカウンタ変数Cの値が、図4または図5の処理で設定された「最大搬出待ち時間」を超えているか否かを判定する。このステップS42の判定は、実質的に、図7のステップS32と同じ処理である。ステップS42の判定において、仮にカウンタ変数Cが図4または図5の処理で設定された「最大搬出待ち時間」を越えている場合には、制御ユニット30は、図6の場合と同様に、異常停止報知処理サブルーチンを実行する(ステップS27)。
一方、図8の態様では、ステップS41の判定において、基板Wの搬出が終了している場合、または、ステップS42の判定において、カウンタ変数Cが図4または図5の処理で設定された「最大搬出待ち時間」以下の場合には、制御ユニット30は、ステップS43に移行し、基板Wが上流側の処理装置Aから搬入されたか否かを判定する。
処理装置A自身が基板Wを滞留させているか否かをモニタするだけでは、当該処理装置Aの上流側で基板Wが滞留しているか否かを判定することができない場合も考えられるからである。
ステップS43の判定において、基板Wが当該処理装置Aに搬入されたと判定した場合、制御ユニット30は、図6の態様と同様に、基板Wのロット生産が終了したか否かを判定し(ステップS24)、ロット生産が終了した場合には、プログラムを終了する一方、ロット生産が終了していない場合には、ステップS20に戻って、基板Wのモニタを再開する。
一方、ステップS43の判定において、基板Wが当該処理装置Aに搬入されていないと判定した場合、制御ユニット30は、カウンタ変数Cの値が、図4または図5の処理で設定された「最大搬入待ち時間」を超えているか否かを判定する(ステップS44)。このステップS44の判定は、図6のステップS26と同様である。仮にカウンタ変数Cの値が、図4または図5の処理で設定された「最大搬入待ち時間」を超えている場合、制御ユニットは、ステップS27に移行し、異常停止報知処理のサブルーチンを実行する。他方、カウンタ変数Cの値が、図4または図5の処理で設定された「最大搬入待ち時間」以下の場合、制御ユニット30は、ステップS40に移行し、上述した処理を繰り返す。
以上説明したように、本実施形態においては、自動生産ライン10に設置される何れかの処理装置Aに制御ユニット30、搬入基板検出センサ71、搬出基板検出センサ72で構成されるモニタ手段と、制御ユニット30で構成される判定手段と、ブザー50や点灯表示装置60等で構成される報知手段とを設けているので、自動生産ライン10にホストコンピュータがなくても、当該自動生産ライン10が長時間停止していることをオペレータに報知することが可能となる。すなわち、自動生産ライン10の何れかのユニット(処理装置Aまたは基板搬送コンベア21)で故障や電源投入忘れ、或いは、制御ユニット30のマイクロプロセッサがハングアップを来している等の不具合が生じている場合、基板Wは、そのユニットで停止する。そのため、当該ユニットから上流側では、基板Wが滞留する。また、不具合を来したユニットの下流側では、基板Wが搬送されなくなる。従って、不具合を来したユニットが、自動生産ライン10の何れの設置場所にあるときでも、基板Wの流動をモニタすることにより、自動生産ライン10の異常停止を検出することが可能となる。そして、異常停止の検出時には、処理装置Aに設けられたブザー50等によって報知することができるので、オペレータは、ホストコンピュータによる生産管理機能に頼ることなく、自動生産ライン10の異常停止を知ることができる。
また、本実施形態の場合、処理装置Aに既設されている搬入基板検出センサ71、搬出基板検出センサ72や、制御ユニット30により、モニタ手段、判定手段、報知手段を構成しているので、極めて廉価な方法で本実施形態を実施することが可能となる。
自動生産ライン10においては、個々の処理装置Aの特性や、仕様設定のため、基板Wは、しばしば一時停止する。そのため、単に基板Wの停止/流動を判定しているだけでは、基板Wがユニットの故障によって異常停止しているのか、或いは、許容可能な一時停止であるのか、判定することが困難である。しかるに本態様では、例えば、図3に示したように、予め設定された最大待ち時間に基づいて、基板Wの流動の停止を評価し、異常停止か否かを判定することとしているので、簡素な構成であるにも拘わらず、正確な異常停止検出を実現することができる。
また、本実施形態では、処理装置Aは、当該処理装置Aと、当該処理装置Aが処理する基板Wとの組み合わせごとに最大待ち時間を記憶する記憶部32を備えている。このため本実施形態では、処理装置Aと基板Wとの組み合わせに基づき、当該組み合わせごとに好適な最大待ち時間を設定することができるので、精緻な異常停止判定を実現することができる。
また、本実施形態では、記憶部32は、当該処理装置Aに基板Wを搬入する前工程での基板搬送タイミングに基づいて設定される最大搬入待ち時間として、自動運転条件テーブル322(図3(A)参照)に{TMin}を設定し、この{TMin}の値を最大待ち時間として記憶している。このため本実施形態では、基板Wの流動をモニタする処理装置Aの前工程での処理特性に応じて、好適な最大待ち時間を設定することができる。従って、基板Wの流動の停止が異常停止であるのか、或いは、許容可能な一時停止であるのかを精緻に判定することができる。
また、本実施形態では、記憶部32は、当該処理装置Aが基板Wを搬出する次工程への基板搬送タイミングに基づいて設定される最大搬出待ち時間として、自動運転条件テーブル322(図3(A)参照)に{TMout}を設定し、この{TMout}の値を最大待ち時間として記憶している。このため本実施形態では、基板Wの流動をモニタする処理装置Aの次工程での処理特性に応じて、好適な最大待ち時間を設定することができる。従って、基板Wの流動の停止が異常停止であるのか、或いは、許容可能な一時停止であるのかを精緻に判定することができる。
以上説明したように、本実施形態によれば、複数の処理装置Aを用いた自動生産ライン10において、当該処理装置Aの制御ユニット30、搬入基板検出センサ71、搬出基板検出センサ72により、基板Wの流動をモニタし、基板Wの流動が停止しているときに、異常停止であるか否かの判定を的確に行うことができるので、ホストコンピュータとの通信を要することなく、当該自動生産ライン10での異常停止を的確に報知することができるという顕著な効果を奏する。
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることはいうまでもない。
例えば、図9に示すように、いわゆるデュアルレーン方式の自動生産ラインにおいても、本発明を適用することが可能である。デュアルレーン方式とは、少なくとも一部(主として部品実装ステーション)の基板搬送経路(レーン)が2本平行に設けられており、レーンごとに処理装置を設置することによって、処理能力の向上を図った自動生産システムのことをいう。デュアルレーン方式は、ラインの省スペース、省エネを図ることができ、基板の搬送態様や、基板に対する部品の実装態様を多様化することができるので、近年、需要が増加している。デュアルレーン方式では、部品実装ステーションのみが第1、第2レーンになっているとともに、スクリーン印刷ステーションや、リフローステーションでは、1レーンのみの仕様、或いは、スクリーン印刷ステーションにおいても、レーンが2本平行に設けられ、それぞれにスクリーン印刷装置11が処理装置Aとして配設されている仕様等、種々の態様がある。図9では、部品実装ステーションの上下流ともレーンが2本になっている型式の自動生産システムを例示している。
デュアルレーン方式において異常停止を報知する機能を有する処理装置Aは、何れのレーンを通る経路についても異常停止を検出可能な位置に設置されていることが好ましい。従って、異常停止を報知する機能は、2本の平行なレーンと直列な関係にある経路に設置された処理装置Aに設けられている。例えば、一部が1レーンのものであれば、その1レーンのステーションに配置される処理装置Aに上述したモニタ手段としての制御ユニット30、搬入基板検出センサ71、搬出基板検出センサ72と、判定手段としての制御ユニット30と、報知手段としてのブザー50や点灯表示装置60等とが設けられていればよい。図9のように、完全にパラレルになっている態様では、それぞれのレーンの何れかの処理装置Aに異常停止を報知する機能が設けられる。この態様では、いわゆるデュアルレーン方式の自動生産ラインにおいても、好適な異常停止報知を図ることが可能となる。
さらに、図3に示した生産実績Hテーブル323の{基板品番}は、自動運転条件テーブル322の{基板品番}と関連づけられていてもよい。その場合には、処理対象となる基板Wのデータが必ず基板テーブル321、自動運転条件テーブル322に登録されていることが必要になるが、新規の基板Wの登録については、標準値テーブル324を用いることによって、簡便になるので、生産実績Hテーブル323が自動運転条件テーブル322と関連づけられている方が、生産管理上、より好ましい。
さらに、標準値テーブル324に代えて、自動運転条件テーブル322にデフォルト値を登録しておくことも可能である。具体的には、共用の基板品番(たとえば、「BD_COMMON」)を設定し、図4または図5の検索処理(ステップS1)において、データが見当たらない場合には、共用の基板品番のタプルを参照し、その値を設定する仕様にしてもよい。そのような仕様を採用した場合には、標準値テーブル324を省略することができる。
その他、本発明の特許請求の範囲内で種々の変更が可能であることは、いうまでもない。
10 自動生産ライン
11 スクリーン印刷装置(処理装置の一例)
12 部品実装機(処理装置の一例)
14 リフロー装置(処理装置の一例)
16 検査装置(処理装置の一例)
21 基板搬送コンベア
30 制御ユニット
31 演算ユニット
32 記憶部
40 操作ユニット
41 ディスプレイ
50 ブザー
60 点灯表示装置
70 センサ類
71 搬入基板検出センサ
72 搬出基板検出センサ
321 基板テーブル
322 自動運転条件テーブル
A 処理装置
C カウンタ変数
Cin カウンタ変数
Cout カウンタ変数
TMin 最大搬入待ち時間
TMout 最大搬出待ち時間
W 基板

Claims (9)

  1. 基板の処理工程に準じて直列に配置された複数の処理装置を備え、前記処理工程順に複数の基板を前記処理装置に搬送する自動生産ラインにおいて、
    前記自動生産ラインの自動運転時における前記基板の流動をモニタするモニタ手段と、
    前記モニタ手段が前記基板の流動の停止を検出した場合に、当該流動の停止時間が予め設定された最大待ち時間を超えているか否かを判定する判定手段と、
    前記判定手段が前記最大待ち時間を超えていると判定した場合に、自動運転の異常停止を報知する報知手段と
    を前記処理装置の少なくとも一台に設けている
    ことを特徴とする自動生産ライン。
  2. 請求項1記載の自動生産ラインにおいて、
    前記処理装置は、当該処理装置と、当該処理装置が処理する基板との組み合わせごとに前記最大待ち時間を記憶する記憶部を備えている
    ことを特徴とする自動生産ライン。
  3. 請求項2記載の自動生産ラインにおいて、
    前記記憶部は、当該処理装置に前記基板を搬入する前工程での基板搬送タイミングに基づいて設定される最大搬入待ち時間を前記最大待ち時間として記憶している
    ことを特徴とする自動生産ライン。
  4. 請求項2または3記載の自動生産ラインにおいて、
    前記記憶部は、当該処理装置が前記基板を搬出する次工程への基板搬送タイミングに基づいて設定される最大搬出待ち時間を前記最大待ち時間として記憶している
    ことを特徴とする自動生産ライン。
  5. 請求項1から4の何れか1項に記載の自動生産ラインにおいて、
    前記基板を搬送する経路の少なくとも一部は、2本の平行なレーンで構成されたデュアルレーン方式であり、前記モニタ手段、前記判定手段、及び前記報知手段は、当該2本の平行なレーンと直列な関係にある経路に設置された前記処理装置に設けられている
    ことを特徴とする自動生産ライン。
  6. 基板の処理工程に準じて自動生産ラインの基板搬送経路上に直列に配置される処理装置において、
    前記自動生産ラインの自動運転時における前記基板の流動をモニタするモニタ手段と、
    前記モニタ手段が前記基板の流動の停止を検出した場合に、当該流動の停止時間が予め設定された最大待ち時間を超えているか否かを判定する判定手段と、
    前記判定手段が前記最大待ち時間を超えていると判定した場合に、自動運転の異常停止を報知する報知手段と
    を備えていることを特徴とする処理装置。
  7. 請求項6記載の処理装置において、
    前記処理装置は、当該処理装置と、当該処理装置が処理する基板との組み合わせごとに前記最大待ち時間を記憶する記憶部を備えている
    ことを特徴とする処理装置。
  8. 請求項7記載の処理装置において、
    前記記憶部は、当該処理装置に前記基板を搬入する前工程での基板搬送タイミングに基づいて設定される最大搬入待ち時間を前記最大待ち時間として記憶している
    ことを特徴とする処理装置。
  9. 請求項7または8記載の処理装置において、
    前記記憶部は、当該処理装置が前記基板を搬出する次工程への基板搬送タイミングに基づいて設定される最大搬出待ち時間を前記最大待ち時間として記憶している
    ことを特徴とする処理装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016051602A1 (ja) * 2014-10-03 2016-04-07 富士機械製造株式会社 部品装着システムおよび部品装着装置の異常停止診断方法
JPWO2015075776A1 (ja) * 2013-11-19 2017-03-16 富士機械製造株式会社 検査装置
JP2017147308A (ja) * 2016-02-16 2017-08-24 株式会社荏原製作所 基板処理装置
JP2017174995A (ja) * 2016-03-24 2017-09-28 富士機械製造株式会社 基板生産管理装置、基板生産装置、および基板生産ライン
JP2018157122A (ja) * 2017-03-21 2018-10-04 日本電気株式会社 製造装置、製造方法、およびプログラム

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000012999A (ja) * 1998-06-18 2000-01-14 Nagoya Denki Kogyo Kk 基板検査方法およびその装置
JP2003204193A (ja) * 2002-01-08 2003-07-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装装置および電子部品実装方法
JP2006310750A (ja) * 2005-03-31 2006-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 監視方法および監視装置
JP2008294115A (ja) * 2007-05-23 2008-12-04 Panasonic Corp 半導体製造装置の異常検知方法および異常検知装置
JP2010177449A (ja) * 2009-01-29 2010-08-12 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 部品実装ラインの管理方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000012999A (ja) * 1998-06-18 2000-01-14 Nagoya Denki Kogyo Kk 基板検査方法およびその装置
JP2003204193A (ja) * 2002-01-08 2003-07-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装装置および電子部品実装方法
JP2006310750A (ja) * 2005-03-31 2006-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 監視方法および監視装置
JP2008294115A (ja) * 2007-05-23 2008-12-04 Panasonic Corp 半導体製造装置の異常検知方法および異常検知装置
JP2010177449A (ja) * 2009-01-29 2010-08-12 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 部品実装ラインの管理方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2015075776A1 (ja) * 2013-11-19 2017-03-16 富士機械製造株式会社 検査装置
WO2016051602A1 (ja) * 2014-10-03 2016-04-07 富士機械製造株式会社 部品装着システムおよび部品装着装置の異常停止診断方法
CN106797714A (zh) * 2014-10-03 2017-05-31 富士机械制造株式会社 元件装配系统及元件装配装置的异常停止诊断方法
JPWO2016051602A1 (ja) * 2014-10-03 2017-07-20 富士機械製造株式会社 部品装着システムおよび部品装着装置の異常停止診断方法
CN106797714B (zh) * 2014-10-03 2019-05-21 株式会社富士 元件装配系统及元件装配装置的异常停止诊断方法
JP2017147308A (ja) * 2016-02-16 2017-08-24 株式会社荏原製作所 基板処理装置
JP2017174995A (ja) * 2016-03-24 2017-09-28 富士機械製造株式会社 基板生産管理装置、基板生産装置、および基板生産ライン
JP2018157122A (ja) * 2017-03-21 2018-10-04 日本電気株式会社 製造装置、製造方法、およびプログラム

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